JP6058324B2 - ターゲット供給装置の制御方法、および、ターゲット供給装置 - Google Patents
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Description
1.概要
2.EUV光生成装置の全体説明
2.1 構成
2.2 動作
3.ターゲット供給装置を含むEUV光生成装置
3.1 第1実施形態
3.1.1 概略
3.1.2 構成
3.1.3 動作
3.2 第2実施形態
3.2.1 概略
3.2.2 構成
3.2.3 動作
3.3 変形例
本開示の実施形態においては、ターゲット供給装置の制御方法は、イメージセンサを含むEUV光生成装置に備えられ、ノズルを有し、内部にターゲット物質を収容するターゲット生成器と、前記ターゲット生成器内部の圧力を制御する圧力制御部と、を含むターゲット供給装置を用い、前記圧力制御部が前記ターゲット生成器内部を加圧することで、前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズルのノズル孔から出力することと、前記イメージセンサが検出した前記ノズル孔から出力するターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することと、前記出力方向と前記設定方向との差が前記所定範囲に入るまで、前記圧力制御部が前記ターゲット生成器内部の圧力を維持することと、を含んでもよい。
2.1 構成
図1は、例示的なLPP方式のEUV光生成装置1の構成を概略的に示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザ装置3と共に用いられてもよい。EUV光生成装置1およびレーザ装置3を含むシステムを、以下、EUV光生成システム11と称する。図1を参照に、以下に詳細に説明されるように、EUV光生成装置1は、チャンバ2を含んでもよい。チャンバ2は、密閉可能であってもよい。EUV光生成装置1は、ターゲット供給装置7をさらに含んでもよい。ターゲット供給装置7は、例えばチャンバ2に取り付けられていてもよい。ターゲット供給装置7から供給されるターゲットの材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、またはそれらのうちのいずれか2つ以上の組合せ等を含んでもよいが、これらに限定されない。
図1を参照すると、レーザ装置3から出力されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御部34を経て、パルスレーザ光32としてウインドウ21を透過して、チャンバ2に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザ光経路に沿ってチャンバ2内に進み、レーザ光集光光学系22で反射されて、パルスレーザ光33として少なくとも1つのドロップレット27に照射されてもよい。
3.1 第1実施形態
3.1.1 概略
本開示の第1実施形態のターゲット供給装置の制御方法において、前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズルのノズル孔から出力することは、前記ターゲット物質をジェット状に出力することにより行われ、前記ターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することは、前記ジェット状に出力するターゲット物質の軌道と設定軌道との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することにより行われてもよい。
本開示の第1実施形態のターゲット供給装置において、前記制御部は、前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズル孔から出力することを、前記ターゲット物質をジェット状に出力することにより行い、前記ターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することを、前記ジェット状に出力するターゲット物質の軌道と設定軌道との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することにより行ってもよい。
図2は、第1実施形態および後述する第2実施形態に係るターゲット供給装置を含むEUV光生成装置の構成を概略的に示す。図3は、第1実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。
EUV光生成装置1Aは、図2に示すように、チャンバ2と、ターゲット供給装置7Aとを備えてもよい。ターゲット供給装置7Aは、ターゲット生成部70Aと、ターゲット制御装置80Aとを備えてもよい。ターゲット制御装置80Aには、レーザ装置3と、EUV光生成制御システム5Aとが電気的に接続されてもよい。
ターゲット生成器71Aは、内部にターゲット物質270を収容するためのタンク711Aを備えてもよい。タンク711Aは、筒状であってもよい。タンク711Aには、当該タンク711A内のターゲット物質270を、ドロップレット27としてチャンバ2内に出力するためのノズル712Aが設けられていてもよい。ターゲット生成器71Aは、タンク711Aがチャンバ2外部に位置し、ノズル712Aがチャンバ2内部に位置するように設けられてもよい。
ノズル712Aは、ターゲット物質270との濡れ性が低い材料で構成されるのが好ましい。具体的には、ターゲット物質270との濡れ性が低い材料とは、ターゲット物質270との接触角が90°を超える材料であってもよい。接触角が90°以上の材料は、SiC、SiO2、Al2O3、モリブデン、タングステン、タンタルのいずれかであってもよい。
ノズル712Aのノズル孔713Aは、内壁面714A(図4(A)参照)と、開口部715A(図4(A)参照)とを備えてもよい。内壁面714Aは、ノズル孔713Aの軸がノズル712Aの軸と一致する筒状に形成されてもよい。開口部715Aは、ノズル孔713Aの第1の端に設けられてもよい。
第1バルブV1は、配管727Aに設けられてもよい。
配管727Aにおける第1バルブV1よりタンク711A側には、配管728Aが連結されてもよい。配管728Aは、第1の端が配管727Aの側面に連結されてもよい。配管728Aは、第2の端が開放されてもよい。第2バルブV2は、配管728Aの途中に設けられてもよい。
第1バルブV1および第2バルブV2は、ゲートバルブ、ボールバルブ、バタフライバルブなどのいずれかであってもよい。第1バルブV1と第2バルブV2とは、同じ種類のバルブであってもよいし、異なる種類のバルブであってもよい。
第1バルブV1および第2バルブV2には、ターゲット制御装置80Aが電気的に接続されてもよい。第1バルブV1および第2バルブV2は、ターゲット制御装置80Aから送信される信号に基づいて、それぞれ独立して開閉を切り替えられてもよい。
第1バルブV1が閉じると、不活性ガスボンベ721A内の不活性ガスが、配管727Aを介してターゲット生成器71A内に供給されることを防止し得る。第2バルブV2が開くと、配管727Aの内部と当該配管727Aの外部との間の圧力差によって、配管727A内に存在する不活性ガスが、配管728Aの第2の端から当該配管727Aの外部に排出され得る。このことにより、第1バルブV1が閉じるとともに、第2バルブV2が開くと、ターゲット生成器71A内の圧力が下がり得る。
温度センサ733Aは、タンク711Aの外周面におけるノズル712A側に設けられてもよいし、タンク711A内に設けられてもよい。温度センサ733Aは、タンク711Aにおける主に温度センサ733Aの設置位置およびその近傍の位置の温度を検出して、当該検出した温度に対応する信号を温度コントローラ734Aに送信するよう構成されてもよい。温度センサ733Aの設置位置およびその近傍の位置の温度は、タンク711A内のターゲット物質270の温度とほぼ同一の温度となり得る。
温度コントローラ734Aは、温度センサ733Aからの信号に基づいて、ターゲット物質270の温度を所定温度に制御するための信号をヒータ電源732Aに出力するよう構成されてもよい。
ターゲット生成部70Aは、コンティニュアスジェット方式でジェット27Aを生成し、ノズル712Aから出力したジェット27Aを振動させることで、ドロップレット27を生成するよう構成されてもよい。
第1ターゲットセンサ41Aは、ターゲット生成器71Aに対して−X方向側(図3における左側)に設けられてもよい。第2ターゲットセンサ42Aは、ターゲット生成器71Aに対して−Y方向側(図3における紙面奥側)に設けられてもよい。第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aは、ノズル712Aから出力するジェット27Aを、−X方向側および−Y方向側からそれぞれ検出できるように設けられてもよい。
第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aは、ターゲット制御装置80Aに電気的に接続されてもよい。第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aは、検出したジェット27Aの形状に対応する信号をターゲット制御装置80Aに送信してもよい。
図4Aは、第1実施形態の課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置がジェットを出力していないときの状態を示す。図4Bは、前記課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置がジェットを出力しているときの状態を示す。図5は、ターゲット供給装置の制御方法を示すフローチャートである。図6は、ターゲット供給装置の制御方法を示すタイミングチャートである。図7Aは、ターゲット供給装置がジェットを出力していないときの状態を示す。図7Bは、ターゲット供給装置がジェットを出力しているときの状態であって、ジェットの軌道が設定軌道からずれている状態を示す。図7Cは、ターゲット供給装置がジェットを出力しているときの状態であって、ジェットの軌道が設定軌道とほぼ一致している状態を示す。図7Dは、図7Cの状態からジェットの出力を停止した状態を示す。
なお、以下において、ターゲット物質270がスズの場合を例示して、ターゲット供給装置7Aの制御方法を説明する。ターゲット制御装置80Aは、圧力センサ722Aから送信される信号を受信して、この受信した信号に基づいて、ターゲット生成器71A内の圧力を判断してもよい。ターゲット制御装置80Aは、タイマ81Aから送信される信号を受信して、この受信した信号に基づいて、時刻を判断してもよい。
EUV光生成装置1の作業者は、新しいターゲット生成器71Aあるいはメンテナンスを行ったターゲット生成器71Aをチャンバ2に取り付けてもよい。
ターゲット供給装置7Aのターゲット制御装置80Aは、温度制御部73Aを制御して、図4Aに示すように、ターゲット物質270が溶融するまでターゲット物質270を加熱してもよい。ターゲット制御装置80Aは、ジェット27Aを出力するために、ターゲット生成器71A内の圧力を圧力PJに設定してもよい。圧力PJは、1MPa以上、10MPa以下であってもよい。ターゲット生成器71A内の圧力が圧力PJに到達すると、図4Bに示すように、ノズル712Aのノズル孔713Aからジェット27Aが出力し得る。
ターゲット生成器71A内の圧力によって、ターゲット物質270が図4Aに示す状態から押し出されるとき、ノズル712Aの内壁面714Aには、ターゲット物質270と接触する領域と、ターゲット物質270と接触しない領域とが存在し得る。この場合、内壁面714Aのうちターゲット物質270と接触した領域は、ターゲット物質270が濡れやすくなり得る。その結果、ターゲット物質270が内壁面714Aの一部のみを伝って、開口部715Aの一部のみに到達し得る。例えば、ターゲット物質270が内壁面714Aのうち図4Bにおける右側の領域のみを伝って、開口部715Aのうち右側の領域のみに到達し得る。この右側の領域のみ到達した当該ターゲット物質270が、ジェット27Aとして出力するとき、当該ジェット27Aの軌道C1が設定軌道CAから右側にずれ得る。
この設定軌道CAから軌道C1にずれたジェット27Aが出力している状態において、ターゲット制御装置80Aがピエゾ部75Aを制御してノズル712Aに振動を加えると、この振動により生成されたドロップレット27が意図しない方向に出力され得る。
このような課題を解決するため、EUV光を生成するためのドロップレット27の出力処理を開始する前に、図5および図6に示すターゲット供給装置7Aの制御方法を行ってもよい。
ターゲット制御装置80Aは、ターゲット生成器71A内の圧力を圧力PLに設定してもよい(ステップS1)。ターゲット制御装置80Aは、圧力制御部72Aの第1バルブV1と第2バルブV2とに信号を送信して、第1バルブV1と第2バルブV2との開度を調整してもよい。これにより、不活性ガスボンベ721A内の不活性ガスがターゲット生成器71A内に供給され、図6に示すように、時刻T0において、ターゲット生成器71A内の圧力が圧力PLまで上がり得る。圧力PLは、図7Aに示すように、ターゲット物質270の端部がノズル孔713Aにおける開口部715Aと反対の端(上端)に位置する大きさであってもよい。圧力PLは、例えば大気圧以下であってもよく、0.05MPaであってもよい。
ターゲット制御装置80Aは、ターゲット生成器71A内のターゲット物質270の温度Tが所定の温度範囲内にあるか否かを判断してもよい(ステップS3)。所定の温度範囲は、下限温度Tsmin以上、上限温度Tsmax以下であってもよい。所定の温度範囲の中心値である目標温度Tsは、315℃であってもよい。
ターゲット制御装置80Aは、ステップS3の判断基準を満たすと判断すると、この温度制御をそのまま継続してもよい(ステップS4)。ターゲット制御装置80Aは、ステップS3の判断基準を満たさないと判断すると、ステップS2の処理を行ってもよい。このステップS2の処理が行われると、温度Tが下限温度Tsminより低い場合には、ターゲット物質270の温度が上がり得る。温度Tが上限温度Tsmaxより高い場合には、ターゲット物質270の温度が下がり得る。
このステップS5の処理が行われると、ターゲット生成器71A内の圧力は、図6に示すように、時刻T1から上がり始め、時刻T2に圧力PJに到達し得る。ターゲット生成器71A内の圧力が圧力PJに到達すると、図7Bに示すように、ターゲット物質270が押され、ノズル孔713Aからジェット27Aが出力し得る。このとき、上述したように、ジェット27Aの軌道C1が設定軌道CAに対してずれ得る。
ターゲット制御装置80Aは、ジェット27Aの方向を計算してもよい(ステップS7)。ターゲット制御装置80Aは、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aから送信される信号に基づいて、ジェット27Aを−X方向側および−Y方向側から観測したときのジェット27Aの出力状態を計算してもよい。ターゲット制御装置80Aは、この計算した出力状態に基づいて、ジェット27Aの方向として軌道C1を計算してもよい。このとき、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aによる異なる2方向からの観測結果に基づいて、ターゲット制御装置80Aは、高精度にジェット27Aの方向を計算し得る。
一方、ターゲット制御装置80Aは、ステップS8の判断基準を満たすと判断した場合、ターゲット生成器71A内の圧力を圧力PLに設定してもよい(ステップS9)。例えば、ターゲット制御装置80Aは、図6に示すような時刻T3において、ジェット27Aが図7Cに示すように出力している場合、角度Δθが所定の角度範囲内にあると判断し得る。
ステップS9の処理が行われると、ターゲット生成器71A内の圧力は、図6に示すように、時刻T4から下がり始め、時刻T5に圧力PLに到達し得る。ターゲット生成器71A内の圧力が圧力PLに到達するまでの間に、図7Dに示すように、ターゲット物質270が内壁面714Aの全域に接触した状態で、ジェット27Aの出力が停止し得る。
3.2.1 概略
本開示の第2実施形態のターゲット供給装置の制御方法において、前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズルのノズル孔から出力することは、前記ターゲット物質を前記ノズル孔から押し出して、前記ターゲット物質を前記ノズルの先端に付着させることにより行われ、前記ターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することは、前記ノズルの先端に付着したターゲット物質の位置と前記ノズル孔の中心軸との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することにより行われてもよい。
本開示の第2実施形態のターゲット供給装置において、前記制御部は、前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズル孔から出力することを、前記ターゲット物質を前記ノズル孔から押し出して、前記ターゲット物質を前記ノズルの先端に付着させることにより行い、前記ターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することを、前記ノズルの先端に付着したターゲット物質の位置と前記ノズル孔の中心軸との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することにより行ってもよい。
図8は、第2実施形態に係るターゲット供給装置の構成を概略的に示す。図9は、ターゲット供給装置のノズルの構成を概略的に示す。
第2実施形態のEUV光生成装置1Bは、図8に示すように、ターゲット供給装置7Bのターゲット生成部70Bと、ターゲット制御装置80B以外の構成については、第1実施形態のEUV光生成装置1Aと同様のものを適用してもよい。
第2実施形態では、設定出力方向10Aが重力方向10Bと一致するようにチャンバ2が設置されてもよい。
ターゲット生成器71Bは、図8および図9に示すように、タンク711Bを備えてもよい。タンク711Bは、筒状であってもよい。タンク711Bには、ノズル712Bが設けられていてもよい。ターゲット生成器71Bは、タンク711Bがチャンバ2外部に位置し、ノズル712Bがチャンバ2内部に位置するように設けられてもよい。
よい。
突出部716Bは、そこに電界が集中し易いようにするために設けられてもよい。突出部716Bには、突出部716Bにおける円錐台上面部を構成する先端部の略中央部に開口するノズル孔717Bが設けられてもよい。ノズル孔717Bの直径は、6〜15μmであってもよい。ノズル孔717Bは、内壁面717B1(図10(A)参照)と、開口部717B2(図10(A)参照)とを備えてもよい。内壁面717B1は、ノズル孔717Bの軸がノズル712Bの軸と一致する筒状に形成されてもよい。開口部717B2は、内壁面717B1の第1の端に設けられてもよい。出力部715Bは、出力部715Bとターゲット物質270との濡れ性が低い材料で構成されるのが好ましい。あるいは、出力部715Bの少なくとも表面が、当該濡れ性が低い材料でコーティングされてもよい。当該濡れ性が低い材料は、第1実施形態において、ノズル712Aの材料として例示した材料と同じであってもよい。
保持部714Bには、2個の貫通孔710Bが設けられてもよい。貫通孔710Bは、突出部716Bの先端に付着したドロップレット27Bを、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aが観測できるように、設けられてもよい。
第2電極752Bは、タンク711B内のターゲット物質270中に配置されてもよい。第2電極752Bには、フィードスルー759Bを介して電圧源754Bが電気的に接続されてもよい。
パルス電圧生成器753Bおよび電圧源754Bは、接地されてもよい。パルス電圧生成器753Bおよび電圧源754Bには、ターゲット制御装置80Bが電気的に接続されてもよい。
以下において、第1実施形態と同様の動作については、説明を省略する。
図10Aは、第2実施形態の課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置がドロップレットを生成していないときの状態を示す。図10Bは、前記課題を説明するための図であり、ターゲット供給装置が生成したドロップレットが静電引出部で放出される前の状態を示す。図11は、ターゲット供給装置の制御方法を示すフローチャートである。図12は、ターゲット供給装置の制御方法を示すフローチャートであって、図11に続く処理を表す。図13は、ターゲット供給装置の制御方法を示すタイミングチャートである。図14Aは、ターゲット供給装置がドロップレットを生成していないときの状態を示す。図14Bは、ターゲット供給装置が生成したドロップレットが静電引出部で放出される前の状態であって、ドロップレットの中心位置がノズル孔の中心軸からずれている状態を示す。図14Cは、ターゲット供給装置が生成したドロップレットが静電引出部で放出される前の状態であって、ドロップレットの中心位置がノズル孔の中心軸とほぼ一致している状態を示す。図14Dは、図14Cの状態からドロップレットの生成を停止した状態を示す。
ターゲット供給装置7Bのターゲット制御装置80Bは、例えば新しいターゲット生成器71Bがチャンバ2に取り付けられた後、図10Aに示すように、ターゲット物質270が溶融するまでターゲット物質270を加熱してもよい。ターゲット制御装置80Bは、ドロップレット27Bを生成するために、ターゲット生成器71B内の圧力を圧力PSに設定してもよい。ターゲット生成器71B内の圧力が圧力PSに到達した際、ターゲット物質270が当該ターゲット物質270のノズル孔717Bにおける表面張力を打ち破ってもよい。その結果、ターゲット物質270がノズル孔717Bから押し出され、図10Bに示すように、突出部716Bの先端にドロップレット27Bが生成され得る。ノズル孔717Bの直径が10μmの場合、圧力PSは、0.25MPaであってもよい。
ターゲット生成器71B内の圧力によって、ドロップレット27Bが生成されるとき、突出部716Bの先端面718Bのうち内縁側の円環状の領域には、ドロップレット27Bと接触する領域と、ドロップレット27Bと接触しない領域とが存在し得る。この場合、先端面718Bにおける内縁側の円環状の領域のうちドロップレット27Bと接触した領域は、ターゲット物質270が濡れやすくなり得る。その結果、例えば図10Bに示すように、ドロップレット27Bの中心位置C2がノズル孔717Bの中心軸CBから右側にずれ得る。
このノズル孔717Bの中心軸CBから中心位置C2がずれたドロップレット27Bを静電引出部75Bによって引き出すと、ドロップレット27Bが意図しない方向に出力され得る。
このような課題を解決するため、EUV光を生成するためのドロップレット27Bの引き出し処理を開始する前に、図11および図12に示すターゲット供給装置7Bの制御方法を行ってもよい。
ステップS1の処理が行われると、図13に示すように、時刻T0において、ターゲット生成器71A内の圧力が圧力PLまで上がり得る。圧力PLは、図14Aに示すように、ターゲット物質270の端部がノズル孔717Bの内壁面717B1における開口部717B2と反対の端(上端)に位置する大きさであってもよい。
ターゲット制御装置80Bは、ステップS12の判断基準を満たさないと判断した場合、ステップS12の処理を行ってもよい。なお、ターゲット制御装置80Bは、ステップS12の判断基準を満たさないと判断した場合、所定時間経過後にステップS12の処理を行ってもよい。ターゲット制御装置80Bは、ステップS12の判断基準を満たすと判断した場合、図12に示すように、ターゲット生成器71B内の圧力を圧力PSに設定してもよい(ステップS13)。
第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aは、徐々に成長するドロップレット27Bの形状を検出して、この検出結果に対応する信号をターゲット制御装置80Bに送信してもよい。第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aは、所定時間毎に、ドロップレット27Bの形状を検出してもよい。ターゲット制御装置80Bは、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aから送信される信号に基づいて、ドロップレット27Bの直径Dが所定の設定範囲内にあるか否かを判断してもよい。
ターゲット制御装置80BがステップS14の判断基準を満たすと判断した場合、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aは、突出部716Bに付着したドロップレット27Bを観測してもよい(ステップS15)。
ターゲット制御装置80Bは、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aの観測結果に基づいて、ドロップレット27Bの中心位置C2を計算してもよい(ステップS16)。
ターゲット制御装置80Bは、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aから送信される信号に基づいて、ドロップレット27Bを−X方向側および−Y方向側から観測したときのドロップレット27Bの付着位置を計算してもよい。ターゲット制御装置80Bは、この計算した付着位置に基づいて、ドロップレット27Bの中心位置C2を計算してもよい。このとき、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aの観測結果に基づいて、ターゲット制御装置80Bは、高精度に中心位置C2を計算し得る。
このステップS5、ステップS11〜ステップS17の処理を行うと、例えば、図13に示すように、時刻T15〜時刻T16、時刻T19〜時刻T20、時刻T23〜時刻T24において、ターゲット生成器71B内の圧力が圧力PSから圧力PJに上がり得る。
時刻T16〜時刻T17、時刻T20〜時刻T21、時刻T24〜時刻T25において、ターゲット生成器71B内の圧力が圧力PJに維持され、ノズル孔717Bからジェットが出力し得る。このジェットの出力に伴い、突出部716Bに付着したドロップレット27Bがチャンバ2内に出力し得る。
時刻T17〜時刻T18、時刻T21〜時刻T22、時刻T25〜時刻T26において、ターゲット生成器71B内の圧力が圧力PJから圧力PSに下がり、ジェットの出力が停止し得る。
時刻T18〜時刻T19、時刻T22〜時刻T23、時刻T26〜時刻T27において、ドロップレット27Bが徐々に成長し得る。
このようにジェットの出力、ドロップレット27Bの成長を繰り返し行うことにより、ターゲット物質270が先端面718Bの周方向に沿って徐々に広がり得る。その結果、ターゲット物質270が先端面718Bにおける内縁側の円環状の領域の全てに接触し、図14Cに示すように、中心位置C2とノズル孔717Bの中心軸CBとがほぼ一致するようにドロップレット27Bが716Aに成長し得る。
ステップS9の処理が行われると、ターゲット生成器71B内の圧力は、図13に示すように、時刻T28から下がり始め、時刻T29に圧力PLに到達し得る。ターゲット生成器71A内の圧力が圧力PLに到達するまでの間に、ドロップレット27Bがノズル孔717B内に引き込まれ、図14Dに示すように、ターゲット物質270がノズル孔717Bの内壁面717B1の全域に接触し、かつ、突出部716Bにドロップレット27Bが付着しない状態となり得る。
なお、ターゲット供給装置の制御方法としては、以下のような構成としてもよい。
第1実施形態において、第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42Aによってジェット27Aを観測せずに、ジェット27Aを出力しているノズル712Aに振動を加え、この振動により生成したドロップレット27を観測してもよい。この場合、設定軌道CAに対するジェット27Aの軌道C1のずれを判断する代わりに、設定軌道CAに対するドロップレット27の軌道のずれを判断してもよい。
第1,第2実施形態において、2つのターゲットセンサ(第1ターゲットセンサ41Aおよび第2ターゲットセンサ42A)を設けたが、1つあるいは3つ以上のターゲットセンサを設けてもよい。
第1,第2実施形態において、ターゲット供給装置7A、ターゲット供給装置7Bは、図7D、図14Dに示す状態から、温度を下げてターゲット物質270を固化させてもよい。その後、ターゲット供給装置7A、ターゲット供給装置7Bは、ターゲット物質270を溶融するまで加熱して、EUV光を生成するために、ドロップレット27を出力したり、ドロップレット27Bを引き出したりしてもよい。
Claims (4)
- イメージセンサを含むEUV光生成装置に備えられ、ノズルを有し、内部にターゲット物質を収容するターゲット生成器と、
前記ターゲット生成器内部の圧力を制御する圧力制御部と、を含むターゲット供給装置を用い、
前記圧力制御部が前記ターゲット生成器内部を加圧することで、前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズルのノズル孔から出力することと、
前記イメージセンサが検出した前記ノズル孔から出力するターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することと、
前記出力方向と前記設定方向との差が前記所定範囲に入るまで、前記圧力制御部が前記ターゲット生成器内部の圧力を維持することと、を含むターゲット供給装置の制御方法。 - 請求項1に記載のターゲット供給装置の制御方法において、
前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズルのノズル孔から出力することは、前記ターゲット物質をジェット状に出力することにより行われ、
前記ターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することは、前記ジェット状に出力するターゲット物質の軌道と設定軌道との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することにより行われるターゲット供給装置の制御方法。 - イメージセンサを含むEUV光生成装置に備えられ、ノズルを有し、内部にターゲット物質を収容するターゲット生成器と、
前記ターゲット生成器内部の圧力を制御する圧力制御部と、
前記圧力制御部を制御する制御部であって、前記ターゲット生成器内部を加圧することで、前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズルのノズル孔から出力することと、前記イメージセンサが検出した前記ノズル孔から出力するターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することと、前記出力方向と前記設定方向との差が前記所定範囲に入るまで、前記ターゲット生成器内部の圧力を維持することとを行う制御部とを含むターゲット供給装置。 - 請求項3に記載のターゲット供給装置において、
前記制御部は、
前記ターゲット生成器内のターゲット物質を前記ノズル孔から出力することを、前記ターゲット物質をジェット状に出力することにより行い、
前記ターゲット物質の出力方向と設定方向との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することを、前記ジェット状に出力するターゲット物質の軌道と設定軌道との差が、所定範囲に入っているか否かを判断することにより行うターゲット供給装置。
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