JP6102577B2 - 腐食性液体の加熱装置 - Google Patents
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Description
図3〜6に示すような加熱装置を作製して流体を加熱する実験を行った。具体的には、縦150mm×横50mm×厚み10mmの矩形平板状のSi10SiC90製のセラミックプレートを2枚準備した。これら2枚のセラミックプレートのうちの一方の片面略中央部に、後述する加熱用発熱体の収納用の縦100mm×横30mm×深さ1.05mmの凹部を設け、更にその凹部の周りを取り囲むように、後述する気密部材の嵌装用の幅2.4mm×深さ1.8mmの溝を形成した。この溝は、内側の寸法を縦105mm×横35mmにした。2枚のセラミックプレートのうちの他方には、加熱用発熱体の給電用ケーブルを通すための貫通孔を設けた。
図8に示すような補助断熱部材を備えた加熱装置を作製して流体を加熱する実験を行った。ヒータユニット1および加熱部材2には実施例1と同じものを使用した。加熱部材2の周りに設ける補助断熱部材3としては、内寸縦185mm×横80mm×高さ50mm×厚み2mmのPTFE製の中空の直方体形状の箱状体を用意し、更にPTFE製の直径5mm×長さ10mmの円筒状の支持部材32を24個用意した。これら支持部材32を実施例1で用いた加熱装置の断熱部材2の外壁6面に略均等に4個ずつ配置し、断熱部材2と補助断熱部材3との間に10mm離間する空隙を形成した。このようにして、補助断熱部材3を備えた加熱装置を完成させた。
2 断熱部材
3 補助断熱部材
11 加熱用発熱体
12、13 セラミックプレート
14 気密部材
15 凹部
16 溝
21 液体流入口
22 液体流出口
23 流路
24 入口側空間
25 出口側空間
31 空隙
32 支持部材
Claims (3)
- 腐食性の液体を加熱する加熱装置であって、ヒータユニットと前記ヒータユニットを囲み且つ前記液体の入口と出口とを備えた断熱部材とを有し、前記ヒータユニットはSiCまたはSiCを含む複合材料からなるセラミック体とその内部に気密に設けられた加熱用発熱体とを有し、前記入口及び前記出口に連通し且つ前記ヒータユニットの周りを少なくとも1回螺旋状に旋回した流路が設けられている加熱装置。
- 前記断熱部材においてセラミック体に接触する側に前記流路の溝が形成されている、請求項1に記載の加熱装置。
- 前記断熱部材の周りに補助断熱部材が設けられており、これら断熱部材と補助断熱部材との間に空隙が設けられている、請求項1又は請求項2に記載の加熱装置。
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