JP6025835B2 - 投影機構 - Google Patents
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Description
コーティング材料で複数の電流密度を各所定期間にわたり発生させるステップ、
特に熱モデルを用いて光学素子の外乱温度分布を検出するステップ、及び/又は
検出された外乱温度分布が誘発する光学素子の光学特性の変化を補償するために層材料で温度分布を発生させるステップ
の1つ又は複数を含むことができる。
2 光学素子
3 入射結合手段
4 光学系
5、6 光学素子
7 マスク機構
8 照明系
9 センサデバイス
10 制御デバイス
11 ウェーハ
12 ウェーハステーション
13 ガラス体
14 コーティング
15〜20 電気接点
21 冷却接点
22 電流源
23 領域
24、25 ガラス板
26〜33 電気接点
34〜41 コイル
42〜45 アンテナ
46〜49 溝
50〜54 コーティング部
55 冷却環
56 ミラー基板
57 反射コーティング
58 レンズ素子
59 ミラー
100 領域
102 光学素子
104 光学系
113 表面
124、125 表面
202 光学素子
204 光学系
302 光学素子
304 光学系
402 光学素子
404 光学系
502 光学素子
602 光学素子
702 光学素子
802 光学素子
A 光軸
B 磁場
BE 像面
C1、C2 制御信号
CT 制御信号
E 電場強度
f 溝幅
j 電流密度
j1〜j6 電流
L 投影光
MW マイクロ波放射線
OE 物体面
P1、P2、P3 瞳面
q 熱流
R1、R2 移動方向
S センサ信号
W 熱
Z1、Z2 中間像面
Claims (24)
- リソグラフィ構造情報を結像する投影機構(1)であって、
導電層材料からなるコーティング(14)を少なくとも部分的に有する光学素子(2)であり、前記コーティング(14)は、投影光を遮る素子を有しない連続領域(100)を備え、前記層材料及び/又は前記光学素子は、温度変化に応じて光学特性、特に屈折率又は光路長を変える光学素子(2)と、
前記層材料が入射エネルギーを熱エネルギーに変換するようにエネルギーを前記層材料に入射結合する少なくとも1つの手段(3)と
を備え、前記層材料は、グラフェン、クロム、及び硫化モリブデン(MoS2)からなる群から選択され、
前記層材料は、前記光学素子(2)の光学的使用領域全域を含む、表面(113)上の前記連続領域(100)内に均一に配置される、投影機構。 - 請求項1に記載の投影機構(1)において、前記層材料は、グラフェンを含む、投影機構。
- 請求項1又は2に記載の投影機構(1)において、前記入射結合手段(3)は前記連続領域(100)の横外側に配置される投影機構。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の投影機構(1)において、前記光学素子(2)は視野に近接して配置される投影機構。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載の投影機構(1)において、前記光学素子(2)は瞳に近接して配置される投影機構。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記層材料は線形電気抵抗を実質的に有する投影機構。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記層材料は、グラフェン、クロム、及び/又は硫化モリブデン(MoS2)をさらに含む投影機構。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記層材料は単層及び/又は多層グラフェンのみを含む投影機構。
- 請求項7又は8に記載の投影機構(1)において、前記層材料はドープ導電性グラフェンを含む投影機構。
- 請求項8又は9に記載の投影機構(1)において、前記層材料は蒸着工程により生成される投影機構。
- 請求項7〜10のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記グラフェンは化学蒸着を用いて生成される投影機構。
- 請求項7〜11のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記コーティングは、使用投影光の波長よりも小さな幅を有する溝(46)を有する投影機構。
- 請求項12に記載の投影機構(1)において、前記溝(46)の底部に単層又は多層が延在する投影機構。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の投影機構(19)において、前記手段(3)は、電気エネルギー、磁気エネルギー、及び/又は電磁エネルギーを入射結合するよう構成される投影機構。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載の投影機構において、前記入射結合手段(3)は、複数の電極を有する前記連続領域の縁部における電気接点(15〜20、26〜33)として具現される投影機構。
- 請求項1〜15のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記入射結合手段はコイル機構(34〜41)を備える投影機構。
- 請求項1〜16のいずれか1項に記載の投影機構において、前記コーティング(14)を冷却するデバイス(21、55)をさらに備えた投影機構。
- 請求項1〜17のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記連続領域(100)は、少なくとも20mm2、特に少なくとも24mm2の面積を含む投影機構。
- 請求項1〜18のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記コーティング(14)は、193nmの波長を有する投影光に対して少なくとも80%、特に少なくとも95%の透明度を有する投影機構。
- 請求項1〜19のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、該投影機構(1)は、前記入射結合手段(3)を用いた前記層材料の加熱が投影光の吸収による前記光学素子(2)の加熱よりも大きいように構成される投影機構。
- 請求項1〜20のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記光学素子(2)は屈折素子、特にレンズ素子である投影機構。
- 請求項1〜20のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、前記光学素子(2)は反射素子、特にミラーである投影機構。
- 請求項1〜22のいずれか1項に記載の投影機構(1)において、該投影機構(1)の光学特性及び/又は前記素子(2)の位置を検出するセンサデバイス(9)と、該センサ素子(9)が発生したセンサ信号(S)に応じて前記入射結合手段を制御する制御デバイス(10)とをさらに備えた投影機構。
- 請求項1〜23のいずれか1項に記載の投影機構(1)を作動させる方法であって、エネルギーを層材料(9)に連続的に入射結合し、それにより得られるコーティング(14)の温度分布が、特に放射光が誘発する前記投影機構(1)の結像特性の変化が少なくとも部分的に補償されるように光学素子(2)の光学特性を変える方法。
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