JP6002898B2 - 露光装置用のアライメント装置 - Google Patents
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Description
前記基板に設けられた基板アライメントマークと前記マスクに設けられたマスクアライメントマークに、前記マスクの上方からアライメント用の光を照射するアライメント光源と、
前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとの間に配置され、前記基板アライメントマークから反射した反射光を前記マスク上に正立等倍像として結像させる第2のマイクロレンズアレイと、
前記マスク上に結像した前記基板アライメントマークの反射光と前記マスク上の前記マスクアライメントマークの反射光とを前記マスク側からマスク上で検出するカメラと、
このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、
を有することを特徴とする。
前記基板に設けられた基板アライメントマークと前記マスクに設けられたマスクアライメントマークに、前記基板の下方からアライメント用の光を照射するアライメント光源と、
前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとの間に配置され、前記マスクアライメントマークから反射した反射光を前記基板上に正立等倍像として結像させる第2のマイクロレンズアレイと、
前記基板上の前記基板アライメントマークの反射光と前記基板上に結像した前記マスクアライメントマークの反射光とを前記基板側から基板上で検出するカメラと、
このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、
を有することを特徴とする。
Claims (8)
- 露光光を出射する光源と、この光源からの露光光が入射され基板に露光するパターンが形成されたマスクと、前記基板と前記マスクとの間に設けられこのマスクを透過した露光光が入射されて前記基板に前記パターンの正立等倍像を結像させる第1のマイクロレンズアレイと、を有する露光装置の前記マスクと前記基板とを相対的位置合わせする露光装置用のアライメント装置において、
前記基板に設けられた基板アライメントマークと前記マスクに設けられたマスクアライメントマークに、前記マスクの上方からアライメント用の光を照射するアライメント光源と、
前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとの間に配置され、前記基板アライメントマークから反射した反射光を前記マスク上に正立等倍像として結像させる第2のマイクロレンズアレイと、
前記マスク上に結像した前記基板アライメントマークの反射光と前記マスク上の前記マスクアライメントマークの反射光とを前記マスク側からマスク上で検出するカメラと、
このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、
を有することを特徴とする露光装置用のアライメント装置。 - 露光光を出射する光源と、この光源からの露光光が入射され基板に露光するパターンが形成されたマスクと、前記基板と前記マスクとの間に設けられこのマスクを透過した露光光が入射されて前記基板に前記パターンの正立等倍像を結像させる第1のマイクロレンズアレイと、を有する露光装置の前記マスクと前記基板とを相対的位置合わせする露光装置用のアライメント装置において、
前記基板に設けられた基板アライメントマークと前記マスクに設けられたマスクアライメントマークに、前記基板の下方からアライメント用の光を照射するアライメント光源と、
前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとの間に配置され、前記マスクアライメントマークから反射した反射光を前記基板上に正立等倍像として結像させる第2のマイクロレンズアレイと、
前記基板上の前記基板アライメントマークの反射光と前記基板上に結像した前記マスクアライメントマークの反射光とを前記基板側から基板上で検出するカメラと、
このカメラにより検出される前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとが一致するように、前記マスク及び/又は前記基板の位置を調節する制御装置と、
を有することを特徴とする露光装置用のアライメント装置。 - 前記第1のマイクロレンズアレイと前記第2のマイクロレンズアレイとは、1枚の共有マイクロレンズアレイにより構成され、前記アライメント用の光は前記共有マイクロレンズアレイを前記基板アライメントマークと前記マスクアライメントマークとの間に移動させた状態で照射されることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置用のアライメント装置。
- 前記第1のマイクロレンズアレイと前記第2のマイクロレンズアレイとは、露光光が照射される露光位置と、アライメント光が照射されるアライメント位置とを包含する1枚の共有マイクロレンズアレイにより構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置用のアライメント装置。
- 前記第1のマイクロレンズアレイと前記第2のマイクロレンズアレイとは、別体で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置用のアライメント装置。
- 前記基板アライメントマーク及び前記マスクアライメントマークの一方が、枠状をなし、他方がアライメント時に前記枠の中心に位置する矩形状をなすことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置用のアライメント装置。
- 前記アライメント光源は、前記カメラが検出する光の光軸と同軸的にアライメント光を出射することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置用のアライメント装置。
- 前記アライメント光源と、前記カメラとは、別体であり、前記アライメント光源からの光の光軸と、前記カメラにて検出される反射光の光軸とは、同軸ではないことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置用のアライメント装置。
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