JP5972937B2 - 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム - Google Patents

Description

発明の背景
プリンテッドエレクトロニクスおよび太陽電池産業におけるパターニングおよび材料堆積に関して、非接触式材料堆積印刷は魅力的な方法である。たとえば、太陽電池の裏面または前面に導電材料を直接堆積させることにより導電線を形成して太陽電池による電力用の伝導経路を設けることにより、太陽電池の効率ならびに大量生産の生産性を向上させ得る。

インクジェット印刷またはエアロゾル印刷のような堆積印刷技術は、プリントヘッドおよび基板を相互に印刷方向に沿って動かすことにより、ノズルからの印刷材料の液滴を堆積させる。堆積印刷に関する問題の１つは、噴射を停止させてしまう、または噴射を不十分にさせてしまうノズルの欠陥である。したがって、欠陥のあるノズルは不均等な導電線をもたらし、これにより非効率なまたは正常に機能しない太陽電池が生じてしまう可能性がある。

発明としてみなされる主題は、個別に指摘され、本明細書の終わりに明確に主張される。しかし、本発明、すなわち構成および作動方法いずれも、その目的、特徴および長所と共に、添付の図面を以下の詳細な説明と合わせて参照することにより最もよく理解される。

本発明の実施形態に係る例示的な印刷システムである。 本発明の実施形態を示すのに有用である、余剰のノズルを有し、印刷方向に対して平行に配置される印刷ユニットを示す。 本発明のいくつかの実施形態に係る印刷方法を示すフローチャート図である。

図面を簡単かつ明確にするために、図面に示される構成要素は必ずしも正確な縮尺ではないことが理解されよう。たとえばいくつかの構成要素の寸法は明確性のために他の構成要素に対して過大に示されている場合もある。また、適切と考えられる際は、対応する構成要素または類似の構成要素を示すために同じ符号が異なる図面で繰り返し使用される。

発明の実施形態の詳細な説明
以下の詳細な説明では、本発明を深く理解するため多数の特定の詳細が列記される。しかし、当業者であれば、本発明はこれらの具体的詳細を用いずに実施可能であることが理解できるであろう。また、発明の説明を不明瞭にしてしまわないために、周知の方法、手順、構成部品、モジュール、ユニットおよび／または回路については詳細には説明していない。

本発明の実施形態は、多様な印刷システムおよび方法に応用可能である。明確かつ簡単にするために、非接触式材料堆積システムの実施形態および参照は、主にインクジェットシステムを用いた太陽電池用の導電性金属線を製造する用途に関する。しかし、本発明の範囲は、このような例示的な実施形態により限定されず、他の堆積システム、たとえばアエアロゾル噴射堆積システムまたはディスペンサ、およびグラフィックス、プレス、マスメディア、包装、電子機器等のその他の用途にも応用可能である。

本発明の実施形態は、印刷工程または印刷ジョブが進行している際に、印刷ノズルを検査し、必要に応じて能動的に印刷ノズルを交換するシステムおよび方法に関する。実施形態に係り、このシステムは余剰のプリントヘッドまたは印刷ユニットを備えることが可能であり、プリントヘッドの数は所望の印刷タスクを実施するのに必要とされるプリントヘッドの数より多くなっている。印刷時はいつでもプリントヘッドの一部は作動しており、残りのプリントヘッドは余剰のヘッドであってよい。

したがって、印刷工程が進行中である時に、システム内に設置される複数のプリントヘッドから選択される第１のサブセットが、基板上に材料を堆積するよう設計され、第２の異なるサブセットのプリントヘッドは保守管理工程にあることが可能である。たとえば、第１プリントヘッドが基板へ材料を堆積中に、第２プリントヘッドは印刷エリアまたはゾーンから検査、保守または維持管理エリアに移動され得る。第２プリントヘッドが検査、保守、修理またはその他の維持管理工程にもたらされている間に、第１プリントヘッドは印刷および／材料堆積を継続し得る。

いくつかの実施形態では、この方法は基板上に線を印刷すること、たとえば一列または二列に配置されるノズルを有する印刷ユニットからの材料堆積により半導体ウエハに接触線を印刷することを含み得る。この実施形態に係り、印刷ユニットは余剰のノズルを備え得る。印刷ユニットのノズルの数は、所望の印刷タスク、たとえば所望の解像度での線の印刷を達成するために必要なノズルの数より大きいことが可能である。印刷時はいつでもプリントユニットの内部のノズルの一部は作動しており、残りのノズルは余剰または非作動であってよい。印刷は作動ノズルとして設定されるノズルによってのみ行われ、残りのノズルは非作動ノズルとして設定される。特定の列で材料が選択的に堆積されることが可能である。

この方法はさらに、検査ゾーンに印刷ユニットを移動させ、その際に他の印刷ユニットの作動ノズルが印刷を継続し、この印刷ユニットが先の印刷ユニットの印刷タスクを実施することを含み得る。検査ゾーンではノズルは検査され、非作動ノズルの１つは欠陥ノズルとして識別されることが可能である。いくつかの実施形態では、検査は印刷ユニットを検査ゾーンへ移動させることなく印刷ゾーンにおいて実施され得る。

続いて、欠陥ノズルとして識別されたノズルは非作動として設定され、先に非作動ノズルとして設定されたノズルの１つが作動ノズルとして欠陥ノズルを代替し得る。この方法はさらに、印刷ユニットを検査ゾーンから印刷ゾーンへ戻し、新しい作動ノズルが欠陥ノズルを代替して印刷ユニットによる印刷を継続させることを含み得る。

本発明の実施形態に係り、全てのノズルが検査ゾーンまたは印刷ゾーンにおいて検査されると、システムは検査データを分析し、所定の評価に基づいて作動ノズルとなる最も適切なノズルのセットを選択し得る。続いて、選択されたノズルは作動ノズルとして設定または特定され、印刷ユニットの残りのノズルは非作動として設定され得る。最適なノズルのセットの決定は、所望の液滴の大きさ、噴射の安定性および／またはノズルプレート（オリフィスプレート）の法線からの噴射方向のずれが実質的に類似のノズルを選択することに基づいて行われる。本発明の範囲から逸脱することなく、最適なノズルのセットを選択するためにその他のパラメータを考慮してもよい。

図１を参照すると、本発明の例示的な実施形態に係る例示的な印刷システムのハイレベルブロック図が示される。システム１００として示される例示的なシステムは、維持管理または検査のため頻繁に停止することなく、連続して高速、大容量の印刷ジョブを実施することが可能であり得る。システム１００は、様々な印刷システム、たとえばインクジェットまたはエアロゾル投与システムに応用可能である。システム１００は、印刷ユニット
またはプリントヘッド１０５Ａ−１０５Ｆと、印刷エリアの幅を画定し、半導体ウエハのような印刷媒体が配置されるコンベイヤまたはプラットフォーム（不図示）のような印刷ゾーン１１０と、印刷ユニットおよびそのノズルの維持管理および検査が行われる保守ゾーン１２５とを含み得る。

保守ゾーン１２５は、印刷ユニットにより各種維持管理動作が行われるための１つまたは複数の維持管理ステーションを含み得る。図には６つのみの例示的な印刷ユニットが示されているが、本発明の範囲から逸脱することなく、任意の数の印刷ユニットを使用することができる。印刷ユニットの数は、少なくとも１つの印刷ユニットが余剰であるように決定される。余剰であることによって、作動ノズルが印刷工程を継続している際に、同時に非作動ノズルを検査することが可能になる。したがって、ユニット１０５Ａ−１０５Ｆのうちの少なくとも１つの印刷ユニットは、他の印刷ユニットが印刷ゾーンに残り印刷工程を継続している間に、個別に印刷ゾーン１１０から保守ゾーン１２５へ移動することが可能であり得る。保守ゾーン１２５は、印刷ゾーン１１０の近く、または直近にあることが可能である。本発明のいくつかの実施形態に係り、印刷ユニット１０５Ａ−Ｆは、印刷ゾーン１１０から保守ゾーン１２５へ移動が可能になるようにレールに取り付けられ得る。本発明の範囲から逸脱することなくその他の移動ユニットまたは機構を使用してもよい。

各印刷ユニット１０５Ａ−Ｆは、一列または複数の列に配置されるノズル１０６を備え得る。図１の例示的な図では、各列は８つのノズルを有し、これは印刷またはスキャン方向Ｘに対して平行に配置される。しかし、当業者であれば、各列は数十個または数百個のノズルを含み得ることを理解するであろう。各列は、欠陥ノズルを検出した際に交換用の余剰のノズルを含み得る。欠陥ノズルとは、たとえば材料を噴射することができない閉塞したノズル、所望の量の材料の一部しか噴射できない弱いまたは部分的に閉塞したノズル、または大多数のノズルの噴射方向から大きく逸脱した方向へ噴射するノズルであり得る。

印刷ユニット１０５Ａ−Ｃは、列が印刷方向Ｘに対して平行であるように印刷ゾーン１１０付近に配置され得る。基板がコンベイヤにより移動される場合は、印刷方向は基板の進行方向により表わされることが可能である。このような構成では、各列は１度のスキャンで印刷方向に対して平行の方向で１つのメタライズ線を印刷可能である。本発明のその他の実施形態に係り、印刷方向に関してその他の設定または構成も可能である。

システム１００はさらに、印刷工程を制御する制御装置１１５と、制御装置１１５に接続される画像取得ユニット１２０とを含み得る。本発明の実施形態に係り、制御装置１１５は、システム１００の構成部品とその作動のコーディネーション、コンフィギュレーション、スケジューリング、アービトレーション、監視、演算および／または管理のようなタスクまたは機能を実施またはこれに関与し得るが、これに限定はされない。たとえば、制御装置１１５は、印刷ユニット１０５Ａ−Ｆおよび印刷ゾーン１１０の印刷対象物の動作の制御を行い得る。制御装置１１５は、あらゆる必要とされるまたは適切なハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアまたはそれらの組み合わせを備え得る。たとえば、制御装置１１５は、制御装置および／または中央処理装置（ＣＰＵ）、メモリと入出力ユニットとを備えるコンピュータデバイスであることが可能である。

画像取得ユニット１２０は、たとえばノズルから出る材料の液滴の画像を取得することによりノズルの状態を検査するために、カメラまたは電荷結合素子（ＣＣＤ）のような検出器または撮像装置１２１を備え得る。ノズルの状態を識別するその他の適切な可視検出器またはその他の方法を使用してもよい。画像取得ユニット１２０はさらに、画像を分析し、検査したノズルの現在の状態を決定するため画像処理ユニット１２２と、ノズルの状
態に関するデータを保存するために記憶装置１２３とを備え得る。

本発明の実施形態に係り、検出器１２１は、取得した画像の処理および保存のため専用の演算および記憶装置に接続され得る。または制御装置１１５がこれらの作動を実施してもよい。本発明の実施形態に係り、ノズルからの液滴の画像化を可能にするため、パルスレーザ光源またはパルス発光ダイオード（ＬＥＤ）のようなパルス光源が検出器１２１に接続され得る。制御装置１１５はさらに、検査工程、たとえば液滴の噴出のコーディネート、光パルスおよびカメラの作動の制御および管理を行い得る。

続いて図２を参照すると、余剰のノズルを有し、印刷方向に対して平行に配置される印刷ユニットの配列が本発明の実施形態を説明するために示されている。印刷ユニット２１０、２２０および２３０は、太陽電池の製造において、半導体ウエハに導電線を印刷するために使用され得る。本発明の実施形態に係り、印刷時にはノズルの第１サブセットが作動ノズルとして設定される。たとえばノズル２２４−２２８が作動ノズルとして設定され得る。印刷ユニット２２０のノズルの第２サブセット、たとえばノズル２２１−２２３が非作動に設定され得る。ノズル、たとえばノズル２２５に欠陥があることが検出されると、欠陥ノズルは非作動ノズル２２１−２２３のいずれか１つのノズルと交換され得る。たとえば、ノズル２２５が非作動ノズルとして設定され、ノズル２２２が作動ノズルとして再設定され得る。

本発明の実施形態に係り、印刷工程が進行中であり、印刷ユニットの第１サブセットをなす１つまたは複数の印刷ユニットが能動的に堆積を行っている際、印刷ユニットの第２サブセットをなす他の１つまたは複数の印刷ユニットは、維持管理および／または検査のために保守ゾーン１２５へ移動され得る。また所望の場合は、少なくとも１組のノズルの状態が交換され、先の作動ノズルが非作動となり、先の非作動ノズルが作動ノズルとなることが可能である。

保守ゾーン１２５へ移動された印刷ユニットには検査、保守および設定が行われ得る。たとえば、ノズルは、検査されるユニットのノズルにより排出または噴出される液滴の画像を取得することにより検査され得る。画像はその後、画像処理ユニット１２２により分析され得る。この分析に基づいて、欠陥ノズルが識別され、余剰のノズルにより交換され得る。また、各種作動パラメータが修正または確認され得る。たとえば、ノズルの検査に基づいて、圧力、温度または電圧等の作動パラメータが修正され得る。

再度図１を参照すると、画像処理ユニット１２２は、検出器１２１からの画像を受け、この画像を任意の適切な画像処理技術を用いて処理することができる。たとえば、噴出した液滴の形状、軌道および速度の分析が画像処理ユニットにおいて実施され得る。たとえば、ノズルから噴出される液滴の画像に基づいてノズルの状態を確認するため画像処理が使用されることが可能である。別の例としては、予め設定された時間にわたって取得された２つまたはそれ以上の画像を比較してもよい。画像の比較または関連付けにより、ノズルの様々な状態、欠陥またはその他の状況が確認され得る。たとえば、連続した、または一連の画像の比較により、ノズルの性能の劣化が検出され得る。

ビデオカメラは可視光に関する画像を提供するが、その他の画像が生成されてもよい。たとえば、検出器１２１は、温度を記録する赤外線カメラであってもよく、これにより噴出されたインクまたはエアロゾルの温度分布を提供し得る。ここで説明する通り、画像装置または検出器１２１は、保守エリアに配置されてもよく、その他の構成が可能である。たとえば、１つまたは複数のカメラが、印刷エリア、たとえばエリア１１０の付近、周囲または近接して配置され得る。このようなカメラは、試験基板に材料を堆積するノズルの印刷工程における画像を取得し得る。

記憶システムまたはユニット１２３は、検出器１２１および／またはその他の供給源、たとえばリモートサーバまたはコンパクトディスク（ＣＤ）またはメモリチップのようなリムーバブル記憶媒体から取得された画像を受信および保存し得る。たとえば、所望の噴出の参照画像が記憶装置に読み込まれるか、その他の方法で保存されて比較のために使用されるか、または検出器１２１により取得された画像と関連付けられることができる。参照画像は、理想的な、あるいは所望の噴出または堆積の画像を含み、したがってたとえば第２画像と比較して、第２画像に撮影された噴射が許容可能であるかを決定する、または噴出の質または撮影された液滴が噴射されたノズルに関するその他の機能パラメータの質を決定し得る。

当業者であれば、印刷ユニットまたはプリントヘッドが余剰にあることにより、印刷工程に加わるプリントヘッドを動的に選択することが理解されるであろう。したがって、余剰、予備、不使用または待機状態のプリントヘッドがある、および／または印刷工程時に利用可能であり得る。これらの余剰のプリントヘッドにより、印刷工程が実施中、作動中または進行中の間にプリントヘッドの動的な交換が可能になる。たとえば、第１プリントヘッドが作動中、たとえば媒体に材料を堆積することにより印刷工程に能動的に関与している場合に、保守または検査の必要があるか、または保守または検査されるよう選択されると、第２の非作動、待機状態または余剰のプリントヘッドが作動されることにより第１プリントヘッドを代替し得る。したがって、交換された第１プリントヘッドは、非作動にされ、さらに検査、保守またはその他の維持管理工程にもたらされることができる。

本発明の実施形態に係り、印刷ユニットまたはプリントヘッドには余剰のノズルが設けられ得る。たとえば、意図されるタスクを実施するためには１００個のノズルを必要とするプリントヘッドでは、５００個のノズルが設けられ得る。これにより、プリントヘッドに取り付けられる、含まれる、または設置されるノズルの１つのサブセットのみが印刷工程において能動的に関与する、たとえば実際に材料を表面または媒体に噴射することが可能である。本発明の実施形態に係り、ここで説明されたノズルの余剰性により、作動されるノズルのサブセットを動的に選択または設定することが可能になる。この余剰性はさらに、作動ノズルを非作動ノズルにより交換することを可能にし得る。たとえば、プリントヘッドの第１ノズルが、たとえば機能不良による、または予定されたあるいは周期的な維持管理ルーチンの一部として交換または保守が必要であることが確認された際に、第２の非作動または余剰ノズルが選択、作動されて、第１ノズルを代替し、材料を表面または媒体に噴射することができる。

図３を参照すると、本発明のいくつかの実施形態に係る印刷方法を示すフローチャート図が示されている。ブロック３１０に示されるように、この方法は、第１印刷ユニットまたはプリントヘッドを用いて印刷工程を開始することを含み得る。たとえば、印刷ファイルの情報が、図１に説明されたシステム１００のような印刷システムに提供され得る。この情報が提供されると、制御装置１１５は、印刷ユニット２３０および２２０の作動ノズルとして設定されたノズルのサブセットが伝導性材料を堆積し得るようコンベイヤにウエハを配置させ得る。この印刷ファイルの情報に基づき、制御装置１１５は印刷ファイルの仕様またはパラメータにしたがって材料が堆積されるようにノズルおよび印刷ユニットを制御する。

ブロック３２０に示されるように、この方法は、１つまたは複数の印刷ユニット、たとえば印刷ユニット２２０を保守ゾーンへ移動させることを含み得る。この印刷ユニットが保守ゾーンにおいて検査および／または保守されている間、他の印刷ユニット、たとえば以前は余剰であった印刷ユニット２１０が作動し、これにより印刷ユニット２１０および２３０によって印刷工程が継続され得る。ブロック３３０に示されるように、この方法は
、印刷ユニット２００のノズルを検査し、１つまたは複数のノズル、たとえばノズル２２５を欠陥または不良ノズルとして識別することを含み得る。

この方法は、欠陥が修理可能であるかを決定することを含み得る。たとえば、ノズルのオリフィスの全体的な閉塞が検出されると、オリフィスから閉塞を除去し欠陥を修理する工程があり得る。検出された他の欠陥は、複雑な場合によっては修復に手動の工程を要することがあり得る。直ちにまたは印刷工程の進行中に処理または修理され得る欠陥であるか否かの分類は、各種のパラメータおよび／または設定による。欠陥が修理され得る場合、フローはノズルの保守を含み得る。たとえば、作動パラメータが修正されるか、または自動パージ工程が実行され得る。

ブロック３３５に示されるように、この方法はノズルの最適なセットを検査に基づいた最適ノズルとして選択することを含み得る。したがって、この方法は、修理が不可能または望ましくない場合、欠陥ノズルを非作動に設定することを含み得る。非作動ノズルに識別されたノズルは、その状態が「作動」状態に変わるまで印刷工程に加わることができない。ブロック３４０に示されるように、この方法は、選択されたセットのノズルを作動ノズルとして設定し、印刷ユニットの欠陥ノズルおよび残りのノズルを非作動に設定することを含み得る。たとえば、この方法は、新たに欠陥ノズルとされたノズルと同じ列からの、以前は非作動ノズルとして設定されていたノズルを作動ノズルとすることを含み得る。たとえば、ノズル２２５が欠陥ノズルと決定された後、以前は非作動であり印刷工程に関与していなかった余剰ノズル、たとえばノズル２２３が、欠陥ノズル２２５を代替する作動ノズルとして設定され得る。

ここで説明される通り、第１の欠陥ノズルが非作動として設定され、第２の非作動ノズルが欠陥ノズルを補うため作動ノズルに設定され得るが、他のシナリオも可能である。たとえば、同じ印刷ユニットで、場合によっては同じ列のノズルが、予め決定されたスケジュールに基づいて交換され得る。たとえば、ノズル内のインクが乾くことを回避するため、周期的にノズルが作動、非作動に設定され得る。いくつかの実施形態では第１のノズルは第２のノズルに交換され得るが、他の組み合わせも可能である。たとえば、欠陥ノズルは２つの余剰ノズルにより交換されてもよい。たとえば、これらの２つのノズルは、これらが組み合わされた作動が、交換された欠陥ノズルに期待される作動と同じであるよう命令される。

ブロック３４５に示されるように、この方法は、検査終了後に第１印刷ユニットを印刷ゾーンに戻すことを含み得る。この時他のプリントヘッドが印刷中であり得るため、印刷ユニット２２０は、たとえば印刷ユニット２１０に代わり進行中の印刷工程を実施し、印刷ユニット２１０は検査のために保守エリアへ移動され得る。あるいは、印刷ユニット２２０は、たとえば印刷ユニット２３０が進行中の印刷工程を実施するのに代わり、印刷ユニット２３０が検査のため保守エリアに移動され得る。それによって、ブロック３５０に示されるようにこの方法は、作動中の印刷ユニットの印刷を停止し、第１印刷ユニットを用いた印刷工程を継続させることを含み得る。第１印刷ユニットは、たとえばユニット２２０であることが可能であり、このユニットにおいて新たな作動ノズル、すなわちノズル２２１が、先に使用されており現在は欠陥ノズルの２２５に取って代わる。

本発明の実施形態は、たとえばコンピュータにより出される、コード化、含有または記憶された命令を、ここに開示された方法でプロセッサまたは制御装置により実行する、コンピュータまたはプロセッサにより可読の媒体またはコンピュータまたはプロセッサ記憶媒体、たとえばメモリ、ディスクドライブまたはＵＳＢフラッシュメモリのようなものを含み得る。

本発明の実施形態はこの点で限定されないが、ここで使用される用語「複数（ｐｌｕｒａｒｉｔｙ ａｎｄ ａ ｐｌｕｒａｒｉｔｙ」は、たとえば「多数（ｍｕｌｔｉｐｌｅ）」または「２つまたはそれ以上」を含み得る。「複数」は、明細書において２つまたはそれ以上の構成部品、装置、要素、ユニット、パラメータ等を指す。

はっきりと明記されていない限り、ここに説明される方法の実施例は、特定の順番または順序に制約されない。また、説明された方法のいくつかの実施形態またはその要素は、時間的に同時に、または重複した時点で発生または実行されることが可能である。当業者であれば、関数、タスク、サブタスクまたはプログラムのような実行コードのセグメントの実行は、関数、プログラムまたはその他のコンポーネントの実行としてみなすことができる。

本発明の実施形態はこの点で限定されないが、たとえば「処理」、「演算」、「計算」、「決定」、「設定」、「分析」、「確認」等の用語の利用は、コンピュータ、計算プラットフォーム、演算システムまたはその他の電子計算システムのオペレーションおよび／またはプロセスであって、コンピュータのレジスタおよび／またはメモリ内の物理的（たとえば電子的）な量として表されるデータを、同様にコンピュータのレジスタおよび／またはメモリ、またはその他のオペレーションおよび／またはプロセスを実施するための命令を保存し得る情報記憶媒体内の物理量として表される他のデータに操作および／または変換することを表し得る。

発明のいくつかの特徴がここで図示および説明されたが、当業者であれば多数の修正、代替、変更等が可能である。したがって、添付の請求項は本発明の精神に含まれるこのような修正および変更の全てを含むことが意図される。

Claims (12)

1. ノズルを有する第１印刷ユニットを用いて印刷ゾーン内で印刷し、前記ノズルの第１部分が作動ノズルとして設定され、前記ノズルの第２部分が非作動ノズルとして設定され、前記第１印刷ユニットの作動ノズルから選択的に材料を堆積することにより前記印刷が行われることと、
   第２印刷ユニットの作動ノズルで印刷を継続しつつ、前記第１印刷ユニットによる印刷を停止することと、
   前記第１印刷ユニットのノズルを検査することと、
   検査結果に基づき新たな作動ノズルのセットを選択することと、
   新たな作動ノズルのセットで前記第１印刷ユニットを用いた印刷を継続することと、
   を備え、
   前記ノズルは、少なくとも一列において、スキャン方向に対して平行な方向に並んで複数配置される、印刷方法。
2. 検査前に前記第１印刷ユニットを検査ゾーンへ移動することと、
   印刷を継続するために前記第１印刷ユニットを印刷ゾーンへ戻すことと、
   を備える、請求項１に記載の方法。
3. 印刷が、スキャン方向に線を印刷することを備える、請求項１に記載の方法。
4. 前記第１印刷ユニットの作動ノズルの１つを欠陥ノズルとして識別することと、
   前記欠陥ノズルを非作動として設定し、前記第１印刷ユニットの非作動ノズルの１つを新たな作動ノズルとして設定し、これにより新たな作動ノズルが欠陥ノズルを代替することと、
   を備える、請求項１に記載の方法。
5. 前記第１印刷ユニットのノズルにより実施される液滴の噴出の画像を取得することと、
   画像の分析に基づき前記欠陥ノズルを識別することと、
   を検査が備える、請求項１に記載の方法。
6. 前記分析が、液滴の大きさと、噴射方向の所定の方向からの逸脱の大きさとを決定することを備える、請求項５に記載の方法。
7. 堆積が、プリント基板または半導体ウエハに金属導電線を設けるために導電性材料を堆積することである、請求項１に記載の方法。
8. 作動ノズルの新たなセットが、所望の液滴の大きさに基づいて選択される、請求項１に記載の方法。
9. 作動ノズルの新たなセットが、前記ノズルからの噴射の安定性の程度に基づき選択される、請求項１に記載の方法。
10. 作動ノズルの新たなセットが、前記ノズルの噴射方向に基づき選択される、請求項１に記載の方法。
11. 前記ノズルの少なくとも一部を検査することと、
    検査データを分析することとを含む、請求項１に記載の方法。
12. 前記検査データを分析することは、前記ノズルから噴射された液滴のサイズを測定することと、所定の方向からの噴射方向のずれを測定することとを含む、請求項１１に記載の方法。