JP6089493B2 - 濃度測定装置及び濃度測定方法 - Google Patents
濃度測定装置及び濃度測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6089493B2 JP6089493B2 JP2012181594A JP2012181594A JP6089493B2 JP 6089493 B2 JP6089493 B2 JP 6089493B2 JP 2012181594 A JP2012181594 A JP 2012181594A JP 2012181594 A JP2012181594 A JP 2012181594A JP 6089493 B2 JP6089493 B2 JP 6089493B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- probe
- measurement object
- probe light
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
前記第2の態様において、前記濃度算出部は、前記一方及び他方のプローブ光並びに前記一方及び他方の参照光の前記各検出信号を時間分解しながら受信してもよい。前記プローブ光発生部は、前記波長変換を行う光学素子として、第2種の位相整合が得られる非線形光学結晶を有してもよく、前記第1及び第2の光分離部は偏光ビームスプリッタであってもよい。前記第1及び第2の光分離部は、前記プローブ光及び前記参照光の各波長間にカットオフ波長をもつダイクロイックミラーであってもよい。
図1は、本発明の第1実施形態に係る濃度測定装置の構成図である。図2は、本実施形態に係るプローブ光発生部の構成図である。図3は、本実施形態に係るプローブ光及び参照光の各波長と、測定対象物の吸収線の波長との関係を示す模式図である。図4は、本実施形態に係る濃度測定方法によって得られる測定結果の一例である。
以下、本発明の第2実施形態を図5に基づいて詳細に説明する。なお、図5において、図1乃至図4と共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図5は、第2実施形態に係る濃度測定装置の構成図である。
Claims (10)
- 励起光としてのレーザ光を発生するレーザ光源と、
光パラメトリック発振によって前記励起光から、測定対象物に対するオン波長のプローブ光及びオフ波長の参照光を同時に発生するプローブ光発生部と、
前記プローブ光発生部から出射した前記プローブ光を一方及び他方のプローブ光に分岐させると共に前記参照光を一方及び他方の参照光に分岐させるビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタによって分岐した前記一方のプローブ光及び前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した前記他方のプローブ光と、前記ビームスプリッタによって分岐した前記一方の参照光及び前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した前記他方の参照光とをそれぞれ別の光路に分離する光分離部と、
前記光分離部によって分離された前記一方及び他方のプローブ光を検出する第1の光検出器と、
前記光分離部によって分離された前記一方及び他方の参照光を検出する第2の光検出器と、
前記第1及び第2の各光検出器によって検出された前記一方及び他方のプローブ光並びに前記一方及び他方の参照光の各検出信号に基づきプローブ光及び参照光の各透過率を算出し、前記各透過率から前記測定対象物の濃度を算出する濃度算出部と
を備えることを特徴とする濃度測定装置。 - 前記濃度算出部は、前記一方及び他方のプローブ光並びに前記一方及び他方の参照光の前記各検出信号を時間分解しながら受信することを特徴とする請求項1に記載の濃度測定装置。
- 前記プローブ光発生部は、前記波長変換を行う光学素子として、第2種の位相整合が得られる非線形光学結晶を有し、
前記光分離部は偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項1または2に記載の濃度測定装置。 - 前記光分離部は、前記プローブ光及び前記参照光の各波長間にカットオフ波長をもつダイクロイックミラーであることを特徴とする請求項1または2に記載の濃度測定装置。
- 励起光としてのレーザ光を発生するレーザ光源と、
光パラメトリック発振によって前記励起光から、測定対象物に対するオン波長のプローブ光及びオフ波長の参照光を同時に発生するプローブ光発生部と、
前記プローブ光発生部から出射した前記プローブ光を一方及び他方のプローブ光に分岐させると共に前記参照光を一方及び他方の参照光に分岐させるビームスプリッタと、
前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した、前記一方のプローブ光及び前記一方の参照光をそれぞれ別の光路に分離する第1の光分離部と、
前記ビームスプリッタによって分岐した、前記他方のプローブ光及び前記他方の参照光をそれぞれ別の光路に分離する第2の光分離部と、
前記第1の光分離部によって分離された前記一方のプローブ光を検出する第1の光検出器と、
前記第1の光分離部によって分離された前記一方の参照光を検出する第2の光検出器と、
前記第2の光分離部によって分離された前記他方のプローブ光を検出する第3の光検出器と、
前記第2の光分離部によって分離された前記他方の参照光を検出する第4の光検出器と、
前記第1から前記第4の各光検出器によって検出された前記一方及び他方のプローブ光並びに前記一方及び他方の参照光の各検出信号に基づきプローブ光及び参照光の各透過率を算出し、前記各透過率から前記測定対象物の濃度を算出する濃度算出部と
を備えることを特徴とする濃度測定装置。 - 前記濃度算出部は、前記一方及び他方のプローブ光並びに前記一方及び他方の参照光の前記各検出信号を時間分解しながら受信することを特徴とする請求項5に記載の濃度測定装置。
- 前記プローブ光発生部は、前記波長変換を行う光学素子として、第2種の位相整合が得られる非線形光学結晶を有し、
前記第1及び第2の光分離部は偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項5または6に記載の濃度測定装置。 - 前記第1及び第2の光分離部は、前記プローブ光及び前記参照光の各波長間にカットオフ波長をもつダイクロイックミラーであることを特徴とする請求項5または6に記載の濃度測定装置。
- 励起光としてのレーザ光を発生し、
光パラメトリック発振によって前記励起光から、測定対象物に対するオン波長のプローブ光及びオフ波長の参照光を同時に発生し、
前記プローブ光を一方及び他方のプローブ光に分岐し且つ前記参照光を一方及び他方の参照光に分岐し、
前記分岐後に前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した前記一方のプローブ光及び前記一方の参照光をそれぞれ別の光路に分離し、
前記一方及び他方のプローブ光を検出し、
前記一方及び他方の参照光を検出し、
検出された前記一方及び他方のプローブ光及び前記一方及び他方の参照光からプローブ光及び参照光の各透過率を算出し、
前記各透過率から前記測定対象物の濃度を算出する
ことを特徴とする濃度測定方法。 - 前記一方及び他方のプローブ光は時間分解しながら検出され、前記一方及び他方の参照光も時間分解しながら検出されることを特徴とする請求項9に記載の濃度測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012181594A JP6089493B2 (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 濃度測定装置及び濃度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012181594A JP6089493B2 (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 濃度測定装置及び濃度測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014038063A JP2014038063A (ja) | 2014-02-27 |
JP6089493B2 true JP6089493B2 (ja) | 2017-03-08 |
Family
ID=50286311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012181594A Active JP6089493B2 (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 濃度測定装置及び濃度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6089493B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101873910B1 (ko) * | 2018-01-30 | 2018-07-04 | 한국건설기술연구원 | 가스분포 측정용 레이저 산란장치를 갖는 무인비행체 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH055698A (ja) * | 1990-08-15 | 1993-01-14 | Hitachi Ltd | 光計測装置および光学的計測方法 |
JPH09146136A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 多波長同時発振レーザ光源及びそれを用いた菜果の成分計測装置 |
US7606274B2 (en) * | 2001-09-20 | 2009-10-20 | The Uab Research Foundation | Mid-IR instrument for analyzing a gaseous sample and method for using the same |
US6975402B2 (en) * | 2002-11-19 | 2005-12-13 | Sandia National Laboratories | Tunable light source for use in photoacoustic spectrometers |
JP2005077606A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | レーザ発振装置と大気汚染物質モニタリング装置 |
JP2008026190A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Univ Of Fukui | ガス検知装置 |
JP5388224B2 (ja) * | 2010-08-12 | 2014-01-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | コヒーレント光源 |
-
2012
- 2012-08-20 JP JP2012181594A patent/JP6089493B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014038063A (ja) | 2014-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4862164B2 (ja) | パルスレーザ光のタイミング調整装置、調整方法及び光学顕微鏡 | |
WO2014203654A1 (ja) | 距離測定装置、形状測定装置、加工システム、距離測定方法、形状測定方法および加工方法 | |
JP2013062484A (ja) | レーザ装置 | |
TW201213924A (en) | Displacement detecting device | |
US7609386B2 (en) | Optical characteristic measuring apparatus | |
CN108885360B (zh) | 脉冲光生成装置、光照射装置、光加工装置、光响应测定装置、显微镜装置及脉冲光生成方法 | |
JPH0545230A (ja) | 光パルス幅測定装置及びそれを用いた光パルス幅測定方法 | |
JP2013083581A (ja) | 計測装置 | |
JP5849231B2 (ja) | 表面形状測定装置及び方法 | |
JP6089493B2 (ja) | 濃度測定装置及び濃度測定方法 | |
US20160147016A1 (en) | Noise reduction device and detection apparatus including same | |
JP5600374B2 (ja) | テラヘルツ分光装置 | |
JP2020122904A (ja) | プラズマ分析システム | |
JP6144881B2 (ja) | 濃度測定装置及び濃度測定方法 | |
JPH09166414A (ja) | 光計測装置 | |
JP7110686B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
US10132681B2 (en) | Noise reduction apparatus and detection apparatus including the same | |
JP7000117B2 (ja) | ノイズ低減装置およびそれを有する検出装置 | |
JP5962327B2 (ja) | 濃度測定装置及び濃度測定方法 | |
JP2008209188A (ja) | 偏波モード分散測定装置 | |
JP6414257B2 (ja) | 濃度測定装置及び濃度測定方法 | |
CN107923798B (zh) | 自相关测量装置 | |
JP2006300661A (ja) | 干渉計,フーリエ分光装置 | |
JPH06137814A (ja) | 微小変位測定方法およびその装置 | |
JP2004325099A (ja) | レーザ光源及びこれを用いたレーザ分光分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150625 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170123 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6089493 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |