JP6035831B2 - 温度測定方法および温度測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の表面温度を測定する温度測定方法および温度測定装置に関する。

測定対象物の温度を測定するための技術には様々なものがある。そのうち放射温度測定技術は、測定対象物からの放射光を利用して測定対象物の表面温度を非接触で測定する技術であり、放射温度計として実用化されている。放射温度計は、光電変換素子と光学フィルタとを備え、所定の波長帯域における測定対象物の放射エネルギーを測定し、測定された放射エネルギー値を温度に変換することによって、測定対象物の表面温度を測定する。このような放射温度計には、単一の波長で放射エネルギーを測定する単色放射温度計、２波長で放射エネルギーを測定する２波長式放射温度計（２色放射温度計）、さらに多くの波長で放射エネルギーを測定する多波長式放射温度計（多色放射温度計）がある。

測定対象物の放射エネルギーは、理想的な黒体からの放射エネルギーに測定対象物の放射率を乗じた値になるため、放射温度計を利用して測定対象物の表面温度を測定する際には、測定対象物の放射率の値が必要になる。このため、単色放射温度計では、測定対象物の放射率を予め測定しておき、予め測定された放射率を用いて測定対象物の表面温度を測定している。また、特許文献１には、放射源が測定対象物に放射する放射エネルギーの寄与率を変更しながら測定対象物の放射エネルギーを測定することにより、放射率と測定対象物の表面温度とを共に測定する技術が開示されている。

一方、上述のような放射源を有さない放射温度計として、以下のような２波長式放射温度計がある。すなわち、この２波長式放射温度計は、２波長での放射率の比を予め測定して設定しておく、又は、近接した２波長では放射率が等しいと仮定して、測定対象物の表面温度を測定する。しかしながら、放射率は測定対象物の状態に応じて変化し、測定対象物の放射率が時間的に変化する場合、温度測定誤差は大きくなる。このため、２波長式放射温度計および多波長式放射温度計では、温度測定誤差を小さくするために様々な提案がなされている。

具体的には、特許文献２〜４や非特許文献１には、測定対象物の放射率を動的に補正し、動的に補正された放射率を用いて測定対象物の表面温度を測定する技術が記載されている。詳しくは、これらの文献には、実験による測定データから得られた実験式又は分光放射率の理論式を用いて、一種の検量線を作る、又は、関係式（実験式、理論式）を満たすような放射率の組み合わせ解を決定するという方法で放射率を動的に補正する技術が記載されている。

特開平２−２４５６２４号公報 特公平３−４８５５号公報 特開平２−８５７３０号公報 特開平２−２３８３３３号公報

J.L.gardner, T.P.Jones and R.Davis, "A six-wavelength radiation pyrometer", High Temp-High pressure, vol.13, No.5, p.459-466(1981)

従来技術では、放射率の実際値に対して小さな誤差を有する放射率の初期値を関係式（実験式、理論式）に与えて繰り返し計算を行うことによって、放射率の組み合わせ解を決定することから、演算精度が放射温度計の測定精度を決定する。このため、測定精度が高い放射温度計を構成するためには、高精度の関係式を用いる必要がある。しかしながら、特に関係式として実験式を用いる場合には、高精度の実験式を求めるために、多くの実験を行う必要があり、多くの時間と手間とを要する。また、放射率の組み合わせ解を求めるためには、ソフトウェアおよびハードウェアが必要であり、特に繰り返し計算は時間が掛かる演算であるために、高速処理が可能なソフトウェアおよびハードウェアが要求される。また、放射率が時間的に変化する場合には、繰り返し計算が必ず放射率の実際値に収束するという保証がない。

このように、従来技術には、放射率の組み合わせ解を計算によって決定することに起因する問題がある。このため、放射率の組み合わせ解を計算せずに、放射率の変動の影響を受けることなく測定対象物の表面温度を高精度に測定可能な技術の提供が期待されていた。

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、放射率の組み合わせ解を計算せずに、放射率の変動の影響を受けることなく測定対象物の温度を高精度に測定可能な温度測定方法および温度測定装置を提供することにある。

上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明にかかる温度測定方法は、測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の表面温度を測定する温度測定方法であって、前記表面温度の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量式に従って前記スコアを用いて行い、前記基底スペクトルおよび前記検量式を、接触式温度計を用いて測定対象物を測定した温度測定値に応じて決定することを特徴とする。

また、本発明にかかる温度測定方法は、上記発明において、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定することを特徴とする。

また、本発明にかかる温度測定方法は、上記発明において、予め、複数の温度について測定した黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報を主成分分析して得た１つ以上の主成分のスコアと、前記黒体炉の温度との関係式を算出しておき、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記関係式により定まる前記接触式温度計の温度測定値に対応するスコアを用いて再構成された分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定することを特徴とする。

また、本発明にかかる温度測定方法は、上記発明において、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定することを特徴とする。

また、本発明にかかる温度測定装置は、測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の表面温度を測定する温度測定装置であって、前記表面温度の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量式に従って前記スコアを用いて行い、前記基底スペクトルおよび前記検量式が、接触式温度計を用いて測定対象物を測定した温度測定値に応じて決定されていることを特徴とする。

また、本発明にかかる温度測定装置は、上記発明において、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルが前記基底スペクトルとして決定されていることを特徴とする。

また、本発明にかかる温度測定装置は、上記発明において、予め、複数の温度について測定した黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報を主成分分析して得た１つ以上の主成分のスコアと、前記黒体炉の温度との関係式を算出しておき、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記関係式により定まる前記接触式温度計の温度測定値に対応するスコアを用いて再構成された分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルが前記基底スペクトルとして決定されていることを特徴とする。

また、本発明にかかる温度測定装置は、上記発明において、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルが決定されていることを特徴とする。

本発明に係る温度測定方法および温度測定装置によれば、放射率の組み合わせ解を計算せずに、放射率の変動の影響を受けることなく測定対象物の温度を高精度に測定することができる。

図１は、ある集団の構成員の身長と体重との関係を示す散布図である。 図２は、多点の波長情報と第１主成分との関係を示す図である。 図３Ａは、７段階の温度に対する黒体放射エネルギースペクトルを示す図である。 図３Ｂは、図３Ａに示す黒体放射エネルギースペクトルに対して対数演算を施した結果を示す図である。 図４は、図３Ｂに示す放射エネルギーの対数演算値に対して主成分分析を実行することによって得られた第１主成分および第２主成分を示す図である。 図５Ａは、第１主成分を用いた黒体放射エネルギースペクトルの再構成例を示す図である。 図５Ｂは、第１主成分と第２主成分とを用いた黒体放射エネルギースペクトルの再構成例を示す図である。 図６は、放射率変動の主成分ベクトルと放射エネルギーの主成分ベクトルとの関係を示す図である。 図７は、放射率変動の一例を示す図である。 図８は、測定対象物から取得された分光エネルギースペクトルを示す図である。 図９は、理想的な黒体放射エネルギースペクトルに対して主成分分析を実行することによって得られた第１主成分に対するスコアと測定対象物の温度との関係を示す図である。 図１０Ａは、図９に示す関係に基づいて測定対象物の表面温度を測定した結果を示す図である。 図１０Ｂは、従来技術を用いて測定対象物の表面温度を測定した結果を示す図である。 図１１は、本発明の一実施形態である温度測定装置の構成を示すブロック図である。 図１２は、図１１に示すＦＴＩＲの内部構成を示す模式図である。 図１３は、図１１に示す接触式温度計の構成を示す模式図である。 図１４は、本発明の一実施形態である回帰式作成処理の流れを示すフローチャートである。 図１５は、本発明の一実施形態である温度推定処理の流れを示すフローチャートである。 図１６は、本発明の他の実施形態である温度測定装置の構成を説明する模式図である。 図１７は、図１６に示す分光器の内部構成を示す模式図である。 図１８は、異なる温度条件で複数の鋼板の放射率を測定した結果を示す図である。 図１９は、実施例１における放射率の平均値に対する放射率の実測値の比の対数値と第１主成分を用いて対数値を表現したものとの関係を示す図である。 図２０Ａは、実施例１と従来技術とによって測定された測定対象物の表面温度の測定誤差を示す図である。 図２０Ｂは、実施例１と従来技術とによって測定された測定対象物の表面温度の測定誤差を示す図である。 図２１は、異なる速度で移動する複数の鋼板の放射率を測定した結果を示す図である。 図２２Ａは、実施例２における放射率の平均値に対する放射率の実測値の比の対数値と第１主成分を用いて対数値を表現したものとの関係を示す図である。 図２２Ｂは、実施例２における放射率の平均値に対する放射率の実測値の比の対数値と第１主成分および第２主成分を用いて対数値を表現したものとの関係を示す図である。 図２３は、実施例２の主成分分析で得られた放射率変動の第１主成分、放射率変動の第２主成分、および第１主成分および第２主成分に直交する放射エネルギーの主成分を示す図である。 図２４は、実施例２と従来技術とによって測定された測定対象物の表面温度の測定誤差を示す図である。

〔本発明の概念〕
測定対象物の放射エネルギーを利用した測定対象物の表面温度測定においては、以下の数式（１）に示すように、黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）に予め仮定した放射率のスペクトルε（λ）を乗じた測定値Ｌ（λ，Ｔ）が測定される。なお、数式（１）中のパラメータλは放射エネルギーの測定波長を示し、パラメータＴは測定対象物の表面温度を示している。

ここで、数式（１）の両辺のｌｏｇ（自然対数）を取り変形すると、以下に示す数式（２）が得られる。従って、数式（２）の右辺に測定値Ｌ（λ，Ｔ）と放射率のスペクトルε（λ）とを代入することによって、黒体放射エネルギースペクトルの自然対数ｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）の推定値を算出することができる。なお、ここで“推定値”と表現する理由は、予め仮定した放射率のスペクトルε（λ）が正確かどうかわからないためである。すなわち、放射率のスペクトルε（λ）が仮定した値からずれている場合には、算出された黒体放射エネルギースペクトルの自然対数ｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）の値は正しい値ではない。

但し、黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）は、本来、以下の数式（３）に示すプランクの放射則で表現される。なお、数式（３）中のパラメータｃ_１，ｃ_２は物理定数を示している。従って、黒体放射エネルギースペクトルの自然対数ｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）に放射率のスペクトルε（λ）に起因する誤差が含まれていたとしても、本来取りうる黒体放射エネルギースペクトルの自然対数ｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）の形は決まっているので、放射率のスペクトルε（λ）に関係なく黒体放射エネルギースペクトルの自然対数ｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）の真の形を推定できる可能性がある。そこで、黒体放射エネルギースペクトルの自然対数ｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）の形に着目するための一手法として、主成分分析（基底分解）を行うことを考える。

始めに、図１を参照して、一般的な主成分分析手法について説明をする。図１は、ある集団の構成員の身長Ｘ_１と体重Ｘ_２との関係を示す散布図である。一般に、身長Ｘ_１が大きい人は体重Ｘ_２が重いと言えるので、図１に示す散布図は右上がりの分布を有している。図１中に挿入した右上がりの線分Ｌ_１はこの分布の中心を通る線であり、いわば「体の大きさ」という尺度を表している。主成分分析手法とは、この身長Ｘ_１と体重Ｘ_２との組合せデータ（２次元情報）の本質的解釈が、「体の大きさｔ_１」という１次元の尺度で代表されるということを統計的に導く手法である。数学的には、この「体の大きさ」は第１主成分であり、この第１主成分と直交する、第１主成分の次に本質的な情報が第２主成分となる。図１に示す例では、第２主成分は物理的には「肥満度ｔ_２」なる尺度（線分Ｌ_２）と言える。

図１に示す例では、元々の２次元情報（身長、体重）が主成分分析によって「体の大きさ」という１次元情報に縮約される。従って、この本質を抜き出すという情報処理を表面温度推定における放射エネルギースペクトル波形に適用すれば、多点の波長情報から本質を抽出することができる。この場合、多点の波長情報は、図２に示すように測定波長の数と同じ次元数の空間上の１点として表現される。例えば７つの温度に対するｎ波長の分光スペクトルデータが与えられたとすると、ｎ次元空間上の７つの点が与えられることになる。従って、この７つの点のｎ次元空間における分布の広がりを考えて、最も広がりの大きな方向が第１主成分の方向となり、これが前述の７つの点を区別する、つまり７つの温度を区別する最も有力な手がかりとなる。

ここで、図３Ａに示す７つの温度に対する黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）（これは黒体炉を測定することにより得られる）に対数演算を施した結果であるｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）（図３Ｂ）に対して主成分分析を行ったときに得られた第１主成分および第２主成分を図４に示す。図４に示す第１主成分は、７つの温度に対する黒体放射エネルギースペクトルの自然対数ｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）を最も代表するスペクトル波形である。なお、黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）に対数演算を施した理由は、測定対象物の表面温度を実際に測定した場合に黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）に乗じた形で影響する放射率ε（λ）をｌｏｇε（λ）の加算という形で分離するためである。

次に、この第１主成分に直交するベクトル空間で７点のばらつきが２番目に大きな方向を取り出したものが第２主成分であり、これを同図に示す。直観的には、第１主成分が、温度とともに増大する平均的なエネルギーを表現する基底で、第２主成分が、細かな形を表現するための基底のように見える。以降、同様にして第３主成分以降の主成分も求めることができる。これら低次の主成分情報は、元の７つの黒体放射エネルギースペクトルｌｏｇＬ_Ｂ（λ，Ｔ）の本質的なスペクトル情報（基底スペクトル）である。

これら低次の主成分情報が、確かに元の７つの黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）の本質的なスペクトル情報（基底スペクトル）であるということを検証するため、基底スペクトルから元の７つの黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）を再構成した際の当てはまり具合を図５Ａ，図５Ｂに示す。再構成とは基底ベクトルを係数倍して足し合わせるという積和演算、つまり線形操作を行うことによって元のスペクトルを構成するものである。元の７つの黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）に、低次の基底ベクトル情報がどの位含まれているかにより再構成した際の当てはまり具合が変化する。図５Ａは第１主成分のみで再構成した結果、図５Ｂは第２主成分までで再構成した結果を示している。

図５Ｂから明らかなように、第２主成分までを使用することによって、７つの黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）のどれもが非常に良く再構成されていることがわかる。これは、１つ１つの黒体放射エネルギースペクトルＬ_Ｂ（λ，Ｔ）はＮ点の波長情報、つまりＮ次元の各座標で表現する必要はなく、２つの基底ベクトルの線形和という２つの係数分の２点の情報だけで表現できるということを意味している。換言すれば、Ｎ次元データが２次元データに圧縮されたとも言える。この際、次元数は大幅に圧縮されてはいるが、「基底ベクトル」という本質的なスペクトル形で再構成されているということが重要で、先に述べた放射率変動といった外乱には影響されにくいことが想定される。

図３Ｂに示す対数演算結果を改めて数式の形で補足する。図３Ｂに示す対数演算結果は、例えば波長２〜１０μｍの波長範囲内で０．３２μｍ毎に測定された波長方向（横軸）Ｎ＝２５０点における放射エネルギーに対数演算を施したものである。ここで、放射エネルギーのｌｏｇ値をｘ（ｉ，ｊ）として表すことにする。なお、パラメータｉ（＝１〜２５０）は、測定波長番号を表し、パラメータｊ（＝１〜７）は温度番号を示す。パラメータｊに対する温度はｙ（ｊ）であるとする。さらに、放射エネルギーのｌｏｇ値ｘ（ｉ，ｊ）に対して主成分分析を実施した結果得られた主成分ベクトルをｗ（ｉ，ｋ）とする。主成分ベクトルｗ（ｉ，ｋ）の決め方の説明は主成分解析の一般的文献に譲るが、簡単に説明すると、以下に示す数式（４）中のパラメータｊについてのばらつきが最大になるように第１主成分ｗ（ｉ，１）が決定され、第１主成分ｗ（ｉ，１）と直交するベクトルの中で以下に示す数式（５）中のパラメータｊについてのばらつきが最大になるように第２主成分ｗ（ｉ，２）が決定されるといった具合である。

各主成分の大きさ（ｉ＝１〜Ｎの各成分の二乗和の平方根）は１とする。主成分ベクトルｗ（ｉ，ｋ）において、パラメータｉは１〜２５０の範囲、パラメータｋは数学的には１〜Ｎの範囲で考えることができるが、本例ではｋ＝１，２の範囲で考える。一般に、パラメータｋがより小さい（低次の主成分）場合がより放射エネルギーのｌｏｇ値ｘ（ｉ，ｊ）の本質を表すことになるが、パラメータｋの範囲の選び方に関しては本発明では特に限定しない。なお、第１主成分ｗ（ｉ，１）のみで元の放射エネルギーデータを再構築した値は以下に示す数式（６）によって表される。

数式（６）中のパラメータａ（ｋ，ｊ）は数学的には主成分得点若しくはスコアと呼ばれる定数（スカラー）である。そして、数式（６）を対数演算を施す前の状態、すなわち、以下に示す数式（７）で表される値として表示したものが図５Ａに示した再構築例である。なお、数式（７）中のｅは自然対数の底を表している。

同様に、第１主成分ｗ（ｉ，１）に第２主成分ｗ（ｉ，２）を加えて元の放射エネルギーデータを再構築した値は以下に示す数式（８）によって表される。そして、同様に、数式（８）を対数演算を施す前の状態で表示したものが図５Ｂに示した再構築例である。この第２主成分ｗ（ｉ，２）までを使って再構築した放射エネルギーデータでほぼ元の放射エネルギーのｌｏｇ値ｘ（ｉ，ｊ）を再現することができる。このことは、実温度を推定する場合、２５０点のデータから構成される放射エネルギーのｌｏｇ値ｘ（ｉ，ｊ）を使用する代わりに、たかだか２点のデータであるスコアａ（ｋ，ｊ）を使用しても情報の質が落ちないということを意味している。

なお、スコアａ（ｋ，ｊ）は、主成分ベクトルｗ（ｉ，ｋ）と元の放射エネルギーのｌｏｇ値ｘ（ｉ，ｊ）との内積を算出することによって導出され、個々の成分は、以下に示す数式（９）によって導出される。

以上が、分光スペクトルデータに対して主成分分析を行う際の基本的な考え方である。ここでは、さらに、測定対象物の放射率変動の影響を受けないようにするための、主成分分析の適用方法について考える。放射率の変動があった場合、放射率を予め既知の放射率値ε(λ)と操業条件などによって変化し得る放射率変動分δε(λ)とに分けて、数式（１）に対応する形で測定値Ｌ（λ，Ｔ）は以下に示す数式（１０）のように記述することができる。ここで、数式（１０）中のパラメータε₀(λ)は設定値などの基準となる放射率、パラメータδε(λ)は種々の条件下での放射率の変動を表している。

上記数式（１０）両辺のｌｏｇ（自然対数）を取り変形すると、以下に示す数式（１１）が得られる。従来の放射温度測定では、測定波長における放射率ε₀(λ)は既知として、単色温度計では以下に示す数式（１２）により表される仮定、２色温度計では以下に示す数式（１３）により表される仮定をおき、方程式を解くことによって表面温度を求めている。しかしながら、これらの仮定が厳密には成立せずに温度誤差が生じることが多い。

そこで、ここでは測定対象物の放射率変動の挙動が予めわかっているとして、その放射率変動データに対して主成分分析を行い、放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）を算出する。放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）は、測定対象物の放射率変動の統計的挙動を表現するものになる。換言すれば、この放射率変動の主成分ベクトルと直交するベクトルは全て、放射率変動を受けないベクトルと言える。図６に以上の説明の概念図を示す。すなわち、図６に示すように、放射率変動の主成分ベクトルＶ_２と直行する放射エネルギーの主成分ベクトルＶ_１は、放射率変動の影響を受けず、測定対象物の温度に対する感度が最大になる。

従って、放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）に必ず直交するという制約の下、放射エネルギーの主成分分析を行うことにより、放射率変動の影響を受けずに放射エネルギーの本質的な情報を取り出すことができる。具体的な手順としては、以下の数式（１４）に示すように、放射エネルギーｘ（ｉ，ｊ）から予め放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）を除いておいた値に対して主成分分析を行う。これにより、求められる主成分は、いずれも放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）と直交するものとなる。また多くの場合、放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）はあくまで統計的なもので、実際の放射率変動は放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）とは完全には一致せずにずれがあることも考えられる。しかしながら、このような場合であっても、数式（１４）を利用して求めた主成分は放射率変動の第１主成分ｖ（ｉ，１）とはほぼ直交していると考えられるので、最も誤差が乗りにくい条件が実現できていると考えられる。

上述の概念に基づいて、放射率の大きさが図７に示すように変化する測定対象物の温度測定シミュレーションを行った例について説明する。なお、本例は、放射率変動が定数倍、すなわち、パラメータＫを定数としたとき、以下に示す数式（１５）が成立する例である。従って、対数演算を施した後の放射率変動の主成分は、全ての波長成分が同一の値を持つ、いわゆる直流成分となる。このように放射率が変化する場合、測定される放射エネルギーは、図５Ａに示すような黒体放射エネルギーに放射率が乗じられた値として測定される。８００℃の場合の各放射率に対応して測定される分光エネルギースペクトルを図８に示す。図から明らかなように、８００℃で放射率が低い場合には、７５０℃で放射率が想定値通りであった場合と波形が類似しており、従来方式のうち、単色温度計ではこのように放射率が変化している測定対象物を精度よく測定することは難しい。

そこで、これらの波形を対数演算後、想定している放射率データであるｌｏｇε（λ）を減算した波形に対し、放射率変動を表現する基底（この場合は直流成分）と、放射率変動を表現する基底と直交し、且つ、黒体放射エネルギースペクトルを表現するのに本質的な基底（第１主成分）とを用いて表現する。そして、その第１主成分に乗ぜられる係数に着目する。その理由は、黒体放射エネルギースペクトルの第１主成分に対応する係数は放射率変動の影響を受けずに、黒体放射エネルギースペクトル波形を表現するために本質的な情報を有していると考えられるからである。

ここで、放射率変動の主成分を除いた後の第１主成分の係数に注目して見ると、理想的な黒体放射エネルギースペクトルに主成分分析を適用した際の、第１主成分に対する係数（スコア）と測定対象の温度との関係が図９に示すような関係であることがわかる。このため、図９に示す関係から、第２主成分に対する係数と測定対象の温度との関係を表す検量線を計算しておき、放射率が増減した場合の測定放射エネルギースペクトルから計算した第１主成分に対する係数を用いて温度を推定した。その結果、図７に示したような放射率の増減があった場合でも、図１０Ａに示すような誤差に収まることが確認された。なお、２色温度計（この場合は波長２μｍと波長４μｍ）で測定を行った場合の誤差は、図１０Ｂに示すように、完全に放射率の比が等しい条件が成立している場合は誤差が小さいが、放射率の比が必ずしも等しくなく、変動しているような場合には大きい。

従って、本発明の目的である温度推定のための元情報としては、多数の波長からなる分光情報に対して主成分分析を行い、低次の主成分で元分光情報を再構成した場合の、基底ベクトルの係数倍という情報（主成分得点）が有効であることが確認された。先の例に照らし合わせて換言すると、元のＮ点波長データから温度を推定する代わりに、Ｎ点波長データを第２主成分までのスコアである２点データに次元圧縮し、その２点情報から温度データを通常の重回帰手法で推定する。図５Ａ，５Ｂで示したように、この２点情報から十分にＮ点波長データを再現できることを考えると、この２点情報には温度を推定するための十分な情報が入っているからである。

数式の形で補足すると、オリジナルのＮ点波長データから温度を推定する以下に示す数式（１６）の代わりに、第２主成分までのスコアである２点データから温度を推定する以下に示す数式（１７）を用いて温度を推定する。

以下、図面を参照して、上記の本発明の概念に基づき想到された本発明の一実施形態である温度測定装置およびその温度測定方法について詳しく説明する。

〔温度測定装置の構成〕
始めに、図１１、図１２を参照して、本発明の一実施形態である温度測定装置の構成について説明する。

図１１は、本発明の一実施形態である温度測定装置の構成を示すブロック図である。図１２は、図１１に示すＦＴＩＲの内部構成を示す模式図である。図１３は、図１１に示す接触式温度計の構成を示す模式図である。図１１に示すように、本発明の一実施形態である温度測定装置１は、ＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）２、接触式温度計３０、エアシリンダ４０、回帰式作成部３、および温度推定部４を備えている。

ＦＴＩＲ２は、測定対象物である鋼板５からの放射エネルギーの分光スペクトルを測定するものである。図１２に示すように、ＦＴＩＲ２は、ミラー１１、ハーフミラー１２、可動ミラー１３、ミラー１４、ミラー１５，１６、および検出器１７を備え、ミラー１１、ハーフミラー１２、可動ミラー１３、およびミラー１４〜１６は干渉計１８を構成している。鋼板５から発せられた放射光は干渉計１８に導かれ、検出器１７が干渉計１８から出た光の光量を測定する。

このとき、干渉計１８の可動ミラー１３を移動しながら時系列的に測定した検出器１７の信号をフーリエ変換することにより、鋼板５からの放射エネルギーの分光スペクトル情報が得られる。この場合、１つの分光スペクトル情報を得るために、可動ミラー１３を移動させるだけの時間を要するが、その間の温度変動が十分小さければ問題ない。分光スペクトルを測定する方法は、これ以外にも、回折格子を利用する方法、波長選択フィルタを利用する方法など種々考えられるが、いずれの方法を利用しても構わない。

接触式温度計３０は、測定対象物である鋼板５に熱電対を接触させて鋼板５の温度を測定するものである。実際の製造プロセスにおける温度測定場面では、焼鈍炉等の炉内を所定速度で搬送されている状態の鋼板を対象に温度を測定する。このため、本実施形態では、接触式温度計３０は、移動体の温度を測定するものとして一般的に用いられるものを採用する。

すなわち、例えば、図１３に示すように、接触式温度計３０は、所定速度で搬送される鋼板５上を安定追従するためのタッチロール３１を介してボディ３３が載上されてなり、このボディ３３に取り付けられたそり状の金属箔３５が鋼板５上を摺動するように構成されている。この金属箔３５の裏面側には、熱電対３７の感熱部３７１が配され、温度測定はこの感熱部３７１で行われる。ここで、ボディ３３は、熱電対３７を支持して感熱部３７１を金属箔３５の裏面側の所定位置に保持し、金属箔３５を介して温度を測定するように配置される。この接触式温度計３０は、ボディ３３に取り付けられたエアシリンダ４０を駆動することで、図１３中に矢印で示す上下方向に移動可能に構成され、温度測定時は金属箔３５を鋼板５と接触・摺動させる一方、測温しない場合には、鋼板５から離間して上方に退避するようになっている。この接触式温度計３０の温度指示値（温度測定値）は回帰式作成部３に随時出力される。

回帰式作成部３および温度推定部４は、マイクロコンピュータなどの情報処理装置によって構成されている。回帰式作成部３は、後述する回帰式作成処理を実行することによって、温度推定部４が鋼板５の表面温度を推定する際に使用する基礎データ（基底スペクトルおよび重回帰係数）を算出する。温度推定部４は、後述する温度推定処理を実行することによって、回帰式作成部３によって算出された基礎データを用いて鋼板５の表面温度を測定する。

このような構成を有する温度測定装置１は、以下に示す回帰式作成処理および温度推定処理を実行することによって、鋼板５の表面温度を推定する。以下、図１４および図１５に示すフローチャートを参照して、回帰式作成処理および温度推定処理を実行する際の温度測定装置１の動作について説明する。

〔回帰式作成処理〕
始めに、図１４に示すフローチャートを参照して、回帰式作成処理を実行する際の温度測定装置１の動作について説明する。

図１４は、本発明の一実施形態である回帰式作成処理の流れを示すフローチャートである。図１４に示すフローチャートは、鋼板５の表面温度を測定する前の所定のタイミングで開始となり、回帰式作成処理はステップＳ１の処理に進む。なお、この回帰式作成処理を実行する前に、予め種々の温度の黒体炉から発せられる放射エネルギーの分光スペクトル情報がＦＴＩＲ２により測定され、得られた分光スペクトル情報とそのときの黒体炉の温度とが対応付けられてデータベース化されているものとする。また、この回帰式作成処理と並行して、炉内において接触式温度計３０が間欠的に鋼板５に接触して鋼板５の温度を測定するとともに、この温度測定と同時にＦＴＩＲ２が鋼板５の放射エネルギーの分光スペクトル情報を取得するようになっており、その温度指示値および分光スペクトル情報が回帰式作成部３に随時入力される。

ステップＳ１の処理では、回帰式作成部３が、前述のように接触式温度計３０から随時入力される温度指示値に基づき、その温度と対応付けられた黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報を前述のデータベースから検索して、検量線作成用の分光スペクトル情報として取得する。これにより、ステップＳ１の処理は完了し、回帰式作成処理はステップＳ２の処理に進む。

ここで、接触式温度計３０から入力される温度指示値は、その温度を測定した際の金属箔３５と鋼板５との接触具合によってばらつく場合が想定される。このため、接触式温度計３０から入力される温度指示値をそのまま用いる場合に限らず、例えば所定時間内に測定した複数の温度指示値の最大値や平均値等、二次的に算出される値を用いることとしてもよい。

また、測定対象物の温度として想定される温度範囲が広範囲に亘る場合等、その温度範囲を網羅するように全ての温度について黒体炉の分光スペクトル情報を測定しておくことが困難な場合もある。このような場合には、予め温度範囲内の何点かの温度について測定した黒体炉の分光スペクトル情報を主成分分析してスコアを算出し、スコアと黒体炉温度との関係式を算出しておくようにしてもよい。そして、ステップＳ１では、算出しておいた関係式から温度指示値の温度に対応するスコアを求め、求めたスコアを用いて温度指示値の温度における分光スペクトル情報を図５Ｂに示したのと同様の手法で再構成して、これを検量線作成用の分光スペクトル情報として取得するようにしてもよい。

ステップＳ２の処理では、回帰式作成部３が、ステップＳ１の処理によって随時取得される検量線作成用の分光スペクトル情報と、該当する分光スペクトル情報の取得に用いた温度指示値の温度測定時にＦＴＩＲ２を介して取得された鋼板５の放射エネルギーの分光スペクトル情報との比演算を行うことにより、放射率データを蓄積していく。そして、蓄積した放射率データから得られる放射率変動データの対数演算を行う。これにより、ステップＳ２の処理は完了し、回帰式作成処理はステップＳ３の処理に進む。

ステップＳ３の処理では、回帰式作成部３が、ステップＳ２の処理によって算出された放射率変動データに対して主成分分析を実行する。そして、さらに、回帰式作成部３は、同じくステップＳ２の処理によって算出された黒体炉の放射エネルギースペクトルに対して、放射率変動データの主成分と直交する条件のもとで主成分分析を実行する。これにより、ステップＳ３の処理は完了し、回帰式作成処理はステップＳ４の処理に進む。

ステップＳ４の処理では、回帰式作成部３が、ステップＳ３の処理によって得られた主成分分析の結果から、使用する主成分を基底として抽出する。また、回帰式作成部３は、既述の数式（９）を利用して、各基底スペクトルのスコアａ（ｋ，ｊ）を算出する。これにより、ステップＳ４の処理は完了し、回帰式作成処理はステップＳ５の処理に進む。

ステップＳ５の処理では、回帰式作成部３が、ステップＳ４の処理によって算出されたスコアａ（ｋ，ｊ）と検量線作成用の分光スペクトル情報に対応した接触式温度計３０の温度指示値の温度とを既述の数式（１７）に適用することによって既述の数式（１７）の重回帰式における重回帰係数ｃ（ｋ）を算出する。そして、回帰式作成部３は、基底スペクトル（主成分ｗ（ｉ，ｋ）、ｋ＝１，２）および重回帰係数（ｃ（ｋ）、ｋ＝１，２）のデータを基礎データとして温度推定部４に出力する。これにより、ステップＳ５の処理は完了し、一連の回帰式作成処理は終了する。

なお、ここでは、放射率変動の主成分を求め、この放射率変動の主成分と直交する放射エネルギーの主成分を求めることで放射率変動の影響を受けない基底を抽出することとしたが、これに限定されるものではない。例えば、ＰＬＳ（部分的最小二乗法）等を用い、放射率変動の影響を受けている鋼板から取得した分光スペクトル情報に基づき接触式温度計３０の温度指示値と最も相関の強い基底を直接求めるようにしてもよく、基底の抽出には種々の数理統計解析手法を用いることが可能である。

〔温度推定処理〕
次に、図１５に示すフローチャートを参照して、温度推定作成処理を実行する際の温度測定装置１の動作について説明する。

図１５は、本発明の一実施形態である温度推定処理の流れを示すフローチャートである。図１５に示すフローチャートは、回帰式作成処理が終了した後の所定のタイミングで開始となり、温度推定処理はステップＳ１１の処理に進む。

ステップＳ１１の処理では、温度推定部４が、ＦＴＩＲ２を介して鋼板５からの放射エネルギーの分光スペクトル情報を取得する。これにより、ステップＳ１１の処理は完了し、温度推定処理はステップＳ１２の処理に進む。

ステップＳ１２の処理では、温度推定部４が、ステップＳ１１の処理によって取得した分光スペクトル情報に対して対数演算処理を実行し、既述の数式（２）を利用して対数演算値から想定している放射率のスペクトルε（λ）の対数値を減算する。これにより、ステップＳ１２の処理は完了し、温度推定処理はステップＳ１３の処理に進む。

ステップＳ１３の処理では、温度推定部４が、ステップＳ１２の減算処理結果ｘ（ｉ，ｊ）と回帰式作成部３から入力された基底スペクトル（主成分ｗ（ｉ，ｋ）、ｋ＝１，２）とを既述の数式（９）に代入することによって、本発明に係る第２の係数に対応する測定対象物のスコアａ（ｋ，ｊ）を算出する。これにより、ステップＳ１３の処理は完了し、温度推定処理はステップＳ１４の処理に進む。

ステップＳ１４の処理では、温度推定部４が、ステップＳ１３の処理によって算出されたスコアａ（ｋ，ｊ）と回帰式作成部３から入力された重回帰係数（ｃ（ｋ）、ｋ＝１，２）とを既述の数式（１７）に適用することによって回帰演算を行い、鋼板５の表面温度を推定する。これにより、ステップＳ１４の処理は完了し、一連の温度推定処理は終了する。

以上の説明から明らかなように、本発明の一実施形態である温度測定装置１では、回帰式作成部３が、検量線作成用の分光スペクトル情報を基底分解し、その基底のスコアａ（ｋ，ｊ）を算出し、スコアａ（ｋ，ｊ）と検量線作成用の分光スペクトル情報に対応した温度データとから重回帰係数（ｃ（ｋ）、ｋ＝１，２）を算出する。具体的にはこのとき、実際の製造プロセスで用いる焼鈍炉において鋼板５の温度を接触式温度計３０で測定するとともに、この温度測定と同時に鋼板５の放射エネルギーの分光スペクトル情報を取得し、接触式温度計３０の温度指示値に従って、鋼板５から取得した分光スペクトル情報を用いることで基底スペクトルを得て重回帰係数を算出する。そして、温度推定部４が、測定対象物の分光スペクトル情報と回帰式作成部３によって算出された基底とに基づいて基底に掛かるスコアａ（ｋ，ｊ）を算出し、算出されたスコアａ（ｋ，ｊ）と重回帰係数（ｃ（ｋ）、ｋ＝１，２）とに基づいて測定対象物の温度を推定する。これにより、予め接触式温度計等を用いて測定した測定対象物の温度に応じて基底スペクトルや重回帰係数を取得することができるので、測定対象物の温度測定に際し、炉内の雰囲気等、焼鈍炉固有の誤差を抑制することができる。したがって、放射率の組み合わせ解を計算せずに、放射率の変動の影響を受けることなく測定対象物の温度を高精度に測定することができる。

なお、本発明を実現するための温度測定装置の構成は、図１１に示した構成に限定されるものではない。図１６は、本発明の他の実施形態である温度測定装置１ａの構成およびこの温度測定装置１ａを適用した焼鈍炉の一部を切り欠いて内部を示した模式図である。図１７は、図１６に示す分光器８の内部構成を示す模式図である。なお、図１６において、上記した実施形態と同様の構成には、同一の符号を付する。

この温度測定装置１ａは、製造プロセスにおいて焼鈍炉等の炉内で加熱される鋼板５ａの温度を測定するためのものであり、焼鈍炉の炉体９およびこの炉体９内面の断熱材９１を貫通する貫通穴９３に挿入された光ファイバ６、光ファイバ６の炉内側に位置する一端側に設置されたコリメートレンズ７、光ファイバ６の炉外側の他端に接続された分光器８、回帰式作成部３、および温度推定部４を備えている。測定対象物である鋼板５ａからほぼ平行に放射される光（測定光）は、コリメートレンズ７および光ファイバ６を経て分光器８に入射する。

ここで、貫通穴９３に挿入された光ファイバ６の一端部および一端側のコリメートレンズ７は、断熱材９１等から放射される光が測定光に混入しないよう、水冷遮光管９５によって周囲と区画されている。また、この水冷遮光管９５の内部空間は、レンズ部分等の汚染防止のため、配管９７を介して充填される窒素によってパージされる。

分光器８は、例えばクロスチェルニーターナー型の分光器で実現され、コリメートミラー８１、回折格子８２、フォーカスミラー８３、および検出器８４を備えている。この分光器８において、光ファイバ６の他端から入射する測定光は、コリメートミラー８１で平行光とされた後、回折格子８２に入射して分光される。そして、分光された測定光は、フォーカスミラー８３を経由し、検出器８４にて全波長が同時に受光されて検出される。本例では、炉内の鋼板５ａを測定対象物とし、８００℃〜１１００℃前後の比較的高温の温度を測定する。このため、検出器８４の検出素子としては、一次元アレイ状のＳｉのＣＣＤやフォトダイオードアレイ等を用い、比較的短い波長域、具体的には、０．４μｍ〜０．８μｍや０．４μｍ〜１．０μｍ等の波長域を検出するようにしている。

〔実施例１〕
図１８は、炉内にて８００〜１１００℃の異なる温度条件で複数の鋼板の放射率を測定した結果を示す図である。図１８に示す放射率は、予め温度を変化させて黒体炉を測定しておき、鋼板を図１６に示す温度測定装置１ａで測定したときの出力（分光スペクトル情報）と、図示しない熱電対を鋼板に接触させることで測定した真温度と同温度における黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報との比演算を行うことにより求める。

この図１８に示すデータから放射率の平均値を算出し、放射率の平均値に対する放射率の実測値の比（放射率変動分）の対数を計算したもの（細線；数式（１１）のｌｏｇδε（λ））と、それを第１主成分にて表現したもの（太線）を図１９に示す。図１９からわかるように、細かい部分で一致していない箇所はあるが、ほぼ統計的には放射率変動分を第１主成分にて表現することができている。そして、この放射率変動の第１主成分に直交する制約の下、放射エネルギーの主成分分析を行い、その主成分（第１主成分）に対するスコアを計算することにより温度を測定した結果を図２０Ａ、図２０Ｂに示す。図２０Ａ、図２０Ｂから明らかなように、本発明の一実施形態である温度測定装置によれば、２色温度計と比較して、放射率の変動の影響を受けることなく測定対象物の温度を高精度に測定できることが確認された。

〔実施例２〕
図２１は、炉温を８６０℃と一定にした状態で、異なる速度で炉内を搬送される複数の鋼板の放射率を測定した結果を示す図である。これは、炉内における鋼板の移動速度（搬送速度）が変化した場合を想定している。鋼板の移動速度が変わると、炉内での加熱時間が変化する。この結果、酸化膜厚が変化するため、図２１に示すように放射率も変動する。

この図２１に示すデータから放射率の平均値を算出し、放射率の平均値に対する放射率の実測値の比（放射率変動分）の対数を計算して、主成分分析を行った。求めた対数（細線）と、それを第１主成分のみを使用して表現したもの（太線）との対比について、代表的なものを図２２Ａに示す。また、求めた対数（細線）と、それを第１主成分および第２主成分を使用して表現したもの（太線）との対比について、代表的なものを図２２Ｂに示す。実施例２では、放射率変動分を第１主成分だけで表現した場合、図２２Ａに示すように、両者に一致しない部分が生じる結果となった。一方、第１主成分に加えて第２主成分を使用した場合では、図２２Ｂに示すように、両者がほぼ一致する結果が得られ、放射率変動分を良く表現できた。

そこで、実施例２では、放射率変動の第１主成分に直交し、かつ第２主成分に直交する制約の下、放射エネルギーの主成分分析を行った。この主成分分析で得られた放射率変動の第１主成分、放射率変動の第２主成分、および放射率変動（第１主成分および第２主成分）に直交する放射エネルギーの主成分を図２３に示す。そして、その放射エネルギーの主成分（第１主成分）に対するスコアを計算することにより温度測定を行った。

図２４は、以上のようにして第２主成分まで使用した主成分分析を行って８６０℃の鋼板を測定したときの温度誤差と、中心波長０．９μｍの単色放射温度計を用いて同じ８６０℃の鋼板を測定したときの温度誤差との対比を示している。図２４に示すように、実施例２の提案手法を用いて温度測定を行った場合の温度誤差が最大１．１℃であったのに対し、単色温度計を用いて温度測定を行った場合の温度誤差は５．１℃であった。また、その標準偏差は、実施例２の提案手法で０．４℃、単色温度計を用いた場合で１．７℃となった。この図２４に示す結果から明らかなように、本発明の一実施形態である温度測定装置によれば、単色温度計と比較して、放射率の変動の影響を受けることなく測定対象物の温度を高精度に測定できることが確認された。

なお、比較のため、放射率変動の第２主成分を用いずに、実施例１と同様に放射率変動の第１主成分のみを用い、これと直交する放射エネルギーの主成分を計算することにより温度測定を行った。この結果、温度誤差は最大２．８℃であり、標準偏差は０．６℃であった。このように、実施例２の適用場面では、第１主成分のみを使用した場合も単色温度計を用いた温度測定よりは精度は高いが、第２主成分まで使用した方がより放射率変動の影響を受けずに測定対象物の温度を高精度に測定できることが確認された。

以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、本実施形態による本発明の開示の一部をなす記述および図面により本発明は限定されることはない。すなわち、本実施形態に基づいて当業者などによりなされる他の実施の形態、実施例、および運用技術などは全て本発明の範疇に含まれる。

１，１ａ 温度測定装置
２ ＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）
３ 回帰式作成部
４ 温度推定部
５，５ａ 鋼板
１１，１４，１５，１６ ミラー
１２ ハーフミラー
１３ 可動ミラー
１７ 検出器
１８ 干渉計
３０ 接触式温度計
３５ 金属箔
３７ 熱電対
４０ エアシリンダ
６ 光ファイバ
７ コリメートレンズ
８ 分光器
８１ コリメートミラー
８２ 回折格子
８３ フォーカスミラー
８４ 検出器

Claims (8)

1. 測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の表面温度を測定する温度測定方法であって、
   前記表面温度の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量式に従って前記スコアを用いて行い、
   前記基底スペクトルおよび前記検量式を、接触式温度計を用いて測定対象物を測定した温度測定値に応じて決定し、
   前記基底スペクトルを決定する際、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定する、又は、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定することを特徴とする温度測定方法。
2. 測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定することを特徴とする請求項１に記載の温度測定方法。
3. 予め、複数の温度について測定した黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報を主成分分析して得た１つ以上の主成分のスコアと、前記黒体炉の温度との関係式を算出しておき、
   測定対象物の分光スペクトル情報と、前記関係式により定まる前記接触式温度計の温度測定値に対応するスコアを用いて再構成された分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定することを特徴とする請求項２に記載の温度測定方法。
4. 測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定することを特徴とする請求項１に記載の温度測定方法。
5. 測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の表面温度を測定する温度測定装置であって、
   前記表面温度の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量式に従って前記スコアを用いて行い、
   前記基底スペクトルおよび前記検量式が、接触式温度計を用いて測定対象物を測定した温度測定値に応じて決定され、
   前記基底スペクトルを決定する際、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定する、又は、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定されていることを特徴とする温度測定装置。
6. 測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルが前記基底スペクトルとして決定されていることを特徴とする請求項５に記載の温度測定装置。
7. 予め、複数の温度について測定した黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報を主成分分析して得た１つ以上の主成分のスコアと、前記黒体炉の温度との関係式を算出しておき、
   測定対象物の分光スペクトル情報と、前記関係式により定まる前記接触式温度計の温度測定値に対応するスコアを用いて再構成された分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルが前記基底スペクトルとして決定されていることを特徴とする請求項６に記載の温度測定装置。
8. 測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルが決定されていることを特徴とする請求項５に記載の温度測定装置。