JP5972087B2 - 視差バリア構造及びその製造方法 - Google Patents
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Description
<A−1.構成>
図1は、実施の形態1に係る視差バリア構造を含む4つの液晶表示装置をCF側基板1側から見た平面図である。図は、切断ラインD1,D2で4つに分割する前の状態を示している。点線で示すA1〜A4は各液晶表示装置の画像表示領域であり、画像表示領域には視差バリアやカラーフィルタ6(図2参照)が形成されている。
図4〜8に沿って、視差バリア構造30の製造工程を説明する。まず、ガラスなどの透明性の絶縁基板であるCF側基板1上に、視差バリア2を形成する(図4)。視差バリア2はクロムなどの金属や金属酸化物、有機系の黒色の樹脂等が用いられる。視差バリア2に金属系の材料を用いる場合は、CF側基板1上に材料を堆積させ、写真製版、エッチング、及びレジスト除去と、TFTを形成するためのプロセスと同様のプロセスを使用してパターン形成を行う。なお、視差バリア2の材料は、効果的に光を遮断でき、加工しやすい材料であれば良いので、クロム以外の金属材料を用いても良い。
上記では、アライメントマーク2A上とスクライブ領域9から平坦化膜3を除去する方法として、写真製版とエッチングについて説明した。エッチングをサンドブラスト法で行う場合に、アライメントマーク2Aが樹脂系の材料であると、アライメントマーク2Aが平坦化膜3と共に除去されてしまう危険性がある。
本実施の形態の視差バリア構造30では、膜厚によって視野角を規定可能な平坦化膜3(透明平坦化膜)が、視差バリア2を覆いかつ少なくともスクライブ領域9を避けてCF側基板1上に設けられ、キャップ層4が平坦化膜3の上面と側面を覆って設けられ、BM5及び各色に対応したCF6がキャップ層4上に設けられる。そのため、平坦化膜3はCF6と接することがなく、その側面はキャップ層4に覆われているので水分の浸入が抑制される。よって、平坦化膜3とCF6とのミキシングが抑制される。
実施の形態1の視差バリア構造30を形成するには、CF側基板1の全面に平坦化膜3を形成した後、不要な領域から平坦化膜3を除去する必要があった。実施の形態2の視差バリア構造31では、平坦化膜3の位置を規定するフェンス7を設けることにより、比較的困難な平坦化膜3の加工工程を省略する。
図12は、視差バリア構造31を含む液晶表示装置をCF側基板1側から見た平面図である。図は、液晶表示装置を切断ラインD1,D2で分割する前の状態を示している。基板1を一周するフェンス7が設けられる点が、図1に示した実施の形態1に係る液晶表示装置とは異なる。フェンス7の内部が画像表示領域となり、フェンス外の切断ラインD1,D2と接する領域がスクライブ領域9となる。
以下、図14〜16に沿って、視差バリア構造31の製造工程を説明する。視差バリア構造30の製造工程と同様に、アライメントマーク2Aと視差バリア2をCF側基板1上に形成した後、フェンス7を形成する(図14)。
実施の形態2に係る視差バリア構造31は、実施の形態1に係る視差バリア構造30の構成に加えて、CF側基板1(透明基板)上を1周するフェンス7をさらに備え、平坦化膜3(透明平坦化膜)はフェンス7に囲まれた領域に形成される。フェンス7に仕切られて、アライメントマーク2A上には平坦化膜3が形成されないので、アライメントマーク2Aを用いてBM5やCF6の位置決めを高精度に行う事が可能である。また、液状塗布型の材料を用いて平坦化膜3を形成することにより、フェンス7の高さで平坦化膜3の厚みが規定されるので、平坦化膜3の厚みの制御性が良い。
Claims (5)
- 透明基板と、
前記透明基板上の視差バリアと、
前記視差バリアを覆いかつ少なくとも切断ラインを除く領域の前記透明基板上に設けられ、その膜厚によって視野角を規定可能な透明平坦化膜と、
前記透明平坦化膜の上面と側面を覆うキャップ層と、
前記キャップ層上に設けられるブラックマトリクスと、
前記キャップ層上に前記ブラックマトリクスと交互に設けられる各色に対応したカラーフィルタと、
前記透明基板上を隙間なく1周するフェンスと、
を備え、
前記透明平坦化膜は前記フェンスに囲まれた領域に形成される、
視差バリア構造。 - 前記透明基板上に設けられたアライメントマークをさらに備え、
前記透明平坦化膜は前記アライメントマークをも避けて前記透明基板上に設けられる、
請求項1に記載の視差バリア構造。 - (a)透明基板上に視差バリアを形成する工程と、
(b)前記工程(a)の後、前記透明基板上の少なくとも切断ラインを除く領域に、前記透明基板上にその膜厚によって視野角を規定可能な透明平坦化膜を前記視差バリアを覆って形成する工程と、
(c)前記透明平坦化膜の上面と側面をキャップ層で覆う工程と、
(d)前記キャップ層上にブラックマトリクス及び各色に対応したカラーフィルタを形成する工程とを備え、
前記工程(b)は、
(b1)前記透明基板上を隙間なく1周するフェンスを形成する工程と、
(b2)前記フェンスの内側全体に液状の透明平坦化膜原材料を流し込む工程と、
(b3)前記工程(b2)の後、前記透明平坦化膜原材料を硬化させて透明平坦化膜を形成する工程とを備える、
視差バリア構造の製造方法。 - 前記工程(a)は、前記視差バリアと同時に、前記透明基板上にアライメントマークを形成する工程であり、
前記工程(b)は、前記アライメントマークをも避けて、前記透明基板上に前記透明平坦化膜を形成する工程である、
請求項3に記載の視差バリア構造の製造方法。 - 前記工程(a)は、前記アライメントマークを樹脂とハードマスクの積層構造で形成する工程であり、
前記工程(b)は、
(b1)前記透明基板の全面に前記透明平坦化膜を形成する工程と、
(b2)サンドブラスト法により前記透明平坦化膜を選択的に除去する工程とを備える、
請求項3又は4に記載の視差バリア構造の製造方法。
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