JP6123135B2 - 厚み検査方法および厚み検査装置 - Google Patents
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Description
本実施形態の厚み検査装置10を図1に基づいて説明する。
図15に示す本実施形態の厚み検査装置10は、図1の実施形態1のライン状の光を被検査物TOに投光する投光装置11の代わりに、スポット状のレーザ光を投光する複数の投光装置11を備えた点が主として相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同一の符号を付して適宜に説明を省略している。
図16に示す本実施形態の厚み検査装置10は、図1の実施形態1のライン状の光を被検査物TOに投光する投光装置11の代わりに、スポット状のレーザ光を投光する投光装置11を備えた変位センサ1の位置を変更させる位置変更装置3を備えた点が主として相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同一の符号を付して適宜に説明を省略している。
本実施形態の厚み検査装置10は、図1の実施形態1のライン状の光を被検査物TOに投光する投光装置11の代わりに、スポット状のレーザ光を被検査物TOに投光する投光装置11を備えた点が主として相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同一の符号を付して適宜に説明を省略している。
1(1a,1b) 変位センサ
2 検査部
3 位置変更装置
10 厚み検査装置
10a 一表面
10b 他表面
11 投光装置
12 距離センサ
21 演算処理部
22 判別部
Claims (5)
- 被検査物を介して配置する一対の変位センサのうち、一方の変位センサが測定する前記被検査物の一表面における所定の位置から予め設定した基準点までの距離を表す複数の第1の変位データと、他方の変位センサが測定する前記被検査物の前記一表面における所定の位置と反対の他表面の位置から前記基準点までの距離を表す複数の第2の変位データとの差分に基づいて前記被検査物の厚みを検査する厚み検査方法であって、
前記第1の変位データと前記第2の変位データとの差分が予め設定した所定範囲内にある複数個の前記第2の変位データを選択し、
該選択した複数個の前記第2の変位データの近似曲線から算出する近似変位データと該近似変位データの前記他表面の位置に対応する前記第1の変位データとの差分である前記被検査物の補正厚みデータを取得し、
前記被検査物の補正厚みデータから前記被検査物の厚みの変化が前記一表面側の凹凸に起因するか否かを判別することを特徴とする厚み検査方法。 - 被検査物を介して配置する一対の変位センサと、該一対の変位センサのうち一方の変位センサが測定した前記被検査物の一表面における所定の位置から予め設定した基準点までの距離を表す複数の第1の変位データと前記一対の変位センサのうち他方の変位センサが測定した前記被検査物の前記一表面における前記所定の位置と反対の他表面の位置から前記基準点までの距離を表す複数の第2の変位データとの差分に基づいて前記被検査物の厚みを検査する検査部とを備えた厚み検査装置であって、
前記検査部は、前記被検査物の厚みが予め設定した所定範囲内にある複数個の前記第2の変位データを選択し該選択した複数個の前記第2の変位データの近似曲線から前記第2の変位データに近似する近似変位データを算出する演算処理部と、前記近似変位データと該近似変位データの前記他表面の位置に対応する前記第1の変位データとの差分である前記被検査物の補正厚みから前記被検査物の厚みの変化が前記一表面側の凹凸に起因するか否かを判別する判別部とを有することを特徴とする厚み検査装置。 - 前記一対の変位センサの少なくとも一方は、ライン状の光を前記被検査物に投光する投光装置と、前記被検査物におけるライン状の光が投光された所定の位置から前記基準点までの距離を測定する距離センサとを備えたことを特徴とする請求項2に記載の厚み検査装置。
- 前記一対の変位センサの少なくとも一方は、スポット状のレーザ光を前記被検査物に投光する投光装置と、前記被検査物におけるスポット状のレーザ光が投光された所定の位置から前記基準点までの距離を測定する距離センサとの組を複数個備えていることを特徴とする請求項2に記載の厚み検査装置。
- 前記被検査物と前記一対の変位センサの少なくとも一方との相対的な位置を変更させる位置変更装置を備えており、前記位置変更装置により前記被検査物との相対的な位置が変更する前記変位センサは、スポット状のレーザ光を前記被検査物に投光する投光装置と、前記被検査物におけるスポット状のレーザ光が投光された所定の位置から前記基準点までの距離を測定する距離センサとを備えていることを特徴とする請求項2に記載の厚み検査装置。
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