JP6056174B2 - 故障診断方法、故障診断装置及びプログラム - Google Patents
故障診断方法、故障診断装置及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6056174B2 JP6056174B2 JP2012082347A JP2012082347A JP6056174B2 JP 6056174 B2 JP6056174 B2 JP 6056174B2 JP 2012082347 A JP2012082347 A JP 2012082347A JP 2012082347 A JP2012082347 A JP 2012082347A JP 6056174 B2 JP6056174 B2 JP 6056174B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analysis target
- flip
- flops
- target path
- deviation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
スピードパス解析は、フリップフロップ(以下FFと略す)間の信号伝搬経路となるパスにおいて発生する遅延の、遅延試験での測定値と設計時における予測値との間のずれの要因を特定する技術である。スピードパス解析では、上記ずれと、ずれを生む要因の候補である特徴集合を入力として、スピードパス解析対象の各パスに対する線形の回帰式を用いて各特徴の重み値が算出され、ずれを生む要因が特定される。ずれを生む要因の候補である特徴の例としては、チップ内の低電力トランジスタ数、各層での配線長、ノイズなどがある。
その故障診断方法は、制御部が、記憶部に記憶された設計情報と実チップに対する遅延試験の結果を読み出し、各フリップフロップに至る1または複数の活性化パスから、それぞれ1つの解析対象パスを選択し、前記制御部が、前記解析対象パスによる遅延時間の設計時の予測値と前記遅延試験での測定値とのずれからずれ算出モデルを構築し、前記制御部が、前記ずれ算出モデルを用いて前記各フリップフロップが正しくデータを取り込める遅延時間の予測値の確率分布を算出し、前記制御部が、前記確率分布と、前記遅延試験における測定結果との一致度を算出し、前記制御部が、選択する前記解析対象パスの組み合わせを変更し、前記一致度が改善した解析対象パスの組み合わせを用いて、前記ずれの要因を特定する。
その故障診断装置は、制御部と、設計情報と実チップに対する遅延試験の結果を記憶する記憶部と、を有し、前記制御部は、記憶部に記憶された設計情報と実チップに対する遅延試験の結果を読み出し、各フリップフロップに至る1または複数の活性化パスから、それぞれ1つの解析対象パスを選択し、前記解析対象パスによる遅延時間の設計時の予測値と前記遅延試験での測定値とのずれからずれ算出モデルを構築し、前記ずれ算出モデルを用いて前記各フリップフロップが正しくデータを取り込める遅延時間の予測値の確率分布を算出し、前記確率分布と、前記遅延試験における測定結果との一致度を算出し、選択する前記解析対象パスの組み合わせを変更し、前記一致度が改善した解析対象パスの組み合わせを用いて、前記ずれの要因を特定する。
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態の故障診断方法の一例を示す図である。
図2に示されている故障診断装置17は、制御部18と、半導体集積回路の設計情報と実チップに対する遅延試験の結果などを記憶する記憶部19を有している。制御部18は、図1に示すような故障診断方法を実行する。
次に、制御部18は、解析対象パスによる遅延時間の設計時の予測値と遅延試験での測定値とのずれ(差分値)を用いて、各FFが正しくデータを取り込める遅延時間の予測値の確率分布を算出する(ステップS2)。
図1の例では、解析対象パスがパスPaを含む場合と、解析対象パスがパスPbを含む場合とで、異なる確率分布が得られている。確率分布のグラフにおいて、横軸は、failing timingの予測値、縦軸は、確率を示している。
図1の例では、解析対象パスとしてパスPaが選択されたときの一致度がC1であったとする。続いて、解析対象パスとしてパスPbが選択されたとき、ステップS2,S3の処理が行われ、一致度がC2であったとする。ここで、一致度C1<C2、つまり、解析対象パスとしてパスPbが選択された場合のほうが、測定結果とよく一致する場合には、たとえば、パスPbを含む解析対象パスの組み合わせを用いて、ずれ要因が特定される。
以下、第2の実施の形態の故障診断方法を説明する。
故障診断方法は、たとえば、以下に示すような半導体装置の製造工程の一工程として行われる。
まず、設計装置により、EDA(Electronic Design Automation)を用いた設計及び各種検証が行われ(ステップS10)、その後、実チップの作成が行われる(ステップS11)。実チップ作成後には、遅延試験が行われる(ステップS12)。遅延試験では、FF間のfailing timingが測定される。そして、チップが規格を満たすか否かが判定される(ステップS13)。規格を満たさなかった場合には、故障診断処理が行われ、故障の要因などが特定される(ステップS14)。その後、設計の修正を行うために、たとえば、ステップS10からの処理が繰り返される。
以下、ステップS14の故障診断処理は、たとえば、以下のような故障診断装置で実行される。
図5は、第2の実施の形態の故障診断方法の一例の流れを示すフローチャートである。
スピードパス解析におけるずれ算出モデルは、たとえば、以下のような回帰式によって表される。
failing timingの予測値の確率分布は、たとえば、モンテカルロ法を用いて以下のように算出される。
一致度の他の算出方法であるカイ二乗値は、測定データと、算出された確率分布の偏りの一致度を算出するものである。
ftはfailing timingを示しており、単位はpsである。図7の例では、failing timingの大きさが4つの範囲で区分されている。すなわち、failing timingが、400psより小さい範囲、400ps以上420ps未満の範囲、420ps以上440ps未満の範囲、440ps以上の範囲、の4つである。
たとえば、解析対象パスの集合M1が(pa,pb,pc,…,pn)のとき、Cost(対数尤度)=−3で、解析対象パスの集合M2が(pa,pb,pc’,…,pn)のとき、Cost=−2.5であった場合、M1からM2への入れ替えが行われる。
ステップS24の処理で、解析対象パスを入れ替えないと判定した場合、またはステップS25の処理の後、CPU21は、解析対象パスの入れ替えを終了するか否かを判定する(ステップS26)。たとえば、全ての解析対象パスの組み合わせについて一致度の算出が終わった場合、または、計算時間などを考慮して、所定数回の入れ替えが行われた場合、解析対象パスの入れ替えを終了すると判定される。
図8は、算出された重み値の例を示す図である。横軸は特徴f1,f2,f3,…,fxを示し、縦軸は、重み値w1,w2,w3,…,wxの大きさを示している。
以上のように、本実施の形態の故障診断方法では、算出したfailing timingの予測値の確率分布が、遅延試験での測定結果とよく一致する解析対象パスの組み合わせを特定して、その組み合わせを用いて、ずれの要因を特定できる。そのため、故障診断結果の信頼性の悪化を抑制できる。
13 組み合わせ回路部
14 バッファ回路
15 NAND回路
16 AND回路
Claims (4)
- 制御部が、記憶部に記憶された半導体集積回路の設計情報と実チップに対する遅延試験の結果を読み出し、複数のフリップフロップのうちの1つに至る1または複数の活性化パスから、1つの解析対象パスを選択する処理を、前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して行い、
前記制御部が、前記設計情報と、前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して選択した前記解析対象パスの組み合わせからなる解析対象パス集合と、前記解析対象パス集合に含まれる前記解析対象パスのそれぞれによる複数の遅延時間である、設計時の複数の第1の予測値及び前記遅延試験における複数の測定値と、に基づき、前記第1の予測値と前記測定値とのずれを生じさせる要因の候補である複数の特徴値と、前記複数の特徴値のそれぞれに対する重み値とからなる回帰式により表されるずれ算出モデルを構築し、
前記制御部が、前記ずれ算出モデルを用いて、前記複数のフリップフロップが正しくデータを取り込める、前記解析対象パスによる遅延時間である設計時の第2の予測値の確率分布を算出し、
前記制御部が、前記確率分布と、前記複数のフリップフロップが正しくデータを取り込める、前記遅延試験における前記実チップに含まれる活性化パスによる遅延時間である測定値の集合との一致度を算出し、
前記制御部が、前記1または複数の活性化パスから選択する前記解析対象パスを入れ替えることで前記組み合わせを変更し、前記ずれ算出モデル、前記一致度を更新し、前記一致度が改善した前記組み合わせを用いて、前記回帰式を解き、前記重み値を求めることで前記ずれの要因を特定する、
故障診断方法。 - 前記制御部が、前記ずれ算出モデルにより得られた前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して選択した前記解析対象パスのそれぞれによる前記遅延時間の前記ずれに、チップ内の回路素子の遅延時間を乱数で変化させたときの前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して選択した前記解析対象パスのそれぞれによる前記遅延時間を加算したもののうち、最大値を前記第2の予測値とし、前記乱数による前記回路素子の遅延時間の変化を繰り返したときに得られる前記第2の予測値の集合を用いて、前記確率分布を算出する、請求項1記載の故障診断手法。
- 制御部と、
半導体集積回路の設計情報と実チップに対する遅延試験の結果を記憶する記憶部と、を有し、
前記制御部は、
記憶部に記憶された前記設計情報と実チップに対する前記遅延試験の結果を読み出し、複数のフリップフロップのうちの1つに至る1または複数の活性化パスから、1つの解析対象パスを選択する処理を、前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して行い、
前記設計情報と、前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して選択した前記解析対象パスの組み合わせからなる解析対象パス集合と、前記解析対象パス集合に含まれる前記解析対象パスのそれぞれによる複数の遅延時間である、設計時の複数の第1の予測値及び前記遅延試験における複数の測定値と、に基づき、前記第1の予測値と前記測定値とのずれを生じさせる要因の候補である複数の特徴値と、前記複数の特徴値のそれぞれに対する重み値とからなる回帰式により表されるずれ算出モデルを構築し、
前記ずれ算出モデルを用いて、前記複数のフリップフロップが正しくデータを取り込める、前記解析対象パスによる遅延時間である設計時の第2の予測値の確率分布を算出し、
前記確率分布と、前記複数のフリップフロップが正しくデータを取り込める、前記遅延試験における前記実チップに含まれる活性化パスによる遅延時間である測定値の集合との一致度を算出し、
前記1または複数の活性化パスから選択する前記解析対象パスを入れ替えることで前記組み合わせを変更し、前記ずれ算出モデル、前記一致度を更新し、前記一致度が改善した前記組み合わせを用いて、前記回帰式を解き、前記重み値を求めることで前記ずれの要因を特定する、
故障診断装置。 - 制御部が、記憶部に記憶された半導体集積回路の設計情報と実チップに対する遅延試験の結果を読み出し、複数のフリップフロップのうちの1つに至る1または複数の活性化パスから、1つの解析対象パスを選択する処理を、前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して行い、
前記制御部が、前記設計情報と、前記複数のフリップフロップのそれぞれに対して選択した前記解析対象パスの組み合わせからなる解析対象パス集合と、前記解析対象パス集合に含まれる前記解析対象パスのそれぞれによる複数の遅延時間である、設計時の複数の第1の予測値及び前記遅延試験における複数の測定値と、に基づき、前記第1の予測値と前記測定値とのずれを生じさせる要因の候補である複数の特徴値と、前記複数の特徴値のそれぞれに対する重み値とからなる回帰式により表されるずれ算出モデルを構築し、
前記制御部が、前記ずれ算出モデルを用いて、前記複数のフリップフロップが正しくデータを取り込める、前記解析対象パスによる遅延時間である設計時の第2の予測値の確率分布を算出し、
前記制御部が、前記確率分布と、前記複数のフリップフロップが正しくデータを取り込める、前記遅延試験における前記実チップに含まれる活性化パスによる遅延時間である測定値の集合との一致度を算出し、
前記制御部が、前記1または複数の活性化パスから選択する前記解析対象パスを入れ替えることで前記組み合わせを変更し、前記ずれ算出モデル、前記一致度を更新し、前記一致度が改善した前記組み合わせを用いて、前記回帰式を解き、前記重み値を求めることで前記ずれの要因を特定する、
処理をコンピュータに実行させるプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012082347A JP6056174B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | 故障診断方法、故障診断装置及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012082347A JP6056174B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | 故障診断方法、故障診断装置及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013210353A JP2013210353A (ja) | 2013-10-10 |
JP6056174B2 true JP6056174B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=49528298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012082347A Expired - Fee Related JP6056174B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | 故障診断方法、故障診断装置及びプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6056174B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6381409B2 (ja) * | 2014-10-30 | 2018-08-29 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 故障診断システム、故障診断方法および故障診断プログラム |
JP6520361B2 (ja) * | 2015-05-01 | 2019-05-29 | 富士通株式会社 | コンテンツ活用支援方法、コンテンツ活用支援プログラム、及びコンテンツ活用支援装置 |
CN110967614B (zh) * | 2018-09-28 | 2021-09-24 | 长鑫存储技术有限公司 | 芯片测试方法、芯片测试设备以及芯片 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5353679B2 (ja) * | 2009-12-17 | 2013-11-27 | 富士通株式会社 | 故障診断支援プログラム、および故障診断支援装置 |
-
2012
- 2012-03-30 JP JP2012082347A patent/JP6056174B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013210353A (ja) | 2013-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI776323B (zh) | 用於半導體設計與製造的統一材料至系統模擬、設計與驗證 | |
JP4664231B2 (ja) | タイミング解析方法及びタイミング解析装置 | |
US9740807B2 (en) | Method to measure edge-rate timing penalty of digital integrated circuits | |
KR20150145179A (ko) | 정적 타이밍 분석의 타이밍 디레이트 조정방법 | |
JP6056174B2 (ja) | 故障診断方法、故障診断装置及びプログラム | |
TWI818068B (zh) | 用於分段記憶體實體之方法及裝置 | |
KR102611888B1 (ko) | 스위칭 액티비티에 기초한 반도체 장치의 배치 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 장치 | |
JP5012816B2 (ja) | 信号選択装置とシステムと回路エミュレータ及び方法並びにプログラム | |
JP5567322B2 (ja) | テストフロー提示コンピュータプログラム、テストフロー提示コンピュータシステム | |
JP5691575B2 (ja) | 故障解析プログラム,故障解析装置および故障解析方法 | |
US20110077893A1 (en) | Delay Test Apparatus, Delay Test Method and Delay Test Program | |
JP5652003B2 (ja) | 遅延解析プログラム,遅延解析装置および遅延解析方法 | |
JP2007199951A (ja) | 半導体集積回路の設計支援装置、設計支援方法および設計支援プログラム | |
US8301431B2 (en) | Apparatus and method for accelerating simulations and designing integrated circuits and other systems | |
US8468409B2 (en) | Speed-path debug using at-speed scan test patterns | |
JP2007310873A (ja) | パラメータ抽出方法及び当該パラメータ抽出方法を実行させるプログラムを具備するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
JP6089627B2 (ja) | 消費電力見積り装置および消費電力見積り方法 | |
JP5799645B2 (ja) | 電源電圧設定方法及び電源電圧設定プログラム | |
KR101054706B1 (ko) | 넷리스트의 순차적 공통인자 기반의 분석을 위한 방법, 시스템 및 애플리케이션 | |
JP5899810B2 (ja) | 遅延解析プログラム,遅延解析装置および遅延解析方法 | |
JP4182279B2 (ja) | 論理検証方法及びプログラム | |
JP4778339B2 (ja) | 自動配置方法、装置、及びプログラム | |
JP2007305794A (ja) | 回路設計装置、設計方法、およびプログラム | |
JP2008084997A (ja) | 半導体装置設計支援システム | |
JP2024030713A (ja) | 温度調整プログラム、データ処理装置及びデータ処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6056174 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |