JP6693613B1 - 温度測定装置の較正方法、温度測定装置の較正装置、物理量測定装置の較正方法、及び物理量測定装置の較正装置 - Google Patents
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Abstract
Description
測定対象物の放射エネルギーを利用した測定対象物の表面温度測定においては、以下の数式(1)に示すように、黒体放射エネルギースペクトルLB(λ,T)に予め仮定した放射率のスペクトルε(λ)を乗じた測定値L(λ,T)が測定される。なお、数式(1)中のパラメータλは放射エネルギーの測定波長を示し、パラメータTは測定対象物の表面温度を示している。
まず、図11〜図13を参照して、本発明の一実施形態である温度測定装置の構成について説明する。
始めに、図14に示すフローチャートを参照して、回帰式作成処理を実行する際の温度測定装置1の動作について説明する。
次に、図15に示すフローチャートを参照して、温度推定作成処理を実行する際の温度測定装置1の動作について説明する。
いま、既存の温度測定装置(以下、装置Aと表記)について、接触式温度計30を用いた複数の温度測定値とそれに対応する分光スペクトル情報が記憶されており、また、記憶されている情報に基づいて重回帰式が作成されているものとする。複数の温度測定値とそれに対応する分光スペクトル情報を得るためには、製造ラインにおいて適切な材料及びタイミングを選定し、また接触の際の疵等を検査する必要があるため、非常に多くの労力及び時間を要する。実際、30例程度の情報を得るためには数ヶ月程度の時間を要する。この装置Aを故障や較正等の理由により交換する場合には、新たな温度測定装置(以下、装置Bと表記)において同様の作業を行う必要あり、装置変更に伴う調整作業に多くの労力及び時間が必要である。そこで、本実施形態では、図18に示すように、装置A,B(温度測定装置1)に較正装置50を接続し、以下に示す較正作業を行うことにより、装置変更に伴う調整作業に要する労力及び時間を低減する。
2 FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計)
3 回帰式作成部
4 温度推定部
5,5a 鋼板
6 光ファイバ
7 コリメートレンズ
8 分光器
11,14,15,16 ミラー
12 ハーフミラー
13 可動ミラー
17 検出器
18 干渉計
30 接触式温度計
35 金属箔
37 熱電対
40 エアシリンダ
50 較正装置
81 コリメートミラー
82 回折格子
83 フォーカスミラー
84 検出器
Claims (8)
- 測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の表面温度を測定し、前記表面温度の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量線に従って前記スコアを用いて行い、前記基底スペクトル及び前記検量線を、接触式温度計を用いて測定対象物を測定した温度測定値に応じて決定する温度測定装置の較正方法であって、
変更前の温度測定装置及び変更後の温度測定装置において、異なる複数の温度毎に黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報及び暗電流データを測定し、
測定された情報を用いて、変更前の温度測定装置において測定された接触式温度計による温度測定値と該温度測定値に対応する分光スペクトル情報から、変更後の温度測定装置についての接触式温度計を用いた温度測定値及び該温度測定値に対応する分光スペクトル情報を生成し、
生成した情報を用いて変更後の温度測定装置における前記基底スペクトル及び前記検量線を決定するステップを含む
ことを特徴とする温度測定装置の較正方法。 - 前記基底スペクトルを決定する際、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定する、又は、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定することを特徴とする請求項1に記載の温度測定装置の較正方法。
- 測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の表面温度を測定し、前記表面温度の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量線に従って前記スコアを用いて行い、前記基底スペクトル及び前記検量線を、接触式温度計を用いて測定対象物を測定した温度測定値に応じて決定する温度測定装置の較正装置であって、
変更前の温度測定装置及び変更後の温度測定装置において測定された、異なる複数の温度毎の黒体炉の放射エネルギーの分光スペクトル情報及び暗電流データを用いて、変更前の温度測定装置において測定された接触式温度計による温度測定値と該温度測定値に対応する分光スペクトル情報から、変更後の温度測定装置についての接触式温度計を用いた温度測定値及び該温度測定値に対応する分光スペクトル情報を生成し、
生成した情報を用いて変更後の温度測定装置における前記基底スペクトル及び前記検量線を決定する手段を備える
ことを特徴とする温度測定装置の較正装置。 - 前記基底スペクトルを決定する際、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値と同温度の黒体炉を測定して得た放射エネルギーの分光スペクトル情報との比から放射率を算出し、該放射率に基づく放射率変動を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定する、又は、測定対象物の分光スペクトル情報と、前記接触式温度計による温度測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定することを特徴とする請求項3に記載の温度測定装置の較正装置。
- 測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の物理量を測定し、前記物理量の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量線に従って前記スコアを用いて行い、前記基底スペクトル及び前記検量線を、別の方法により測定した測定対象物の物理量測定値に応じて決定する物理量測定装置の較正方法であって、
変更前の物理量測定装置及び変更後の物理量測定装置において、異なる複数の物理量毎に較正基準の対象物の分光スペクトル情報及び暗電流データを測定し、
測定された情報を用いて、変更前の物理量測定装置において測定された前記物理量測定値と該物理量測定値に対応する分光スペクトル情報から、変更後の物理量測定装置についての前記物理量測定値及び該物理量測定値に対応する分光スペクトル情報を生成し、
生成した情報を用いて変更後の物理量測定装置における前記基底スペクトル及び前記検量線を決定するステップを含む
ことを特徴とする物理量測定装置の較正方法。 - 前記基底スペクトルを決定する際、測定対象物の分光スペクトル情報、前記物理量測定値、及び較正基準の対象物の分光スペクトル情報を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定する、又は、測定対象物の分光スペクトル情報と前記物理量測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定することを特徴とする請求項5に記載の物理量測定装置の較正方法。
- 測定対象物から発せられる放射エネルギーを分光測定し、得られた分光スペクトル情報を信号処理して測定対象物の物理量を測定し、前記物理量の測定は、前記測定対象物から得られた分光スペクトル情報に基づき予め取得される基底スペクトルのスコアを算出し、予め取得される検量線に従って前記スコアを用いて行い、前記基底スペクトル及び前記検量線を、別の方法により測定した測定対象物の物理量測定値に応じて決定する物理量測定装置の較正装置であって、
変更前の物理量測定装置及び変更後の物理量測定装置において、異なる複数の物理量毎に較正基準の対象物の分光スペクトル情報及び暗電流データを測定し、
測定された情報を用いて、変更前の物理量測定装置において測定された前記物理量測定値と該物理量測定値に対応する分光スペクトル情報から、変更後の物理量測定装置についての前記物理量測定値及び該物理量測定値に対応する分光スペクトル情報を生成し、
生成した情報を用いて変更後の物理量測定装置における前記基底スペクトル及び前記検量線を決定する手段を備える
ことを特徴とする物理量測定装置の較正装置。 - 前記基底スペクトルを決定する際、測定対象物の分光スペクトル情報、前記物理量測定値、及び較正基準の対象物の分光スペクトル情報を主成分分析して得た主成分と直交するスペクトルを前記基底スペクトルとして決定する、又は、測定対象物の分光スペクトル情報と前記物理量測定値とに対して部分的最小二乗法を適用することにより前記基底スペクトルを決定することを特徴とする請求項7に記載の物理量測定装置の較正装置。
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