JP6053833B2 - ネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物、及び、それを電着塗装してなる塗膜 - Google Patents
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Description
電着フォトレジストのタイプは使用する用途により使い分けられているが、電子回路基板のさらなる微細化に伴い、高感度であって、しかも耐薬品性をさらに高めた電着フォトレジストが要望されており、これまで種々の検討がなされてきている。
特定の粘性挙動を有するネガ型電着フォトレジストは、エッジ部の露出が少ないため良好なレジスト特性を有するが、感度の面では不十分であり、その性能を確保するためには塗膜厚を厚くする対策が必要である。
しかしながら、市場からの生産性向上要望により、薄膜かつ低露光量で所定の感光特性が得られることが近年増々必要となってきているが、生産処理速度を上げた際に硬化不足が生じることがあり、レジスト膜としての特性の一層の向上が求められている。
以上のように、薄膜でありながら、かつ低露光量照射であっても、耐薬品性等のレジスト特性が良好な電着フォトレジスト組成物はこれまで提供されていなかった。
具体的には、共重合単量体の置換基としてアミノアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を含む水分散性ビニル系共重合体、架橋剤として多官能アクリレート、多官能チオ
ール、光重合開始剤を含むことを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物から製造したネガ型カチオン性電着樹脂液により電着塗装を行なうことで上記課題を解決できることを見出した。
(A)以下の(a)及び(b)成分からなる水溶性又は水分散性ビニル系共重合体 35〜94.8重量部、
(a)アミノアルキル置換基を有する共重合性ビニル系単量体 3〜16重量部、
(b)上記以外の共重合性ビニル系単量体 84〜97重量部、
(B)1分子中にビニル基を3個以上有する多官能アクリレート 5〜50重量部、
(C)多官能チオール 0.2〜15重量部、
(D)光重合開始剤 (A)〜(C)の合計100重量部に対し1〜12重量部、
を含有することを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を要旨とするものである。
本発明においては、(A)水溶性または水分散性ビニル系共重合体、(B)1分子中にビニル基を3個以上有する多官能アクリレート、(C)多官能チオール、(D)光重合開始剤の各成分は、電着塗膜および電着塗料用樹脂液を得るための必須構成成分である。
(A)成分の水溶性または水分散性ビニル系共重合体を構成するビニル系単量体のうち、(a)置換基としてアミノアルキル基を含有する単量体としては、炭素数1〜4のジアルキル基を有する炭素数1〜3のアミノアルキル基を有するアクリル系単量体を好適に用いることができる。
なかでもアクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノエチルが好適に使用できる。
なかでもチオール官能基数が3以上であるイソシアヌレート誘導体の多官能チオール、トリメチロールアルカン誘導体の多官能チオール、ペンタエリスリトール誘導体の多官能チオールが好適に使用できるがこれらに限定されない。上記の多官能チオール化合物は、1種単独又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
上記の光重合開始剤においては、1種、または、2種以上組み合わせて使用することができる。また、アミン等の光増感剤を併用することもできる。
基に対して、モル比が0.3〜0.9となるように添加すればよい。
また、本発明においては、必要に応じ、重合禁止剤、顔料、染料、界面活性剤、増粘剤、添加剤等を特性に悪影響しない範囲で使用することができる。
さらに、(A)を構成する(a)が3.0重量部未満の場合、電着塗膜の水溶性が落ち、現像性が落ちることがあり、また、16.0重量部を超えると、電着塗膜の耐水性が落ち、耐めっき液性が悪くなることがある。
(B)が、5.0重量部未満では架橋密度が低くなり、現像時に塗膜が溶解することがある。また、50.0重量部を超えると塗膜に粘着性が出てくるといった問題が生じることがある。
(C)が0.2重量部未満の場合、露光感度が低下し、耐めっき液性が悪くなることがあり、15.0重量部を超えると塗膜の臭気やコスト面で問題が生じることがある。
(D)が1.0重量部未満の時、塗膜の露光感度が落ちることがある。但し、12.0重量部を超えても露光感度は向上しない。
電着塗装された被塗装物は水洗され、次いで乾燥し、塗膜中の水分、溶剤成分を除去した後 紫外線を照射し露光される。紫外線光源としては、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプのいずれでもかまわない。露光のための光量は50mJ/cm2〜800mJ/cm2で、生産性向上の観点から、望ましくは50〜150mJ/cm2である。 露光はマスクパターン越しに行い、所定のパターンを塗膜に焼き付ける。また、パターンの解像度を上げるために、マスクパターンは直接塗膜に接触させる方が好ましい。
現像液は、ギ酸、酢酸、乳酸等の有機酸を1〜5%程度の水溶液にしたものを室温から50℃の範囲で、好ましくは35〜45℃の範囲で使用する。また、必要であれば、ノニオン性界面活性剤を添加して現像時間を短縮することも出来る。
現像後に、被塗装物をめっき処理 又はエッチング処理を行う。その後、電着塗膜が不要であれば、剥離液で塗膜を剥離除去する。
例えば、透明性と導電性とを同時に付与することができるITO(Indium Tin Oxide)を蒸着したガラス板上でもかまわない。
また、本発明電着液の使用に関して、用途によりこれ以外の電着液とブレンド使用しても構わない。
なお、製造例、実施例および比較例中の部は、特に断りのない限り重量部を意味する。
水溶性又は水分散性のビニル系共重合体の製造撹拌装置、還流装置及び窒素導入管を備えた3リットル4つ口フラスコに、重量部でイソプロピルアルコール30部を仕込み、80℃に昇温した。別にイソプロピルアルコール10部、ジエチルアミノエチルメタクリレート10部、2−エチルヘキシルアクリレート5部、2−エチルヘキシルメタクリレート5部、エチルアクリレート5部、ブチルアクリレート18部、メチルメタクリレート57部、アゾビスイソブチロニトリル1部の混合液を滴下ロートに仕込み、前記フラスコ内に120分かけて滴下した。滴下終了後、さらに、イソプロピルアルコール3部、アゾビスイソブチロニトリル0.5部を、30分毎に3回添加した後、さらに90℃で180分反応を続けた。
得られた共重合体は、アミン価29.5mgKOH/gの水分散性ビニル共重合体(固形分66.0%)であった。
ジエチルアミノエチルメタクリレートをジメチルアミノエチルアクリレートに変更した以外は、製造例1と同じ方法で作製した。得られた共重合体は、アミン価38.2mgKOH/gの水分散性ビニル共重合体(固形分66.0%)であった。
水溶性または、水分散性のビニル系共重合体の製造撹拌装置、還流装置及び窒素導入管を備えた3リットル4つ口フラスコに、重量部でイソプロピルアルコール30部を仕込み、80℃に昇温した。別にイソプロピルアルコール10部、ジエチルアミノエチルメタクリレート10部、2−エチルヘキシルアクリレート5部、2−エチルヘキシルメタクリレート5部、エチルアクリレート5部、ブチルアクリレート18部、メチルメタクリレート52部、2,2,2−トリフルオロエチルアクリレート5部、アゾビスイソブチロニトリル1部の混合液を滴下ロートに仕込み、前記フラスコ内に120分かけて滴下した。滴下終了後、さらに、イソプロピルアルコール3部、アゾビスイソブチロニトリル0.5部を、30分毎に3回添加した後、さらに90℃で180分反応を続けた。得られた共重合体は、アミン価29.5mgKOH/gの水分散性ビニル共重合体(固形分66.0%)であった。
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)23部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)2部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)をペンタエリスリトール テトラキス−3−メルカプトプロピオネート(SC有機化学(株)製多官能チオール化合物 PEMP)を使用する以外は実施例1と同様な方法で電着液を作製した。
1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)をジペンタエリスリトール ヘキサ−3−メルカプトプロピオネート(SC有機化学(株)製多官能チオール化合物 DPMP)を使用する以外は実施例1と同様な方法で電着液を作製した。
製造例2で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)23部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)2部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.9部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1116.6部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)20部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)5部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)23部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)1部、ジペンタエリスリトール ヘキサ−3−メルカプトプロピオネート(SC有機化学(株)製多官能チオール化合物 DPMP)1部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
(比較例1)
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)25部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
製造例1で得られたビニル共重合体に代わりに製造例3で得られたビニル共重合体を使用する以外は比較例1と同様な方法で電着液を作製した。
製造例1で得られたビニル系共重合体151.5部にジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート(東亜合成(株)製多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスM−400)24.9部、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(昭和電工(株)製多官能チオール化合物、カレンズMT NR1)0.1部、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(BASF(株)製光重合開始剤、イルガキュア907)5部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製光重合開始剤、カヤキュアDETX−S)2部、プロピレングリコールモノメチルエーテル16部、80%乳酸3.0部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水1117.5部を加えて固形分10%の電着液を作製した。
実施例1〜5、比較例1〜3で作製した電着液を使用し、常法に従って陰極に厚さ0.2mmの銅板を、陽極に18−8ステンレス鋼板を用いて、浴温40℃、両極間に直流電圧を20秒間印加した。次いで電着塗布された銅板を取り出して充分に水洗したのち、6
0℃の温度で120秒間乾燥した。印加電圧は、5μm、及び、10μmの塗膜厚を得るために80V〜180Vの間で任意に変更することが可能である。上記条件にて析出させた塗膜の硬化条件を100mJ/cm2および300mJ/cm2とした。
○:沈降物が発生なし、
△:沈降物がわずかに発生、
×:沈降物が多く発生。
(2)機械的液安定性:渦巻きポンプでのせん断力下における電着液の安定度を測定した。渦巻きポンプ(株式会社イワキ製MD−30)にて、10リットル/分の循環量で、電着液3リットルを45℃で8時間連続循環を行う。試験後その液を用い50×100(mm)の銅板に電着を行い、実体顕微鏡の観察にて電着塗膜中に直径50〜200μmの凝集物の有無で評価。
○:凝集物なし、
×:凝集物あり。
塗膜厚依存性…露光量100mJ/cm2での耐めっき液性評価、
○:5μm、10μmともに良、
△:5μmは不良だが10μmは良、
×:5μm、10μmともに不良
露光量依存性…塗膜厚5μmでの耐めっき液性評価、
○:100mJ/cm2、300mJ/cm2ともに良、
△:100mJ/cm2は不良、300mJ/cm2は良、
×:100mJ/cm2、300mJ/cm2ともに不良
Claims (4)
- (A)以下の(a)及び(b)成分からなる水溶性又は水分散性ビニル系共重合体 35.0〜94.8重量部、
(a)アミノアルキル置換基を有する共重合性ビニル系単量体 3.0〜16.0重量部、
(b)上記以外の共重合性ビニル系単量体(ただし、側鎖に炭素数1〜7のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を除く。) 84.0〜97.0重量部、
(B)1分子中にビニル基を3個以上有する多官能アクリレート 5.0〜50.0重量部、
(C)多官能チオール 0.2〜15.0重量部、
(D)光重合開始剤 (A)〜(C)の合計100重量部に対し1.0〜12.0重量部、
を含有することを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。 - 前記(C)多官能チオールが、チオール官能基数が3以上であるイソシアヌレート誘導体の多官能チオール、トリメチロールアルカン誘導体の多官能チオール及びペンタエリスリトール誘導体の多官能チオールから選ばれる1種又は2種以上の多官能チオールであることを特徴とする請求項1に記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。
- 前記(D)光重合開始剤が、α−アミノケトン類、チオキサントン類及びケトスルフォン類から選ばれる1種又は2種以上の光重合開始剤であることを特徴とする請求項1又は2に記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を電着塗装してなる塗膜。
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