JP2011526199A - 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
余剰のノズル(221、222、223)を有する第1印刷ユニット(220)を用いて印刷を行う印刷方法を提供する。この方法は、第2印刷ユニット(210,230)の作動ノズルにより印刷を継続しつつ第1印刷ユニットによる印刷を停止することを含み得る。この方法は、第1印刷ユニットを検査し、欠陥ノズルを識別し、その後欠陥ノズル(225)を非作動ノズルとして設定し、第1印刷ユニットの非作動ノズル(221、222、223)を新たな作動ノズルとして設定することを含み得る。いくつかの実施形態に係りこの方法は、検査の前に第1印刷ユニットを検査ゾーンに移動し、その際第2印刷ユニットの作動ノズルで印刷を継続し、検査後に第1印刷ユニットを印刷ゾーンに移動させて第1印刷ユニットで印刷を継続させることを含み得る。
Description
発明の背景
プリンテッドエレクトロニクスおよび太陽電池産業におけるパターニングおよび材料堆積に関して、非接触式材料堆積印刷は魅力的な方法である。たとえば、太陽電池の裏面または前面に導電材料を直接堆積させることにより導電線を形成して太陽電池による電力用の伝導経路を設けることにより、太陽電池の効率ならびに大量生産の生産性を向上させ得る。
プリンテッドエレクトロニクスおよび太陽電池産業におけるパターニングおよび材料堆積に関して、非接触式材料堆積印刷は魅力的な方法である。たとえば、太陽電池の裏面または前面に導電材料を直接堆積させることにより導電線を形成して太陽電池による電力用の伝導経路を設けることにより、太陽電池の効率ならびに大量生産の生産性を向上させ得る。
インクジェット印刷またはエアロゾル印刷のような堆積印刷技術は、プリントヘッドおよび基板を相互に印刷方向に沿って動かすことにより、ノズルからの印刷材料の液滴を堆積させる。堆積印刷に関する問題の1つは、噴射を停止させてしまう、または噴射を不十分にさせてしまうノズルの欠陥である。したがって、欠陥のあるノズルは不均等な導電線をもたらし、これにより非効率なまたは正常に機能しない太陽電池が生じてしまう可能性がある。
発明としてみなされる主題は、個別に指摘され、本明細書の終わりに明確に主張される。しかし、本発明、すなわち構成および作動方法いずれも、その目的、特徴および長所と共に、添付の図面を以下の詳細な説明と合わせて参照することにより最もよく理解される。
図面を簡単かつ明確にするために、図面に示される構成要素は必ずしも正確な縮尺ではないことが理解されよう。たとえばいくつかの構成要素の寸法は明確性のために他の構成要素に対して過大に示されている場合もある。また、適切と考えられる際は、対応する構成要素または類似の構成要素を示すために同じ符号が異なる図面で繰り返し使用される。
発明の実施形態の詳細な説明
以下の詳細な説明では、本発明を深く理解するため多数の特定の詳細が列記される。しかし、当業者であれば、本発明はこれらの具体的詳細を用いずに実施可能であることが理解できるであろう。また、発明の説明を不明瞭にしてしまわないために、周知の方法、手順、構成部品、モジュール、ユニットおよび/または回路については詳細には説明していない。
以下の詳細な説明では、本発明を深く理解するため多数の特定の詳細が列記される。しかし、当業者であれば、本発明はこれらの具体的詳細を用いずに実施可能であることが理解できるであろう。また、発明の説明を不明瞭にしてしまわないために、周知の方法、手順、構成部品、モジュール、ユニットおよび/または回路については詳細には説明していない。
本発明の実施形態は、多様な印刷システムおよび方法に応用可能である。明確かつ簡単にするために、非接触式材料堆積システムの実施形態および参照は、主にインクジェットシステムを用いた太陽電池用の導電性金属線を製造する用途に関する。しかし、本発明の範囲は、このような例示的な実施形態により限定されず、他の堆積システム、たとえばアエアロゾル噴射堆積システムまたはディスペンサ、およびグラフィックス、プレス、マスメディア、包装、電子機器等のその他の用途にも応用可能である。
本発明の実施形態は、印刷工程または印刷ジョブが進行している際に、印刷ノズルを検査し、必要に応じて能動的に印刷ノズルを交換するシステムおよび方法に関する。実施形態に係り、このシステムは余剰のプリントヘッドまたは印刷ユニットを備えることが可能であり、プリントヘッドの数は所望の印刷タスクを実施するのに必要とされるプリントヘッドの数より多くなっている。印刷時はいつでもプリントヘッドの一部は作動しており、残りのプリントヘッドは余剰のヘッドであってよい。
したがって、印刷工程が進行中である時に、システム内に設置される複数のプリントヘッドから選択される第1のサブセットが、基板上に材料を堆積するよう設計され、第2の異なるサブセットのプリントヘッドは保守管理工程にあることが可能である。たとえば、第1プリントヘッドが基板へ材料を堆積中に、第2プリントヘッドは印刷エリアまたはゾーンから検査、保守または維持管理エリアに移動され得る。第2プリントヘッドが検査、保守、修理またはその他の維持管理工程にもたらされている間に、第1プリントヘッドは印刷および/材料堆積を継続し得る。
いくつかの実施形態では、この方法は基板上に線を印刷すること、たとえば一列または二列に配置されるノズルを有する印刷ユニットからの材料堆積により半導体ウエハに接触線を印刷することを含み得る。この実施形態に係り、印刷ユニットは余剰のノズルを備え得る。印刷ユニットのノズルの数は、所望の印刷タスク、たとえば所望の解像度での線の印刷を達成するために必要なノズルの数より大きいことが可能である。印刷時はいつでもプリントユニットの内部のノズルの一部は作動しており、残りのノズルは余剰または非作動であってよい。印刷は作動ノズルとして設定されるノズルによってのみ行われ、残りのノズルは非作動ノズルとして設定される。特定の列で材料が選択的に堆積されることが可能である。
この方法はさらに、検査ゾーンに印刷ユニットを移動させ、その際に他の印刷ユニットの作動ノズルが印刷を継続し、この印刷ユニットが先の印刷ユニットの印刷タスクを実施することを含み得る。検査ゾーンではノズルは検査され、非作動ノズルの1つは欠陥ノズルとして識別されることが可能である。いくつかの実施形態では、検査は印刷ユニットを検査ゾーンへ移動させることなく印刷ゾーンにおいて実施され得る。
続いて、欠陥ノズルとして識別されたノズルは非作動として設定され、先に非作動ノズルとして設定されたノズルの1つが作動ノズルとして欠陥ノズルを代替し得る。この方法はさらに、印刷ユニットを検査ゾーンから印刷ゾーンへ戻し、新しい作動ノズルが欠陥ノズルを代替して印刷ユニットによる印刷を継続させることを含み得る。
本発明の実施形態に係り、全てのノズルが検査ゾーンまたは印刷ゾーンにおいて検査されると、システムは検査データを分析し、所定の評価に基づいて作動ノズルとなる最も適切なノズルのセットを選択し得る。続いて、選択されたノズルは作動ノズルとして設定または特定され、印刷ユニットの残りのノズルは非作動として設定され得る。最適なノズルのセットの決定は、所望の液滴の大きさ、噴射の安定性および/またはノズルプレート(オリフィスプレート)の法線からの噴射方向のずれが実質的に類似のノズルを選択することに基づいて行われる。本発明の範囲から逸脱することなく、最適なノズルのセットを選択するためにその他のパラメータを考慮してもよい。
図1を参照すると、本発明の例示的な実施形態に係る例示的な印刷システムのハイレベルブロック図が示される。システム100として示される例示的なシステムは、維持管理または検査のため頻繁に停止することなく、連続して高速、大容量の印刷ジョブを実施することが可能であり得る。システム100は、様々な印刷システム、たとえばインクジェットまたはエアロゾル投与システムに応用可能である。システム100は、印刷ユニットまたはプリントヘッド105A−105Fと、印刷エリアの幅を画定し、半導体ウエハのような印刷媒体が配置されるコンベイヤまたはプラットフォーム(不図示)のような印刷ゾーン110と、印刷ユニットおよびそのノズルの維持管理および検査が行われる保守ゾーン125とを含み得る。
保守ゾーン125は、印刷ユニットにより各種維持管理動作が行われるための1つまたは複数の維持管理ステーションを含み得る。図には6つのみの例示的な印刷ユニットが示されているが、本発明の範囲から逸脱することなく、任意の数の印刷ユニットを使用することができる。印刷ユニットの数は、少なくとも1つの印刷ユニットが余剰であるように決定される。余剰であることによって、作動ノズルが印刷工程を継続している際に、同時に非作動ノズルを検査することが可能になる。したがって、ユニット105A−105Fのうちの少なくとも1つの印刷ユニットは、他の印刷ユニットが印刷ゾーンに残り印刷工程を継続している間に、個別に印刷ゾーン110から保守ゾーン125へ移動することが可能であり得る。保守ゾーン125は、印刷ゾーン110の近く、または直近にあることが可能である。本発明のいくつかの実施形態に係り、印刷ユニット105A−Fは、印刷ゾーン110から保守ゾーン125へ移動が可能になるようにレールに取り付けられ得る。本発明の範囲から逸脱することなくその他の移動ユニットまたは機構を使用してもよい。
各印刷ユニット105A−Fは、一列または複数の列に配置されるノズル106を備え得る。図1の例示的な図では、各列は8つのノズルを有し、これは印刷またはスキャン方向Xに対して平行に配置される。しかし、当業者であれば、各列は数十個または数百個のノズルを含み得ることを理解するであろう。各列は、欠陥ノズルを検出した際に交換用の余剰のノズルを含み得る。欠陥ノズルとは、たとえば材料を噴射することができない閉塞したノズル、所望の量の材料の一部しか噴射できない弱いまたは部分的に閉塞したノズル、または大多数のノズルの噴射方向から大きく逸脱した方向へ噴射するノズルであり得る。
印刷ユニット105A−Cは、列が印刷方向Xに対して平行であるように印刷ゾーン110付近に配置され得る。基板がコンベイヤにより移動される場合は、印刷方向は基板の進行方向により表わされることが可能である。このような構成では、各列は1度のスキャンで印刷方向に対して平行の方向で1つのメタライズ線を印刷可能である。本発明のその他の実施形態に係り、印刷方向に関してその他の設定または構成も可能である。
システム100はさらに、印刷工程を制御する制御装置115と、制御装置115に接続される画像取得ユニット120とを含み得る。本発明の実施形態に係り、制御装置115は、システム100の構成部品とその作動のコーディネーション、コンフィギュレーション、スケジューリング、アービトレーション、監視、演算および/または管理のようなタスクまたは機能を実施またはこれに関与し得るが、これに限定はされない。たとえば、制御装置115は、印刷ユニット105A−Fおよび印刷ゾーン110の印刷対象物の動作の制御を行い得る。制御装置115は、あらゆる必要とされるまたは適切なハードウェア、ソフトウェア、ファームウェアまたはそれらの組み合わせを備え得る。たとえば、制御装置115は、制御装置および/または中央処理装置(CPU)、メモリと入出力ユニットとを備えるコンピュータデバイスであることが可能である。
画像取得ユニット120は、たとえばノズルから出る材料の液滴の画像を取得することによりノズルの状態を検査するために、カメラまたは電荷結合素子(CCD)のような検出器または撮像装置121を備え得る。ノズルの状態を識別するその他の適切な可視検出器またはその他の方法を使用してもよい。画像取得ユニット120はさらに、画像を分析し、検査したノズルの現在の状態を決定するため画像処理ユニット122と、ノズルの状態に関するデータを保存するために記憶装置123とを備え得る。
本発明の実施形態に係り、検出器121は、取得した画像の処理および保存のため専用の演算および記憶装置に接続され得る。または制御装置115がこれらの作動を実施してもよい。本発明の実施形態に係り、ノズルからの液滴の画像化を可能にするため、パルスレーザ光源またはパルス発光ダイオード(LED)のようなパルス光源が検出器121に接続され得る。制御装置115はさらに、検査工程、たとえば液滴の噴出のコーディネート、光パルスおよびカメラの作動の制御および管理を行い得る。
続いて図2を参照すると、余剰のノズルを有し、印刷方向に対して平行に配置される印刷ユニットの配列が本発明の実施形態を説明するために示されている。印刷ユニット210、220および230は、太陽電池の製造において、半導体ウエハに導電線を印刷するために使用され得る。本発明の実施形態に係り、印刷時にはノズルの第1サブセットが作動ノズルとして設定される。たとえばノズル224−228が作動ノズルとして設定され得る。印刷ユニット220のノズルの第2サブセット、たとえばノズル221−223が非作動に設定され得る。ノズル、たとえばノズル225に欠陥があることが検出されると、欠陥ノズルは非作動ノズル221−223のいずれか1つのノズルと交換され得る。たとえば、ノズル225が非作動ノズルとして設定され、ノズル222が作動ノズルとして再設定され得る。
本発明の実施形態に係り、印刷工程が進行中であり、印刷ユニットの第1サブセットをなす1つまたは複数の印刷ユニットが能動的に堆積を行っている際、印刷ユニットの第2サブセットをなす他の1つまたは複数の印刷ユニットは、維持管理および/または検査のために保守ゾーン125へ移動され得る。また所望の場合は、少なくとも1組のノズルの状態が交換され、先の作動ノズルが非作動となり、先の非作動ノズルが作動ノズルとなることが可能である。
保守ゾーン125へ移動された印刷ユニットには検査、保守および設定が行われ得る。たとえば、ノズルは、検査されるユニットのノズルにより排出または噴出される液滴の画像を取得することにより検査され得る。画像はその後、画像処理ユニット122により分析され得る。この分析に基づいて、欠陥ノズルが識別され、余剰のノズルにより交換され得る。また、各種作動パラメータが修正または確認され得る。たとえば、ノズルの検査に基づいて、圧力、温度または電圧等の作動パラメータが修正され得る。
再度図1を参照すると、画像処理ユニット122は、検出器121からの画像を受け、この画像を任意の適切な画像処理技術を用いて処理することができる。たとえば、噴出した液滴の形状、軌道および速度の分析が画像処理ユニットにおいて実施され得る。たとえば、ノズルから噴出される液滴の画像に基づいてノズルの状態を確認するため画像処理が使用されることが可能である。別の例としては、予め設定された時間にわたって取得された2つまたはそれ以上の画像を比較してもよい。画像の比較または関連付けにより、ノズルの様々な状態、欠陥またはその他の状況が確認され得る。たとえば、連続した、または一連の画像の比較により、ノズルの性能の劣化が検出され得る。
ビデオカメラは可視光に関する画像を提供するが、その他の画像が生成されてもよい。たとえば、検出器121は、温度を記録する赤外線カメラであってもよく、これにより噴出されたインクまたはエアロゾルの温度分布を提供し得る。ここで説明する通り、画像装置または検出器121は、保守エリアに配置されてもよく、その他の構成が可能である。たとえば、1つまたは複数のカメラが、印刷エリア、たとえばエリア110の付近、周囲または近接して配置され得る。このようなカメラは、試験基板に材料を堆積するノズルの印刷工程における画像を取得し得る。
記憶システムまたはユニット123は、検出器121および/またはその他の供給源、たとえばリモートサーバまたはコンパクトディスク(CD)またはメモリチップのようなリムーバブル記憶媒体から取得された画像を受信および保存し得る。たとえば、所望の噴出の参照画像が記憶装置に読み込まれるか、その他の方法で保存されて比較のために使用されるか、または検出器121により取得された画像と関連付けられることができる。参照画像は、理想的な、あるいは所望の噴出または堆積の画像を含み、したがってたとえば第2画像と比較して、第2画像に撮影された噴射が許容可能であるかを決定する、または噴出の質または撮影された液滴が噴射されたノズルに関するその他の機能パラメータの質を決定し得る。
当業者であれば、印刷ユニットまたはプリントヘッドが余剰にあることにより、印刷工程に加わるプリントヘッドを動的に選択することが理解されるであろう。したがって、余剰、予備、不使用または待機状態のプリントヘッドがある、および/または印刷工程時に利用可能であり得る。これらの余剰のプリントヘッドにより、印刷工程が実施中、作動中または進行中の間にプリントヘッドの動的な交換が可能になる。たとえば、第1プリントヘッドが作動中、たとえば媒体に材料を堆積することにより印刷工程に能動的に関与している場合に、保守または検査の必要があるか、または保守または検査されるよう選択されると、第2の非作動、待機状態または余剰のプリントヘッドが作動されることにより第1プリントヘッドを代替し得る。したがって、交換された第1プリントヘッドは、非作動にされ、さらに検査、保守またはその他の維持管理工程にもたらされることができる。
本発明の実施形態に係り、印刷ユニットまたはプリントヘッドには余剰のノズルが設けられ得る。たとえば、意図されるタスクを実施するためには100個のノズルを必要とするプリントヘッドでは、500個のノズルが設けられ得る。これにより、プリントヘッドに取り付けられる、含まれる、または設置されるノズルの1つのサブセットのみが印刷工程において能動的に関与する、たとえば実際に材料を表面または媒体に噴射することが可能である。本発明の実施形態に係り、ここで説明されたノズルの余剰性により、作動されるノズルのサブセットを動的に選択または設定することが可能になる。この余剰性はさらに、作動ノズルを非作動ノズルにより交換することを可能にし得る。たとえば、プリントヘッドの第1ノズルが、たとえば機能不良による、または予定されたあるいは周期的な維持管理ルーチンの一部として交換または保守が必要であることが確認された際に、第2の非作動または余剰ノズルが選択、作動されて、第1ノズルを代替し、材料を表面または媒体に噴射することができる。
図3を参照すると、本発明のいくつかの実施形態に係る印刷方法を示すフローチャート図が示されている。ブロック310に示されるように、この方法は、第1印刷ユニットまたはプリントヘッドを用いて印刷工程を開始することを含み得る。たとえば、印刷ファイルの情報が、図1に説明されたシステム100のような印刷システムに提供され得る。この情報が提供されると、制御装置115は、印刷ユニット230および220の作動ノズルとして設定されたノズルのサブセットが伝導性材料を堆積し得るようコンベイヤにウエハを配置させ得る。この印刷ファイルの情報に基づき、制御装置115は印刷ファイルの仕様またはパラメータにしたがって材料が堆積されるようにノズルおよび印刷ユニットを制御する。
ブロック320に示されるように、この方法は、1つまたは複数の印刷ユニット、たとえば印刷ユニット220を保守ゾーンへ移動させることを含み得る。この印刷ユニットが保守ゾーンにおいて検査および/または保守されている間、他の印刷ユニット、たとえば以前は余剰であった印刷ユニット210が作動し、これにより印刷ユニット210および230によって印刷工程が継続され得る。ブロック330に示されるように、この方法は、印刷ユニット200のノズルを検査し、1つまたは複数のノズル、たとえばノズル225を欠陥または不良ノズルとして識別することを含み得る。
この方法は、欠陥が修理可能であるかを決定することを含み得る。たとえば、ノズルのオリフィスの全体的な閉塞が検出されると、オリフィスから閉塞を除去し欠陥を修理する工程があり得る。検出された他の欠陥は、複雑な場合によっては修復に手動の工程を要することがあり得る。直ちにまたは印刷工程の進行中に処理または修理され得る欠陥であるか否かの分類は、各種のパラメータおよび/または設定による。欠陥が修理され得る場合、フローはノズルの保守を含み得る。たとえば、作動パラメータが修正されるか、または自動パージ工程が実行され得る。
ブロック335に示されるように、この方法はノズルの最適なセットを検査に基づいた最適ノズルとして選択することを含み得る。したがって、この方法は、修理が不可能または望ましくない場合、欠陥ノズルを非作動に設定することを含み得る。非作動ノズルに識別されたノズルは、その状態が「作動」状態に変わるまで印刷工程に加わることができない。ブロック340に示されるように、この方法は、選択されたセットのノズルを作動ノズルとして設定し、印刷ユニットの欠陥ノズルおよび残りのノズルを非作動に設定することを含み得る。たとえば、この方法は、新たに欠陥ノズルとされたノズルと同じ列からの、以前は非作動ノズルとして設定されていたノズルを作動ノズルとすることを含み得る。たとえば、ノズル225が欠陥ノズルと決定された後、以前は非作動であり印刷工程に関与していなかった余剰ノズル、たとえばノズル223が、欠陥ノズル225を代替する作動ノズルとして設定され得る。
ここで説明される通り、第1の欠陥ノズルが非作動として設定され、第2の非作動ノズルが欠陥ノズルを補うため作動ノズルに設定され得るが、他のシナリオも可能である。たとえば、同じ印刷ユニットで、場合によっては同じ列のノズルが、予め決定されたスケジュールに基づいて交換され得る。たとえば、ノズル内のインクが乾くことを回避するため、周期的にノズルが作動、非作動に設定され得る。いくつかの実施形態では第1のノズルは第2のノズルに交換され得るが、他の組み合わせも可能である。たとえば、欠陥ノズルは2つの余剰ノズルにより交換されてもよい。たとえば、これらの2つのノズルは、これらが組み合わされた作動が、交換された欠陥ノズルに期待される作動と同じであるよう命令される。
ブロック345に示されるように、この方法は、検査終了後に第1印刷ユニットを印刷ゾーンに戻すことを含み得る。この時他のプリントヘッドが印刷中であり得るため、印刷ユニット220は、たとえば印刷ユニット210に代わり進行中の印刷工程を実施し、印刷ユニット210は検査のために保守エリアへ移動され得る。あるいは、印刷ユニット220は、たとえば印刷ユニット230が進行中の印刷工程を実施するのに代わり、印刷ユニット230が検査のため保守エリアに移動され得る。それによって、ブロック350に示されるようにこの方法は、作動中の印刷ユニットの印刷を停止し、第1印刷ユニットを用いた印刷工程を継続させることを含み得る。第1印刷ユニットは、たとえばユニット220であることが可能であり、このユニットにおいて新たな作動ノズル、すなわちノズル221が、先に使用されており現在は欠陥ノズルの225に取って代わる。
本発明の実施形態は、たとえばコンピュータにより出される、コード化、含有または記憶された命令を、ここに開示された方法でプロセッサまたは制御装置により実行する、コンピュータまたはプロセッサにより可読の媒体またはコンピュータまたはプロセッサ記憶媒体、たとえばメモリ、ディスクドライブまたはUSBフラッシュメモリのようなものを含み得る。
本発明の実施形態はこの点で限定されないが、ここで使用される用語「複数(plurarity and a plurarity」は、たとえば「多数(multiple)」または「2つまたはそれ以上」を含み得る。「複数」は、明細書において2つまたはそれ以上の構成部品、装置、要素、ユニット、パラメータ等を指す。
はっきりと明記されていない限り、ここに説明される方法の実施例は、特定の順番または順序に制約されない。また、説明された方法のいくつかの実施形態またはその要素は、時間的に同時に、または重複した時点で発生または実行されることが可能である。当業者であれば、関数、タスク、サブタスクまたはプログラムのような実行コードのセグメントの実行は、関数、プログラムまたはその他のコンポーネントの実行としてみなすことができる。
本発明の実施形態はこの点で限定されないが、たとえば「処理」、「演算」、「計算」、「決定」、「設定」、「分析」、「確認」等の用語の利用は、コンピュータ、計算プラットフォーム、演算システムまたはその他の電子計算システムのオペレーションおよび/またはプロセスであって、コンピュータのレジスタおよび/またはメモリ内の物理的(たとえば電子的)な量として表されるデータを、同様にコンピュータのレジスタおよび/またはメモリ、またはその他のオペレーションおよび/またはプロセスを実施するための命令を保存し得る情報記憶媒体内の物理量として表される他のデータに操作および/または変換することを表し得る。
発明のいくつかの特徴がここで図示および説明されたが、当業者であれば多数の修正、代替、変更等が可能である。したがって、添付の請求項は本発明の精神に含まれるこのような修正および変更の全てを含むことが意図される。
Claims (11)
- ノズルを有する第1印刷ユニットを用いて印刷ゾーン内で印刷し、前記ノズルの第1部分が作動ノズルとして設定され、前記ノズルの第2部分が非作動ノズルとして設定され、前記第1印刷ユニットの作動ノズルから選択的に材料を堆積することにより前記印刷が行われることと、
第2印刷ユニットの作動ノズルで印刷を継続しつつ、前記第1印刷ユニットによる印刷を停止することと、
前記第1印刷ユニットのノズルを検査することと、
検査結果に基づき新たな作動ノズルのセットを選択することと、
新たな作動ノズルのセットで前記第1印刷ユニットを用いた印刷を継続することと、
を備える、印刷方法。 - 検査前に前記第1印刷ユニットを検査ゾーンへ移動することと、
印刷を継続するために前記第1印刷ユニットを印刷ゾーンへ戻すことと、
を備える、請求項1に記載の方法。 - スキャン方向と平行である列にノズルが配置される、請求項1に記載の方法。
- 印刷が、スキャン方向に線を印刷することを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記第1印刷ユニットの作動ノズルの1つを欠陥ノズルとして識別することと、
前記欠陥ノズルを非作動として設定し、前記第1印刷ユニットの非作動ノズルの1つを新たな作動ノズルとして設定し、これにより新たな作動ノズルが欠陥ノズルを代替することと、
を備える、請求項1に記載の方法。 - 前記第1印刷ユニットのノズルにより実施される液滴の噴出の画像を取得することと、
画像の分析に基づき前記欠陥ノズルを識別することと、
を検査が備える、請求項1に記載の方法。 - 前記分析が、液滴の大きさと、噴射方向の所定の方向からの逸脱の大きさとを決定することを備える、請求項6に記載の方法。
- 堆積が、プリント基板または半導体ウエハに金属導電線を設けるために導電性材料を堆積することである、請求項1に記載の方法。
- 作動ノズルの新たなセットが、所望の液滴の大きさに基づいて選択される、請求項1に記載の方法。
- 作動ノズルの新たなセットが、前記ノズルからの噴射の安定性の程度に基づき選択される、請求項1に記載の方法。
- 作動ノズルの新たなセットが、前記ノズルの噴射方向に基づき選択される、請求項1に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US7388908P | 2008-06-19 | 2008-06-19 | |
US61/073,889 | 2008-06-19 | ||
PCT/IL2009/000612 WO2009153795A1 (en) | 2008-06-19 | 2009-06-18 | Method and system for nozzle compensation in non-contact material deposition |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014142159A Division JP5972937B2 (ja) | 2008-06-19 | 2014-07-10 | 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011526199A true JP2011526199A (ja) | 2011-10-06 |
Family
ID=41151904
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011514200A Pending JP2011526199A (ja) | 2008-06-19 | 2009-06-18 | 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム |
JP2014142159A Expired - Fee Related JP5972937B2 (ja) | 2008-06-19 | 2014-07-10 | 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014142159A Expired - Fee Related JP5972937B2 (ja) | 2008-06-19 | 2014-07-10 | 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2313277B1 (ja) |
JP (2) | JP2011526199A (ja) |
KR (1) | KR101641392B1 (ja) |
CN (1) | CN102574396B (ja) |
AT (1) | ATE556851T1 (ja) |
TW (1) | TWI448390B (ja) |
WO (1) | WO2009153795A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015006668A (ja) * | 2008-06-19 | 2015-01-15 | エックスジェット・リミテッドXjet Ltd. | 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム |
JP2020185524A (ja) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2472842B1 (en) | 2010-12-30 | 2020-03-04 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sensor apparatus |
EP2471665B1 (en) | 2010-12-30 | 2013-03-27 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking and/or scanning head, apparatus and method |
ES2424245T3 (es) | 2010-12-30 | 2013-09-30 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Aparato de marcado |
EP2471664B1 (en) * | 2010-12-30 | 2013-04-24 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Device for marking and/or scanning an object |
EP2472268B1 (en) | 2010-12-30 | 2013-02-13 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking or scanning apparatus with a measuring device for measuring the speed of an object and a method of measuring the speed of an object with such a marking or scanning apparatus |
EP2471666B1 (en) | 2010-12-30 | 2012-09-12 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Marking apparatus and method for operating a marking apparatus |
ES2709507T3 (es) | 2010-12-30 | 2019-04-16 | Alltec Angewandte Laserlicht Tech Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Procedimiento de control de un aparato para imprimir y/o escanear un objeto |
EP2471663B1 (en) | 2010-12-30 | 2012-09-12 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Method for applying a marking on an object and marking apparatus |
ES2702701T3 (es) | 2010-12-30 | 2019-03-05 | Alltec Angewandte Laserlicht Tech Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Aparato de marcado |
EP2471662B1 (en) | 2010-12-30 | 2012-10-10 | ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Monitoring device and method for monitoring marking elements of a marking head |
JP5995929B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2016-09-21 | 富士フイルム株式会社 | 画像記録装置及び方法 |
CN108068462B (zh) * | 2018-01-03 | 2019-09-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种喷墨打印装置和喷墨打印方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5587730A (en) * | 1994-09-30 | 1996-12-24 | Xerox Corporation | Redundant full width array thermal ink jet printing for improved reliability |
JP2001044601A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Brother Ind Ltd | プリント基板の配線パターン形成装置 |
JP3774638B2 (ja) * | 2001-04-24 | 2006-05-17 | ハリマ化成株式会社 | インクジェット印刷法を利用する回路パターンの形成方法 |
JP2004055965A (ja) * | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Seiko Epson Corp | 配線基板及び半導体装置並びにこれらの製造方法、回路基板並びに電子機器 |
JP4164305B2 (ja) * | 2002-07-24 | 2008-10-15 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録方法およびインクジェット記録装置 |
JP3690380B2 (ja) * | 2002-08-02 | 2005-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 材料の配置方法、電子装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 |
US7407264B2 (en) * | 2002-10-01 | 2008-08-05 | Sony Corporation | Liquid discharging apparatus and liquid discharging method |
JP2004237697A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-08-26 | Sony Corp | 液体吐出装置及び液体吐出方法 |
EP1452319B1 (en) * | 2003-02-26 | 2015-10-21 | Océ-Technologies B.V. | Printing method and printer with failure compensation |
KR100545288B1 (ko) * | 2003-03-28 | 2006-01-25 | 주식회사 잉크테크 | 유기은 조성물 및 그 제조방법, 그로부터 제조되는 잉크및 그 잉크를 이용한 도전배선 형성 방법 |
JP2004321891A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2004338171A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 描画装置、描画方法、デバイス及び電子機器 |
JP2005104037A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像形成装置及び記録制御方法 |
US6942308B2 (en) * | 2003-10-10 | 2005-09-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Compensation of lateral position changes in printing |
JP2005193511A (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Canon Inc | インクジェット式アレイ描画装置 |
JP2006187872A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-20 | Canon Inc | インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法 |
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TWI410333B (zh) * | 2006-11-28 | 2013-10-01 | Xjet Ltd | 具有可移動式列印頭之噴墨列印系統及其方法 |
KR101641392B1 (ko) * | 2008-06-19 | 2016-07-20 | 엑스제트 엘티디. | 비접촉 재료 증착에서 노즐 보상을 위한 방법 및 시스템 |
-
2009
- 2009-06-18 KR KR1020117001294A patent/KR101641392B1/ko active IP Right Grant
- 2009-06-18 JP JP2011514200A patent/JP2011526199A/ja active Pending
- 2009-06-18 AT AT09766330T patent/ATE556851T1/de active
- 2009-06-18 EP EP09766330A patent/EP2313277B1/en active Active
- 2009-06-18 WO PCT/IL2009/000612 patent/WO2009153795A1/en active Application Filing
- 2009-06-18 CN CN200980123292.5A patent/CN102574396B/zh active Active
- 2009-06-19 TW TW098120609A patent/TWI448390B/zh active
-
2014
- 2014-07-10 JP JP2014142159A patent/JP5972937B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015006668A (ja) * | 2008-06-19 | 2015-01-15 | エックスジェット・リミテッドXjet Ltd. | 非接触式材料堆積におけるノズル補償方法およびシステム |
JP2020185524A (ja) * | 2019-05-14 | 2020-11-19 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015006668A (ja) | 2015-01-15 |
WO2009153795A1 (en) | 2009-12-23 |
TW201008788A (en) | 2010-03-01 |
KR20110038675A (ko) | 2011-04-14 |
KR101641392B1 (ko) | 2016-07-20 |
EP2313277A1 (en) | 2011-04-27 |
CN102574396B (zh) | 2015-05-20 |
EP2313277B1 (en) | 2012-05-09 |
CN102574396A (zh) | 2012-07-11 |
ATE556851T1 (de) | 2012-05-15 |
JP5972937B2 (ja) | 2016-08-17 |
TWI448390B (zh) | 2014-08-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120614 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130319 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140311 |