JP6127540B2 - パワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
上述のパワーモジュール用基板においては、特許文献1,2に示すように、回路層及び金属層を、銅やアルミニウムで構成したものが広く提案されている。例えば、特許文献1には、第一の金属板(回路層)及び第二の金属板(金属層)としてアルミニウム板を用いてなるパワーモジュール用基板が提案されている。また、特許文献2には、第一の金属板(回路層)及び第二の金属板(金属層)を銅板とし、この銅板を、Ag−Cu−Ti系のろう材を用いた活性金属法によってセラミックス基板に接合してなるパワーモジュール用基板が提案されている。
このパワーモジュール用基板に生じる反りを低減するために、特許文献3では、パワーモジュール用基板を−20℃以下に保持することが提案されている。また、特許文献4では、パワーモジュール用基板を−110℃以下に冷却することが提案されている。
また、特許文献4に示す方法では、回路層及び金属層が同種の金属で構成されたパワーモジュール用基板の冷却温度が−110℃以下とされており、冷却温度が低すぎるために、冷却に必要なコストが過剰に大きくなる問題があった。
例えば、回路層を2Nアルミニウムで構成し、金属層を4Nアルミニウムで構成したパワーモジュール用基板や、回路層を銅で構成し、金属層をアルミニウムで構成したパワーモジュール用基板が提案されている。
このため、回路層及び金属層を異種の金属で構成した場合であっても、パワーモジュール用基板の反りを十分に低減することができるパワーモジュール用基板の製造方法が望まれていた。
このような反りが小さくされたパワーモジュール用基板を用いると、パワーモジュール用基板とヒートシンクとを良好に接合することができ、接合信頼性を向上させることが可能となる。また、反りが小さいパワーモジュール用基板を用いることで、パワーモジュール用基板とヒートシンクとの間の隙間を小さくし、パワーモジュール用基板とヒートシンクとの接合部における熱抵抗を小さくすることが可能である。
また、加圧しながら常温よりも低い温度にまで冷却を行っているので、パワーモジュール用基板が拘束されており、比較的短時間かつ高温側で回路層及び金属層を塑性変形させ、パワーモジュール用基板の残留応力を小さくすることができる。そのため、高価な冷却装置(冷却器)を必要とせず、低コストでパワーモジュール用基板の残留応力を小さくすることができる。
また、−70℃以上−5℃以下の範囲内に冷却する構成とされても良い。
このように条件を設定して加圧した状態で冷却する構成にすることによって、回路層及び金属層を接合した際に発生したパワーモジュール用基板の残留応力を確実に低減し、反りを小さくすることができる。
回路層を銅で構成し、金属層をアルミニウムで構成したパワーモジュール用基板においては、回路層が熱伝導性に優れる銅とされているので、半導体素子からの熱を回路層の面方向に拡げ、効率的に熱を放散することができるとともに、金属層がアルミニウムで構成されていることから、ヒートシンクとセラミックス基板との熱膨張係数の差に起因する歪みを金属層で吸収でき、セラミックス基板の割れを抑制可能となる。
本発明によれば、前記回路層が銅又は銅合金で構成され、前記金属層がアルミニウム又はアルミニウム合金で構成された場合であっても、パワーモジュール用基板の反りを、上述のように加圧した状態で冷却することによって小さくすることができる。
回路層を2Nアルミニウムで構成し、金属層を4Nアルミニウムで構成したパワーモジュール用基板においては、回路層が比較的変形抵抗が大きい2Nアルミニウムで構成されていることから半導体素子と回路層との間に介在するはんだ層にクラックが発生することを抑制できるとともに、金属層が比較的変形抵抗が小さい4Nアルミニウムで構成されていることから、ヒートシンクとセラミックス基板との熱膨張係数の差に起因する歪みを金属層で吸収でき、セラミックス基板の割れを抑制可能となる。
本発明によれば、前記回路層が2Nアルミニウムで構成され、前記金属層が4Nアルミニウムで構成された場合であっても、パワーモジュール用基板の反りを、上述のように加圧した状態で冷却することによって小さくすることができる。
この場合、回路層が銅層を有しており、この銅層の上に半導体素子が搭載された場合には、半導体素子から発生する熱をパワーモジュール用基板側へ伝達する際に、回路層の銅層で面方向に拡げて効率的に放散することができる。
さらに、絶縁層の一方の面に、比較的変形抵抗の小さいアルミニウム層が形成されており、ヒートサイクルが負荷された場合に絶縁層と回路層との熱膨張係数の差に起因して発生する熱応力をアルミニウム層が吸収するので、絶縁層に割れが発生することを抑制でき、接合に対する高い信頼性を得ることができる。
また、アルミニウム層の一方側には、比較的変形抵抗の大きい銅層が形成されているので、パワーサイクルが負荷された場合に、回路層の変形を抑制することができる。そのため、パワーサイクルに対する信頼性を得ることができる。
この場合、金属層が銅層を有しており、この銅層とヒートシンクとが接合された場合に、絶縁層側からの熱をヒートシンク側へ伝達する際に、銅層で面方向に拡げて効率的に放散することができる。
さらに、絶縁層の他方の面に、比較的変形抵抗の小さいアルミニウム層が形成されており、ヒートサイクルが負荷された場合に生じる熱応力をアルミニウム層が吸収するので、絶縁層に割れが発生することを抑制できる。
また、アルミニウム層には、比較的変形抵抗の大きい銅層が形成されているので、パワーサイクルが負荷された場合に、金属層の変形を抑制することができる。
まず、本発明の第一実施形態について説明する。図1に、本発明の第一実施形態であるヒートシンク付パワーモジュール1、ヒートシンク付パワーモジュール用基板30、パワーモジュール用基板10を示す。
このヒートシンク付パワーモジュール1は、ヒートシンク付パワーモジュール用基板30と、このヒートシンク付パワーモジュール用基板30の一方側(図1において上側)にはんだ層2を介して接合された半導体素子3と、を備えている。
そして、回路層12と金属層13の厚みの比は、0.01以上0.9以下とされており、本実施形態においては、その比は0.375とされている。
本実施形態においては、パワーモジュール用基板10とヒートシンク31とは、はんだを介して接合されている。
まず、図3で示すように、セラミックス基板11の一方の面に、活性ロウ材25を塗布し、さらにセラミックス基板11の一方の面に無酸素銅の銅板22を積層し、積層体S1とする。本実施形態では、活性ロウ材としてAg−Cu−Ti系のロウ材を用いている。そして、この積層体S1を、図5で示す加圧装置40に設置する。なお、図5では、加圧装置40には、パワーモジュール用基板10が設置されている場合について示している。
固定板43及び押圧板44は、ベース板41に対して平行に配置されており、ベース板41と押圧板44との間に、カーボンシート47を介して、前述の積層体S1が配置される。そして、調整ネジ46の位置を調節することによって固定板43を上下させて、付勢手段45により押圧板44を押し込んで、積層体S1に加圧されるようになっている。
こうして、セラミックス基板11の一方の面に回路層12が形成され、他方の面に金属層13が形成されたパワーモジュール用基板10が得られる。
具体的には、9.8×104Pa(1kgf/cm2)以上343×104Pa(35kgf/cm2)以下の範囲で加圧したままの状態で、加圧装置40ごと冷却器に配置し、−70℃以上−5℃以下の範囲まで冷却すれば良い。そして、常温に戻し、加圧装置40から取り外し、パワーモジュール用基板10への加圧を除去する。なお、より好ましい冷却温度としては、−20℃以上−10℃以下とされている。また、冷却の保持時間は、所定の冷却温度まで冷却するために、冷却器へ設置後、5分程度放置すると良い。より好ましくは、所定の冷却温度で10分間の冷却を行うと良い。
このようにして、ヒートシンク付パワーモジュール用基板30が得られる。
このようにして、本実施形態であるヒートシンク付パワーモジュール1が製出される。
次に、本発明の第二実施形態について説明する。なお、上記した第一実施形態と同一の構成のものについては、同一の符号を付して記載し、詳細な説明を省略する。
図6に、本発明の第二実施形態に係るヒートシンク付パワーモジュール101、ヒートシンク付パワーモジュール用基板130、パワーモジュール用基板110を示す。
このパワーモジュール101は、ヒートシンク付パワーモジュール用基板130と、このヒートシンク付パワーモジュール用基板130の一方側(図6において上側)にはんだ層2を介して接合された半導体素子3と、を備えている。
また、ヒートシンク付パワーモジュール用基板130は、パワーモジュール用基板110と、パワーモジュール用基板110の他方側(図6において下側)に接合されたヒートシンク31とを備えている。
アルミニウム層112Aは、アルミニウム板122Aがセラミックス基板11の一方の面に接合されることにより形成されている。本実施形態においては、アルミニウム層112Aは、純度が99.99%以上のアルミニウム(いわゆる4Nアルミニウム)の圧延板からなるアルミニウム板122Aがセラミックス基板11に接合されることにより形成されている。
そして、これらのアルミニウム層112Aと銅層112Bとの界面には、図7に示すように、拡散層112Cが形成されている。
本実施形態では、図8に示すように、3種の金属間化合物が積層された構造とされており、アルミニウム層112A側から銅層112B側に向けて順に、θ相116、η2相117、ζ2相118とされている。
さらに、本実施形態では、銅層112Bの平均結晶粒径が50μm以上200μm以下の範囲内とされ、アルミニウム層112Aの平均結晶粒径が500μm以上とされている。
接合層133は、パワーモジュール用基板110とヒートシンク31とを接合するものである。本実施形態においては、無酸素銅の圧延板からなる銅板143が、アルミニウム(4Nアルミニウム)からなる金属層13と、アルミニウム合金(A6063)からなるヒートシンク31との間に配置され、金属層13と銅板143、及びヒートシンク31と銅板143が固相拡散接合されることによって、金属層13とヒートシンク31とが接合層133を介して接合されている。この接合層133の金属層13との接合界面、及びヒートシンク31との接合界面には、相互拡散によるアルミニウムと銅の濃度勾配が形成されている。
まず、図10に示すように、セラミックス基板11の一方の面及び他方の面に、Al−Si系のろう材箔127を介してアルミニウム板122A、23を積層し、積層体S3とする。
なお、真空加熱の好ましい温度は、AlとCuの共晶温度より5℃低い温度から共晶温度未満の範囲とされている。
こうして、セラミックス基板11の一方の面に回路層112が形成され、他方の面に金属層13が形成されたパワーモジュール用基板110が得られる。
このようにして、ヒートシンク付パワーモジュール用基板130が得られる。
このようにして、第二実施形態に係るヒートシンク付パワーモジュール101が製出される。
本実施形態では、パワーモジュール用基板110をヒートシンク31と接合する際に、固相拡散接合しているので、低い温度で接合できる。また、上述のようにパワーモジュール用基板110の反りを小さくできるため、接合層133を介してパワーモジュール用基板110とヒートシンク31とを良好に固相拡散接合することができ、接合信頼性を向上させることが可能となる。
具体的には、拡散層112Cは、アルミニウム層112A側から銅層112B側に向けて順に、θ相116、η2相117、ζ2相118の3種の金属間化合物が積層しているので、拡散層112C内部における体積変動が小さくなり、内部歪みが抑えられることになる。
銅板122Bを0.1mm以上とすることで、半導体素子3からの熱を銅層112Bで拡げてより効率的に熱を伝達し、パワーサイクル負荷時の初期の熱抵抗を低減することができるので、パワーサイクルに対する信頼性をより高くすることが可能である。また、銅板122Bを6.0mm以下とすることで、回路層112の剛性を低減させ、ヒートサイクル負荷時においてセラミックス基板11に割れが生じることを抑制できる。
この場合には、パワーモジュール用基板210とヒートシンク31とを、ろう付け温度まで加熱してろう付けしても、ニッケル層212Dがバリア層として作用するのでアルミニウム層212Aと銅層212Bとの反応を防ぐことができる。
さらに、セラミックス基板11の他方の面に、比較的変形抵抗の小さいアルミニウム層313Aが形成されており、ヒートサイクルが負荷された場合に生じる熱応力をアルミニウム層313Aが吸収するので、セラミックス基板11に割れが発生することを抑制できる。
また、アルミニウム層313Aには、比較的変形抵抗の大きい銅層313Bが形成されているので、パワーサイクルが負荷された場合に、金属層313の変形を抑制することができる。
本実施例では、回路層がアルミニウムで構成される場合と、銅で構成される場合と、銅とアルミニウムとの積層体で構成される場合の3種類のパワーモジュール用基板を製造した。まず、回路層が銅で構成される場合のパワーモジュール用基板の製造方法について説明する。
まず、AlNで構成された厚さ0.635mmのセラミックス基板の一方の面に活性ロウ材であるAg−Cu−Tiを塗布し、さらにセラミックス基板の一方の面側に、28mm×28mm、厚さ0.6mmの無酸素銅の圧延板を積層した。そして、53.9×104Pa(5.5kgf/cm2)で加圧し、850℃で加熱後、常温まで冷却し、セラミックス基板の一方の面に無酸素銅で構成された回路層を接合した。次に、セラミックス基板の他方の面に、Al−Si箔を介して、28mm×28mm、厚さ1.6mmの4Nアルミニウムの圧延板を積層した。そして、積層方向に53.9×104Pa(5.5kgf/cm2)で加圧し、650℃で加熱後、常温まで冷却し、セラミックス基板の他方の面に金属層を接合し、パワーモジュール用基板を作製した。次いで、このパワーモジュール用基板に対して、平面度を改善するために、以下のような工程を施した。
比較例1〜5については、回路層及び金属層を接合後に、53.9×104Paで加圧し、常温で20分間保持した後に、加圧を除去した。
比較例6〜10については、回路層及び金属層を接合後に、加圧を除去した状態で、−40℃まで冷却し、−40℃で20分間保持した後に、常温まで戻し、加圧を除去した。
28mm×28mm、厚さ0.6mmの2Nアルミニウムの圧延板、及び28mm×28mm、厚さ1.6mmの4Nアルミニウムの圧延板を、AlNで構成された厚さ0.635mmのセラミックス基板の一方の面及び他方の面にAl−Si箔を介在させて積層した。そして、積層方向に53.9×104Pa(5.5kgf/cm2)で加圧し、650℃で加熱後、常温まで冷却し、セラミックス基板の一方の面及び他方の面に回路層及び金属層を接合し、パワーモジュール用基板を作製した。そして、このパワーモジュール用基板に対して、平面度を改善するために、以下のような工程を施した。
比較例11〜15については、回路層及び金属層を接合後に、53.9×104Paで加圧し、常温で20分間保持した後に、加圧を除去した。
比較例16〜20については、回路層及び金属層を接合後に、加圧を除去した状態で、−40℃まで冷却し、−40℃で20分間保持した後に、常温まで戻し、加圧を除去した。
アルミニウム層となる28mm×28mm、厚さ0.6mmの4Nアルミニウムの圧延板及び金属層となる28mm×28mm、厚さ1.6mmの4Nアルミニウムの圧延板を、AlNで構成された厚さ0.635mmのセラミックス基板の一方の面及び他方の面にAl−Si箔を介在させて積層した。そして、積層方向に53.9×104Pa(5.5kgf/cm2)で加圧し、650℃で加熱後、常温まで冷却した。さらにアルミニウム層の上に28mm×28mm、厚さ1.0mmの無酸素銅の圧延板を積層し、積層方向に11.8×105Pa(12.0kgf/cm2)で加圧し、540℃で加熱後、常温まで冷却しセラミックス基板の一方の面及び他方の面に回路層及び金属層が接合された、パワーモジュール用基板を作製した。そして、このパワーモジュール用基板に対して、平面度を改善するために、以下のような工程を施した。
比較例21〜25については、回路層及び金属層を接合後に、53.9×104Paで加圧し、常温で20分間保持した後に、加圧を除去した。
比較例26〜30については、回路層及び金属層を接合後に、加圧を除去した状態で、−40℃まで冷却し、−40℃で20分間保持した後に、常温まで戻し、加圧を除去した。
平面度は、パワーモジュール用基板を定盤上に載置し、レーザー変位計を用いて一方側(上方側)から測定した。なお、平面度が正の値の場合は回路層側が凸となる反りが発生し、平面度が負の値の場合は金属層側が凸となる反りが発生したことを示す。また、平面度変化率は、回路層と金属層を接合後の平面度をXとし、平面度の改善を行った後の平面度をYとした場合に、Z=(X−Y)/X×100(%)により算出される値である。
この評価結果を、表1、表2及び表3に示す。
一方、比較例1〜5、比較例11〜15及び比較例21〜25においては、パワーモジュール用基板を加圧しているのみなので、平面度の改善効果が小さかった。また、比較例6〜10、比較例16〜20及び比較例26〜30においては、パワーモジュール用基板に加圧せずに冷却しているのみなので、本発明例と比較して平面度の改善効果が小さかった。
11 セラミックス基板(絶縁層)
12、112、212 回路層
112A、212A、313A アルミニウム層
112B、212B、313B 銅層
13、313 金属層
Claims (7)
- 絶縁層と、この絶縁層の一方の面に配設された回路層と、前記絶縁層の他方の面に配設された金属層と、を備えるパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記回路層と前記金属層とは、異種の金属で構成され、
前記絶縁層の一方の面及び他方の面に、前記回路層及び前記金属層を接合した後に、積層方向に加圧した状態で常温よりも低い温度にまで冷却し、その後、常温に戻し、加圧を除去することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 積層方向に9.8×104Pa以上343×104Pa以下で加圧した状態で冷却することを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- −70℃以上−5℃以下の範囲内に冷却することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記回路層は銅又は銅合金で構成され、前記金属層はアルミニウム又はアルミニウム合金で構成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記回路層は2Nアルミニウムで構成され、前記金属層は4Nアルミニウムで構成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記回路層は、前記絶縁層の一方の面に配設されたアルミニウム層と、このアルミニウム層の一方側に積層された銅層と、を有する請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記金属層は、前記絶縁層の他方の面に配設されたアルミニウム層と、このアルミニウム層のうち前記絶縁層が配設された面と反対側の面に積層された銅層と、を有する請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
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