JP5983007B2 - ビーム軸調整方法及び装置 - Google Patents

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Description

本発明は、アンテナのビーム軸を調整するビーム軸調整方法及びビーム軸調整装置に関する。
従来、自動車の走行安全などのためにレーダ装置が用いられている。レーダ装置の検知精度を確保するためには、レーダ装置の出荷時や車体への組付時に、レーダ波の出射方向(ビーム軸)が所望の方向を向くように検査、調整する必要がある。
また、車体に組み付けた状態でビーム軸の調整を可能とするために、アンテナが形成された基板(以下「アンテナ基板」という)の筐体に対する傾斜角度を、アクチュエータを駆動することで変化させるように構成すると共に、重力方向に対するアンテナの傾斜角度を検出する傾きセンサをレーダ装置に設けたものが知られている。このレーダ装置では、傾きセンサの検出結果が所望の基準傾き角度となるように、アクチュエータを駆動してアンテナ基板の傾斜角度を調整することで、アンテナのビーム軸の向きを調整している(例えば、特許文献1参照)。
特開平2010−96588号公報
しかし、この従来技術では、レーダ装置が傾きセンサを備えている必要があり、これを備えていないレーダ装置には適用することができないという問題があった。また、この従来技術では、装置の単体毎に傾きセンサでの検出結果とビーム軸の向きとの関係を予め正確に測定をしておく必要があり、その測定に大きな手間を要するという問題もあった。
本発明は、上記問題点を解決するために、傾きを検出するセンサを用いることなくアンテナのビーム軸を効率よく調整可能なビーム軸調整方法及びビーム軸調整装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するためになされた発明である請求項1に記載のビーム軸調整方法では、筐体に対するアンテナ基板の傾斜角度をアクチュエータによって変化させることで、筐体に対するアンテナのビーム軸の向きが調整可能に構成されると共に、アンテナ基板を介してレーダ波を送受信して受信電力を測定する測定部を備えたレーダ装置を調整の対象とする。
また、本発明のビーム軸調整方法では、レーダ装置の筐体に対するアンテナのビーム軸の向きが予め定められた指定方向を向いているときに測定部にて測定される受信電力を最大にするようなレーダ装置との位置関係を有するリフレクタを利用する。
そして、まず第1のステップでは、アクチュエータによるアンテナ基板の駆動量を、予め定められた第1単位駆動量ずつ変化させると共に、測定部に受信電力を測定させることにより、予め定められた調整可能角度範囲内でのアンテナ基板の傾斜角度と受信電力との関係を、第1単位制御量に対応した角度ピッチで求める。
第2のステップでは、第1のステップでの測定結果から、受信電力が最大となる傾斜角度である仮調整ポイントを求める。
第3のステップでは、駆動量を、第1単位駆動量より小さく設定された第2単位駆動量ずつ変化させると共に、測定部に受信電力を測定させることにより、第2のステップで求めた仮調整ポイントを挟むようにして調整可能角度範囲より狭い範囲に設定される詳細測定対象範囲内でのアンテナ基板の傾斜角度と受信電力との関係を、第2単位駆動量に対応した角度ピッチで求める。
第4のステップでは、第3のステップでの測定結果から、受信電力が最大となる傾斜角度である調整ポイントに対応する駆動量を軸調整量として求める。
最後に、第5のステップでは、駆動量が第4のステップで求めた軸調整量となるようにアクチュエータを作動させる。
従って、本発明のビーム軸調整方法によれば、重力方向に対する傾斜角度を検出するセンサ等を用いることなく、ビーム軸を指定方向に向ける調整を行うことができる。しかも、調整可能角度範囲の全体に渡って第1単位制御量に対応した角度ピッチで粗く受信電力を測定した後、その測定結果に基づいて、測定対象となる角度範囲を詳細測定対象範囲に絞り込み、その詳細測定対象範囲内では第2単位制御量に対応した角度ピッチで細かく受信電力を測定し、その測定結果から調整ポイントに対応する軸調整量を求めているため、軸調整量を効率よく求めることができ、その結果、ビーム軸の調整に要する時間を短縮することができる。
また、請求項4に記載のビーム軸調整装置では、第1測定手段が上述の第1のステップで実行する処理を実現し、仮ピーク抽出手段が上述の第2のステップで実行する処理を実現し、第2測定手段が上述の第3のステップで実行する処理を実現し、調整値抽出手段が上述の第4のステップで実行する処理を実現し、調整実行手段が上述の第5のステップで実行する処理を実現する。
従って、本発明のビーム軸調整装置では、請求項1に記載のビーム軸調整方法を実現することができ、請求項1の方法を実施することで得られる効果と同様の効果を得ることができる。
ビーム軸調整システムの全体構成を示すブロック図である。 レーダ装置の可動部についての構成及び動作を示す説明図である。 軸調整処理の内容を示すフローチャートである。 軸調整処理で実施する概略測定及び詳細測定の測定結果を例示するグラフである。 レーダ装置を車体に組み付けた状態でビーム軸の調整を実行する場合のビーム軸調整システムの構成を示すブロック図である。
以下に本発明の実施形態を図面と共に説明する。
ここでは、レーダ装置1の出荷前にビーム軸の調整(以下「軸調整」という)を実施する際に使用されるビーム軸調整システムについて説明する。
<全体構成>
ビーム軸調整システムは、図1に示すように、調整対象となるレーダ装置1と、レーダ装置1に接続して使用される検査ツール2と、レーダ装置1に対して所定の位置関係を有するように設置されるリフレクタ3とで構成される。
但し、軸調整は、単体のレーダ装置1を所定の検査台(図示せず)に固定した状態で実施される。また、リフレクタ3は、検査台に固定されたレーダ装置1から、予め定められた指定方向に向けてレーダ波が照射された場合に、レーダ装置1での受信強度(リフレクタからの反射波)が最大となるように設置される。なお、指定方向とは、レーダ装置1の検知対象となる物標を効果的に検出することができる向きであり、実験によって求められる。
<レーダ装置>
レーダ装置1は、送信信号に従ってミリ波帯の電磁波からなるレーダ波(本実施形態ではFMCW波)を送信する送信アンテナ11と、レーダ波を受信する複数のアンテナ素子からなる受信アンテナ12と、送信アンテナ11に供給する送信信号の生成、及び受信アンテナ11からの受信信号に基づくビート信号(送信信号との差の周波数成分)の生成を行うと共に、受信信号の信号強度の測定を行う送受信回路13と、外部装置との通信を行うための通信インタフェース(通信I/F)14と、送信アンテナ11及び受信アンテナ12のビーム軸の向き(送信アンテナの送信強度や受信アンテナの受信利得が最大となる方向)を変化させるためのアクチュエータからなる駆動部15と、通信I/F14を介して入力される指令に従って、送受信回路13や駆動部15を利用した各種処理を実行し、その処理結果を通信I/F14を介して出力する信号処理部16とを備えている。
なお、送信アンテナ11及び受信アンテナ12は、同一の基板(以下「アンテナ基板」)101上に形成された、いわゆる平面アンテナからなる。また、アンテナ基板101のアンテナ形成面に対する法線方向がビーム軸の向きと一致するように構成されている。
そして、図2に示すように、アンテナ基板101は、筐体102を基準とした傾斜角度(ひいてはビーム軸の向き)を変化させることが可能となるよう筐体102に対して揺動可能に支持されている。但し、受信アンテナ12を構成する複数のアンテナ素子はアレイ状に一列に配列されており、その配列方向が筐体の左右方向(図中、紙面の奥行き方向)と一致し、且つ、ビーム軸が筐体102の上下方向に変化するようにされている。
また、筐体102内には、駆動部15を構成するアクチュエータ103や付勢部材104の他、信号処理部16や通信I/F14を実装する制御基板(図示せず)も収納されている。
なお、アクチュエータ103は、一端がアンテナ基板と接触する位置に配置された駆動軸を有し、この駆動軸を軸方向(以下「駆動軸方向」という)に変位させる周知のリニア型ステッピングモータからなる。また、付勢部材104は、アンテナ基板101をアクチュエータ103の駆動軸に当接させる方向に付勢するばねからなる。
つまり、アンテナ基板101は、アクチュエータ103を構成する駆動軸の変位量(ひいてはステッピングモータの駆動ステップ数)が、アクチュエータ103によるアンテナ基板101の駆動量(以下「アクチュエータ駆動量」という)と一致し、このアクチュエータ駆動量に応じて筐体102に対する傾斜角度が変化するように構成されている。また、以下では、アクチュエータ103の駆動軸の可動範囲に対応したアンテナ基板101の傾斜角度の可変範囲を調整可能角度範囲という。
<信号処理部での処理>
信号処理部16は、通信I/F14を介して通常動作を実行する旨の指令を受けた場合には、送受信回路13を周期的に作動させ、送受信回路13から供給されるビート信号をサンプリングして周波数解析し、その解析結果に基づいて、レーダ波を反射した物標に関する情報(距離,相対速度,方位等)を通信I/F14を介して出力する。
また、信号処理部16は、通信I/F14を介して調整動作を実行する旨の指令を受けた場合には、指令に従って駆動部15を作動させると共に、送受信回路13を作動させることで得られた受信強度の測定結果を通信I/F14を介して出力する。なお、受信強度の測定結果としては、受信アンテナ12を構成する各アンテナ素子での受信電力の平均値又は合計値を出力する。また、調整動作の指令には、アクチュエータ103の駆動量が少なくとも含まれている。
<検査ツール>
図1に戻り、検査ツール2は、マイクロコンピュータを中心に構成され、当該検査ツール2の各部を統括制御する制御部21と、レーダ装置1との通信を行う通信インタフェース(通信I/F)22と、各種操作キーを介して情報の入力を受け付ける操作部23と、操作部23の操作方法や、操作部23を操作することでレーダ装置1から取得した情報等を表示する表示部24とを備えている。
<軸調整処理>
ここで、検査ツール2の制御部21が実行する軸調整処理の内容を、図3に示すフローチャートに沿って説明する。
なお、本処理は、操作部23にて軸調整処理を起動するための操作が行われると起動する。また、以下では、アクチュエータ103においてステッピングモータを予め設定された第1のステップ数だけ動作させたときの駆動軸の変位量、ひいてはアクチュエータ103の駆動軸によるアンテナ基板101の駆動量(アクチュエータ駆動量)を第1単位駆動量とよび、第1のステップ数より少ない第2のステップ数だけ動作させたときのアクチュエータ駆動量を第2単位駆動量とよぶ。更に、アクチュエータ駆動量が第1単位駆動量である場合におけるアンテナ基板101の傾斜角度(以下「基板傾斜角度」という)の変化量を第1角度ピッチ、アクチュエータ駆動量が第2単位駆動量である場合における基板傾斜角度の変化量を第2角度ピッチとよぶ。
本処理が起動すると、まず、調整可能角度範囲の一方の境界(ここでは、アクチュエータ103の駆動軸がステッピングモータ側に最大限に引っ込んだ状態に対応した境界)を概略測定開始ポイント、概略測定開始ポイントに対応するアクチュエータ駆動量を開始駆動量(図4の丸印「1」を参照)として、アクチュエータ駆動量を開始駆動量に設定させる指令を信号処理部16に出力することで、基板傾斜角度を概略測定開始ポイントに設定する(S110)。
次に、送受信回路13を介して受信電力を測定させる指令を信号処理部16に出力し、その測定結果を信号処理部16から取得する(S120)。そして、受信電力の測定回数が予め定められた指定回数に達しているか否かを判断する(S130)。測定回数が指定回数に達していなければ、アクチュエータ駆動量を第1単位駆動量だけ変化させる指令を信号処理部16に出力することで、基板傾斜角度を第1角度ピッチだけ変化させ(S140)、S120に戻る。
これにより、調整可能角度範囲(=[第1角度ピッチ]×{[指定回数]−1})の全体に渡って、基板傾斜角度を第1角度ピッチずつ(即ち、アクチュエータ駆動量を第1単位駆動量ずつ)変化させて受信電力を概略測定した結果(図4の丸印「1」〜「5」で示すグラフ参照)が得られることになる。
一方、先のS130にて、測定回数が指定回数に達していると判断した場合、概略測定の結果に基づき、後述する詳細測定の起点となるアクチュエータ駆動量である起点駆動量(図4の三角印「6」を参照)を求める(S150)。
具体的には、概略測定の測定結果から、受信電力が1番目及び2番目に大きくなるアクチュエータ駆動量及びその受信電力に基づき、受信電力ピークとなるアクチュエータ駆動量(これに対応する基板傾斜角度を仮調整ポイントという)を推定し、その推定したアクチュエータ駆動量より、第2単位駆動量の整数倍(1〜5程度)だけ、予め設定されたシフト方向(図4では「5」から「1」に向かう方向)とは反対方向にシフトさせたアクチュエータ駆動量を起点駆動量として設定する。なお、シフト方向は、この方向に限るものではなく、逆方向であってもよい。
次に、アクチュエータ駆動量を起点駆動量に設定させる指令を信号処理部16に出力することで、基板傾斜角度を基点駆動量に対応した詳細測定開始ポイントに設定する(S160)。その後、先のS120と同様にして受信電力の測定結果を取得し(S170)、測定回数が予め定められた指定回数に達しているか否かを判断する(S180)。
測定回数が指定回数に達していなければ、アクチュエータ駆動量を第2単位駆動量だけシフト方向に変化させる指令を信号処理部16に出力することで、基板傾斜角度を第2角度ピッチだけ変化させ(S190)、S170に戻る。
これにより、起点駆動量からシフト方向に広がる詳細測定対象範囲(=[第2角度ピッチ]×{[指定回数]−1})の全体に渡って、基板傾斜角度を第2角度ピッチずつ(即ち、アクチュエータ駆動量を第2単位駆動量ずつ)変化させて受信電力を詳細測定した結果(図4の三角印「6」〜「16」で示すグラフ参照)が得られることになる。なお、S130及びS180における指定回数は、同じ値であってもよいし異なる値であってもよい。但し、調整可能角度範囲と比較して詳細測定対象範囲が十分に小さくなるように設定する必要がある。
一方、S180にて、測定回数が指定回数に達していると判断した場合、詳細測定の測定結果に基づき、受信電力が最大となるアクチュエータ駆動量を軸調整量(これに対応する基板傾斜角度を調整ポイントという)として抽出する(S200)。なお、詳細測定の際には、受信電力がピークとなる傾斜角度である仮調整ポイントからずらしたポイントに対応するアクチュエータ駆動量を起点駆動量として設定しているため、詳細測定の測定結果には必ず受信電力のピークが現れることになる。
最後に、信号処理部16に対して、アクチュエータ駆動量を軸調整量に設定する指令を信号処理部16に出力することで、基板傾斜角度を調整ポイントに設定して(S210)、本処理を終了する。
この軸調整処理により、調整可能角度範囲の全体に渡って、アクチュエータ103が正常に動作するか否かの動作確認が行われると共に、アンテナのビーム軸が指定方向を向くように基板傾斜角度が調整されることになる。これにより、筐体102が組付対象(車両)に組付誤差等がなく正しく取り付けられた場合に、ビーム軸が所望の方向を向いた状態となる。
<効果>
以上説明したように、本実施形態のビーム軸調整システムによれば、アンテナ基板101の傾斜角度を検出するセンサ等を用いることなく、アンテナのビーム軸を指定方向に向ける調整を行うことができる。しかも、第1調整単位(第1角度ピッチ)毎に測定を行う概略測定を実行後、その概略測定の測定結果から測定対象範囲を絞り込んで第2調整単位(第2角度ピッチ)毎に測定を行う詳細測定を実行し、その詳細測定の測定結果から軸調整量(調整ポイント)を求めているため、精度の高い軸調整量を効率よく求めることができ、その結果、ビーム軸の調整に要する時間を短縮することができる。
<他の実施形態>
以上本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく様々な態様で実施することが可能である。
例えば、上記実施形態では、軸調整処理を、出荷前等にレーダ装置1単体に対して実施する場合について説明したが、車体に組み付けられたレーダ装置1に対して実施してもよい。
この場合、ビーム軸調整システムを構成するレーダ装置1は、図5に示すように、車載LANを構成する電子制御ユニット(ECU)4,5,6…の一つ(例えば走行支援ECU4)からの指令を受けて動作するように構成される。また、車載LANには、検査ツール2を少なくとも含む外部装置を接続するためのコネクタ7が設けられる。
なお、ECU4は、コネクタ7,車載LANを介して受信する検査ツール2からの指令をレーダ装置1に転送し、その転送した指令に対するレーダ装置1からの応答を、車載LAN,コネクタ7を介して検査ツール2に転送するように構成される。
また、この場合の軸調整には、車体を基準としたアンテナのビーム軸の向きが予め定められた指定方向を向いているときに信号処理部16にて測定される受信電力を最大にする位置に設置されたリフレクタ(図示せず)が使用される。
そして、車体に組み付けられたレーダ装置1に対して実施する軸調整処理(以下「組付時処理」という)の内容は、レーダ装置1単体に対して実施する軸調整処理(以下「出荷前処理」という)の内容と同様である。
但し、出荷前処理の実施前には、基板傾斜角度が不定であるのに対して、組付時処理の実施前には、基板傾斜角度が調整ポイントに設定されているため、S110では、基板傾斜角度の現在ポイントが調整可能角度範囲の中心にあるものとして、調整可能角度範囲の半分に相当する角度だけ現在ポイントからシフトさせたポイント(即ち、調整可能角度範囲の一方の境界)に対応するアクチュエータ駆動量を開始駆動量として設定するようにしてもよい。
このような組付時処理を実行することにより、レーダ装置1を車体に組み付けた後であっても、アクチュエータ103の動作確認を行うことができると共に、筐体102を車体に組み付けた時に組付誤差が生じたとしても、その誤差を相殺するように、基板傾斜角度を調整することができる。
上記実施形態では、軸調整処理を検査ツール2の制御部21が実行するように構成したが、これをレーダ装置1の信号処理部16が実行するように構成してもよい。この場合、検査ツール2は、信号処理部16に対する軸調整処理の起動指示、及び信号処理部16から取得される処理結果の報知を行うように構成すればよい。
1…レーダ装置 2…検査ツール 3…リフレクタ 4〜6…電子制御ユニット(ECU) 7…コネクタ 11…送信アンテナ 12…受信アンテナ 13…送受信回路 14…通信I/F 15…駆動部 16…信号処理部 21…制御部 22…通信I/F 23…操作部 24…表示部 101…アンテナ基板 102…筐体 103…アクチュエータ 103…駆動回路 104…付勢部材

Claims (5)

  1. 筐体(102)と、レーダ波を送受信するアンテナが形成され且つ前記筐体に対する傾斜角度を変更可能なアンテナ基板(101)と、前記アンテナ基板の傾斜角度を変化させることで、前記筐体に対する前記アンテナのビーム軸の向き変化させるアクチュエータ(15、103、104)と、前記アンテナ基板を介してレーダ波を送受信し、受信電力を測定する測定部(13、16)を備えたレーダ装置(1)を対象とし、
    前記筐体に対する前記アンテナのビーム軸の向きが予め定められた指定方向を向いているときに前記測定部にて測定される受信電力を最大にするような前記レーダ装置との位置関係を有するリフレクタ(3)を使用して、前記筐体に対する前記アンテナのビーム軸の向きを調整するビーム軸調整方法であって、
    前記アクチュエータによる前記アンテナ基板の駆動量であるアクチュエータ駆動量を、予め定められた第1単位駆動量ずつ変化させると共に、前記測定部に受信電力を測定させることにより、予め定められた調整可能角度範囲内での前記アンテナ基板の傾斜角度と前記受信電力との関係を、前記第1単位駆動量に対応した角度ピッチで求める第1のステップ(S110〜S140)と、
    前記第1のステップでの測定結果から、1番目及び2番目に大きい前記受信電力及びそのときの前記アクチュエータ駆動量に基づき、前記受信電力が最大となる傾斜角度である仮調整ポイントを求めると共に、前記仮調整ポイントに対応する前記アクチュエータ駆動量より、前記第1単位駆動量より小さく設定された第2単位駆動量の整数倍だけシフトさせた前記アクチュエータ駆動量を基点駆動量として設定する第2のステップ(S150)と、
    前記アクチュエータ駆動量を、前記第2単位駆動量ずつ変化させると共に、前記測定部に受信電力を測定させることにより、前記基点駆動量に対応した前記アンテナ基板の傾斜角度を詳細測定開始ポイントとして前記第2のステップで求めた前記仮調整ポイントを挟むようにして前記調整可能角度範囲より狭い範囲に設定される詳細測定対象範囲内での前記アンテナ基板の傾斜角度と前記受信電力との関係を、前記第2単位駆動量に対応した角度ピッチで求める第3のステップ(S160〜S190)と、
    前記第3のステップでの測定結果から、前記受信電力が最大となる傾斜角度である調整ポイントに対応する前記アクチュエータ駆動量を軸調整量として求める第4のステップ(S200)と、
    前記アクチュエータ駆動量が前記第4のステップで求めた前記軸調整量となるように前記アクチュエータを作動させる第5のステップ(S210)と、
    からなり、前記アクチュエータ駆動量を前記第1単位駆動量ずつ変化させる方向とは反対方向をシフト方向として、前記基点駆動量を前記仮調整ポイントに対して前記シフト方向とは反対方向にシフトさせた位置に設定し、前記シフト方向に前記アクチュエータ駆動量を前記第2単位駆動量ずつ変化させることを特徴とするビーム軸調整方法。
  2. 前記第3のステップでは、前記詳細測定開始ポイントにて、前記受信電力の測定を行い、前記受信電力の測定回数が、前記詳細測定対象範囲の全体に渡って測定結果が得られるように予め定められた指定回数に達するまで、前記アクチュエータ駆動量を前記第2単位駆動量だけ変化させながら、前記受信電力の測定を繰り返すことを特徴とする請求項1に記載のビーム軸調整方法。
  3. 前記第1のステップでは、前記アクチュエータの可動範囲に対応する前記アンテナ基板の傾斜角度の範囲を前記調整可能角度範囲とすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のビーム軸調整方法。
  4. 前記第1のステップでは、前記アクチュエータ駆動量の現在値に対応する前記アンテナ基板の傾斜角度を中心として予め定められた角度範囲を前記調整可能角度範囲とすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のビーム軸調整方法。
  5. 筐体(102)と、レーダ波を送受信するアンテナが形成され且つ前記筐体に対する傾斜角度を変更可能なアンテナ基板(101)と、前記アンテナ基板の傾斜角度を変化させることで、前記筐体に対する前記アンテナのビーム軸の向き変化させるアクチュエータ(15、103、104)と、前記アンテナ基板を介してレーダ波を送受信し、受信電力を測定する測定部(13、16)を備えたレーダ装置(1)を対象とし、
    前記筐体に対する前記アンテナのビーム軸の向きが予め定められた指定方向を向いているときに前記測定部にて測定される受信電力を最大にするような前記レーダ装置との位置関係を有するリフレクタを使用して、前記筐体に対する前記アンテナのビーム軸の向きを調整するビーム軸調整装置(2)であって、
    前記アクチュエータによる前記アンテナ基板の駆動量であるアクチュエータ駆動量を予め設定された第1単位駆動量ずつ変化させると共に、前記測定部に受信電力を測定させることにより、予め定められた調整可能角度範囲内での前記アンテナ基板の傾斜角度と前記受信電力との関係を、前記第1単位駆動量に対応した角度ピッチで求める第1測定手段(21、S110〜S140)と、
    前記第1測定手段での測定結果から、1番目及び2番目に大きい前記受信電力及びそのときの前記アクチュエータ駆動量に基づき、前記受信電力が最大となる傾斜角度である仮調整ポイントを求めると共に、前記仮調整ポイントに対応する前記アクチュエータ駆動量より、前記第1単位駆動量より小さく設定された第2単位駆動量の整数倍だけシフトさせた前記アクチュエータ駆動量を基点駆動量として設定する仮調整ポイント抽出手段(21、S150)と、
    前記アクチュエータ駆動量を前記第2単位駆動量ずつ変化させると共に、前記測定部に受信電力を測定させることにより、前記基点駆動量に対応した前記アンテナ基板の傾斜角度を詳細測定開始ポイントとして前記仮調整ポイント抽出手段で求めた前記仮調整ポイントを挟むようにして前記調整可能角度範囲より狭い範囲に設定される詳細測定対象範囲内での前記アンテナ基板の傾斜角度と前記受信電力との関係を、前記第2単位駆動量に対応した角度ピッチで求める第2測定手段(21、S160〜S190)と、
    前記第2測定手段での測定結果から、前記受信電力が最大となる傾斜角度である調整ポイントに対応する前記アクチュエータ駆動量を軸調整量として求める調整量抽出手段(21、S200)と、
    前記アクチュエータ駆動量が前記調整量抽出手段で求められた前記軸調整量となるように前記アクチュエータを作動させる調整実行手段(21、S210)と、
    を備え、前記第2測定手段は、前記第1測定手段にて前記アクチュエータ駆動量を前記第1単位駆動量ずつ変化させる方向とは反対方向をシフト方向として、前記基点駆動量を前記仮調整ポイントに対して前記シフト方向とは反対方向にシフトさせた位置に設定し、前記シフト方向に前記アクチュエータ駆動量を前記第2単位駆動量ずつ変化させることを特徴とするビーム軸調整装置。
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