JP6085250B2 - 半導体ウェハーエッジ検査のための座標融合および厚さ較正 - Google Patents
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- ウェハーを回転可能に支持するように構成された支持体と、
ウェハーのエッジ上の第1の領域、前記ウェハーの前記エッジの近傍にある前記ウェハーの第1の側面上の第2の領域、および前記ウェハーの前記エッジの近傍にある前記ウェハーの第2の側面上の第3の領域を前記エッジ周りに回転しながらスキャンすることにより画像を生成するための撮像装置であって、前記画像が第1の参照座標を含む、撮像装置と、
少なくとも名目上照準を合わせた光を前記ウェハーの前記第1の側面および前記ウェハーの前記第2の側面と少なくとも実質的に平行な方向に投影することにより、プロファイルを生成するためのプロファイラであって、前記少なくとも名目上照準を合わせた光が、前記ウェハーの前記エッジを通り越して投影され、前記プロファイルが第2の参照座標を含む、プロファイラと、
前記第1の参照座標が前記第2の参照座標にマッピングできるようにするため、前記撮像装置および前記プロファイラの両方によって認識可能な前記ウェハーの前記エッジの少なくとも1つの構造的特徴の位置を見つけ、さらに、前記マッピング後に前記撮像装置のスキャン時の回転軸と前記プロファイル上に設けられた設計上の回転軸との誤差を求めるための制御プログラミングと
を含むシステム。 - 前記撮像装置によって生成された前記画像が第1の座標系を含み、前記プロファイラによって生成された前記プロファイルが第2の座標系を含み、かつ、前記第1の座標系および前記第2の座標系が照準規正される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ウェハーの前記エッジが、複数の切子面、矩形エッジ、ノッチ、または平面のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記ウェハーが、回転の外見上の偏心軸を提供するために、オフセットウェハー中心軸を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記プロファイラが、回転の外見上の偏心軸を提供するために、前記ウェハーに関して平行移動するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記ウェハーの前記エッジが、前記撮像装置および前記プロファイラの両方によって視認可能な3次元の目標を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記撮像装置および前記プロファイラの両方の視野内に拡がる、非ウェハーベースの目標をさらに含み、前記制御プログラミングが非ウェハーベースの目標を見つけるために構成され、前記非ウェハーベースの目標に対して前記撮像装置および前記プロファイラによって生成された追加の参照座標が、互いにマッピングできる、請求項1に記載のシステム。
- ウェハーを回転可能に支持することと、
前記ウェハーのエッジ上の第1の領域、前記ウェハーの前記エッジの近傍にある前記ウェハーの第1の側面上の第2の領域、および前記ウェハーの前記エッジの近傍にある前記ウェハーの第2の側面上の第3の領域を前記エッジ周りに回転しながらスキャンすることにより前記ウェハーの画像を生成することであって、前記画像が第1の参照座標を含む、画像を生成することと、
少なくとも名目上照準を合わせた光を、前記ウェハーの前記第1の側面および前記ウェハーの前記第2の側面と少なくとも実質的に平行な方向に投影することにより、前記ウェハーのプロファイルを生成することであって、前記少なくとも名目上照準を合わせた光が、前記ウェハーの前記エッジを通り越して投影され、前記プロファイルが、第2の参照座標を含む、プロファイルを生成することと、
前記ウェハーの前記エッジの少なくとも1つの構造的特徴を、前記画像および前記プロファイルの両方上で見つけることと、
前記ウェハーの前記エッジの前記少なくとも1つの構造的特徴を利用して、前記第1の参照座標を前記第2の参照座標にマッピングすることと、
前記マッピング後に、前記ウェハーの画像生成のためのスキャン時の回転軸と前記プロファイル上に設けられた設計上の回転軸との誤差を求めることと、
を含む方法。 - 前記画像の第1の座標系および前記プロファイルの第2の座標系を照準規正することをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記ウェハーの前記エッジが、複数の切子面、矩形エッジ、ノッチ、または平面のうちの少なくとも1つを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記ウェハーが、回転の外見上の偏心軸を提供するために、オフセットウェハー中心軸を含む、請求項8に記載の方法。
- 回転の外見上の偏心軸を提供するために、前記プロファイルを生成するプロファイラを前記ウェハーに関して平行移動させることをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記ウェハーの前記エッジが、前記画像を生成する撮像装置および前記プロファイルを生成するプロファイラの両方によって視認可能な3次元の目標を含む、請求項8に記載の方法。
- 非ウェハーベースの目標を前記画像を生成する撮像装置および前記プロファイルを生成するプロファイラの両方の視野内に設けることと、
追加の参照座標を生成するために、前記非ウェハーベースの目標を前記画像および前記プロファイルの両方上で見つけることと、
前記撮像装置および前記プロファイラによって生成された追加の参照座標を、互いにマッピングすることと
をさらに含む、請求項8に記載の方法。 - 不連続エッジを有するウェハーと、
前記ウェハーのエッジ上の第1の領域、前記ウェハーの前記エッジの近傍にある前記ウェハーの第1の側面上の第2の領域、および前記ウェハーの前記エッジの近傍にある前記ウェハーの第2の側面上の第3の領域を前記エッジ周りに回転しながらスキャンすることにより、前記ウェハーの画像を生成するための撮像装置であって、前記撮像装置によって生成された前記画像が第1の参照座標を含む、撮像装置と、
少なくとも名目上照準を合わせた光を前記ウェハーの前記第1の側面および前記ウェハーの前記第2の側面と少なくとも実質的に平行な方向に投影することにより、前記ウェハーのプロファイルを生成するためのプロファイラであって、前記少なくとも名目上照準を合わせた光が、前記ウェハーの前記エッジを通り越して投影され、前記プロファイラによって生成された前記プロファイルが第2の参照座標を含む、プロファイラと、
前記第1の参照座標が前記第2の参照座標にマッピングできるようにするため、前記撮像装置および前記プロファイラの両方によって認識可能な前記ウェハーの前記不連続エッジの少なくとも1つの構造的特徴の位置を見つけ、さらに、前記マッピング後に前記撮像装置のスキャン時の回転軸と前記プロファイル上に設けられた設計上の回転軸との誤差を求めるための制御プログラミングと
を含む装置。 - 前記第1の参照座標および前記第2の参照座標が照準規正される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ウェハーの前記エッジが、複数の切子面、矩形エッジ、ノッチ、または平面のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記ウェハーが、回転の外見上の偏心軸を提供するために、オフセットウェハー中心軸を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記プロファイラが、回転の外見上の偏心軸を提供するために、前記ウェハーに関して平行移動するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記ウェハーの前記エッジが、前記撮像装置および前記プロファイラの両方によって視認可能な3次元の目標を含む、請求項1に記載のシステム。
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