JP6009548B2 - 層構造を製造するための製造装置 - Google Patents
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Description
−提供された層構造の少なくとも一部分を保護するために、提供された層構造の上記少なくとも一部分に保護材料を塗布するための保護材料塗布ユニットと、
−パターン形成された第1の層が生成されるように、保護材料を通して、パターン形成されていない第1の層をアブレーションするためのアブレーションユニットと、
−保護材料を除去するための保護材料除去ユニットと
を備える製造装置が提供される。
−提供される層構造の少なくとも一部分に保護材料を塗布するステップと、
−第1のパターン形成された層が生成されるように、保護材料を通して、パターン形成されていない第1の層をアブレーションするステップと、
−保護材料を除去するステップと
を含む方法が提供される。
Claims (12)
- 基板上に少なくともパターン形成された第1の層及びパターン形成された第2の層を備える層構造を製造するための製造装置であって、パターン形成されていない第1の層及びパターン形成されていない第2の層を有する層構造が前記基板上に提供され、前記パターン形成されていない第1の層が、前記基板と前記パターン形成されていない第2の層との間に位置され、前記製造装置が、
前記提供された層構造の少なくとも一部分を保護するために、前記提供された層構造の前記少なくとも一部分に保護材料を塗布するための保護材料塗布ユニットと、
前記保護材料が塗布された後に、前記パターン形成されていない第2の層の上に、パターン形成されたエッチングマスクを塗布するためのエッチングマスク塗布ユニットと、
前記パターン形成された第2の層を形成するために、前記パターン形成されていない第2の層をエッチングするためのエッチングユニットと、
前記パターン形成された第1の層が生成されるように、前記保護材料を通して、前記パターン形成されていない第1の層をアブレーションするためのアブレーションユニットと、
前記保護材料を除去するための保護材料除去ユニットと
を備える製造装置において、
前記パターン形成されていない第2の層が、第2の層の材料を前記基板上の第1の領域に備え、第2の領域には備えないようにパターン形成され、前記保護材料塗布ユニットが、保護材料が前記第2の領域内に位置されるように、前記パターン形成されていない第2の層の上に、パターン形成された保護層を塗布する、製造装置。 - 前記エッチングマスク塗布ユニットが、エッチングマスク材料が前記第1の領域内に位置されるように、前記パターン形成されていない第2の層の上に前記エッチングマスクを塗布する請求項1に記載の製造装置。
- 前記保護材料塗布ユニットが、印刷によって前記保護材料を塗布する請求項1に記載の製造装置。
- 前記保護材料塗布ユニットが、前記保護材料としてワックスを塗布する請求項1に記載の製造装置。
- 前記エッチングマスク塗布ユニットが、前記パターン形成されていない第2の層の上に前記エッチングマスクを印刷する請求項1に記載の製造装置。
- 前記アブレーションユニットが、前記保護材料を通してレーザアブレーションを行うためのレーザを備える請求項1に記載の製造装置。
- 前記保護材料除去ユニットが、前記保護材料を除去するために温水を使用する請求項1に記載の製造装置。
- 前記保護材料除去ユニットが、蒸発によって前記保護材料を除去するために、前記保護材料の蒸発温度まで前記層構造を加熱する請求項1に記載の製造装置。
- 更に、前記層構造の上に絶縁材料を塗布するための絶縁材料塗布ユニットを備える請求項1に記載の製造装置。
- 更に、少なくとも前記パターン形成された第1の層を有する前記層構造を備える電気デバイスを作製するための電気デバイス作製ユニットを備える請求項1に記載の製造装置。
- 基板上に少なくともパターン形成された第1の層及びパターン形成された第2の層を備える層構造を製造するための製造方法であって、パターン形成されていない第1の層及びパターン形成されていない第2の層を有する層構造が前記基板上に提供され、前記パターン形成されていない第1の層が、前記基板と前記パターン形成されていない第2の層との間に位置され、前記製造方法が、
前記提供される層構造の少なくとも一部分に保護材料を塗布するステップと、
前記保護材料が塗布された後に、前記パターン形成されていない第2の層の上に、パターン形成されたエッチングマスクを塗布するステップと、
前記パターン形成された第2の層を形成するために、前記パターン形成されていない第2の層をエッチングするステップと、
前記第1のパターン形成された層が生成されるように、前記保護材料を通して、前記パターン形成されていない第1の層をアブレーションするステップと、
前記保護材料を除去するステップと
を含む方法において、
前記パターン形成されていない第2の層が、第2の層の材料を前記基板上の第1の領域に備え、第2の領域には備えないようにパターン形成され、保護材料が前記第2の領域内に位置されるように、前記パターン形成されていない第2の層の上に、パターン形成された保護層を塗布するステップを有する、方法。 - 基板上に少なくともパターン形成された第1の層及びパターン形成された第2の層を備える層構造を製造するための製造コンピュータプログラムであって、前記コンピュータプログラムが、前記製造装置を制御するコンピュータ上で実行されるときに、請求項11に記載の製造方法の前記複数のステップを請求項1に記載の製造装置に行わせるためのプログラムコード手段を備える製造コンピュータプログラム。
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