JP6053833B2 - ネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物、及び、それを電着塗装してなる塗膜 - Google Patents

ネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物、及び、それを電着塗装してなる塗膜 Download PDF

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Description

本発明は、ネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物、及び、それを電着塗装してなる塗膜に関する。
従来、プリント配線板におけるスルーホールのような三次元形状を有する電子回路基板において、アニオン性又はカチオン性の電着特性を有するネガ型やポジ型の電着フォトレジストが、微細加工用途、エッチング用途及びめっきマスク用途等に用いられてきている(特許文献1〜7)。
電着フォトレジストのタイプは使用する用途により使い分けられているが、電子回路基板のさらなる微細化に伴い、高感度であって、しかも耐薬品性をさらに高めた電着フォトレジストが要望されており、これまで種々の検討がなされてきている。
特定の粘性挙動を有するネガ型電着フォトレジストは、エッジ部の露出が少ないため良好なレジスト特性を有するが、感度の面では不十分であり、その性能を確保するためには塗膜厚を厚くする対策が必要である。
例えば、アクリル樹脂に置換基としてフッ素を有する共重合体を共重合したものを用いたネガ型電着フォトレジストは、塗膜の不粘着性に優れており、そのため、露光時でのフォトマスクの貼り付きがなく、さらに耐薬品性にも優れている。
しかしながら、市場からの生産性向上要望により、薄膜かつ低露光量で所定の感光特性が得られることが近年増々必要となってきているが、生産処理速度を上げた際に硬化不足が生じることがあり、レジスト膜としての特性の一層の向上が求められている。
以上のように、薄膜でありながら、かつ低露光量照射であっても、耐薬品性等のレジスト特性が良好な電着フォトレジスト組成物はこれまで提供されていなかった。
特開昭61−080240号公報 特開昭61−247090号公報 特開平1−191799号公報 特開平1−279251号公報 特開平4−116181号公報 特開2003−330188号公報 特開2007−248617号公報
本発明は、前記したような従来技術における問題を解決したものであり、薄膜にて高感度であり、しかも耐薬品性が良好なレジスト膜を形成できるネガ型カチオン性電着フォトレジスト組成物、及び、それを電着塗装してなる塗膜に関する。
上記問題に対して、鋭意研究の結果、本発明者らは、特定のネガ型カチオン性電着樹脂液により電着塗装を行なうことで、その問題を克服できることを知見し本発明に至った。
具体的には、共重合単量体の置換基としてアミノアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を含む水分散性ビニル系共重合体、架橋剤として多官能アクリレート、多官能チオ
ール、光重合開始剤を含むことを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物から製造したネガ型カチオン性電着樹脂液により電着塗装を行なうことで上記課題を解決できることを見出した。
すなわち、本発明は、
(A)以下の(a)及び(b)成分からなる水溶性又は水分散性ビニル系共重合体 35〜94.8重量部、
(a)アミノアルキル置換基を有する共重合性ビニル系単量体 3〜16重量部、
(b)上記以外の共重合性ビニル系単量体 84〜97重量部、
(B)1分子中にビニル基を3個以上有する多官能アクリレート 5〜50重量部、
(C)多官能チオール 0.2〜15重量部、
(D)光重合開始剤 (A)〜(C)の合計100重量部に対し1〜12重量部、
を含有することを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を要旨とするものである。
本発明のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物は、塗料安定性に優れ、これを用いて構成した電着塗料並びにこれにより形成されたネガ型カチオン性電着フォトレジスト塗膜は、高感度で優れた耐薬品性を有しており、産業上極めて有用である。
本発明について更に詳しく説明する。
本発明においては、(A)水溶性または水分散性ビニル系共重合体、(B)1分子中にビニル基を3個以上有する多官能アクリレート、(C)多官能チオール、(D)光重合開始剤の各成分は、電着塗膜および電着塗料用樹脂液を得るための必須構成成分である。
(A)成分の水溶性または水分散性ビニル系共重合体を構成するビニル系単量体のうち、(a)置換基としてアミノアルキル基を含有する単量体としては、炭素数1〜4のジアルキル基を有する炭素数1〜3のアミノアルキル基を有するアクリル系単量体を好適に用いることができる。
具体的には、アクリル酸ジメチルアミノメチル、アクリル酸ジエチルアミノメチル、アクリル酸ジプロピルアミノメチル、アクリル酸ジイソプロピルアミノメチル、アクリル酸ジブチルアミノメチル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸ジプロピルアミノエチル、アクリル酸ジイソプロピルアミノエチル、アクリル酸ジブチルアミノエチル、アクリル酸ジメチルアミノプロピル、アクリル酸ジエチルアミノプロピル、アクリル酸ジプロピルアミノプロピル、アクリル酸ジイソプロピルアミノプロピル、アクリル酸ジブチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチルアミノメチル、メタクリル酸ジエチルアミノメチル、メタクリル酸ジプロピルアミノメチル、メタクリル酸ジイソプロピルアミノメチル、メタクリル酸ジブチルアミノメチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸ジプロピルアミノエチル、メタクリル酸ジイソプロピルアミノエチル、メタクリル酸ジブチルアミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノプロピル、メタクリル酸ジエチルアミノプロピル、メタクリル酸ジプロピルアミノプロピル、メタクリル酸ジイソプロピルアミノプロピル、メタクリル酸ジブチルアミノプロピル等がある。
なかでもアクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノエチルが好適に使用できる。
(A)成分の水溶性又は水分散性ビニル系共重合体を構成するビニル系単量体のうち(b)(a)以外の共重合性ビニル系単量体としては、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、ノルマルブチルアクリレート、ノルマルブチルメタクリレート、ノルマルヘキシルアクリレート、ノルマルヘキシルメタクリレート、ノルマルヘプチルアクリレート、ノルマルヘプチルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ノルマルラウリルアクリレート、ラウリルメタクリレート、ステアリルアクリレート、ステアリルメタクリレート等の炭素数約20までのアルキル基を有する同様な共重合性ビニルエステルやシクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレートなどの置換基として脂環式炭化水素基を有する共重合性ビニルエステル系単量体、及び、スチレン、α−メチルスチレン、α−クロロスチレン、ビニルトルエン等の芳香族基を有するビニル系単量体が使用できる。
また、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノアクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノメタクリレート等の置換基として水酸基を有するものが使用できる。
さらにアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−イソブトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールメタクリルアミド、N−メトキシメチルメタクリルアミド、N−エトキシメチルメタクリルアミド、N−イソブトキシメチルメタクリルアミド、N−ブトキシメチルメタクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド類やアクリロニトリル、酢酸ビニル等を使用することも出来る。
(B)1分子中にビニル基を3個以上有する多官能化合物としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等のポリオール誘導体の多官能(メタ)アクリレート類、ペンタエリスリトールトリアリレート、ペンタエリスリトールテトラアリレート、トリメチロールプロパントリアリレート等の多官能アリレート類、ポリエステル(メタ)アクリレート類、市販品としてはアロニックスM−7100、アロニックスM−8030、アロニックスM−8060(いずれも東亞合成(株)製)、EO変性多官能アクリレート、PO変性多官能アクリレートなどのポリエーテル(メタ)アクリレート類、市販品としてはPETIA、PETRA、TMPTA、TMPEOTA、OTA480、EBECRYL12、EBECRYL40、EBECRYL140、DPHA(いずれもダイセル・サイテック(株)製)、アロニックスM−305、アロニックスM−309、アロニックスM−310、M−315、M−320、アロニックスM−350、アロニックスM−360、アロニックスM−370、アロニックスM−400、アロニックスM−402、アロニックスM−408、アロニックスM−450、(いずれも東亞合成(株)製)、ネオマーTA−401、TA−505、EA−301、DA−600(いずれも三洋化成工業(株)製)、NKエステルA−TMPT、NKエステルAD−TMP、NKエステルA−TMPT−3EO、NKエステルA−TMPT−9EO、NKエステルA−TM−4E、NKエステルA−TM−4P、NKエステルTMPT−9EO、NKエステルA−DPH、NKエステルA−TMMT、NKエステルA−9550、NKエステルATM−35E、NKエステルTMPT(いずれも新中村化学工業(株)製)、ウレタンアクリレート、デンドリティックアクリレート等が用いることが出来るがこれらに限定されない。なかでもポリオール誘導体の多官能(メタ)アクリレート類、ポリエーテル(メタ)アクリレート類が好適に使用できる。また、上記の一分子中に3個以上の不飽和基を有する化合物は、1種単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
(C)多官能チオールとしては、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)等のアルカンジオール誘導体多官能チオール、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、1,3,5−トリス- (3-メルカプトプロピオニルオキシエチル−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等のイソシアヌレート誘導体である多官能チオール、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトブチレート、トリメチロールエタントリス−3−メルカプトブチレート、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオネート等のトリメチロールアルカン誘導体である多官能チオール、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトブチレート、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオネート、ジペンタエリスリトールヘキサ−3−メルカプトプロピオネート等のペンタエリスリトール誘導体である多官能チオール、あるいは、チオール基を有するアルコキシシラン化合物の縮合物等があげられるがこれらに限定されない。
なかでもチオール官能基数が3以上であるイソシアヌレート誘導体の多官能チオール、トリメチロールアルカン誘導体の多官能チオール、ペンタエリスリトール誘導体の多官能チオールが好適に使用できるがこれらに限定されない。上記の多官能チオール化合物は、1種単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
市販品としては、カレンズMT BD1、カレンズMT NR1、カレンズMT PE1、TPMP、TEMB(昭和電工(株)製)、アデカハードナーEH−310、アデカハードナーEH−317(ADEKA(株)製)、QX−40(ジャパンエポキシレジン(株)製)、TEMPIC、TMMP、PEMP、DPMP、EGMP−4(SC有機化学(株)製)、ポリチオールQE−340M(東レ・ファインケミカル(株)製)、カップキュア3−800LC(ヘンケル(株)製)等があげられるがこれらに限定されない。
(D)光重合開始剤としては、電着フォトレジストの特性上、非水溶性のものが好ましい。例示すると、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−(4−モルフォリニル)−1−プロパノン、2−(4−メチル)ベンジル−2−(ジメチルアミノ)−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノン、2−ベンジル−2−(ジメチルアミノ)−1−[4−(4−モルフォリニル)フェニル]−1−ブタノンなどのα−アミノケトン類、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチルプロパン−1−オン、オリゴ 2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]プロパノン(商品名:EsacureKIP150、EsacureONE等Lamberti社製)等の分子量300以上のα−ヒドロキシケトン類、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、高分子チオキサントン(商品名:GENOPOL TX、RAHN社製)等のチオキサントン類、1−[4−(4−ベンゾイルフェニルスルファニル)フェニル]−2−メチル−2−[(4−メチルフェニル)スルフォニル]プロパン−1−オン等のケトスルフォン類が使用できる。なかでも、α−アミノケトン類、チオキサントン類、ケトスルフォン類が好ましい。
上記の光重合開始剤においては、1種、または、2種以上組み合わせて使用することができる。また、アミン等の光増感剤を併用することもできる。
本発明における(A)成分の水溶性または水分散性ビニル系共重合体のアミノアルキル基を中和するのに用いることのできる酸成分としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸、酪酸、2−エチルブタン酸、オクチル酸などの有機酸、又は硫酸、リン酸等が挙げられる。中でも酢酸、乳酸等が好適に使用できる。酸成分は、(A)成分中のアミノアルキル
基に対して、モル比が0.3〜0.9となるように添加すればよい。
また、本発明においては、必要に応じ、重合禁止剤、顔料、染料、界面活性剤、増粘剤、添加剤等を特性に悪影響しない範囲で使用することができる。
本発明のネガ型電着フォトレジスト用樹脂組成物において、各成分の配合割合は、上記成分水溶性、または、水分散性ビニル系共重合体(A)35.0〜94.8重量部、1分子中にビニル基を3個以上有する多官能アクリレート(B)5.0〜50.0重量部、多官能チオール(C)0.2〜15.0重量部、A〜Cの合計100重量部に対し、光重合開始剤(D)1.0〜12.0重量部であることが必要である。さらに(A)は(a)アミノアルキル基を側鎖に有する共重合性ビニル系単量体を3.0〜16.0重量部、(b)アミノアルキル基を側鎖に有しない共重合性ビニル系単量体を、84.0〜97.0重量部を含む。
特に好ましい配合割合は、成分(A)55.0〜84.0重量部、成分(B)15.0〜35.0重量部、成分(C)1.0〜10.0重量部、A〜Cの合計100重量部に対し、成分(D)3.0〜10.0重量部の範囲である。この時、(A)は(a)アミノアルキル基を側鎖に有する共重合性ビニル系単量体を5.0〜13.0、重量部、(b)アミノアルキル基を側鎖に有しない共重合性ビニル系単量体を、87.0〜95.0重量部を含む。
これに対して、(A)が35.0重量部未満の場合、電着液の水溶性が低下し電着液の安定性が低下することがある。また、94.8重量部を超えると塗膜の露光感度が落ちることがある。
さらに、(A)を構成する(a)が3.0重量部未満の場合、電着塗膜の水溶性が落ち、現像性が落ちることがあり、また、16.0重量部を超えると、電着塗膜の耐水性が落ち、耐めっき液性が悪くなることがある。
(B)が、5.0重量部未満では架橋密度が低くなり、現像時に塗膜が溶解することがある。また、50.0重量部を超えると塗膜に粘着性が出てくるといった問題が生じることがある。
(C)が0.2重量部未満の場合、露光感度が低下し、耐めっき液性が悪くなることがあり、15.0重量部を超えると塗膜の臭気やコスト面で問題が生じることがある。
(D)が1.0重量部未満の時、塗膜の露光感度が落ちることがある。但し、12.0重量部を超えても露光感度は向上しない。
本発明の電着条件としては、通電工程において、被塗物を陰極とし、印加電圧を15〜250V、好ましくは60〜180Vとし、通電時間を5〜180秒、好ましくは10〜60秒とし、浴温を25〜50℃、好ましくは30〜45℃とする。印加電圧は通電と同時に設定電圧をかけるハードスタート、あるいは徐々に設定電圧まで上げていくソフトスタートのいずれでもかまわない。
塗膜厚は従来品では7μm〜12μmで処理されていたが、本発明では高密着性のため薄膜の4μm〜7μmで所定の特性が得られる。
電着塗装された被塗装物は水洗され、次いで乾燥し、塗膜中の水分、溶剤成分を除去した後 紫外線を照射し露光される。紫外線光源としては、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプのいずれでもかまわない。露光のための光量は50mJ/cm〜800mJ/cmで、生産性向上の観点から、望ましくは50〜150mJ/cmである。 露光はマスクパターン越しに行い、所定のパターンを塗膜に焼き付ける。また、パターンの解像度を上げるために、マスクパターンは直接塗膜に接触させる方が好ましい。
露光された塗膜は、有機酸系の現像液により現像し、未露光部分を溶解除去する。この
現像液は、ギ酸、酢酸、乳酸等の有機酸を1〜5%程度の水溶液にしたものを室温から50℃の範囲で、好ましくは35〜45℃の範囲で使用する。また、必要であれば、ノニオン性界面活性剤を添加して現像時間を短縮することも出来る。
現像後に、被塗装物をめっき処理 又はエッチング処理を行う。その後、電着塗膜が不要であれば、剥離液で塗膜を剥離除去する。
本発明が適用できる被塗装物としては、プリント基板、リードフレーム、コネクター端子等の微細加工用途の電子部品のみでなく 導電性を有する微細加工用途のものであれば特に限定されることなくめっきレジスト、エッチングレジストとして使用できる。
例えば、透明性と導電性とを同時に付与することができるITO(Indium Tin Oxide)を蒸着したガラス板上でもかまわない。
また、本発明電着液の使用に関して、用途によりこれ以外の電着液とブレンド使用しても構わない。
本発明について、製造例、実施例および比較例によってさらに具体的に説明するが、本発明はこれらによって何ら限定されるものではない。
なお、製造例、実施例および比較例中の部は、特に断りのない限り重量部を意味する。
(製造例1)
水溶性又は水分散性のビニル系共重合体の製造撹拌装置、還流装置及び窒素導入管を備えた3リットル4つ口フラスコに、重量部でイソプロピルアルコール30部を仕込み、80℃に昇温した。別にイソプロピルアルコール10部、ジエチルアミノエチルメタクリレート10部、2−エチルヘキシルアクリレート5部、2−エチルヘキシルメタクリレート5部、エチルアクリレート5部、ブチルアクリレート18部、メチルメタクリレート57部、アゾビスイソブチロニトリル1部の混合液を滴下ロートに仕込み、前記フラスコ内に120分かけて滴下した。滴下終了後、さらに、イソプロピルアルコール3部、アゾビスイソブチロニトリル0.5部を、30分毎に3回添加した後、さらに90℃で180分反応を続けた。
得られた共重合体は、アミン価29.5mgKOH/gの水分散性ビニル共重合体(固形分66.0%)であった。
(製造例2)
ジエチルアミノエチルメタクリレートをジメチルアミノエチルアクリレートに変更した以外は、製造例1と同じ方法で作製した。得られた共重合体は、アミン価38.2mgKOH/gの水分散性ビニル共重合体(固形分66.0%)であった。
(製造例3)
水溶性または、水分散性のビニル系共重合体の製造撹拌装置、還流装置及び窒素導入管を備えた3リットル4つ口フラスコに、重量部でイソプロピルアルコール30部を仕込み、80℃に昇温した。別にイソプロピルアルコール10部、ジエチルアミノエチルメタクリレート10部、2−エチルヘキシルアクリレート5部、2−エチルヘキシルメタクリレート5部、エチルアクリレート5部、ブチルアクリレート18部、メチルメタクリレート52部、2,2,2−トリフルオロエチルアクリレート5部、アゾビスイソブチロニトリル1部の混合液を滴下ロートに仕込み、前記フラスコ内に120分かけて滴下した。滴下終了後、さらに、イソプロピルアルコール3部、アゾビスイソブチロニトリル0.5部を、30分毎に3回添加した後、さらに90℃で180分反応を続けた。得られた共重合体は、アミン価29.5mgKOH/gの水分散性ビニル共重合体(固形分66.0%)であった。
(実施例1)
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)23部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)2部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
(実施例2)
1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)をペンタエリスリトール テトラキス−3−メルカプトプロピオネート(SC有機化学(株)製多官能チオール化合物 PEMP)を使用する以外は実施例1と同様な方法で電着液を作製した。
(実施例3)
1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)をジペンタエリスリトール ヘキサ−3−メルカプトプロピオネート(SC有機化学(株)製多官能チオール化合物 DPMP)を使用する以外は実施例1と同様な方法で電着液を作製した。
(実施例4)
製造例2で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)23部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)2部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.9部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1116.6部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
(実施例5)
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)20部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)5部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
(実施例6)
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)23部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)1部、ジペンタエリスリトール ヘキサ−3−メルカプトプロピオネート(SC有機化学(株)製多官能チオール化合物 DPMP)1部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
(比較例1〜3)
(比較例1)
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)25部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
(比較例2)
製造例1で得られたビニル共重合体に代わりに製造例3で得られたビニル共重合体を使用する以外は比較例1と同様な方法で電着液を作製した。
(比較例3)
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)24.9部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)0.1部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
実施例1〜6および比較例1〜3の電着液配合割合及びその評価並びに塗膜の評価を表1、及び、表2に示す。
Figure 0006053833
(樹脂組成物の評価法)
実施例1〜5、比較例1〜3で作製した電着液を使用し、常法に従って陰極に厚さ0.2mmの銅板を、陽極に18−8ステンレス鋼板を用いて、浴温40℃、両極間に直流電圧を20秒間印加した。次いで電着塗布された銅板を取り出して充分に水洗したのち、6
0℃の温度で120秒間乾燥した。印加電圧は、5μm、及び、10μmの塗膜厚を得るために80V〜180Vの間で任意に変更することが可能である。上記条件にて析出させた塗膜の硬化条件を100mJ/cmおよび300mJ/cmとした。
(1)貯蔵安定性:電着液を5ケ月間室温にて静置し、沈降物の有無を判定した。
○:沈降物が発生なし、
△:沈降物がわずかに発生、
×:沈降物が多く発生。
(2)機械的液安定性:渦巻きポンプでのせん断力下における電着液の安定度を測定した。渦巻きポンプ(株式会社イワキ製MD−30)にて、10リットル/分の循環量で、電着液3リットルを45℃で8時間連続循環を行う。試験後その液を用い50×100(mm)の銅板に電着を行い、実体顕微鏡の観察にて電着塗膜中に直径50〜200μmの凝集物の有無で評価。
○:凝集物なし、
×:凝集物あり。
(3)耐めっき液性:銅板に上記方法で電着を行い温度60℃で120秒間乾燥した後に、所定のパターンのあるフォトマスク越しにメタルハライドランプにて波長365nmの光の強度を所定量、電着塗膜に露光し、温度40℃乳酸濃度1重量%の水溶液に2分間浸漬して未露光部分の電着塗膜を現像した。その後、シアン化銀めっき液(日本高純度化学株式会社製セレナブライトC)による被塗物へのめっきを50℃、20A/dmにて1分間電解めっきを行いめっきの染み込みを評価した。基材の銅板と現像後の電着塗膜界面に銀めっきが染み込み析出していれば不良、析出していなければ良とし、塗膜厚、及び、露光量依存性を以下のように評価した。
塗膜厚依存性…露光量100mJ/cmでの耐めっき液性評価、
○:5μm、10μmともに良、
△:5μmは不良だが10μmは良、
×:5μm、10μmともに不良
露光量依存性…塗膜厚5μmでの耐めっき液性評価、
○:100mJ/cm、300mJ/cmともに良、
△:100mJ/cmは不良、300mJ/cmは良、
×:100mJ/cm、300mJ/cmともに不良
Figure 0006053833
本発明のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を用いた電着液は、貯蔵安定性、機械的液安定性に優れ、またそれにより形成された電着塗膜も、これまでより薄い塗膜厚で低露光量照射の硬化塗膜でも良好な耐めっき液性を示しており、産業上極めて有用である。

Claims (4)

  1. (A)以下の(a)及び(b)成分からなる水溶性又は水分散性ビニル系共重合体 35.0〜94.8重量部、
    (a)アミノアルキル置換基を有する共重合性ビニル系単量体 3.0〜16.0重量部、
    (b)上記以外の共重合性ビニル系単量体(ただし、側鎖に炭素数1〜7のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を除く。) 84.0〜97.0重量部、
    (B)1分子中にビニル基を3個以上有する多官能アクリレート 5.0〜50.0重量部、
    (C)多官能チオール 0.2〜15.0重量部、
    (D)光重合開始剤 (A)〜(C)の合計100重量部に対し1.0〜12.0重量部、
    を含有することを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。
  2. 前記(C)多官能チオールが、チオール官能基数が3以上であるイソシアヌレート誘導体の多官能チオール、トリメチロールアルカン誘導体の多官能チオール及びペンタエリスリトール誘導体の多官能チオールから選ばれる1種又は2種以上の多官能チオールであることを特徴とする請求項1に記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。
  3. 前記(D)光重合開始剤が、α−アミノケトン類、チオキサントン類及びケトスルフォン類から選ばれる1種又は2種以上の光重合開始剤であることを特徴とする請求項1又は2に記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。
  4. 請求項1〜3のいずれかに記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を電着塗装してなる塗膜。
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