JP6011499B2 - 吸着器 - Google Patents

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Description

本発明は、吸着剤が気相冷媒を吸着する作用を用いて冷媒を蒸発させ、その蒸発潜熱により冷凍能力を発揮する吸着式冷凍機に用いられる吸着器に関するものである。
従来、この種の吸着器として、特許文献1に記載のものがある。この吸着器は、内部を熱媒体が流れる熱媒体管と、熱媒体管の外面に接合された多孔質の焼結体と、焼結体に保持された吸着剤とを備えている。熱媒体管としては、内面と外面に溝のない平滑管が用いられている。焼結体は、金属粉同士の間に空隙を形成しつつ、金属粉同士を結合させるとともに、金属粉と熱媒体管を結合させるように、金属粉を焼結させたものである。この従来の吸着器では、吸着剤を焼結体に保持させることにより、吸着剤と熱媒体管との間の伝熱性を向上させている。
特開2008−107075号公報
吸着剤が気相冷媒を吸着したり脱離したりする際の吸着器の吸着能力には、吸着剤と熱媒体管内を流れる熱媒体との間の伝熱性が大きく寄与する。このため、吸着剤と熱媒体との間の伝熱性を向上させることが求められる。
しかし、上記した従来の吸着器では、熱媒体管の外面が平滑であるため、焼結時における金属粉の収縮が大きくなってしまう。この場合、金属粉が熱媒体管との界面上で大きく移動することで、金属粉と熱媒体管の外面との接合が阻害され、金属粉と熱媒体管の接合面積が小さくなる。このため、金属粉と熱媒体管との間の熱抵抗が大きくなってしまうという問題があることを、本発明者は見出した。また、熱媒体管の内面が平滑であるため、熱媒体と熱媒体管との間の熱伝達率が低いという問題がある。
そこで、上記した従来の吸着器と比較して、熱媒体管の内側と外側の両側の伝熱性向上が可能な吸着器を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、
内部を熱媒体が流れる熱媒体管(21)と、
熱媒体管の外面に接合され、金属粉が焼結してなる多孔質の焼結体(22)と、
焼結体に保持された吸着剤(23)とを備え、
熱媒体管は、外面(21a)に溝(211、213)が設けられているとともに、内面(21b)に溝(212、214)が設けられていることを特徴としている。
これによれば、熱媒体管の外面に溝を設けたので、外面が平滑な場合と比較して、焼結時における金属粉の収縮を抑制できる。このため、金属粉と熱媒体管との接合面積を増大させることができ、熱媒体管の外側の熱抵抗を下げることができる。また、熱媒体管の内面に溝を設けたので、内面が平滑な場合と比較して、伝熱面積を増大でき、熱媒体管内を流れる熱媒体と熱媒体管との間の熱伝達率を向上させることができる。よって、本発明によれば、熱媒体管の内側と外側の両側の伝熱性向上が可能となる。
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
第1実施形態における吸着器の正面図である。 図1中のII−II線断面図である。 図2中のIII−III線断面図である。 第1実施形態における熱媒体管の外観図である。 第1実施形態における熱媒体管の外面上の焼結体および吸着剤の模式図である。 第1実施形態における吸着器の製造工程を示すフローチャートである。 比較例1における熱媒体管の外面上の焼結体および吸着剤の模式図である。 第1実施形態における熱媒体管と焼結体との接合箇所を示すSEM写真である。 比較例1における熱媒体管と焼結体との接合箇所を示すSEM写真である。 第1実施形態における熱媒体管の内径に対する内面の溝深さの比(hi/di)と平滑管の熱伝達率に対する熱伝達率比との関係を示す図である。 第1実施形態における熱媒体管の内径に対する内面の溝深さの比(hi/di)と平滑管の熱伝達率に対する熱伝達率比との関係を示す図である。 第1実施形態における熱媒体管の内径に対する内面の溝深さの比(hi/di)と平滑管の吸着能力に対する吸着能力比との関係を示す図である。 比較例2における熱媒体管の内径に対する内面の溝深さの比(hi/di)と平滑管の吸着能力に対する吸着能力比との関係を示す図である。 第1実施形態における熱媒体管の内径に対する内面の溝深さの比(hi/di)と平滑管のCOPに対するCOP比との関係を示す図である。 第1実施形態における熱媒体管の内径に対する内面の溝深さの比(hi/di)と溝加工前の熱媒体管の板厚比との関係を示す図である。 第2実施形態における熱媒体管の外観図である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
(第1実施形態)
本実施形態の吸着器は、車両用などの空調装置に適用されるものである。図1〜3に示すように、この吸着器1は、吸着熱交換部2と、ケーシング3と、第1、第2プレート4、5と、第1、第2タンク6、7とを備えている。
吸着熱交換部2は、水、不凍液、冷媒等の熱媒体が流れる複数の熱媒体管21と、熱媒体管21の外面に接合された多孔質の焼結体22と、焼結体22に保持された吸着剤23とを有している。
各熱媒体管21は、横断面が円形状の円筒管であり、互いに所定間隔で平行に配置されている。各熱媒体管21は、熱伝導性に優れる金属、例えば、銅、銅合金で構成されたものである。焼結体22は、複数の熱媒体管21のそれぞれの周囲に配置されており、各熱媒体管21の外周方向全域を覆っている。
図4に示すように、各熱媒体管21は、その外面21aと内面21bの両方に溝211、212を有している。本実施形態では、外面21aの溝211と内面21bの溝212は、どちらも、らせん溝であり、熱媒体管21の長手方向に交差する方向に延びている。外面21aの溝211と内面21bの溝212は、同じ形状であり、幅wo、wiおよび深さho、hiが同じである。
外面21aの溝211は、後述の通り、焼結時における金属粉22aの収縮を抑制するためのものである。したがって、外面21aの溝211の幅woは、焼結体22の収縮を抑制できる大きさとされ、焼結前の金属粉22aの長さよりも大きな幅とされる。
図5に示すように、焼結体22は、金属粉22aの間に空隙を形成しつつ、金属粉22a同士を結合させるとともに、金属粉22aと熱媒体管21とを結合させるように、金属粉22aを焼結させたものである。このため、焼結体22は、三次元網目構造を有している。焼結体22を構成する金属粉22aとしては、吸着剤23よりも熱伝導性に優れる金属、例えば、銅、銅合金で構成され、形状が繊維状であるものが用いられる。
吸着剤23は、気相冷媒としての水蒸気を吸着する固体状のものである。吸着剤23は、図5に示すように、焼結体22の空隙内に配置されており、焼結体22の空隙よりも粒径が小さな粒子状のものである。吸着剤23としては、シリカゲル、ゼオライト等が用いられる。
図2に示すように、ケーシング3は、内部に吸着熱交換部2を収容している。ケーシング3は、下端側開口部と上端側開口部とを有する円筒形状である。ケーシング3の下端側開口部と上端側開口部は、第1、第2プレート4、5で封止されている。
第1、第2プレート4、5には、熱媒体管21が貫通可能な貫通穴が複数形成されている。第1、第2プレート4、5の貫通孔に熱媒体管21の端部が挿入されている。そして、熱媒体管21と第1、第2プレート4、5とが気密に接合されている。このようにして、ケーシング3と第1、第2プレート4、5とによって、熱媒体管21の外部が密閉空間とされて、真空容器が構成されている。この真空容器内は、水蒸気以外には、他の気体は存在しないように構成されている。
第1、第2タンク6、7は、複数の熱媒体管21への熱媒体の分配および複数の熱媒体管21からの熱媒体の合流を行うためのタンクである。下方の第1タンク6には、熱媒体の流入配管10が設けられている。上方の第2タンク7には、熱媒体の流出配管11が設けられている。このため、第1タンク6に流入した熱媒体は、複数の熱媒体管21を通って、第2タンク7から流出する。
ケーシング3の上部には、水蒸気の流入配管8および流出配管9が設けられている。このため、水蒸気の吸着時では、水蒸気が蒸発器側から流入配管8を通って、ケーシング3内部に流入する。また、水蒸気の脱離時では、吸着剤23から脱離した水蒸気が、流出配管9より凝縮器側へ流出する。
上記した構成の吸着器1において、水蒸気の吸着時では、蒸発器での水の蒸発により生成した水蒸気が、吸着器1内部に流入して、吸着剤23に吸着される。吸着剤23が水蒸気を吸着することで、蒸発器内部の真空状態が維持され、蒸発器内部で水が蒸発し続けることが可能となる。このとき、吸着剤23が高温になると、水蒸気が吸着剤23に吸着されなくなるため、熱媒体管21を流れる冷却用の熱媒体によって、吸着剤23が冷却される。
一方、水蒸気の脱離時では、熱媒体管21に加熱用の熱媒体が流れるように切り替えられる。これにより、熱媒体管21を流れる加熱用の熱媒体によって、吸着剤23が加熱され、吸着剤23に吸着された水蒸気が脱離される。脱離された水蒸気は、凝縮器で凝縮されて水となり、凝縮された水は、蒸発器に戻される。
次に、上記した構成の吸着器1の製造方法について説明する。
図6に示すように、第1組付工程S100と、充填工程S110と、第2組付工程S120と、加熱工程S130とを順に行うことで、吸着器1が製造される。
第1組付工程S100では、吸着器1の各構成部品の一部を組み付ける。この工程では、次の充填工程S110で金属粉22aを充填できるように、少なくとも、第1、第2プレート4、5の一方を除く吸着熱交換部2の構成部品とケーシング3とを組み付けた状態とする。
このとき、熱媒体管21として、外面21aと内面21bの両方にらせん溝211、212が形成されたものを用いる。らせん溝211、212の形成方法については、一般的な加工方法を採用できる。本実施形態では、平滑管の外面に対して機械的力を加えることにより、外面と内面の両方を同時に変形させて、外面と内面に凹凸形状を形成する方法を採用する。これにより、らせん溝211、212を容易に形成できる。この加工方法を採用することで、熱媒体管21の外面21aと内面21bの両方に、同じ形状のらせん溝211、212が形成される。
続いて、充填工程S110で、ケーシング3の内部であって、各熱媒体管21の外側に、金属粉22aと吸着剤23の混合粉末を充填する。
続いて、第2組付工程S120で、第1組付工程で組み付けた構成部品以外の吸着器1の構成部品を組み付ける。
続いて、加熱工程S130で、組み付けた吸着器1を加熱することにより、吸着器1の構成部品同士のろう付けを行うとともに、金属粉22aを焼結させる。これにより、金属粉22a同士が結合するとともに、金属粉22aと熱媒体管21とが結合することで、内部に吸着剤23を保持する焼結体22が形成される。
なお、吸着器1の製造方法は、上記した製造方法に限定されず、上記した製造方法を変更してもよい。例えば、充填工程S110で、ケーシング3の内部に金属粉22aと吸着剤23の混合粉末を充填する替わりに、金属粉22aのみを充填してもよい。この場合、加熱工程S130後に、ケーシング3の内部に吸着剤23を含む溶液を充填する工程や乾燥工程を行うことで、焼結体22に吸着剤23を保持させる。また、上記した各工程の他に、他の工程を追加してもよい。
次に、本実施形態の効果について説明する。
図7に示すように、熱媒体管21として平滑管を用いた比較例1では、熱媒体管21の外面21aが平滑である場合、加熱工程S130での金属粉22aの焼結時に、金属粉22aの収縮が大きくなってしまう。この場合、金属粉22aが熱媒体管21との界面上で大きく移動することで、金属粉22aと熱媒体管21の外面21aとの接合が阻害され、金属粉22aと熱媒体管21の接合面積が小さくなる。このため、金属粉22aと熱媒体管21との間の熱抵抗が大きくなってしまう。
これに対して、図5に示すように、本実施形態では、熱媒体管21の外面21aに、らせん溝211、すなわち、熱媒体管21の管軸方向に交差する方向に延びる溝211を複数設けている。これにより、熱媒体管の外面が平滑な場合と比較して、焼結時における熱媒体管21の管軸方向での金属粉22aの収縮を抑制できる。このため、金属粉22aと熱媒体管21との接合面積を増大させることができ、熱媒体管21の外側の熱抵抗を下げることができる。
さらに、本実施形態では、熱媒体管21の内面21bにも、外面21aと同様に、らせん溝212を設けている。これにより、図7に示される熱媒体管21の内面21bが平滑な比較例1と比較して、伝熱面積を増大できるとともに、旋回流による撹拌作用を生じさせることができるので、熱媒体管21内を流れる熱媒体と熱媒体管21との間の熱伝達率を向上させることができる。
よって、本実施形態によれば、熱媒体管21の外側と内側の両側の伝熱性向上が可能となり、吸着器1の吸着能力の向上が可能となる。
ここで、本発明者が本実施形態の効果を確認した実験結果について説明する。
(1)管外側の熱抵抗低下
熱媒体管として両面らせん溝管と平滑管の両方を用意し、金属粉と吸着剤の混合粉末を熱媒体管の外面に配置して焼結させた。このとき、使用した両面らせん溝管は、外面と内面の溝形状が同じものである。両面らせん溝管と平滑管は銅管であり、金属粉は銅粉である。
そして、熱媒体管外側の焼結体を破壊して除去し、走査型電子顕微鏡(SEM)にて熱媒体管の外面を観察した。その結果、図8に示す両面らせん溝管の外面と、図9に示す比較例1の平滑管の外面のどちらにも、銅粉が存在しており、焼結体との接合箇所が確認された。図8、9中の白い粒子が銅粉である。この銅粉は、熱媒体管に接合しているので除去されずに残っている。したがって、この銅粉の位置が、熱媒体管と焼結体との接合箇所である。
図8、9を比較してわかるように、図8の両面らせん溝管の方が図9の平滑管よりも、焼結体との接合箇所が多く、接合面積が増大していることが確認された。よって、両面らせん溝管を用いることで、平滑管を用いる場合と比較して、管外側の熱抵抗を下げられることがわかる。
(2)管内側の熱伝達率向上
熱媒体管として両面らせん溝管と平滑管とを用意し、熱媒体管と熱媒体との間の熱伝達率をウィルソンプロット法により測定した。用いた平滑管および両面らせん溝管の管内径di、両面らせん溝管のらせん溝条数および内面の溝深さhiを表1に示す。両面らせん溝管は、外面と内面の溝形状が同じものである。

測定では、一般的な吸着器で使用されるような領域は層流域であるため、レイノルズ数(Re)を500と1500とした。測定条件は、冷水30℃、温水40℃である。使用した平滑管および両面らせん溝管は、外側に焼結体および吸着剤が設けられていない状態のものである。
図10、11に、それぞれ、Re=500、1500の測定結果を示す。図10、11の縦軸は、平滑管の熱伝達率に対する熱伝達率比である。図10、11の横軸は、熱媒体管の内径に対する内面の溝深さの比(hi/di)であり、hi/di=0のときが平滑管である。なお、図10のRe=500のときの熱伝達率が、吸着時(冷却時)の熱伝達率であり、図11のRe=1500のときの熱伝達率が、脱離時(加熱時)の熱伝達率に相当する。図10、11に示すように、hi/di>0.058のとき、熱伝達率比が1を超えており、平滑管と比較して熱伝達率が向上することがわかる。
(3)管内側の熱伝達率向上による吸着器の吸着能力向上
図10、11に示すRe=500、1500のときの熱伝達率比を用いて、吸着シミュレータにて、平滑管の吸着能力に対する吸着能力比を算出した。hi/di>0.15の範囲の熱伝達率比については、図10、11に示す熱伝達率比を一次近似した推定値を用いた。この算出結果は、管外面に多孔質の焼結体が接合され、この焼結体の内部に吸着剤が保持された状態のものである。ただし、管外側の熱抵抗値として、両面らせん溝管においても、平滑管と同じものを用いた。このとき用いた管外側の熱抵抗値は、予め実験から求めたものである。
図12に、算出結果を示す。図12の横軸は、hi/diであり、hi/di=0のときが平滑管である。図12に示すように、hi/di>0.058のとき、吸着能力比が1を超え、hi/di≧0.099のとき、吸着能力比が1.2を超えた。この結果より、hi/di>0.058とすることで、平滑管と比較して吸着能力が向上し、さらに、hi/di≧0.099とすることで、吸着能力が飛躍的に向上することがわかる。したがって、両面らせん溝管の管内径diおよび内面の溝深さhiについては、hi/di>0.058とすることが好ましく、hi/di≧0.099とすることがより好ましい。
また、比較例2として、上記した平滑管、両面らせん溝管の外側に多孔質の焼結体を配置せず、吸着剤のみを配置した吸着器の吸着能力比を吸着シミュレータにて算出した。このとき、図12の算出結果と同様に、図10、11に示すRe=500、1500のときの熱伝達率向上比を用いた。また、管外側の熱抵抗値として、管外側に吸着材のみが充填された状態のときの熱抵抗値を用いた。このとき用いた管外側の熱抵抗値は、予め実験から求めたものである。
図13に示すように、比較例2では、hi/di>0.058のとき、吸着能力比が1をわずかに超える程度であった。このように、管外側に多孔質の焼結体を配置しない比較例2の吸着器は、管外側の熱抵抗が大きいため、管内側の伝熱促進を行っても、吸着能力向上にほとんど寄与しない。
これに対して、管外面に多孔質の焼結体を接合した吸着器は、管外側の熱抵抗が小さいため、管内側の伝熱促進により、大きく吸着能力が向上する。したがって、管内面21bのらせん溝212による伝熱促進によって、飛躍的に吸着能力が向上するのは、管外面21aに多孔質の焼結体22が接合され、この焼結体22の内部に吸着剤23が保持された吸着器1の特有の効果である。
なお、上述の通り、図12に示す吸着能力比の算出結果は、管外側の熱抵抗値として、平滑管を用いたときの熱抵抗値を用いたものである。両面らせん溝管を用いた場合、平滑管を用いた場合よりも、管外側の熱抵抗が低下することから、hi/di≧0.099のとき、吸着能力が図12に示す結果よりもさらに向上することが容易に推測される。
(4)省エネ効果
吸着器の性能を表す指標として、省エネ効果を示すCOPがある。このCOPは、次式により算出される。
COP=出力/入熱=吸着能力/(発熱量+熱容量)
COPは、出力としての吸着能力と、それに必要な入熱としての冷熱量によって算出される。同じ吸着能力を発揮するために必要な冷熱量が少ないほど、省エネ効果が高いと言える。
冷熱量は、吸着剤を脱離状態(加熱状態)から吸着状態(冷却状態)に切り替えるために、必要な冷熱量であり、吸着時の吸着剤自体の発熱分を冷却するのに必要な冷熱量と、加熱状態から冷却状態となるように吸着器全体の熱容量を冷却するのに必要な冷熱量である。このため、COPは、吸着能力と、吸着時の吸着剤自体の発熱量および吸着器全体の熱容量とによって算出される。なお、発熱量は、吸着能力に対して所定の係数をかけたものであり、吸着能力から求められる。熱容量は、熱媒体管の重量等から求められる。
図12に示す吸着能力比を用いて、平滑管のCOPに対する両面らせん溝管のCOP比を算出した結果を図14に示す。
ここで、本実施形態の溝加工方法では、被加工部が伸びて板厚が薄くなるため、加工前の平滑管の板厚が同じ場合、溝を深くするほど、溝加工後の板厚が薄くなってしまう。そこで、COP比の算出では、溝深さに関わらず、溝加工後における両面らせん溝管の板厚を同じとして算出した。具体的には、図15に示すように、溝を深くするほど、溝加工による減肉分を補うように、溝加工前の平滑管の板厚を厚肉化した。図15の縦軸の板厚比は、平滑管の板厚と、両面らせん溝管における溝加工前の平滑管の板厚との比である。このため、本実施形態の両面らせん溝管は、溝を深くするほど、熱媒体管の重量が増加し、熱容量が増加する。上記式からわかるように、熱容量が増加すると、COPは悪化する。
したがって、図14に示すように、hi/diの範囲として、COP比が1を超える範囲と、COP比が1よりも低い範囲とが存在する。COP比が1を超えるのは、0.070<hi/di<0.250のときである。よって、両面らせん溝管の管内径diおよび内面の溝深さhiについては、省エネ効果を得るために、0.070<hi/di<0.250を満たすように設定することが好ましい。
なお、図15において、hi/di>0.099の範囲では、hi/diが大きくなるにつれて、板厚比が直線状に上昇しているため、熱容量も直線状に上昇することが推測される。また、図12において、hi/di>0.099の範囲では、吸着能力比は、ほぼ一定であった。このため、図14に示すCOP比とhi/diとの関係において、hi/di>0.099の範囲では、hi/diが大きくなるにつれて、COP比が直線状に低下するものと推測される。
また、上記した実験結果は、外面と内面の溝形状が同じ両面らせん溝管を使用した場合のものであるが、外面と内面の溝形状が異なる両面らせん溝管を使用した場合においても、同様の実験結果が得られることが推測される。
(第2実施形態)
本実施形態は、第1実施形態に対して、熱媒体管21の溝211、212の向きを変更したものである。他の構成については、第1実施形態と同じである。
すなわち、図16に示すように、本実施形態では、熱媒体管21として、外面21aと内面21bの両方に蛇腹形状の溝213、214を形成したものを用いている。この溝213、214は、熱媒体管21の管軸方向に直交する方向に延びており、熱媒体管21の管軸方向に複数設けられている。したがって、この溝213、214も、熱媒体管21の管軸方向に直交する方向に延びている。このため、本実施形態によっても、第1実施形態と同様の効果が得られる。
(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、下記のように、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
(1)熱媒体管21の外面21aと内面21bに設ける溝は、熱媒体管21の管軸方向に平行な方向に延びていてもよい。この場合、焼結時における熱媒体管21の外周方向での金属粉22aの収縮を抑制できる。このため、熱媒体管21の外面21aが平滑な場合と比較して、金属粉22aと熱媒体管21との接合面積を増大させることができ、熱媒体管21の外側の熱抵抗を下げることができる。また、この場合によっても、熱媒体管21の内面21bが平滑な場合と比較して、熱媒体管21の内面21bの伝熱面積を増大できるので、熱媒体管21内を流れる熱媒体と熱媒体管21との間の熱伝達率を向上させることができる。
よって、この場合によっても、熱媒体管21の外側と内側の両側の伝熱性向上が可能となり、吸着器1の吸着性能向上が可能となる。
(2)熱媒体管21の外面21aの溝と内面21bの溝は、同じ形状でなくてもよいが、どちらも、第1、第2実施形態のように、熱媒体管21の管軸方向に交差する方向に延びていることが好ましい。熱媒体管21の管軸方向での金属粉22aの収縮の方が、熱媒体管21の外周方向での金属粉22aの収縮よりも大きい。このため、熱媒体管21の外面に21a、管軸方向に交差する方向に延びる溝を設けて、管軸方向での金属粉22aの収縮を抑制することにより、熱媒体管21の外側の熱抵抗を下げる効果が大きくなる。また、熱媒体管21の内面21bに、管軸方向に交差する方向に延びる溝を設けることにより、熱媒体管21の内面21bの伝熱面積を増大だけでなく、熱媒体管21の内部での熱媒体の撹拌作用が得られ、熱媒体と熱媒体管21との間の熱伝達率向上の効果が大きくなる。
(3)金属粉22aの形状は、繊維状に限られず、多孔質の焼結体を形成できれば、球状等の他の形状であってもよい。
(4)気相冷媒は、水蒸気に限られず、他の気相冷媒を採用してもよい。
(5)上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。
1 吸着器
21 熱媒体管
21a 熱媒体管の外面
21b 熱媒体管の内面
211 溝
212 溝
22 焼結体
22a 金属粉

Claims (7)

  1. 内部を熱媒体が流れる熱媒体管(21)と、
    前記熱媒体管の外面に接合され、金属粉が焼結してなる多孔質の焼結体(22)と、
    前記焼結体に保持された吸着剤(23)とを備え、
    前記熱媒体管は、外面(21a)に溝(211、213)が設けられているとともに、内面(21b)に溝(212、214)が設けられていることを特徴とする吸着器。
  2. 前記外面の溝と前記内面の溝は、前記熱媒体管の管軸方向に交差する方向に延びており、前記熱媒体管の管軸方向に複数設けられていることを特徴とする請求項1に記載の吸着器。
  3. 前記外面の溝(211)と前記内面の溝(212)は、らせん溝であることを特徴とする請求項2に記載の吸着器。
  4. 前記内面の溝の深さをhi(単位はmm)とし、前記熱媒体管の内径をdi(単位はmm)としたとき、
    hi/di>0.058を満たすことを特徴とする請求項3に記載の吸着器。
  5. hi/di>0.070を満たすことを特徴とする請求項4に記載の吸着器。
  6. hi/di≧0.099を満たすことを特徴とする請求項5に記載の吸着器。
  7. hi/di<0.250を満たすことを特徴とする請求項4ないし6のいずれか1つに記載の吸着器。

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