JP6034592B2 - 表面電位測定装置 - Google Patents
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- 真空隔壁に設けられる、電界によって誘電分極する絶縁性部材と、前記絶縁性部材を介して、前記真空隔壁内側に存する測定対象物に対峙するセンサ部を有する表面電位計とを備え、前記センサ部により測定対象物の表面電位を測定するとき、絶縁性部材表面の帯電を無効にするキャンセル手段を更に備え、前記キャンセル手段は、前記測定対象物の表面電位の測定に先立って、前記絶縁性部材表面を除電する除電装置であることを特徴とする表面電位測定装置。
- 真空隔壁に設けられる、電界によって誘電分極する絶縁性部材と、前記絶縁性部材を介して、前記真空隔壁内側に存する測定対象物に対峙するセンサ部を有する表面電位計とを備え、前記センサ部により測定対象物の表面電位を測定するとき、絶縁性部材表面の帯電を無効にするキャンセル手段を更に備え、前記キャンセル手段は、前記測定対象物を前記センサ部に向けて所定速度でかつ所定距離で近接移動させたときの移動前後の測定値の差から前記絶縁部材表面の帯電量を求めることで前記絶縁性部材表面の帯電が前記表面電位の測定に影響することを無効にすることを特徴とする表面電位測定装置。
- 請求項1または2記載の表面電位測定装置であって、前記センサ部が振動容量式のものであり、前記真空隔壁に着脱自在に装着されているものにおいて、
前記真空隔壁の振動を測定する振動測定装置を備え、前記振動測定装置で測定した測定値が所定の範囲を超えると、表面電位の測定を無効するように構成したことを特徴とする表面電位測定装置。
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JP3225579B2 (ja) * | 1992-02-27 | 2001-11-05 | ソニー株式会社 | 静電気測定装置 |
JPH08129043A (ja) * | 1994-11-01 | 1996-05-21 | Shishido Seidenki Kk | 表面電位測定器 |
JP3531890B2 (ja) * | 1995-11-21 | 2004-05-31 | アネルバ株式会社 | 表面電位測定装置、基板処理装置及び表面電位測定方法 |
JP4060507B2 (ja) * | 2000-02-07 | 2008-03-12 | 株式会社東芝 | 基板搬送装置および基板処理方法 |
JP4021859B2 (ja) * | 2004-02-25 | 2007-12-12 | 独立行政法人労働安全衛生総合研究所 | 電界測定装置及び電界測定方法 |
JP2007047015A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Hugle Electronics Inc | 静電気測定装置および表面電位センサ |
JP2008057985A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Kasuga Electric Works Ltd | 距離補正付き静電気測定器 |
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JP2011060984A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Renesas Electronics Corp | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
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Cited By (1)
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