JP6078327B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
<不揮発性メモリセルの構造>
実施の形態1による不揮発性メモリセル(単位データを記憶する一つのメモリセル)の構造を図1〜図3を用いて説明する。図1は不揮発性メモリセルの要部平面図である。図2は図1のA−A線に沿った要部断面図である。図3は図1のB−B線に沿った要部断面図である。
次に、実施の形態1による不揮発性メモリの回路構成を図4を用いて説明する。図4は不揮発性メモリの要部回路図である。
次に、不揮発性メモリのメモリセルアレイについて図5を用いて説明する。図5は6ビット分の不揮発性メモリセルのメモリセルアレイを示す要部平面図である。
次に、実施の形態1による不揮発性メモリの書き込み動作、消去動作、および読み出し動作を図6〜図8を用いて説明する。図6は不揮発性メモリの書き込み動作を説明する回路図、図7は不揮発性メモリの消去動作を説明する回路図、図8は不揮発性メモリの読み出し動作を説明する回路図である。
次に、実施の形態1による不揮発性メモリセルの変形例について図9Aおよび図9Bを用いて説明する。図9A(a)および(b)はそれぞれ第1の変形例による不揮発性メモリセルの前述の図1の第1方向X(すなわちB−B線)に沿った要部断面図、および前述の図1の第2方向Yに沿った注入MOS容量の要部断面図である。図9Bは第2の変形例による不揮発性メモリセルの前述の図1の第2方向Yに沿った注入MOS容量の要部断面図である。
実施の形態2による不揮発性メモリセルの構造を図10および図11を用いて説明する。図10は不揮発性メモリセルの要部平面図である。図11は図10のC−C線に沿った要部断面図である。
実施の形態3による不揮発性メモリセルの構造を図12および図13を用いて説明する。図12は不揮発性メモリセルの要部平面図である。図13は図12のD−D線に沿った要部断面図である。
実施の形態4による不揮発性メモリセルの構造を図14および図15を用いて説明する。図14は不揮発性メモリセルの要部平面図である。図15は図14のE−E線に沿った要部断面図である。
実施の形態5による不揮発性メモリセルの構造を図16および図17を用いて説明する。図16は不揮発性メモリセルの要部平面図である。図17は図16のF−F線に沿った要部断面図である。
AR2 第2活性領域
AR3 第3活性領域
AR4 第4活性領域
AR5 第5活性領域
BL,BL0,BL1,BL2 ビット線
CA 電荷蓄積部
CN,CNs,CNd,CNsw,CNpt コンタクト
D ドレイン
EG ゲート電極
EL,EL0,EL1,EL2,EL3 消去線
FG,FG2 浮遊ゲート電極
IB 絶縁膜
IGc,IGp,IGq ゲート絶縁膜
IL 層間絶縁膜
MC 不揮発性メモリセル
MC1 第1メモリセル
MC2 第2メモリセル
MC3 第3メモリセル
Md ドレイン配線
ML メタルカバー層
Mnw ウェル配線
MNW 第3nウェル
Mpt 容量配線
MPW 素子用pウェル
Ms ソース配線
Msw ゲート配線
n3 n−型半導体領域
n4 n+型半導体領域
n5 n型導電型の半導体領域
NVM1,NVM1a,NVM1b 不揮発性メモリセル
NVM2,NVM3,NVM4,NVM5 不揮発性メモリセル
NW1 第1nウェル
NW2 第2nウェル
p1,p3 p−型半導体領域
p2,p4 p+型半導体領域
p5 p型導電型の半導体領域
PLG プラグ
PT,PTa,PTb,PT2 注入MOS容量
PW pウェル
QS 選択トランジスタ
RL,RL0,RL1,RL2,RL3 リード線
S ソース
SI シリサイド層
SL ソース線
SS シリコン基板
SW サイドウォール
TI 分離部
Vd ドレイン電圧
Vnw ウェル電圧
Vpt 注入電圧
Vs ソース電圧
Vsw ゲート電圧
WL,WL0,WL1 ワード線
Claims (13)
- 第1導電型の半導体基板に形成された第1不揮発性メモリセルおよび第2不揮発性メモリセルを備える半導体装置であって、
前記第1不揮発性メモリセルは、
(a)前記半導体基板の主面に形成された前記第1導電型とは異なる第2導電型の第1ウェルと、前記第1ウェルに形成された第1活性領域;
(b)第1方向に前記第1ウェルと離間し、前記半導体基板の主面に形成された前記第2導電型の第2ウェルと、前記第2ウェルに形成された第2活性領域;
(c)平面視において前記第1活性領域の一部と重なり、前記第1方向に沿って前記半導体基板上に形成された第1選択トランジスタの第1ゲート電極;
(d)前記第1方向と直交する第2方向に前記第1ゲート電極と離間し、平面視において前記第1活性領域の一部と前記第2活性領域の一部とに重なり、前記第1方向に沿って前記半導体基板上に形成された第1浮遊ゲート電極;
(e)前記第1ゲート電極と前記第1浮遊ゲート電極との間の前記第1ウェルに形成された前記第1導電型の第1半導体領域;
(f)前記第1ゲート電極を挟んで、前記第1半導体領域と反対側の前記第1ウェルに形成された前記第1導電型の第2半導体領域;
(g)前記第1浮遊ゲート電極を挟んで、前記第1半導体領域と反対側の前記第1ウェルに形成された前記第1導電型の第3半導体領域;
(h)前記第1浮遊ゲート電極の一方の側面側の前記第2ウェルに形成された前記第2導電型の第4半導体領域;
(i)前記第1浮遊ゲート電極の他方の側面側の前記第2ウェルに形成された前記第2導電型の第5半導体領域、を有し、
前記第2不揮発性メモリセルは、
(j)前記第1浮遊ゲート電極と反対側の前記第2方向に前記第1ゲート電極と離間し、平面視において前記第1活性領域の一部と重なり、前記第1方向に沿って前記半導体基板上に形成された第2選択トランジスタの第2ゲート電極;
(k)前記第1ゲート電極と反対側の前記第2方向に前記第2ゲート電極と離間し、平面視において前記第1活性領域の一部と前記第2活性領域の一部とに重なり、前記第1方向に沿って前記半導体基板上に形成された第2浮遊ゲート電極;
(l)前記第2ゲート電極と前記第2浮遊ゲート電極との間の前記第1ウェルに形成された前記第1導電型の第6半導体領域;
(m)前記第2ゲート電極を挟んで、前記第6半導体領域と反対側の前記第1ウェルに形成された前記第2半導体領域;
(n)前記第2浮遊ゲート電極を挟んで、前記第6半導体領域と反対側の前記第1ウェルに形成された前記第1導電型の第7半導体領域;
(o)前記第2浮遊ゲート電極の一方の側面側の前記第2ウェルに形成された前記第4半導体領域;
(p)前記第2浮遊ゲート電極の他方の側面側の前記第2ウェルに形成された前記第1導電型の第8半導体領域、を有し、
前記第1浮遊ゲート電極、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極、および前記第2浮遊ゲート電極が、順次前記第2方向に沿って配置されており、
前記第1不揮発性メモリセルおよび前記第2不揮発性メモリセルが、前記第2半導体領域および前記第4半導体領域を共有しており、
前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極、前記第1ウェル、前記第2半導体領域、前記第3半導体領域、前記第4半導体領域、および前記第7半導体領域は別個独立に電圧が印加される。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2活性領域上の前記第1浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅が、前記第1活性領域上の前記第1浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅よりも細く、前記第2活性領域上の前記第2浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅が、前記第1活性領域上の前記第2浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅よりも細い。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2ウェルを包含するように前記第2導電型の第3ウェルが前記半導体基板に形成されている。 - 請求項3記載の半導体装置において、
前記第1ウェルと前記第3ウェルとの間の前記半導体基板に前記第1導電型の第4ウェルが形成されており、前記第3ウェルと前記第4ウェルとの間の耐圧が、前記第1ウェルと前記第4ウェルとの間の耐圧と同じか、または前記第1ウェルと前記第4ウェルとの間の耐圧よりも高い。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1浮遊ゲート電極の表面および前記第2浮遊ゲート電極の表面にはシリサイド層が形成されておらず、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極、前記第2半導体領域、前記第3半導体領域、前記第4半導体領域、前記第6半導体領域、および前記第7半導体領域のそれぞれの表面にはシリサイド層が形成されている。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1浮遊ゲート電極上および前記第2浮遊ゲート電極上には、第1層目の配線と同一層の金属膜からなるメタルカバー層が層間絶縁膜を介して形成されている。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1浮遊ゲート電極の表面および前記第2浮遊ゲート電極の表面にはシリサイド層が形成されておらず、前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極、前記第2半導体領域、前記第3半導体領域、前記第4半導体領域、前記第6半導体領域、および前記第7半導体領域のそれぞれの表面にはシリサイド層が形成されており、
前記第1浮遊ゲート電極上および前記第2浮遊ゲート電極上には、第1層目の配線と同一層の金属膜からなるメタルカバー層が層間絶縁膜を介して形成されている。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2半導体領域、前記第3半導体領域、および前記第7半導体領域には、それぞれ第1層目の配線が電気的に接続されており、
前記第1ゲート電極、前記第2ゲート電極、および前記第4半導体領域には、それぞれ第2層目の配線が電気的に接続されている。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第2活性領域上の前記第1浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅が、前記第1活性領域上の前記第1浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅よりも細く、前記第2活性領域上の前記第2浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅が、前記第1活性領域上の前記第2浮遊ゲート電極の前記第2方向の幅よりも細く、
前記第2活性領域上の前記第1浮遊ゲート電極の細い部分は、第1選択メモリセル側に形成されており、前記第2活性領域上の前記第2浮遊ゲート電極の細い部分は、第2選択メモリセル側に形成されている。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1ゲート電極は、前記第1活性領域の一方の側の分離部上に延びて形成され、前記第1活性領域の前記一方の側の分離部上の前記第1ゲート電極に第1リード線が電気的に接続され、
前記第2ゲート電極は、前記第1活性領域の前記一方の側の分離部と反対の他方の側の分離部上に延びて形成され、前記第1活性領域の前記他方の側の分離部上の前記第2ゲート電極に第2リード線が電気的に接続され、
前記第1リード線と、前記第2リード線とは別個独立に電圧が印加される。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1不揮発性メモリセルおよび前記第2不揮発性メモリセルが共有する前記第2半導体領域にソース線が電気的に接続される。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1不揮発性メモリセルの前記第3半導体領域に第1ビット線が電気的に接続され、
前記第2不揮発性メモリセルの前記第7半導体領域に第2ビット線が電気的に接続され、
前記第1ビット線と、前記第2ビット線とは別個独立に電圧が印加される。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1方向に延在する第1ビット線、ソース線、および第2ビット線が、前記第2方向に順次配置され、
前記第2方向に延在する第1リード線、第2リード線、第1消去線、および第2消去線が、前記第1方向に順次配置され、
前記第1不揮発性メモリセルでは、前記第3半導体領域が前記第1ビット線に電気的に接続され、前記第2半導体領域が前記ソース線に電気的に接続され、前記第1ゲート電極が前記第2リード線に電気的に接続され、前記第4半導体領域が前記第1消去線に電気的に接続され、
前記第2不揮発性メモリセルでは、前記第7半導体領域が前記第2ビット線に電気的に接続され、前記第2半導体領域が前記ソース線に電気的に接続され、前記第2ゲート電極が前記第1リード線に電気的に接続され、前記第4半導体領域が前記第1消去線に電気的に接続されている。
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