JP5998682B2 - エンコーダ、符号板、駆動装置、及びロボット装置 - Google Patents

エンコーダ、符号板、駆動装置、及びロボット装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5998682B2
JP5998682B2 JP2012149325A JP2012149325A JP5998682B2 JP 5998682 B2 JP5998682 B2 JP 5998682B2 JP 2012149325 A JP2012149325 A JP 2012149325A JP 2012149325 A JP2012149325 A JP 2012149325A JP 5998682 B2 JP5998682 B2 JP 5998682B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
light
light receiving
detection signal
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012149325A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2014010137A5 (enExample
JP2014010137A (ja
Inventor
哲也 引地
哲也 引地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2012149325A priority Critical patent/JP5998682B2/ja
Publication of JP2014010137A publication Critical patent/JP2014010137A/ja
Publication of JP2014010137A5 publication Critical patent/JP2014010137A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5998682B2 publication Critical patent/JP5998682B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
JP2012149325A 2012-07-03 2012-07-03 エンコーダ、符号板、駆動装置、及びロボット装置 Active JP5998682B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012149325A JP5998682B2 (ja) 2012-07-03 2012-07-03 エンコーダ、符号板、駆動装置、及びロボット装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012149325A JP5998682B2 (ja) 2012-07-03 2012-07-03 エンコーダ、符号板、駆動装置、及びロボット装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2014010137A JP2014010137A (ja) 2014-01-20
JP2014010137A5 JP2014010137A5 (enExample) 2015-07-16
JP5998682B2 true JP5998682B2 (ja) 2016-09-28

Family

ID=50106945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012149325A Active JP5998682B2 (ja) 2012-07-03 2012-07-03 エンコーダ、符号板、駆動装置、及びロボット装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5998682B2 (enExample)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6401542B2 (ja) * 2014-08-07 2018-10-10 株式会社トプコン アブソリュートエンコーダ、測量装置
JP6083034B2 (ja) * 2014-09-03 2017-02-22 有限会社ファインチューン アブソリュート型エンコーダ
JP2021076587A (ja) * 2019-10-31 2021-05-20 株式会社ニコン エンコーダ装置、その使用方法、その位置決め方法、及び位置検出方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2785202B2 (ja) * 1989-04-19 1998-08-13 ソニー株式会社 光学式ディスク装置
JPH05203465A (ja) * 1992-01-27 1993-08-10 Omron Corp ロータリエンコーダ
JP3384097B2 (ja) * 1994-03-31 2003-03-10 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 定点検出装置
JPH11287671A (ja) * 1998-04-01 1999-10-19 Fanuc Ltd 光学式エンコーダ
JP5614030B2 (ja) * 2009-11-25 2014-10-29 セイコーエプソン株式会社 エンコーダー及び電気機械装置
US9383229B2 (en) * 2010-10-31 2016-07-05 Avego Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical reflective encoder with multi-faceted flat-faced lens

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014010137A (ja) 2014-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5611998B2 (ja) 単一の光トラックを用いる3チャネルエンコーダ
JP5527637B2 (ja) エンコーダ、光学モジュール及びサーボシステム
JP2014013163A (ja) エンコーダ及びモータ
JP2015200613A (ja) エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム
US11860007B2 (en) Encoder, servo motor, and servo system
JP5998682B2 (ja) エンコーダ、符号板、駆動装置、及びロボット装置
CN104613998B (zh) 编码器、具有编码器的电机、和伺服系统
JP2016109634A (ja) エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
CN101441062A (zh) 光学位置测量装置
JP2015090303A (ja) エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム
JP2016118486A (ja) エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
JPH05141987A (ja) 改良されたインデクス・パルスを有する光学的エンコーダ
JP5943238B2 (ja) エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム
US20110139971A1 (en) Rotary position encoder
JP5927779B2 (ja) エンコーダ、駆動システム、及び制御装置
JP2011145118A (ja) 反射型光学式エンコーダ
JP6098999B2 (ja) エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
JP3755650B2 (ja) 角度検出装置
US20090213719A1 (en) Optical encoding disc and optical encoder having same
JP6010876B1 (ja) エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
JP6037258B2 (ja) エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
JP2016109633A (ja) エンコーダ及びエンコーダ付きモータ
JP2014134540A (ja) 差分インデックスを有するシングルトラック・スリーチャネル・エンコーダ
JP6004193B2 (ja) エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム
JP4535794B2 (ja) 反射型光学式エンコーダーのセンサーヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150528

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150528

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160510

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160711

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160802

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160815

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5998682

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250