JP2008304360A - 点火補助具およびこれを備えた冷陰極電離真空計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る冷陰極電離真空計21は、真空計本体22と、真空計本体の内部に区画された放電空間28と、真空計本体の内部に設置された軸状電極26と、放電空間での放電を誘起する点火補助具24A,24Bとを備え、点火補助具は、真空計本体に支持されるベース部41と、ベース部に形成され軸状電極が貫通する貫通孔42と、貫通孔の内周面から軸状電極に向かって突出する突起部43とを備える。突起部43は、軸状電極26との間の放電を誘起して高真空での安定したプラズマの発生を実現する。また、真空計本体22に対する軸状電極26の組み付けの際に、突起部43の変形を抑制できるので、組立作業性の改善を図ることができる。
【選択図】図1
Description
22 真空計本体
23 マグネット
24A 第1の点火補助具
24B 第2の点火補助具
25A 第1の金属ブロック(第1の磁性部材)
25B 第2の金属ブロック(第2の磁性部材)
26 軸状電極
27 スペーサ
28 放電空間
29 高電圧端子ユニット
30 シールリング
31 蓋部材
35a,35b 貫通孔
36 絶縁支持体
37 収容空間
Claims (11)
- 放電空間を内部に区画する真空計本体と、前記放電空間に設置された電極とを有する冷陰極電離真空計用の点火補助具であって、
前記真空計本体に支持されるベース部と、
前記ベース部に形成され前記電極が貫通する貫通孔と、
前記貫通孔の内周面から前記電極に向かって突出する単数又は複数の突起部とを備えた
ことを特徴とする点火補助具。 - 前記突起部は、前記貫通孔の内周面に沿って等角度間隔で複数設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の点火補助具。 - 前記突起部は、先細り形状を有する
ことを特徴とする請求項2に記載の点火補助具。 - 前記ベース部は円板状部品であり、
前記貫通孔は、前記ベース部の中心部に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の点火補助具。 - 真空計本体と、前記真空計本体の内部に区画された放電空間と、前記真空計本体の内部に設置された電極と、前記放電空間での放電を誘起する点火補助具とを備えた冷陰極電離真空計であって、
前記点火補助具は、
前記真空計本体に支持されるベース部と、
前記ベース部に形成され前記電極が貫通する貫通孔と、
前記貫通孔の内周面から前記電極に向かって突出する単数又は複数の突起部とを備えた
ことを特徴とする冷陰極電離真空計。 - 前記点火補助具は、前記真空計本体の内部において前記電極の軸方向に沿って一対対向して配置されており、
前記放電空間は、前記一対の前記点火補助具の間に形成されている
ことを特徴とする請求項5に記載の冷陰極電離真空計。 - 前記真空計本体の外周側には環状のマグネットが配置されており、
前記真空計本体の内部には、前記一対の点火補助具を各々支持するとともに前記マグネットによって形成される磁界を透過させる第1,第2の磁性部材が設置されている
ことを特徴とする請求項6に記載の冷陰極電離真空計。 - 前記一対の点火補助具の間には、前記真空計本体の内面を放電空間から遮蔽する筒状のスペーサが設置されており、
前記一対の点火補助具のうち一方は、前記スペーサと前記第1の磁性部材の間に保持されているとともに、
前記一対の点火補助具のうち他方は、前記スペーサと前記第2の磁性部材の間に保持されている
ことを特徴とする請求項7に記載の冷陰極電離真空計。 - 前記突起部は、前記貫通孔の内周面に沿って等角度間隔で複数設けられている
ことを特徴とする請求項5に記載の冷陰極電離真空計。 - 前記突起部は、先細り形状を有する
ことを特徴とする請求項9に記載の冷陰極電離真空計。 - 前記ベース部は円板状部品であり、
前記貫通孔は、前記ベース部の中心部に形成されている
ことを特徴とする請求項5に記載の冷陰極電離真空計。
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