JP6078237B2 - 溶剤回収装置及びその制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、溶剤回収装置及びその制御方法に関する。

リチウムイオン二次電池の電極製造工程では、非常に高価な有機溶剤であるＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）溶剤が大量に使用される。具体的には、微粉末状の活物質とバインダーを溶媒（正極はＮＭＰ、負極はＮＭＰ又は水）に分散したものを集電材に塗布し、溶媒を乾燥炉にて蒸発、除去することで電極を製造する際、乾燥炉からＮＭＰの蒸気を含む排気が放出される（非特許文献１を参照）。

従来、ＮＭＰ溶剤等の有機溶剤を含む被処理ガス（排気ガス）からＮＭＰを回収する各種の溶剤回収システムが知られている。例えば、ＮＭＰ溶剤蒸気を含む被処理ガスにスクラバーによって水を散布し、ＮＭＰ溶剤を散布水に溶解させることで水溶液としてＮＭＰ溶剤を分離回収する湿式方式（スクラバー方式）の溶剤回収システムが公知である。

また、冷却回収装置にて有機溶剤を含む被処理ガスを冷却することでＮＭＰ溶剤蒸気を凝縮させて分離回収するとともに、冷却によりＮＭＰ溶剤を凝縮分離した後の被処理ガスに残存するＮＭＰ溶剤蒸気を吸着濃縮装置を用いて浄化する乾式方式（冷却凝縮＋吸着濃縮方式）の溶剤回収システムも実用化されている（特許文献１を参照）。冷却回収装置としては、冷却水を流通させる冷却コイル等の冷却器を有するものがあり、冷却器によって被処理ガスを冷却することでＮＭＰ溶剤蒸気を凝縮させ、ＮＭＰ溶剤を分離回収することができる。

特開２０１１−１２５７６８号公報

新永秀臣、「６．リチウムイオン二次電池製造工程排気からのＮＭＰ回収装置」、冷凍２０１２年２月号、第８７巻、第１０１２号、ｐ３６−４２ 社団法人有機合成化学協会、コンパクト版溶剤ポケットブック、第１版、株式会社オーム社、平成９年１１月２０日、ｐ５９−６１

上述した乾式方式（冷却凝縮＋吸着濃縮方式）の溶剤回収システムにおいては、冷却回収装置にて被処理ガスから凝縮分離して回収した溶剤溶液の濃度と、溶剤を凝縮分離した後の被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度との双方を管理する必要がある。例えば、冷却回収装置において分離回収する溶剤溶液の純度を高めるべく、溶剤溶液の濃度を高いレベルに管理することが要求される。

一方、溶剤を凝縮分離した後の被処理ガスに残存する溶剤蒸気は、後段の吸着濃縮装置において吸着材に吸着され、被処理ガスから分離回収される。ここで、冷却回収装置から吸着濃縮装置に向けて送出される被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が高すぎると、吸着濃縮装置において溶剤を十分なレベルまで浄化することが難しくなる。そのため、吸着濃縮装置の能力を超えないように、冷却回収装置から送出される溶剤蒸気の濃度は、低いレベルに管理することが求められる。

ところで、ＮＭＰ溶剤等の水溶性溶剤は、水分が存在する状況、条件下において飽和蒸気圧が低下するという特性がある。従って、水溶性溶剤及び水分を含む排気ガス（混合ガス）は、溶剤純物質の飽和蒸気圧を上限として、排気ガスの湿度が高くなるに従って飽和蒸気圧が低下する。そのため、水溶性溶剤及び水分を含む排気ガス（混合ガス）は湿度が高くなるほど、凝縮し易くなる。従って、例えば、冷却回収装置において、冷却器（冷却コイル）の出口から排出される被処理ガスの温度をある一定の温度（例えば、１２℃）に制御する場合、冷却回収装置において分離回収される溶剤溶液の濃度と、冷却回収装置から送出される被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度とが、冷却回収装置に導入される被処理ガスの湿度に応じて変化することになる。その結果、冷却回収装置において分離回収される溶剤溶液の濃度、および／又は冷却回収装置から排出される被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が、所望のレベルから逸脱する虞がある。

本発明は、上記課題に鑑みてなされてものであって、その目的は、溶剤を含む被処理ガスを冷却することで溶剤蒸気を凝縮させて分離回収する冷却回収装置において、溶剤を凝縮分離した後の被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度と回収した溶剤凝縮液の濃度との双方を所望のレベルに調整するとともに被処理ガスの冷却に消費されるエネルギー量を低減するための技術を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用した。すなわち、本発明は、溶剤蒸気を含む被処理ガスから溶剤を回収する溶剤回収装置であって、冷却媒体が管内を流れる冷却コイルに前記被処理ガスを接触させて、該被処理ガスに含まれる溶剤蒸気を凝縮させる冷却器と、前記冷却器に導入される被処理ガスの露点温度に応じて、前記冷却器の出口における被処理ガスの温度である出口ガス温度を目標温度に調整する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が第１の基準濃度以下であって、かつ、前記冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度が第２の基準濃度以上となるように、前記出口ガス温度の目標温度を設定する。

冷却媒体は、例えば冷凍機などによって製造された冷熱を輸送する液体あるいは気体であり、例えば、水やブライン、冷媒ガス等を例示できる。

ここで、「ラウールの法則」によれば、混合溶液に含まれる各成分の飽和蒸気圧は、各々の純成分（純物質）の飽和蒸気圧に比べて低下する。従って、溶剤回収装置に導入される被処理ガスの露点温度が変化すれば、冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気と冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度も変化する。

本発明においては、出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度と、冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度の双方が所望のレベルに維持されるように、出口ガス温度の目標温度を冷却器に導入される被処理ガスの露点温度に応じて設定するようにした。これによれば、冷却器に導入される被処理ガスの露点温度に応じて目標温度が適正な値に設定され、冷却器において被処理ガスが必要以上（過剰）に冷却されることがないため、被処理ガスの冷却に消費されるエネルギー量を低減することができる。つまり、本発明によれば、被処理ガスの冷却に消費されるエネルギー量を低減しつつ、冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度と冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度の双方を所望のレベルに調整することができる。

また、溶剤回収装置は、溶剤蒸気が発生すると共に該溶剤蒸気を含む被処理ガスが排出される処理室に供給される前の給気、及び、前記処理室から排出された後であって前記冷却器に導入される前の被処理ガスのうち少なくとも何れか一方を除湿して露点温度を低下
させる除湿手段を更に備えていてもよい。そして、前記除湿手段は、前記冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が第１の基準濃度以下となる第１の条件と、前記冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度が第２の基準濃度以上となる第２の条件の双方を満足する前記出口ガス温度の目標温度が定まるように、前記処理室に供給される前の給気及び前記処理室から排出された後であって前記冷却器に導入される前の被処理ガスのうち少なくとも何れか一方を除湿してもよい。これによれば、外気の露点温度が高くなっても、上記第１の条件と第２の条件とを同時に満たすことの可能な出口ガス温度の目標温度を設定することができる。

また、本発明は、溶剤回収装置の制御方法の側面として捉えることができる。すなわち、本発明は、冷却媒体が管内を流れる冷却コイルに被処理ガスを接触させてその被処理ガスに含まれる溶剤蒸気を凝縮させる冷却器を備えた溶剤回収装置の制御方法であって、前記冷却器に導入される被処理ガスの露点温度に応じて、前記冷却器の出口における被処理ガスの温度である出口ガス温度を目標温度に調整する冷却温度調整ステップを有し、前記出口ガス温度の目標温度は、前記冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が第１の基準濃度以下であって、かつ、前記冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度が第２の基準濃度以上となるような温度に設定される。

なお、本発明における課題を解決するための手段は、可能な限り組み合わせることができる。

本発明によれば、溶剤を含む被処理ガスを冷却することで溶剤蒸気を凝縮させて分離回収する冷却回収装置において、溶剤を凝縮分離した後の被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度と回収した溶剤凝縮液の濃度との双方を所望のレベルに調整するとともに被処理ガスの冷却に消費されるエネルギー量を低減することができる。

第１実施形態に係る溶剤回収システムの概略構成図である。 入口露点温度ＴｄｉとＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅとの関係を例示する図である。 入口露点温度ＴｄｉとＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑとの関係を例示する図である。 ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅと出口ガス温度Ｔｈｇとの関係を入口ガス露点温度Ｔｄｉ毎に例示した図である。 ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑと出口ガス温度Ｔｈｇとの関係を入口ガス露点温度Ｔｄｉ毎に例示した図である。 冷却温度調整制御に係る入口ガス露点温度Ｔｄｉと出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔとの関係を例示する図である。 冷却温度調整制御に係る処理フローを示すフローチャートである。

以下、本発明に係る溶剤回収装置及びその制御方法に関する実施形態について、図面に基づいて例示的に詳しく説明する。なお、本実施の形態に記載されている構成要素の寸法、材質、形状、その相対配置等は、特に特定的な記載がない限りは、発明の技術的範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る溶剤回収システムの概略構成図である。溶剤回収システム１は、有機溶剤によって各種の化学処理を行う生産設備類から排出される排気ガスに含まれる溶剤を回収するシステムである。溶剤回収システム１は、図１に示すように、溶剤蒸
気を含む被処理ガスをコイルで冷却して溶剤を凝縮回収する溶剤回収装置２と、溶剤回収装置２を通過した被処理ガス中に残存する溶剤蒸気をゼオライトあるいは活性炭等の吸着材で吸着回収する吸着濃縮装置３とを備える。また、溶剤回収システム１は、ガスを送気する各種のファンや熱交換を行うコイルを備える。

本実施形態では、リチウムイオン電池工場で使用されるＮ−メチル−２−ピロリドン（以下、ＮＭＰという）の溶剤蒸気を含む排気ガス（被処理ガス）からＮＭＰ溶剤を回収する例を説明するが、その他の溶剤類であってもよい。リチウムイオン電池工場では電極製造時にＮＭＰ溶剤を使用する。具体的には、リチウムイオン電池の電極製造時において、アルミ箔や銅箔の集電材表面にＮＭＰ溶剤は塗布され、これを乾燥炉にてＮＭＰ溶剤を蒸発、除去することで電極が製造される。リチウムイオン電池の電極製造工程においては、このようにして乾燥炉４からＮＭＰ溶剤の蒸気を含む排気が排出される。溶剤回収システム１は、乾燥炉４に付帯して設置されており、溶剤回収装置２及び吸着濃縮装置３を備える。本実施形態においては乾燥炉４が処理室に対応する。

乾燥炉４には、雰囲気調整用の給気ガスとして外気ＯＡを含む供給空気（給気）Ａが、給気ファン１１により給気路１２を通じて供給される。一方、乾燥炉４からは、ＮＭＰ溶剤蒸気を含む高温の排気ガスＧが排出される。

溶剤回収装置２は、ケーシング２０内における排気ガスＧの通風経路に上流側から３基のコイル式熱交換器からなる熱回収器２１、冷却器２２、再熱器２３を配置したものである。熱回収器２１、冷却器２２、及び再熱器２３はコイル式の熱交換器である。

吸着濃縮装置３は、ケーシング３０と、このケーシング３０内に設けられると共に通気性の吸着剤層Ｘを有する吸着ロータ３１とを有する。吸着剤層Ｘには、ゼオライト等の吸着剤が担持されている。ケーシング３０の内部は、排気ガス通風ファン１３を介装した中継路１４を通じて溶剤回収装置２の出口から導かれる排気ガスＧ’を吸着ロータ３１の吸着剤層Ｘに通過させる吸着域部Ｒ１と、脱着用ガス供給路１５を通じて導かれる高温の脱着用ガスＨを吸着ロータ３１の吸着剤層Ｘに通過させる脱着域部Ｒ２とに区画されている。吸着ロータ３１を回転させることにより、吸着ロータ３１における各部の吸着剤層Ｘを吸着域部Ｒ１と脱着域部Ｒ２とに交互に位置（通過）させることができる。

吸着濃縮装置３の吸着域部Ｒ１は、溶剤回収装置２で処理した後の排気ガスＧ’に残存するＮＭＰ溶剤蒸気を排気ガスＧ’から分離回収するように機能する。吸着域部Ｒ１で残存溶剤蒸気を分離回収した後の排気ガスＧ”は処理済ガスとして吸着濃縮装置３から処理済ガス路１６へ送出される。浄化後の排気ガスＧ”の一部は、脱着用ファン１７及び脱着用ガス加熱器１８を介装した脱着用ガス供給路１５を通じ、高温に加熱された状態で脱着用ガスＨとして吸着濃縮装置３の脱着域部Ｒ２に供給される。

また、浄化後における排気ガスＧ”の他の一部は、混合路５１を通じて外気路５２からの取り入れ外気ＯＡと混合される。この混合空気は、給気Ａとして給気路１２を通じて給気ファン１１により乾燥炉４へと供給される。この給気路１２には、溶剤回収装置２に供給される排気ガスＧから回収した温熱を用いて給気ガスとしての給気Ａを予熱する給気予熱器５３及び除塵用のフィルタ５４が介装されている。なお、残りの排気ガスＧ”は、処理済ガス路１６を通じて屋外等の外部に排出される。また、外気路５２には、外気処理用の空気調和機である外調機６が設けられている。外調機６は、必要に応じて外気を除湿する。本実施形態においては外調機６が除湿手段に相当する。

ここで、熱回収器２１と再熱器２３と給気予熱器５３とは、温熱回収用熱媒循環路５５を介して相互に接続されている。温熱回収用熱媒循環路５５には、循環ポンプ５６が設け
られている。循環ポンプ５６が作動することにより、熱回収器２１と給気予熱器５３と再熱器２３との三者にわたってこれらの順に温熱回収用の熱媒Ｎａが温熱回収用熱媒循環路５５を通じて循環する。なお、熱回収機２１と再熱器２３と吸気予熱器５３とを温熱回収用熱媒循環路５５を介して接続し、共通の熱媒Ｎａを循環させる構成は例示的なものであり、種々の設計変更をすることができるのは言うまでもない。例えば、熱回収機２１の上流側に別途予熱コイルを設置して当該予熱コイルと再熱器２３との間で熱回収を行う構成や、冷却器２２と再熱器２３との間で熱回収を行う構成等を適宜採用することができる。

また、溶剤回収装置２における冷却器２２は、冷媒循環路５７を介して冷凍機５８に接続されている。冷媒循環路５７には、循環ポンプ５９が設けられている。循環ポンプ５９が作動することにより、排気ガスＧを冷却するために用いられる冷却水Ｎｂが、冷媒循環路５７を通じて冷凍機５８から冷却器２２に供給される。本実施形態において、冷凍機５８から供給される冷却水Ｎｂの温度は、例えば７℃に設定されている。

冷媒循環路５７には、この冷媒循環路５７を流れる冷却水の流量を調節する流量調節弁６０が設けられている。また、溶剤回収装置２は、制御器２４、露点温度計６１、温度計６２を備えている。制御器２４は、露点温度計６１及び温度計６２と電気配線（図示せず）を介して接続されており、露点温度計６１及び温度計６２の検出結果が制御器２４に入力される。露点温度計６１は、ケーシング２０内における熱回収器２１と冷却器２２との間に配置されている。露点温度計６１は、熱回収器２１の通過後であって冷却器２２に流入する前の排気ガスＧ、すなわち冷却器２２の入口における排気ガスＧの露点温度を検出する。なお、気体の露点温度は、相対湿度と温度から求めることができるので、露点温度計６１を設置する代わりに湿度計と温度計を設置し、これらの出力値に基づいて排気ガスＧの露点温度を取得してもよい。また、露点温度計６１は、必ずしもケーシング２０内における熱回収器２１と冷却器２２との間に配置されている必要はなく、他の箇所に配置した露点温度計６１の検出結果に基づいて冷却器２２の入口における排気ガスＧの露点温度を推定してもよい。例えば、露点温度計６１は吸気ファンよりも下流側の給気路１２に設置してもよいし、排ガス路６６に設置してもよい。給気路１２に露点温度計６１を設置する場合には、給気路１２を流れる流体に含まれるＮＭＰ溶剤の濃度が低く、また流体の温度も比較的低いため、流体の露点温度の測定精度を高めることができる。

温度計６２は、ケーシング２０内における冷却器２２と再熱器２３との間に配置されている。温度計６２は、冷却器２２の通過後であって再熱器２３に流入する前の排気ガスＧの温度、すなわち冷却器２２の出口における排気ガスＧの温度を検出する。制御器２４は、露点温度計６１及び温度計６２の検出結果に基づいて、冷却器２２の入口における排気ガスＧの露点温度、及び、冷却器２２の出口における排気ガスＧの温度を取得する。

更に、制御器２４は、流量調節弁６０と電気配線を介して接続されており、制御器２４から出力される制御信号に基づいて流量調節弁６０が制御される。このように制御器２４が流量調節弁６０を制御することにより、冷媒循環路５７を流通する冷却水の流量が調節される。その結果、冷却器２２における排気ガスＧの冷却温度が調整される。

更に、溶剤回収装置２には、排気ガスＧを冷却した際に、ＮＭＰ溶剤蒸気が凝縮することによって滴下するＮＭＰ溶剤の凝縮液（液溶剤）を受け止める受液パン６３が設けられている。この受液パン６３には、排液路６４を介して回収容器６５が接続されている。受液パン６３で受け止めたＮＭＰ溶剤液は排液路６４を通じて回収容器６５に回収される。

次に、溶剤回収システム１の運転動作について説明する。乾燥炉４から排出されるＮＭＰ溶剤蒸気を含む高温の排気ガスＧは、排ガス路６６を通じて溶剤回収装置２に供給される。溶剤回収装置２に供給された排気ガスＧは、熱回収器２１、冷却器２２のそれぞれに
おいて熱媒Ｎａ、冷却水Ｎｂとの間で熱交換を行い、段階的に冷却される。熱回収器２１において熱媒Ｎａが排気ガスＧから回収した温熱は給気予熱器５３へと供給され、給気Ａの予熱に利用される。熱回収器２１において冷却された排気ガスＧは、冷却器２２において更に低い温度まで冷却される。このような段階的な排気ガスＧの冷却過程を経て、排気ガスＧに含まれるＮＭＰ溶剤蒸気が凝縮することにより、ＮＭＰ溶剤の凝縮液が生成される。このようにして分離回収されたＮＭＰ溶剤の凝縮液は、回収容器６５に貯留される。

上記の如く、冷却器２２において冷却された後（すなわち、ＮＭＰ溶剤を凝縮分離した後）の排気ガスＧは、再熱器２３において熱媒Ｎａと熱交換を行う。この熱媒Ｎａは、もともと乾燥炉４の排気の熱を付与され、給気予熱器５３において外気、または外気と吸着濃縮装置３から送られてきた温排気の混合気と熱交換したものであり、冷却器２２において冷却された排気ガスＧに比べて温度が高い。そのため、再熱器２３において、排気ガスＧは加熱される。再熱器２３において加熱された後の排気ガスＧ’は、中継路１４を通じて吸着濃縮装置３の吸着域部Ｒ１に送気される。吸着濃縮装置３の吸着域部Ｒ１に導入された排気ガスＧ’は、吸着ロータ３１の吸着剤層Ｘを通過する。その際、排気ガスＧ’に残存するＮＭＰ溶剤蒸気が、吸着剤層Ｘに担持された吸着剤に吸着されることで、排気ガスＧ’からＮＭＰ溶剤蒸気が分離回収される。

次に、吸着ロータ３１を回転させることによって、吸着域部Ｒ１でＮＭＰ溶剤蒸気を吸着した吸着剤層Ｘを脱着域部Ｒ２に移動させる。その結果、ＮＭＰ溶剤蒸気を吸着している吸着剤層Ｘに対して、脱着用ガス加熱器１８によって加熱された高温の脱着用ガスＨが脱着用ガス供給路１５を通じて導かれ、吸着剤層Ｘを脱着用ガスＨが通過する。これにより、吸着剤層Ｘに吸着されているＮＭＰ溶剤蒸気を、脱着域部Ｒ２において排気ガスＧよりも流量が少ない脱着用ガスＨへと着脱移行させることができる。このようにして、吸着剤層Ｘから脱着したＮＭＰ溶剤蒸気を含む高濃度の濃縮ガスＨ’は、濃縮ガス移送路１９を通じて、乾燥炉４からの排気ガスＧとともに、溶剤回収装置２に供給される。これにより、濃縮ガスＨ’に含まれるＮＭＰ溶剤蒸気は、排気ガスＧに含まれるＮＭＰ溶剤蒸気とともに溶剤回収装置２において冷却され、凝縮して得られたＮＭＰ溶剤液が回収容器６５に回収される。

次に、溶剤回収装置２の制御器２４が行う排気ガスＧの冷却温度の設定内容について詳しく説明する。溶剤回収装置２の制御器２４は、例えば汎用のパーソナルコンピュータであって、プロセッサ、メモリ等を備える。メモリには、各種プログラムが記憶されており、これら各種プログラムが、ＣＰＵによって実行される。

溶剤回収装置２の制御器２４は、冷却器２２の入口における排気ガスＧの露点温度（湿度）に応じて、制御器２４において排気ガスＧを冷却する際の冷却温度を制御する冷却温度調整制御を行う。以下、冷却温度調整制御の詳細について説明する。冷却温度調整制御に際して、制御器２４は、冷却器２２の入口における排気ガスＧの露点温度（湿度）に応じて、流量調節弁６０の開度を制御する。その結果、上述のように冷媒循環路５７を流通する冷却水の流量が調節されることで、冷却器２２における排気ガスＧの冷却温度が調整される。

ところで、混合溶液の各成分の蒸気圧に関連して下記（１）式にて表される「ラウールの法則」が知られている。この「ラウール（Ｒａｏｕｌｔ）の法則」によれば、混合溶液の各成分ｉ（ｉ＝１，２・・・）の蒸気圧は、それぞれの純液体の蒸気圧と混合液中のモル分率の積で表すことができる（非特許文献２を参照）。
Ｐｉ＝Ｐｉ^*・Ｘｉ・・・（１）
ここで、Ｐｉは成分ｉの蒸気圧、Ｐｉ^*は成分ｉの純成分の蒸気圧、Ｘｉは溶液中のモ
ル分率である。

上記のように、混合溶液に含まれる各成分の飽和蒸気圧は、各々の純成分（純物質）の飽和蒸気圧に比べて低下することがラウールの法則として知られている。この気液平衡状態は、冷却器２２においてＮＭＰ溶剤蒸気を冷却し、凝縮させることでＮＭＰ溶剤を回収する冷却コイル（熱交換器）表面の濡れ面と気相の間にも成立する。そして、ＮＭＰ溶剤は水溶性の有機溶剤であり、乾燥炉４から排出されるＮＭＰ溶剤蒸気を含む排気ガスＧは幾分の湿分を含んでいる。以上のことより、ＮＭＰ溶剤蒸気と水蒸気を含む排気ガスＧの飽和蒸気圧は、ＮＭＰ溶剤の純物質の飽和蒸気圧よりも低くなるといえる。つまり、溶剤回収装置２の冷却器２２に流入する排気ガスＧの露点温度（湿度）が高いほど、排気ガスＧに含まれるＮＭＰ溶剤蒸気は冷却器２２において凝縮しやすくなる。なお、排気ガスＧの露点温度が高くなるということは排気ガスＧに含まれる水蒸気の量が増える。すなわち、この場合にはＮＭＰの濃度を同じとした場合に水蒸気のモル分率が上がり、ラウールの法則でいうと水蒸気は凝縮しにくくなるものの、排気ガスＧに含まれる水蒸気の量が多いことにより凝縮する水蒸気の量は増える。

図２は、冷却器２２の入口における排気ガスＧの露点温度（以下、「入口露点温度Ｔｄｉ」という）と、冷却器２２の出口における排気ガスＧに残存（残留）するＮＭＰ溶剤蒸気の濃度（以下、「ＮＭＰ蒸気濃度」という）Ｄｖｅとの関係を例示する図である。図２に示す入口露点温度ＴｄｉとＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅとの関係は、冷却器２２の出口における排気ガスＧの温度（以下、「出口ガス温度」という）Ｔｈｇが１２℃の場合のものを示したものである。排気ガスＧにおける入口露点温度Ｔｄｉが高くなるに従い、排気ガスＧに含まれるＮＭＰ溶剤蒸気及び水蒸気は冷却器２２において凝縮しやすくなる。そのため、排気ガスＧの入口露点温度ＴｄｉとＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅとの間には、入口露点温度Ｔｄｉが高いほどＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅが低くなるという関係が成り立つ。

一方、図３は、入口露点温度Ｔｄｉと、冷却器２２においてＮＭＰ溶剤蒸気が凝縮することで生成されるＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑとの関係を例示する図である。図３に示す入口露点温度ＴｄｉとＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑとの関係は、上述の出口ガス温度Ｔｈｇが１２℃の場合のものを示している。排気ガスＧにおける入口露点温度Ｔｄｉが高くなるに従い、排気ガスＧ中の水蒸気の量が多くなるので、冷却器２２において冷却された際にＮＭＰ溶剤蒸気とともに凝縮する水蒸気の凝縮量が増える。従って、排気ガスＧにおける入口露点温度ＴｄｉとＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑとの間には、入口露点温度Ｔｄｉが高くなるに伴ってＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑが高くなるという関係が成り立つ。

冷却温度調整制御においては、冷却器２２の出口におけるＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅと、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑの双方が共に所定の適正範囲に収まるように、冷却器２２における排気ガスＧの冷却温度が制御される。

ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅの適正範囲は、排気ガスＧ’に残存するＮＭＰ溶剤蒸気を分離回収する吸着濃縮装置３の能力、すなわち吸着濃縮装置３において処理可能なＮＭＰ溶剤蒸気の濃度に応じて設定される。例えば、吸着濃縮装置３から処理済ガス路１６へ送出される排気ガスＧ”に含まれるＮＭＰ溶剤蒸気に許容される濃度の上限値が２０ｐｐｍであり、排気ガスＧ”に含まれるＮＭＰ溶剤蒸気の濃度を２０ｐｐｍ以下に維持するためには、吸着濃縮装置３に流入する排気ガスＧ’のＮＭＰ蒸気濃度を１５０ｐｐｍ以下にする必要があると仮定する。この場合、冷却器２２の出口におけるＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅに設定される許容上限濃度Ｄｖｓは、吸着濃縮装置３の処理能力を超えないように１５０ｐｐｍ以下の濃度として設定される。本実施形態においては許容上限濃度Ｄｖｓが、第１の基準濃度に対応している。

次に、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑの適正範囲について説明する。溶剤回収装置２における
ＮＭＰ溶剤凝縮液の回収に際しては、ＮＭＰ溶剤凝縮液に含まれる水の比率を低減し、回収するＮＭＰ溶剤凝縮液の濃度を比較的高く維持したいという基本的な要求がある。これは、回収容器６５にて回収したＮＭＰ溶剤溶液を再利用に資することを考慮したものである。本実施形態に係る冷却温度調整制御では、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑの下限側の閾値として設定される許容下限濃度Ｄｌｓｂを８０ｗｔ％に設定している。但し、この許容下限濃度Ｄｌｓｂは、適宜変更してもよい。本実施形態においては許容下限濃度Ｄｌｓｂが、第２の基準濃度に対応している。

図４から６を参照して、冷却器２２における排気ガスＧの冷却温度の設定方法について説明する。図４は、冷却器２２の出口における排気ガスＧに含まれるＮＭＰ溶剤蒸気のＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅと出口ガス温度Ｔｈｇとの関係を、入口ガス露点温度Ｔｄｉ毎に例示した図である。図５は、冷却器２２において生成されるＮＭＰ溶剤凝縮液のＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑと出口ガス温度Ｔｈｇとの関係を、入口ガス露点温度Ｔｄｉ毎に例示した図である。図４、５において、入口ガス露点温度Ｔｄｉは０℃、５℃、１２℃の３水準を示している。また、出口ガス温度Ｔｈｇは、冷却器２２における冷却コイルの表面に排気ガスＧが接触した際に冷却コイルの管内を流れる冷却水Ｎｂ（冷媒）との間で熱交換を行い、冷却された後の温度である。

冷却器２２において排気ガスＧを冷却する際に、より低い温度に排気ガスＧを冷却した方が（出口ガス温度Ｔｈｇがより低くなるように排気ガスＧを冷却した方が）、排気ガスＧに含まれるＮＭＰ溶剤蒸気が凝縮しやすくなる。そのため、図４に示されるように、出口ガス温度Ｔｈｇが低くなる程、冷却器２の出口において排気ガスＧに残存するＮＭＰ溶剤蒸気のＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅは低くなる。ここで、ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅの許容上限濃度Ｄｖｓを１５０ｐｐｍに設定した場合、許容上限濃度Ｄｖｓに対応する出口ガス温度Ｔｈｇは、入口ガス露点温度Ｔｄｉが０℃のケースで１３℃、入口ガス露点温度Ｔｄｉが５℃のケースで１５℃、入口ガス露点温度Ｔｄｉが１２℃のケースで１９℃である。例えば、排気ガスＧのＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅを一定に制御する場合、入口ガス露点温度Ｔｄｉによって適正な出口ガス温度Ｔｈｇが相違し、入口ガス露点温度Ｔｄｉが高いほど対応する出口ガス温度Ｔｈｇが高くなることが、図４から読み取れる。これは、排気ガスＧの入口ガス露点温度Ｔｄｉが高いほど、出口ガス温度Ｔｈｇをあまり低温まで下げることなく、ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅを許容上限濃度Ｄｖｓである１５０ｐｐｍ以下に維持することが可能であることを意味する。図４の例では、入口ガス露点温度Ｔｄｉが０℃のケースでは出口ガス温度Ｔｈｇを１３℃以下、入口ガス露点温度Ｔｄｉが５℃のケースでは出口ガス温度Ｔｈｇを１５℃以下、入口ガス露点温度Ｔｄｉが１２℃のケースでは出口ガス温度Ｔｈｇを１９℃以下に調整することで、ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅを許容上限濃度Ｄｖｓ（１５０ｐｐｍ）以下の適正範囲に維持することができる。

次に、図５を参照して、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑと出口ガス温度Ｔｈｇとの関係を説明する。図５に示されるように、出口ガス温度Ｔｈｇが高いときほど、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑが高くなることが判る。更に、出口ガス温度Ｔｈｇが等しい条件下では、排気ガスＧにおける入口露点温度Ｔｄｉが低いほど、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑが高くなる。入口露点温度ＴｄｉとＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑとの関係は、図３において説明したように、入口露点温度Ｔｄｉが高いほど、冷却器２２において凝縮する水蒸気の凝縮量が増えることによるものである。

冷却温度調整制御においては、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑを調整する際の下限値としての許容下限濃度Ｄｌｓｂを８０ｗｔ％に設定している。図５に示す例では、許容下限濃度Ｄｌｓｂ（８０ｗｔ％）に対応する出口ガス温度Ｔｈｇは、入口ガス露点温度Ｔｄｉが１２℃のケースで１７℃、入口ガス露点温度Ｔｄｉが５℃のケースで７℃である。また、入口ガス露点温度Ｔｄｉが０℃のケースで、出口ガス温度Ｔｈｇは少なくとも５℃より低くな
っている。

以上のことから、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑを一定に制御しようとする場合、入口ガス露点温度Ｔｄｉによって適正な出口ガス温度Ｔｈｇが相違し、入口ガス露点温度Ｔｄｉが高いほど対応する出口ガス温度Ｔｈｇも高くなる。これは、排気ガスＧの入口ガス露点温度Ｔｄｉが高い場合、出口ガス温度Ｔｈｇｃをあまり低温まで下げることなく、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑを許容下限濃度Ｄｌｓｂである８０ｗｔ％以上に維持できることを意味する。図５の例では、入口ガス露点温度Ｔｄｉが１２℃のケースでは出口ガス温度Ｔｈｇを１７℃以上、入口ガス露点温度Ｔｄｉが５℃のケースでは出口ガス温度Ｔｈｇを７℃以上、入口ガス露点温度Ｔｄｉが０℃のケースでは出口ガス温度Ｔｈｇを少なくとも５℃以上に調整することで、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑを許容下限濃度Ｄｌｓｂ（８０ｗｔ％）以上の適正範囲に維持できることが読み取れる。

溶剤回収装置２の制御器２４は、冷却器２２の出口における排気ガスＧのＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅが許容上限濃度Ｄｖｓ以下に維持され、且つ、冷却器２２で生成されるＮＭＰ溶剤凝縮液のＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑが許容下限濃度Ｄｌｓｂ以上に維持されるように定められる目標温度に、出口ガス温度Ｔｈｇを制御する。本実施形態において、冷却温度調整制御を実行する制御器２４が制御手段に対応する。

図４及び図５に示した例では、入口ガス露点温度Ｔｄｉが１２℃の場合、出口ガス温度Ｔｈｇの適正範囲は１７〜１９℃となる。また、入口ガス露点温度Ｔｄｉが５℃の場合、出口ガス温度Ｔｈｇの適正範囲は７〜１５℃となる。また、入口ガス露点温度Ｔｄｉが０℃の場合、出口ガス温度Ｔｈｇの適正範囲は１３℃以下となる。

図６は、冷却温度調整制御に係る入口ガス露点温度Ｔｄｉと出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔとの関係を例示する図である。ここで、冷却器２２を稼働させる際、目標温度Ｔｔｇｔを低く設定する場合に比べて、高く設定する方が、冷凍機５８の運転コスト、設備費用を抑えることができる。そこで、本実施形態においては、図６に示すように、冷却温度調整制御に係る出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔを、入口ガス露点温度Ｔｄｉに応じて定まる適正範囲の上限値或いはその近傍の温度に設定するようにした。

なお、図６は、冷却器２２の出口における排気ガスＧのＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅを１５０ｐｐｍに制御する際の入口ガス露点温度Ｔｄｉと出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔとの関係を示したものであり、ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅの値が変更されれば、入口ガス露点温度Ｔｄｉに対応する目標温度Ｔｔｇｔの値が変化することは言うまでもない。また、図６に示した入口ガス露点温度Ｔｄｉと目標温度Ｔｔｇｔとの関係は、上記（１）式で表すラウールの法則に基づいて求めることができる。

図７は、冷却温度調整制御に係る処理フローを示すフローチャートである。図７に示すフローチャートは、制御器２４のプロセッサがメモリに記憶されている制御プログラムを実行することにより実現される。この制御プログラムは、例えば溶剤回収装置２の稼働中において、所定周期毎に繰り返し実行されるようになっている。

ステップＳ１０１において、制御器２４は、露点温度計６１が出力する信号に基づいて、冷却器２２の入口における排気ガスＧの露点温度である入口ガス露点温度Ｔｄｉを取得する。ステップＳ１０２において、制御器２４は、メモリに格納されている図６に示したマップ、すなわち出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔと入口ガス露点温度Ｔｄｉとの関係を規定されたマップを参照する。そして、このマップに現在のガス露点温度Ｔｄｉを入力して、対応する目標温度Ｔｔｇｔを読み出す。

続くステップＳ１０３において、制御器２４は、温度計６２が出力する信号に基づいて、現在の出口ガス温度Ｔｈｇを取得する。そして、制御器２４は、ステップＳ１０４に進み、出口ガス温度Ｔｈｇが目標温度Ｔｔｇｔに一致するように流量調節弁６０の弁開度を制御する。その結果、冷却器２２の冷却コイルに対して冷凍機５８から供給される冷却水Ｎｂの流量が調節され、出口ガス温度Ｔｈｇが設定目標温度Ｔｔｇｔに一致するように制御される。

ステップＳ１０４では、出口ガス温度Ｔｈｇと設定目標温度Ｔｔｇｔとの差が基準値以下となるまで、流量調節弁６０の弁開度をフィードバック制御してもよいし、また、出口ガス温度Ｔｈｇと設定目標温度Ｔｔｇｔとの差に応じて流量調節弁６０の弁開度をフィードフォワード制御してもよい。勿論、制御器２４は、冷却水Ｎｂの流量を調節する代わりに、或いは冷却水Ｎｂの流量調節と併行して、冷凍機５８から送り出される冷却水Ｎｂの温度を、例えばインバータ制御などによって調節してもよい。ステップＳ１０４の処理が終了すると、制御器２４は本処理フローを一旦終了させる。制御器２４は、所定の周期毎に本処理フローを繰り返し実行することで、冷却器２２に導入される排気ガスＧの入口ガス露点温度Ｔｄｉに応じて、冷却器２２の出口における排気ガスＧの温度である出口ガス温度Ｔｈｇが調節される。

以上のように、本実施形態に係る冷却温度調整制御によれば、ラウールの法則に基づいて、ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅが許容上限濃度Ｄｖｓ以下となるとともにＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑが許容下限濃度Ｄｌｓｂ以上となるような出口ガス温度Ｔｈｇ（目標温度Ｔｔｇｔ）と入口ガス露点温度Ｔｄｉとの関係を予め把握しておき、これらの関係が規定された図６に示すマップを制御器２４のメモリに記憶しておく。そして、逐次、入口ガス露点温度Ｔｄｉを取得する毎に図６に示すマップにアクセスし、入口ガス露点温度Ｔｄｉに対応する出口ガス温度Ｔｈｇを読み出すとともに、その読み出した値を出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔに設定する。

これによれば、冷却器２２の出口における排気ガスＧに残存するＮＭＰ溶剤蒸気のＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅを、予め設定された許容レベル（例えば、１５０ｐｐｍ以下）に抑えることができ、且つ、冷却器２２において生成されるＮＭＰ溶剤凝縮液の濃度を比較的高いレベル（例えば、８０ｗｔ％以上）に維持することができる。

更に、本実施形態に係る冷却温度調整制御によれば、冷却器２２に流入する排気ガスＧの入口ガス露点温度Ｔｄｉが変動しても、その入口ガス露点温度Ｔｄｉに応じて出口ガス温度Ｔｈｇを適切な温度に調整することができる。これによれば、入口ガス露点温度Ｔｄｉが比較的に高いときには、出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔを比較的高めに設定することができるため、冷凍機５８の運転コストを低減することができる。

以上より、本実施形態に係る溶剤回収装置２は、冷却器２２に流入する排気ガスＧの湿度（露点温度）に応じて、ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅ及びＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑを所望のレベルに管理することができ、しかも、排気ガスＧの冷却時に消費されるエネルギー量を可及的に低減することができるので冷凍機５８の運転コスト削減の観点からも有利である。

次に、実施形態に係る溶剤回収システム１の変形例について説明する。ここで、濃度が８５ｗｔ％を超えるＮＭＰ溶剤は危険物の扱いになるため、回収したＮＭＰ溶剤凝縮液が過度に高くならないようにしたいという要請がある。そこで、第１変形例においては、回収容器６５に貯留されているＮＭＰ溶剤凝縮液の濃度が８５ｗｔ％を超えた場合には、回収容器６５に水を添加する等してＮＭＰ溶剤凝縮液の濃度を８５ｗｔ％以下に維持するとよい。例えば、回収容器６５に貯留されているＮＭＰ溶剤凝縮液の濃度を８０〜８５ｗｔ％の範囲に維持されるように、必要に応じてＮＭＰ溶剤凝縮液に水を添加することが好ま
しい。

次に、溶剤回収システム１における第２変形例について説明する。本変形例では、排気ガスＧにおける入口露点温度Ｔｄｉが基準露点温度Ｔｄｉｂ以下に維持されるように、外調機６を用いて予め外気ＯＡ（給気Ａ）を除湿する。

ところで、排気ガスＧの入口露点温度Ｔｄｉが高くなるに従い、冷却器２２の出口におけるＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅを許容上限濃度Ｄｖｓ以下に維持する事が可能な出口ガス温度Ｔｈｇの上限値と、ＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑを許容下限濃度Ｄｌｓｂ以上に維持可能な出口ガス温度Ｔｈｇの下限値の双方が上昇する（図４、５を参照）。

従って、入口露点温度Ｔｄｉが高くなり過ぎると、ＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅ及びＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑを同時に適正範囲に維持できる温度に出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔを設定することができなくなる虞がある。例えば、東京の夏期における設計外気温湿度条件である、気温３３℃、相対湿度６０％ＲＨであれば、外気ＯＡの露点温度は２４℃となる。この条件下では、冷却器２２に乾燥炉４から排出された排気ガスＧをそのまま導いたのでは、入口露点温度Ｔｄｉが高すぎてしまい、出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔを適切に設定することができなくなる。

そこで、本変形例において、外調機６は、冷却器２２の出口におけるＮＭＰ溶剤蒸気のＮＭＰ蒸気濃度Ｄｖｅが許容上限濃度Ｄｖｓ以下となる第１の条件と、冷却器２２において生成されるＮＭＰ溶剤凝縮液のＮＭＰ凝縮液濃度Ｄｌｑが許容下限濃度Ｄｌｓｂ以上となる第２の条件の双方を満足する出口ガス温度Ｔｈｇの目標温度Ｔｔｇｔが定まるように、外気ＯＡを除湿するようにした。

本変形例において、上記基準露点温度Ｔｄｉｂは１２℃に設定されており、入口露点温度Ｔｄｉが１２℃以下となるように、外気ＯＡは必要に応じて外調機６によって除湿される。例えば、外調機６は、入口露点温度Ｔｄｉが１２℃以下に保たれるように、温度２３℃、相対湿度５０％ＲＨ程度の空調条件にて外気ＯＡを除湿し、外気ＯＡの露点温度を予め低下させておくようにしてもよい。

これによれば、外部から取り込まれる外気ＯＡの露点温度が高くなる条件下であっても、外調機６が外気ＯＡの除湿を行う事によって、上述した第１の条件と第２の条件の双方を満足するような目標温度Ｔｔｇｔを容易に設定することができる。なお、第１の条件に関し、許容上限濃度Ｄｖｓは、吸着濃縮装置３の処理能力（容量）に応じて決定される。そのため、基準露点温度Ｔｄｉｂの設定は、吸着濃縮装置３の処理能力（容量）の大小を考慮して定めることが好ましい。別の言い方をすると、吸着濃縮装置３の容量は、外調機６や冷却器２２の処理能力を考慮して決定することが好ましい。

なお、本変形例においては、排ガス路６６に空調機（図示せず）を配置し、この空調機を用いて乾燥炉４から排出された後であって冷却器２２に導入される前の排気ガスＧを除湿してもよい。この場合、排ガス路６６に配置する空調機及び外調機６を併用して、入口露点温度Ｔｄｉを基準露点温度Ｔｄｉｂ以下にコントロールしてもよい。

以上述べた実施の形態は本発明を説明するための一例であって、本発明の本旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得る。上述した実施形態及びその変形例は、組み合わせて実施することができる。

１・・・溶剤回収システム
２・・・溶剤回収装置
３・・・吸着濃縮装置
４・・・乾燥炉
２１・・熱回収器
２２・・冷却器
２３・・再熱器
２４・・制御器

Claims (2)

1. 溶剤蒸気を含む被処理ガスから溶剤を回収する溶剤回収装置であって、
   冷却媒体が管内を流れる冷却コイルに前記被処理ガスを接触させて、該被処理ガスに含まれる溶剤蒸気を凝縮させる冷却器と、
   前記冷却器に導入される被処理ガスの露点温度に応じて、前記冷却器の出口における被処理ガスの温度である出口ガス温度を目標温度に調整する制御手段と、
   溶剤蒸気が発生すると共に該溶剤蒸気を含む被処理ガスが排出される処理室に供給される前の給気を除湿して露点温度を低下させる除湿手段と、
   を備え、
   前記制御手段は、前記冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が前記溶剤回収装置の後段に設けられる吸着濃縮装置の処理能力に応じて設定される第１の基準濃度以下であって、かつ、前記冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度が第２の基準濃度以上となるような、前記被処理ガスの露点温度と前記第１の基準濃度とに応じて上限値が定まると共に前記被処理ガスの露点温度と前記第２の基準濃度とに応じて下限値が定まる、前記出口ガス温度の適性範囲の上限値或いは当該上限値近傍の温度であって且つ前記被処理ガスの露点温度が高いほど高い温度として、前記出口ガス温度の目標温度を設定し、
   前記除湿手段は、前記冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が第１の基準濃度以下となる第１の条件と、前記冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度が第２の基準濃度以上となる第２の条件の双方を満足する前記出口ガス温度の目標温度が定まるように、前記処理室に供給される前の給気を除湿する、
   溶剤回収装置。
2. 冷却媒体が管内を流れる冷却コイルに被処理ガスを接触させてその被処理ガスに含まれる溶剤蒸気を凝縮させる冷却器を備えた溶剤回収装置の制御方法であって、
   前記冷却器に導入される被処理ガスの露点温度に応じて、前記冷却器の出口における被処理ガスの温度である出口ガス温度を目標温度に調整する冷却温度調整ステップを有し、
   前記出口ガス温度の目標温度は、前記冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が前記溶剤回収装置の後段に設けられる吸着濃縮装置の処理能力に応じて設定される吸着濃縮装置の処理能力に応じて設定される第１の基準濃度以下であって、かつ、
   前記冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度が第２の基準濃度以上となるような、前記被処理ガスの露点温度と前記第１の基準濃度とに応じて上限値が定まると共に前記被処理ガスの露点温度と前記第２の基準濃度とに応じて下限値が定まる、前記出口ガス温度の適性範囲の上限値或いは当該上限値近傍の温度であって且つ前記被処理ガスの露点温度が高いほど高い温度として設定され、
   前記冷却器の出口における被処理ガスに残存する溶剤蒸気の濃度が第１の基準濃度以下となる第１の条件と、前記冷却器において生成される溶剤凝縮液の濃度が第２の基準濃度以上となる第２の条件の双方を満足する前記出口ガス温度の目標温度が定まるように、溶剤蒸気が発生すると共に該溶剤蒸気を含む被処理ガスが排出される処理室に供給される前の給気を除湿するステップを更に有する、
   溶剤回収装置の制御方法。

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