JP5962327B2 - 濃度測定装置及び濃度測定方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る濃度測定は、レーザ光による差分吸収法を利用する。即ち、測定対象物に対して、当該測定対象物に吸収されない波長のレーザ光と、当該測定対象物に吸収される波長のレーザ光を照射する。前者は所謂オフ波長のレーザ光、後者はオン波長のレーザ光である。説明の便宜上、以下、オフ波長のレーザ光およびオン波長のレーザ光を、それぞれ参照光およびプローブ光と称する。
図3は、本実施形態に係る濃度測定装置の構成図である。図4は、本実施形態に係るプローブ光発生部の構成図である。図5は、図4に示すプローブ光発生部の変形例である。図3に示すように、本実施形態の濃度測定装置は、レーザ光源22と、プローブ光発生部24と、光検出器26と、濃度算出部28とを備える。
Claims (4)
- 励起光としてのレーザ光を発生するレーザ光源と、
前記励起光の波長変換によって、測定対象物に対するオン波長のプローブ光及びオフ波長の参照光を発生するプローブ光発生部と、
前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した、前記プローブ光及び前記参照光を検出する光検出器と、
前記光検出器によって検出された前記プローブ光及び前記参照光の各透過率から前記測定対象物の濃度を算出する濃度算出部と
を備え、
前記プローブ光は、前記測定対象物において隣接した2本の吸収線の波長差以上の線幅を有する
ことを特徴とする濃度測定装置。 - 前記プローブ光発生部は、前記波長変換を行う光学素子として、前記線幅の前記プローブ光を発生する長さをもつ非線形光学結晶を有することを特徴とする請求項1に記載の濃度測定装置。
- 前記プローブ光発生部は、前記波長変換を行う光学素子として、前記線幅の前記プローブ光を発生する組成からなるレーザ結晶を有することを特徴とする請求項1に記載の濃度測定装置。
- 励起光としてのレーザ光を発生し、
光学素子を用いた前記励起光の波長変換によって、測定対象物に対するオン波長のプローブ光及びオフ波長の参照光を発生し、
前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した、前記プローブ光及び前記参照光を検出し、
検出された前記プローブ光及び前記参照光の各強度減衰量から前記測定対象物の濃度を算出する濃度測定方法であって、
前記プローブ光は、前記測定対象物における相互に隣接した2本の吸収線の波長差以上の線幅を有する
ことを特徴とする濃度測定方法。
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