JP6129773B2 - パターン形成方法 - Google Patents
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Description
図1〜図8は、本実施形態に係るパターン形成方法を模式的に示した断面図である。本実施形態の方法は、半導体装置におけるラインアンドスペースパターンを形成する際に適用可能である。
図10〜図17は、本実施形態に係るパターン形成方法を模式的に示した断面図である。なお、基本的な方法は、上述した第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項の説明は省略する。本実施形態の方法は、半導体装置におけるホールパターンを形成する際に適用可能である。
14…SOG膜 16…中性化膜
16d、16e、16i、16j…ピニング部
18…レジストパターン 20…カバーマスク
22…エネルギー線 24…ブロックコポリマー膜
26a、26b、26c、26d、26f、26g…PMMA部分
28a、28b、28c、28d、28f…PS部分
30…水平ラメラ配向部
Claims (4)
- 下地領域上に、第1のポリマー及び第2のポリマーに対して親和性を有する中性化膜を形成する工程と、
前記中性化膜の第1の領域にエネルギー線を照射して、前記第1のポリマーに対して親和性を有する第1のピニング部を形成する工程と、
前記第1のピニング部を含む前記中性化膜上に前記第1のポリマー及び前記第2のポリマーを含むブロックコポリマー膜を形成する工程と、
前記ブロックコポリマー膜に対して所定の処理を施してミクロ相分離を行うことにより、前記第1のピニング部上に、前記第1のポリマーで形成された第1の部分及び第2の部分と、前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられ且つ前記第2のポリマーで形成された第3の部分とを有するパターンを形成する工程と、
前記第1及び第2の部分を除去する、又は前記第3の部分を除去する工程と、
を備え、
前記中性化膜を形成する工程は、
予備的な中性化膜を形成する工程と、
前記予備的な中性化膜の前記第1の領域に形成された部分を薄くする工程と、
を含む
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 下地領域上に、第1のポリマー及び第2のポリマーに対して親和性を有する中性化膜を形成する工程と、
前記中性化膜の第1の領域にエネルギー線を照射して、前記第1のポリマーに対して親和性を有する第1のピニング部を形成する工程と、
前記第1のピニング部を含む前記中性化膜上に前記第1のポリマー及び前記第2のポリマーを含むブロックコポリマー膜を形成する工程と、
前記ブロックコポリマー膜に対して所定の処理を施してミクロ相分離を行うことにより、前記第1のピニング部上に、前記第1のポリマーで形成された第1の部分及び第2の部分と、前記第1の部分と前記第2の部分との間に設けられ且つ前記第2のポリマーで形成された第3の部分とを有するパターンを形成する工程と、
前記第1及び第2の部分を除去する、又は前記第3の部分を除去する工程と、
を備え、
前記ブロックコポリマー膜に対して所定の処理を施してミクロ相分離を行う際に、前記第1のピニング部の外側の所定領域に水平ラメラ配向部が形成される
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 前記第1のピニング部を形成する際に、前記中性化膜の第2の領域にエネルギー線が照射され、前記第1のポリマーに対して親和性を有する第2のピニング部が形成され、
前記第1、第2及び第3の部分を有するパターンを形成する際に、前記第2のピニング部上に、前記第1のポリマーで形成された第4の部分及び第5の部分と、前記第4の部分と前記第5の部分との間に設けられ且つ前記第2のポリマーで形成された第6の部分とを有するパターンが形成され、前記第1のピニング部と前記第2のピニング部との間に、前記第2のポリマーで形成された第7の部分及び第8の部分と、前記第7の部分と前記第8の部分との間に設けられ且つ前記第1のポリマーで形成された第9の部分とを有するパターンが形成される
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のパターン形成方法。 - 前記エネルギー線は、電子線及び光から選択される
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のパターン形成方法。
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