JP5977828B2 - 光ビームアラインメントのためのエネルギセンサ - Google Patents
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Description
本出願は、2011年8月19日出願の「光ビームアラインメントのためのエネルギセンサ」という名称の米国特許仮出願番号第61/525,561号に対する優先権を主張し、かつ2011年9月30日出願の「光ビームアラインメントのためのエネルギセンサ」という名称の米国一般特許出願番号第13/249,504号に対する優先権を主張するものであり、これらの特許の両方は、これにより引用によって本明細書にその全体が組み込まれる。
205 ターゲット領域
210 光ビーム
235 コレクターミラー
240 開口
Claims (11)
- 駆動軸線に沿って進むパルスの増幅光ビームを生成する駆動レーザシステムと、
前記パルスの増幅光ビームをターゲット領域に向けて誘導するビーム送出システムと、
ターゲット材料を含むターゲット混合物を前記ターゲット領域に供給するターゲット材料送出システムと、
前記ターゲット領域と交差する主軸線から異なる位置で半径方向に分離される2以上のセンサであって、前記パルスの増幅光ビームが前記ターゲット混合物と交差した時にプラズマ状態の前記ターゲット材料から放出された紫外電磁放射線のエネルギを検出する2以上のセンサと、
前記2以上のセンサからの出力を受け取り、検出した前記エネルギを用いた計算に基づいて前記ターゲット混合物と前記ターゲット領域内の前記駆動軸線との間の相対的半径方向アラインメントを推定し、かつ前記ターゲット領域における前記ターゲット混合物に対する前記増幅光ビームの半径方向アラインメントを調節し、それによって前記ターゲット混合物と前記ターゲット領域内の前記駆動軸線との間の相対的半径方向距離を調節する信号を前記ビーム送出システムに出力するコントローラと、を備え、
前記ターゲット混合物に対する前記増幅光ビームの半径方向アラインメントを調節することは、前記ビーム送出システム内の一つ又はそれよりも多くの要素の位置を調整することを含む、装置。 - 前記駆動レーザシステムは、望ましい波長を高い利得で光学的に増幅することができる利得媒体と、励起源と、内部光学系と、を各々が含む1以上の光増幅器を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記利得媒体は、CO2を含む、請求項2に記載の装置。
- 前記ビーム送出システムは、前記増幅光ビームを前記ターゲット領域に集束させる集束光学要素を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記ターゲット材料送出システムは、前記ターゲット領域に前記ターゲット混合物の流体液滴を供給するノズルを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記パルスの増幅光ビームが前記ターゲット混合物と交差した時に前記プラズマ状態の前記ターゲット材料から放出された前記紫外電磁放射線の少なくとも一部分を捕捉して向け直す放射線コレクタを更に備える、請求項1に記載の装置。
- 放出された前記紫外電磁放射線は、極紫外電磁放射線を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記2以上のセンサは、前記主軸線から半径方向に分離された少なくとも4つのセンサを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記2以上のセンサのうちの少なくとも1つが、他のセンサのうちの少なくとも1つを半径方向に分離する距離とは異なる距離によって前記主軸線から半径方向に分離される、請求項1に記載の装置。
- 前記ターゲット混合物から前記駆動レーザシステムに向けて反射して戻されたレーザビームの光学像を捕捉する撮像デバイスを更に備え、
前記コントローラはまた、前記撮像デバイスからの出力を受け取り、かつ前記撮像デバイスから受け取った前記出力にも基づいて前記相対的半径方向アラインメントを推定する、請求項1に記載の装置。 - 前記2以上のセンサのサンプリング速度が、前記駆動レーザシステムのパルス繰返し速度の程度である、請求項1に記載の装置。
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