JP6091805B2 - 再生基板の製造方法 - Google Patents
再生基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6091805B2 JP6091805B2 JP2012187014A JP2012187014A JP6091805B2 JP 6091805 B2 JP6091805 B2 JP 6091805B2 JP 2012187014 A JP2012187014 A JP 2012187014A JP 2012187014 A JP2012187014 A JP 2012187014A JP 6091805 B2 JP6091805 B2 JP 6091805B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- layer
- manufacturing
- percent
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 265
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 65
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 149
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 103
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 79
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 61
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 61
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 56
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 18
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 14
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 13
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 10
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 9
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 9
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 85
- 239000010408 film Substances 0.000 description 61
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 42
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 7
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007848 Bronsted acid Substances 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003287 bathing Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000003788 bath preparation Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- XEMZLVDIUVCKGL-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;sulfuric acid Chemical compound OO.OS(O)(=O)=O XEMZLVDIUVCKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Led Devices (AREA)
Description
図1は、本発明の実施形態1における再生基板の製造方法を説明するための工程流れ図である。図2は、図1のAlN膜付きPSS基板の概略単位構成を模式的に示す縦断面図である。
上記実施形態1では、不良判定された窒化物層としてAlN膜を第1の洗浄工程および第2の洗浄工程で取り除いた後に新たにAlN膜を成膜する場合について説明したが、本実施形態2では、不良判定された窒化物層が、AlN膜およびこの上に形成された窒化物半導体層(GaN層)の2層構造であって、第1の洗浄工程および第2の洗浄工程の前に、窒化物半導体層(GaN層)を除去する窒化物半導体層除去工程を更に有する場合について説明する。
2 サファイア基板
3 バッファ層(窒化物層;AlN層)
4 ノンドープGaN層(窒化物層;窒化物半導体層)
5 n型コンタクト層
6 多重層
7 多重量子井戸構造の発光層
8 電子ブロック層
9 p型コンタクト層
10 透光性薄膜電極
11 p電極
12 n電極
13 保護膜
21 AlN膜付きPSS基板(積層半導体基板;積層半導体ウエハ)
22 AlN膜およびGaN層付きPSS基板(積層半導体基板;積層半導体ウエハ)
Claims (19)
- 不良判定された窒化物層がサファイア基板上に形成された積層半導体基板から該窒化物層を取り除き、新たに窒化物層をサファイア基板上に形成して該積層半導体基板を再生する再生基板の製造方法において、
該積層半導体基板に対して過酸化水素水による洗浄処理を行う第1の洗浄工程と、該第1の洗浄工程後の該積層半導体基板に対して硫酸および過酸化水素水の混合液による洗浄処理を行う第2の洗浄工程とを有する再生基板の製造方法。 - 前記窒化物層はAlN膜である請求項1に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程において、前記混合液の液温が摂氏130度〜摂氏170度で前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項2に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程の前記混合液中への前記積層半導体基板の浸漬時間を1分以上20分以下とする請求項3に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程において、前記硫酸の濃度が60Wtパーセント〜90Wtパーセントで前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項4に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程において、前記過酸化水素水の濃度が2.5Wtパーセント〜4Wtパーセントで前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項5に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第1の洗浄工程において、摂氏20度±摂氏10度の常温で前記過酸化水素水の濃度が25Wtパーセント〜35Wtパーセントで前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項2に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第1の洗浄工程において、前記過酸化水素水の濃度が25Wtパーセント〜35Wtパーセントで前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項7に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程において、前記混合液の液温が摂氏130度〜摂氏160度で前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項3に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程の前記混合液中への前記積層半導体基板の浸漬時間を1分以上5分以下とする請求項4に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程において、前記硫酸の濃度が79Wtパーセント〜81Wtパーセントで前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項5に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程において、前記過酸化水素水の濃度が3.1Wtパーセント〜3.5Wtパーセントで前記積層半導体基板を洗浄処理する請求項6に記載の再生基板の製造方法。
- 前記窒化物層が、AlN膜およびこの上に形成された窒化物半導体層の2層構造であり、前記第1の洗浄工程の前に、該窒化物半導体層を除去する窒化物半導体層除去工程を更に有する請求項1に記載の再生基板の製造方法。
- 前記窒化物半導体層の除去は、塩素雰囲気中、水素雰囲気中または真空中で加熱して行う請求項13に記載の再生基板の製造方法。
- 前記AlN膜は、その膜厚が15nm〜50nmである請求項2に記載の再生基板の製造方法。
- 前記サファイア基板は、その表面に凹凸加工が施されている請求項1に記載の再生基板の製造方法。
- 前記第2の洗浄工程後、前記サファイア基板を洗浄した後に乾燥処理する乾燥工程と、該乾燥工程後の前記サファイア基板上に前記窒化物層を新たに成膜する窒化物層成膜工程とを更に有する請求項1または12に記載の再生基板の製造方法。
- 前記窒化物層成膜工程は、前記サファイア基板上にAlN層を新たに成膜するAlN膜成膜工程を更に有する請求項17に記載の再生基板の製造方法。
- 前記窒化物層成膜工程は、前記サファイア基板上にAlN膜を新たに成膜するAlN膜成膜工程と、該AlN膜上に前記窒化物半導体層を新たに成膜する窒化物半導体層成膜工程とを更に有する請求項17に記載の再生基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012187014A JP6091805B2 (ja) | 2012-08-27 | 2012-08-27 | 再生基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012187014A JP6091805B2 (ja) | 2012-08-27 | 2012-08-27 | 再生基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014045097A JP2014045097A (ja) | 2014-03-13 |
JP6091805B2 true JP6091805B2 (ja) | 2017-03-08 |
Family
ID=50396159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012187014A Expired - Fee Related JP6091805B2 (ja) | 2012-08-27 | 2012-08-27 | 再生基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6091805B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104716241B (zh) * | 2015-03-16 | 2018-10-16 | 映瑞光电科技(上海)有限公司 | 一种led结构及其制作方法 |
JP6772820B2 (ja) | 2016-12-22 | 2020-10-21 | 日亜化学工業株式会社 | 再生基板の製造方法及び発光素子の製造方法 |
CN110246942A (zh) * | 2019-06-14 | 2019-09-17 | 佛山市国星半导体技术有限公司 | 一种高晶体质量的外延结构 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002314123A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-25 | Sony Corp | 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法 |
DE602004020181D1 (de) * | 2003-01-07 | 2009-05-07 | Soitec Silicon On Insulator | Recycling eines wafers mit einer mehrschichtstruktur nach dem abnehmen einer dünnen schicht |
JP2005064188A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 基板の回収方法および再生方法、ならびに半導体ウエハの製造方法 |
JP2011066355A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Showa Denko Kk | 再生基板の製造方法、再生基板、窒化物半導体素子及びランプ |
WO2015019539A1 (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-12 | シャープ株式会社 | 再生基板の製造方法 |
-
2012
- 2012-08-27 JP JP2012187014A patent/JP6091805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014045097A (ja) | 2014-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI521591B (zh) | A cleaning method of the substrate and a cleaning device for the substrate | |
US8198115B2 (en) | Solar cell, and method and apparatus for manufacturing the same | |
JP6091805B2 (ja) | 再生基板の製造方法 | |
JP2007531304A5 (ja) | ||
JP2009111354A5 (ja) | ||
TW201824410A (zh) | 半導體材料之表面的鈍化方法以及半導體基板 | |
JP2006207012A (ja) | イットリウム系セラミックス被覆材およびその製造方法 | |
CN102394222B (zh) | 防止晶圆表面形成固体颗粒的方法 | |
TWI655327B (zh) | 製造部分獨立式二維晶體薄膜之方法及包括該薄膜之裝置 | |
TWI734359B (zh) | 用於製作光電半導體晶片的方法及其所使用的鍵合晶圓 | |
TWI470702B (zh) | 基板處理裝置及用於基板處理裝置中之反應管的表面之塗佈膜之形成方法 | |
JP5940375B2 (ja) | 気相成長装置および窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP2006199545A (ja) | イットリウム系セラミックス被覆材およびその製造方法 | |
JP5819614B2 (ja) | Soiウェーハの製造方法 | |
JP2010140947A (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
JP2009267019A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR101326106B1 (ko) | 박막증착장비의 세정 주기 연장 방법 | |
JP2006148046A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
US20070082494A1 (en) | Method for forming silicide layer | |
JP2003151987A (ja) | 半導体基板、及び、半導体基板の製造方法 | |
JP2009099581A (ja) | エッチング装置、無欠陥層基板の製造方法 | |
JPH10144580A (ja) | 半導体熱処理用ダミーウエハ及びその再生方法 | |
TWI841976B (zh) | 用於uv led結構的方法及系統 | |
JP4139205B2 (ja) | 有機el素子製造装置の洗浄方法および有機el素子の製造方法 | |
WO2012129818A1 (zh) | 半导体制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150701 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20151005 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20151015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6091805 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |