JP6125514B2 - 蛇行した撓み部を備えた可変静電容量加速度計 - Google Patents
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Description
の範囲から逸脱することなく、説明され図示された加速度計の設計に加えられることがで
きることが理解される。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
[1] 支持体と、
複数の装着脚によって、前記支持体に対して移動するように支持されたプルーフマスと、
前記支持体と連結された複数の固定容量フィンガと、
前記プルーフマスと連結された複数の可動容量フィンガとを具備し、
前記固定容量フィンガは、前記可動容量フィンガと互いに噛合されており、
前記装着脚は、屈曲した形状であり、各装着脚は、少なくとも、第1のほぼ直線セクションと、第2のほぼ直線セクションと、前記第1及び第2のほぼ直線セクションを互いに接続しているほぼU字形の端部セクションとを有し、前記端部セクションの厚さは、前記第1及び第2のほぼ直線セクションの両方の中央部分の厚さよりも厚い加速度計。
[2] 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの少なくとも2倍である[1]の加速度計。
[3] 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの少なくとも2.5倍である[2]の加速度計。
[4] 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの4倍未満である[2]又は[3]の加速度計。
[5] 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの約3倍である[4]の加速度計。
[6] 各直線セクションは、その両端部にテーパ部分を有する[1]ないし[5]のいずれか1の加速度計。
[7] 前記テーパ部分は、前記ほぼ直線セクションの厚さと前記端部セクションの厚さとの間に滑らかな移行部を与える[6]の加速度計。
[8] 前記端部セクションは、滑らかに曲がった形態である[1]ないし[7]のいずれか1の加速度計。
[9] 前記第1のほぼ直線セクションの前記中央部分の厚さは、前記第2のほぼ直線セクションの前記中央部分の厚さとは異なる[1]ないし[8]のいずれか1の加速度計。
[10] 各脚は、5つのほぼ直線セクションを有する[1]ないし[9]のいずれか1の加速度計。
[11] 各ほぼ直線セクションの前記中央部分の厚さは均一である[1]ないし[10]のいずれか1の加速度計。
[12] 前記中央部分は、各ほぼ直線セクションの長さの少なくとも50%に形成されている[11]の加速度計。
[13] 前記中央部分は、各ほぼ直線セクションの長さの少なくとも65%に形成されている[11]の加速度計。
[14] 前記中央部分は、各ほぼ直線セクションの長さの85%未満を形成している[11]の加速度計。
[15] 前記プルーフマスは、第1のプルーフマス要素と、第2のプルーフマス要素とを有し、
前記第1のプルーフマス要素と前記第2のプルーフマス要素とは、接続部材によって緊密に互いに接続され、
前記固定容量フィンガは、前記第1のプルーフマス要素と前記第2のプルーフマス要素との間に位置されている[1]ないし[14]のいずれか1の加速度計。
[16] 感知方向への前記プルーフマスの移動を制限するためのバンプストップ手段をさらに具備する[1]ないし[15]のいずれか1の加速度計。
[17] 各バンプストップ手段は、1対のバンプストップを有する[16]の加速度計。
[18] 前記1対のバンプストップは、前記支持体に設けられている[17]の加速度計。
Claims (17)
- 支持体と、
複数の装着脚によって、前記支持体に対して移動するように支持されたプルーフマスと、
前記支持体と連結された複数の固定容量フィンガと、
前記プルーフマスと連結された複数の可動容量フィンガとを具備し、
前記固定容量フィンガは、前記可動容量フィンガと互いに噛合されており、
前記装着脚は、屈曲した形状であり、各装着脚は、少なくとも、第1のほぼ直線セクションと、第2のほぼ直線セクションと、前記第1及び第2のほぼ直線セクションを互いに接続しているほぼU字形の端部セクションとを有し、前記端部セクションの厚さは、前記第1及び第2のほぼ直線セクションの両方の中央部分の厚さよりも厚く、前記各直線セクションは、その両端部にテーパ部分を有する、加速度計。 - 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの少なくとも2倍である請求項1の加速度計。
- 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの少なくとも2.5倍である請求項2の加速度計。
- 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの4倍未満である請求項2又は3の加速度計。
- 前記端部セクションの最大の厚さは、前記中央部分の厚さの約3倍である請求項4の加速度計。
- 前記テーパ部分は、前記ほぼ直線セクションの厚さと前記端部セクションの厚さとの間に滑らかな移行部を与える請求項1の加速度計。
- 前記端部セクションは、滑らかに曲がった形態である請求項1ないし6のいずれか1の加速度計。
- 前記第1のほぼ直線セクションの前記中央部分の厚さは、前記第2のほぼ直線セクションの前記中央部分の厚さとは異なる請求項1ないし7のいずれか1の加速度計。
- 各脚は、5つのほぼ直線セクションを有する請求項1ないし8のいずれか1の加速度計。
- 各ほぼ直線セクションの前記中央部分の厚さは均一である請求項1ないし9のいずれか1の加速度計。
- 前記中央部分は、各ほぼ直線セクションの長さの少なくとも50%に形成されている請求項10の加速度計。
- 前記中央部分は、各ほぼ直線セクションの長さの少なくとも65%に形成されている請求項10の加速度計。
- 前記中央部分は、各ほぼ直線セクションの長さの85%未満を形成している請求項10又は11の加速度計。
- 前記プルーフマスは、第1のプルーフマス要素と、第2のプルーフマス要素とを有し、
前記第1のプルーフマス要素と前記第2のプルーフマス要素とは、接続部材によって緊密に互いに接続され、
前記固定容量フィンガは、前記第1のプルーフマス要素と前記第2のプルーフマス要素との間に位置されている請求項1ないし13のいずれか1の加速度計。 - 感知方向への前記プルーフマスの移動を制限するためのバンプストップ手段をさらに具備する請求項1ないし14のいずれか1の加速度計。
- 各バンプストップ手段は、1対のバンプストップを有する請求項15の加速度計。
- 前記1対のバンプストップは、前記支持体に設けられている請求項16の加速度計。
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