JP6014818B1 - スパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、従来の交換作業においては、ターゲットを固定しているボルト等を取り外す工程、ターゲットを交換する工程、再度ボルトを取付ける工程が必要であり、スパッタリング装置によっては、数時間〜十数時間にも及ぶ交換作業が行われていた。
また、本発明は、ターゲットの交換作業と製造工程とを容易にすることができるスパッタリングターゲットを提供することを課題とする。
また、本体部の中心部に貫通孔が設けられていることにより、ターゲットの交換作業と製造工程とを容易にすることができる。
このように、環状隆起部は、表面にテーパー面が形成されていることにより、成膜速度の向上を図ることができる。
このように、高さが10mm以上の隆起を1つ形成することにより、有効に成膜速度を向上させつつ有用寿命を延伸させることができる。
このように、前記本体部と前記環状隆起部とを同一材料で一体に形成することにより、本体部と環状隆起部とを接着する工程を無くすことができ、ターゲットの製造を容易に行うことができる。
このように、固定部材をさらに有することにより、ターゲットの交換作業の容易性をさらに向上させることができる。
このように、スパッタリング装置の真空容器の内面にターゲットの本体部が嵌り込む凹部が設けられていることにより、作業者がターゲットの正しい取付位置を容易に把握することができ、ターゲットの固定性を向上させることができる。
また、本発明は、ターゲットの交換作業と製造工程とを容易にすることができるスパッタリングターゲットを提供することができる。
図1には、本発明に係るスパッタリングターゲット10(以下ターゲット10)と、このターゲット10を取付け位置に固定する固定部材20と、ターゲット10を交換する際に用いる取外し部材30と、が示されている。
また、従来のスパッタ装置に適応する場合には、本体部11の下面にボンディング材を設けてバッキングプレートに貼り付けるようにしてもよい。
また、フランジ部22は、45〜60mmの直径と、1〜10mmの厚みとを有し、これは本体部11の段部11aの直径と深さに対応した形状に形成されている。
この取外し部材30は、固定部材20に取り付けることで、鉤部31を固定部材20から突出させて、容易に固定部材20を取り外すことができる。
11 本体部
11a 段部
12 貫通孔
13 環状隆起部
13a 平坦部
13b 内側テーパー部
13c 外側テーパー部
20 固定部材
21 円柱部
22 フランジ部
23 ネジ穴
30 取外し部材
31 鉤部
32 ネジ山
H 隆起高さ
C 真空容器
C1 凹部
L L字型治具
W 作業者
Claims (6)
- 円板状に形成された本体部と、
前記本体部の中心部に設けられて、本体部の厚さ方向に貫通する貫通孔と、
前記本体部の上面に形成された環状隆起部と、
前記貫通孔に挿通して前記本体部の位置を固定する固定部材と、を備え、
前記固定部材は、磁性体により形成されていることを特徴とする、スパッタリングターゲット。 - 前記固定部材は、前記貫通孔に挿入される円柱部と、
前記貫通孔より大径に形成されたフランジ部と、を有していることを特徴とする、請求項1に記載のスパッタリングターゲット。 - 前記固定部材に着脱可能に接続して前記固定部材を取外すための取り外し部材をさらに備え、
前記フランジ部の中心部には、ネジ穴が設けられ、
前記取外し部材の一端には、前記ネジ穴と接続するネジ山が設けられ、
前記取外し部材の他端には、鉤部が設けられていることを特徴とする、請求項2に記載のスパッタリングターゲット。 - 前記環状隆起部の上面には、平坦面が形成され、前記環状隆起部の側面には、前記平坦面から前記貫通孔へ向かって下り勾配の内側テーパー面と、前記平坦面から前記本体部の外縁部に向かって下り勾配の外側テーパー面と、が形成されていることを特徴とする、請求項1〜3の何れかに記載のスパッタリングターゲット。
- 前記本体部と前記環状隆起部が同一材料によって一体に形成されていることを特徴とする、請求項1〜4の何れかに記載のスパッタリングターゲット。
- 請求項1〜5の何れかに記載のスパッタリングターゲットを装着する真空容器を備えたスパッタリング装置であって、前記真空容器の内面に前記スパッタリングターゲットの本体部が嵌り込む凹部が設けられていることを特徴とする、スパッタリング装置。
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2015
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