JP6059048B2 - プラズマエッチング方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 56
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 title claims description 25
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 200
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 56
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 41
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 31
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 15
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 34
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
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- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
- H01L21/32137—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas of silicon-containing layers
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
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Description
実験例1〜4では、シリコン製の半導体領域SR上にハードマスクHMを有する直径300mmのウエハWに対して方法MT1の工程S2を実施した。ハードマスクHMの構成は、以下に示すライン・アンド・スペースを有する構成であった。
<ハードマスクの構成>
ハードマスクHMの第1層ML1の厚み:10nm
ハードマスクHMの第2層ML2の厚み:90nm
ハードマスクHMの第3層ML3の厚み:140nm
ハードマスクHMのスペース幅:18nm
ハードマスクHMのライン幅:18nm
COガスを用いずに工程S2を実施した点において実験例1〜4とは異なる比較実験例1〜2を行った。比較実験例1〜2に用いたウエハWの構成は、実験例1〜4のウエハWの構成と同様であった。下記の表2に比較実験例1〜2の処理条件を示す。表2に示すように、比較実験例1〜2では、工程S2におけるO2ガスの流量をそれぞれ8sccm、20sccmとした。また、比較実験例1〜2では、実験例1〜4と同じ時間だけ処理を行った。
Claims (10)
- 被処理体のシリコン製の半導体領域にトレンチを形成するプラズマエッチング方法であって、該半導体領域上には該トレンチを形成するためのパターンを有するハードマスクが設けられており、該方法は、
前記被処理体を収容した処理容器内においてハロゲン含有ガス、O2ガス、及びCOガスを含む処理ガスのプラズマを生成して、前記半導体領域をエッチングする工程を含み、
前記COガスは、シリコン及び酸素を含有し前記ハードマスクに付着する反応生成物の量を低減させるために、前記処理ガスに含められており、
前記半導体領域をエッチングする前記工程において前記処理容器内に供給される前記O 2 ガスの流量は、前記COガスの流量以下である、
プラズマエッチング方法。 - 前記半導体領域をエッチングする前記工程において前記処理容器内に供給される前記O2ガスの流量は、
前記COガスの流量に対して
前記O2ガスの流量:前記COガスの流量=6:30
で規定される流量以上であり、
前記O2ガスの流量:前記COガスの流量=1:1
で規定される流量以下である、
請求項1に記載のプラズマエッチング方法。 - 前記ハロゲン含有ガスは、HBrガス及びNF3ガスのうち少なくとも一方を含む、請求項1又は2に記載のプラズマエッチング方法。
- 前記半導体領域をエッチングする前記工程の後に、前記被処理体を収容した処理容器内においてハロゲン含有ガス、O2ガス、及びCOガスを含む処理ガスのプラズマを生成して、前記半導体領域を更にエッチングする工程を更に含み、
前記半導体領域を更にエッチングする前記工程における前記O2ガスの流量は、前記半導体領域をエッチングする前記工程における前記O2ガスの流量よりも少ない、
請求項1〜3の何れか一項に記載のプラズマエッチング方法。 - 前記半導体領域を更にエッチングする前記工程における前記ハロゲン含有ガスの流量は、前記半導体領域をエッチングする前記工程における前記ハロゲン含有ガスの流量よりも多い、
請求項4に記載のプラズマエッチング方法。 - 前記ハードマスクは、前記半導体領域上に設けられたシリコン酸化層、該シリコン酸化層上に設けられた多結晶シリコン層、及び、該多結晶シリコン層上に設けられたTEOS層を含む、請求項1〜5の何れか一項に記載のプラズマエッチング方法。
- プラズマ処理装置の処理容器内で被処理体のシリコン製の半導体領域をエッチングして該半導体領域にトレンチを形成するプラズマエッチング方法であって、
前記半導体領域上に第1のシリコン酸化層、多結晶シリコン層、第2のシリコン酸化層、及び、パターンを有する第1のマスクが設けられた前記被処理体を前記処理容器内に準備する工程と、
前記第1のマスクの前記パターンを転写するように前記第1のシリコン酸化層、前記多結晶シリコン層、及び、前記第2のシリコン酸化層をエッチングして、ハードマスクを形成する工程と、
前記処理容器内にハロゲン含有ガス、O2ガス、及びCOガスを含む処理ガスを供給し、前記ハードマスクのパターンを転写するように該処理ガスのプラズマにより前記半導体領域をエッチングして、該半導体領域に溝を形成する第1のエッチング工程と、
を含み、
前記COガスは、シリコン及び酸素を含有し前記ハードマスクに付着する反応生成物の量を低減させるために、前記処理ガスに含められており、
前記第1のエッチング工程において前記処理容器内に供給される前記O 2 ガスの流量は、前記COガスの流量以下である、
プラズマエッチング方法。 - 前記第1のエッチング工程において前記処理容器内に供給される前記O2ガスの流量は、
前記COガスの流量に対して
前記O2ガスの流量:前記COガスの流量=6:30
で規定される流量以上であり、
前記O2ガスの流量:前記COガスの流量=1:1
で規定される流量以下である、
請求項7に記載のプラズマエッチング方法。 - 前記第1のエッチング工程の後に、前記処理容器内にハロゲン含有ガス、O2ガス、及びCOガスを含む処理ガスを供給し、該処理ガスのプラズマを生成して、前記半導体領域を更にエッチングする第2のエッチング工程を更に含み、
前記第2のエッチング工程における前記O2ガスの流量は、前記第1のエッチング工程における前記O2ガスの流量よりも少ない、
請求項7又は8に記載のプラズマエッチング方法。 - 前記第2のエッチング工程における前記ハロゲン含有ガスの流量は、前記第1のエッチング工程における前記ハロゲン含有ガスの流量よりも多い、請求項9に記載のプラズマエッチング方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013047900A JP6059048B2 (ja) | 2013-03-11 | 2013-03-11 | プラズマエッチング方法 |
KR1020140025525A KR102169565B1 (ko) | 2013-03-11 | 2014-03-04 | 플라즈마 에칭 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013047900A JP6059048B2 (ja) | 2013-03-11 | 2013-03-11 | プラズマエッチング方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014175521A JP2014175521A (ja) | 2014-09-22 |
JP2014175521A5 JP2014175521A5 (ja) | 2016-01-21 |
JP6059048B2 true JP6059048B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=51696448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013047900A Active JP6059048B2 (ja) | 2013-03-11 | 2013-03-11 | プラズマエッチング方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6059048B2 (ja) |
KR (1) | KR102169565B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6494424B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-04-03 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
JP6529357B2 (ja) * | 2015-06-23 | 2019-06-12 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
JP7190940B2 (ja) * | 2019-03-01 | 2022-12-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3803516B2 (ja) * | 1999-09-22 | 2006-08-02 | 株式会社東芝 | ドライエッチング方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2003151960A (ja) * | 2001-11-12 | 2003-05-23 | Toyota Motor Corp | トレンチエッチング方法 |
JP2005276931A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006339490A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2007019191A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Fujitsu Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JP2008124399A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP4816478B2 (ja) * | 2007-02-02 | 2011-11-16 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法及び記憶媒体 |
JP2009021489A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
CN101903989B (zh) * | 2007-12-21 | 2013-04-17 | 朗姆研究公司 | 硅结构的制造和带有形貌控制的深硅蚀刻 |
JP5226296B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2013-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2012174854A (ja) | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Tokyo Electron Ltd | 半導体素子の製造方法 |
-
2013
- 2013-03-11 JP JP2013047900A patent/JP6059048B2/ja active Active
-
2014
- 2014-03-04 KR KR1020140025525A patent/KR102169565B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014175521A (ja) | 2014-09-22 |
KR20140111599A (ko) | 2014-09-19 |
KR102169565B1 (ko) | 2020-10-23 |
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