JP6023202B2 - 石英ガラス製窓を有する太陽放射受器および窓の製造方法 - Google Patents
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Description
d>λ(Ti−Ta)/α(Ta−Tu) (1)
式中、
λ=透明石英ガラスの熱伝導係数、かつ
α=石英ガラス/対流中空気の熱伝達係数
(a)多孔性壁を有するドーム状溶融モールドを提供する工程と、
(b)SiO2顆粒を溶融モールド内に導入して、溶融モールドの内壁上に少なくとも12mmの厚さを有するドーム状SiO2粒子層を形成する工程と、
(c)窓のブランクを形成するために、プラズマの作用下で、かつ粒子層上の多孔性壁を介して外側から作用する負圧を適用することにより、SiO2粒子層を緻密化する工程と、
(d)窓のプリフォームを形成するために、ブランクの外側部分を機械的に除去する工程と、
(e)プリフォームを機械研磨または熱研磨して、透明石英ガラスの窓を得る工程と、
を含む方法により、本発明に従って達成される。
Claims (12)
- 熱吸収用の太陽放射吸収体に作動ガスを送るためのチャンバーを備えた太陽放射受器であって、前記吸収体が、前記チャンバー内に配置されかつ太陽放射のための石英ガラス製ドーム状窓(21)を有し、前記窓(21)が、前記吸収体の方向を向きかつ少なくとも950℃の公称内部温度Tiを有する内面(23)と、前記吸収体から離れる方向を向きかつ周囲温度Tuに曝露される外面(24)とを有し、前記窓(21)が、前記窓外面(24)の領域で850℃未満の温度Taが得られるようにTiおよびTuに対応して構成される壁厚dを有し、追加条件として、温度差Ti−Taが、少なくとも150℃であり、かつ内部温度Tiの最大の領域での壁厚dが、少なくとも7mmであり、前記窓(21)の壁厚dがドーム中心(25)の領域内で最大値を有することを特徴とする太陽放射受器。
- 前記窓(21)が、前記外面(24)の領域で800℃未満の温度Taが得られるようにTiおよびTuに対応して構成される壁厚dを有することを特徴とする請求項1に記載の太陽放射受器。
- 前記壁厚dが、最大内部温度Tiの領域で、少なくとも10mmであることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽放射受器。
- 最大内部温度Tiの領域での壁厚dが、以下の寸法決定規則:
d>λ(Ti−Ta)/α(Ta−Tu) (1)
(式中、
λ=透明石英ガラスの熱伝導係数
α=石英ガラス/空気の熱伝達係数)
に基づいて構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の太陽放射受器。 - 前記壁厚の最大値が、最小領域よりも少なくとも20%大きいことを特徴とする請求項1に記載の太陽放射受器。
- 前記窓(21)の石英ガラスが、100重量ppm未満の平均ヒドロキシル基含有量を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の太陽放射受器。
- 透明石英ガラス製ドーム状窓(21)の製造方法であって、以下の方法工程:
(a)多孔性壁を有するドーム状溶融モールド(1)を提供する工程と、
(b)SiO2顆粒を前記溶融モールド(1)内に導入して、前記溶融モールドの内壁上に少なくとも12mmの厚さを有するドーム状SiO2粒子層(6)を形成する工程と、
(c)前記窓(21)のブランク(16)を形成するために、プラズマ(10)の作用下で、かつ前記粒子層(6)上の前記多孔性壁を介して外側から作用する負圧を適用することにより、前記SiO2粒子層(6)を緻密化する工程と、
(d)前記窓(21)のプリフォーム(17)を形成するために、前記ブランク(16)の外側部分(14、15)を機械的に除去する工程と、
(e)前記プリフォーム(17)を機械研磨または熱研磨して、透明石英ガラス製窓(21)を得る工程と
を含み、
方法工程(c)による前記SiO 2 粒子層(6)の緻密化が、二段階プロセスを含み、第1のプロセス段階では、前記SiO 2 粒子層(6)の内側部分が緻密化され、かつ低い負圧が適用され、第2のプロセス段階では、より高い負圧が適用され、かつ前記SiO 2 粒子層(6)がさらに緻密化されることを特徴とする透明石英ガラス製ドーム状窓の製造方法。 - 前記SiO2粒子層が少なくとも20mmの厚さを有して製造されることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 方法工程(c)による前記SiO2粒子層(6)の緻密化中、ドーム中心領域(25)に最小壁厚領域よりも少なくとも20%大きい壁厚の最大値を有するドーム状ブランク(16)が形成されることを特徴とする請求項7または8に記載の方法。
- 前記ブランクの外側部分の機械的除去中、前記内面(23)に対応するドーム状外面(24)を有し、かつ少なくとも7mmの範囲内の最大壁厚を有するプリフォーム(17)が、作製されることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記透明石英ガラス製窓(21)を得るための前記プリフォーム(17)の研磨が、燃焼炎を有するバーナ(18)を利用して少なくとも1600℃の温度に加熱することにより行われることを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項に記載の方法。
- ガス透過性壁がグラファイトで構成される溶融モールド(1)が使用され、かつ方法工程(c)による前記SiO2粒子層(6)の緻密化が、ヘリウムおよび/または水素を含有する雰囲気中で行われることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項に記載の方法。
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US4057048A (en) * | 1975-11-12 | 1977-11-08 | Maineline Sales Co., Inc. | Solar heat collector |
US4095118A (en) * | 1976-11-26 | 1978-06-13 | Rathbun Kenneth R | Solar-mhd energy conversion system |
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JPS58104034A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高強度の光フアイバの製造方法 |
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IL100743A (en) * | 1992-01-23 | 1994-11-28 | Yeda Res & Dev | Central solar collector |
AU2638997A (en) * | 1996-05-08 | 1997-11-26 | Roberto Santander Cerbell | New liquid modulated lens for condensing solar energy |
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JP4482567B2 (ja) * | 1998-05-25 | 2010-06-16 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼの製造方法 |
JP3717151B2 (ja) | 2000-03-13 | 2005-11-16 | 東芝セラミックス株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法 |
DE10020322B4 (de) * | 2000-04-26 | 2005-12-15 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Strahlungsemfänger |
JP2002195661A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-10 | Yeda Res & Dev Co Ltd | 中央ソーラーレシーバー |
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IL150519A (en) * | 2002-07-02 | 2006-08-20 | Yeda Res & Dev | Solar receiver with a plurality of working fluid inlets |
DE102004031917B4 (de) * | 2004-06-22 | 2021-07-29 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Solarstrahlungsempfänger und Verfahren zur Kühlung eines Eintrittsfensters eines Solarstrahlungsempfängers |
DE102004038602B3 (de) * | 2004-08-07 | 2005-12-29 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Elektrogeschmolzenes, synthetisches Quarzglas, insbesondere für den Einsatz in der Lampen- und in der Halbleiterfertigung und Verfahren zur Herstellung desselben |
JP2006056743A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の加熱方法 |
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US20070293388A1 (en) * | 2006-06-20 | 2007-12-20 | General Electric Company | Glass articles and method for making thereof |
JP2009046328A (ja) * | 2007-08-15 | 2009-03-05 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 光触媒用シリカガラス及び光触媒用シリカガラスの製造方法 |
JP5217021B2 (ja) * | 2008-05-21 | 2013-06-19 | ハリソン東芝ライティング株式会社 | メタルハライドランプ |
DE102008026890B3 (de) * | 2008-06-05 | 2009-06-04 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Tiegels aus Quarzglas |
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WO2010055439A2 (en) * | 2008-11-13 | 2010-05-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A solar receiver for use in a solar energy concentrator |
CN101706161B (zh) * | 2009-11-25 | 2011-09-14 | 哈尔滨工业大学 | 一种具有光学窗口的腔体式太阳能吸热器 |
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