JP2007072476A

JP2007072476A - 視差バリア層付き基板の製造方法

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Publication number: JP2007072476A
Application number: JP2006289509A
Authority: JP
Inventors: Akira Imai; 明今井; Akira Nakagawa; 朗中川; Toshihiro Matsumoto; 俊寛松本
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2002-07-29
Filing date: 2006-10-25
Publication date: 2007-03-22

Abstract

【課題】本発明は、視差バリア層が従来よりも高い位置精度で配置され、従来よりも高品位の立体表示が可能な３次元表示装置等に用いられる視差バリア層付き基板の製造方法を提供する。
【解決手段】
視差バリア層付き基板の製造方法は、（ａ）互いに対向する第１主面および第２主面を有し、透明材料から形成された第１基板（１１）を用意する工程と、（ｂ）第１基板の第１主面上に、所定のパターンを有する視差バリア層（１２）を形成する工程と、（ｃ）第１基板（１１）の第２主面上に、工程（ｂ）によって形成された視差バリア層（１２）に対して所定の配置関係を有する第１層（１３ａ／１４）を形成する工程と、（ｄ）第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）によって形成された第１層（１３ａ／１４）に対して所定の配置関係を有する第２層（１３ｂ／１３ａ）を形成する工程とを包含する。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば３次元表示装置（立体映像表示装置）に用いられる視差バリア層付き基板の製造方法に関する。

液晶表示パネルの観察者側に視差バリア層（パララックスバリア）を備えた３次元表示装置が知られている。例えば、特許文献１には、図４に模式的に示す３次元表示装置２００が開示されている。

図４に示した３次元表示装置２００は、表示パネルとしての液晶パネル５２と、液晶パネル５２の表面に接触された左右の映像を分離する光学分離手段としての視差バリア付き基板（パララックスバリア）５３を備えている。視差バリア付き基板５３は、ガラスもしくは透明樹脂などからなる基板８１上に多数のストライプ状の遮光部を有する視差バリア層８２が形成されたものであり、視差バリア付き基板５３の基板８１の表面が液晶パネル５２の表面と接触するように配置されている。

液晶パネル５２は、ガラス基板７２及びガラス基板７４の間に液晶層７３が設けられており、観察者側（光出射側）のガラス基板７２には出射側偏光板７１が配置されており、バックライト５１側（光入射側）のガラス基板７４には入射側偏光板７５がそれぞれ設けられている。液晶パネル５２の液晶層７３に右眼用画像と左眼用画像が１列おきに表示される。バックライト５１からの光を透過した右眼用映像は視差バリア付き基板５３により分離され、観察者の左眼には左眼用映像のみが、右眼には右眼用映像のみが観察され、立体映像が認識される。

この３次元表示装置２００では、視差バリア付き基板５３と液晶パネル５２とが互いに接触する界面における反射を抑制するために、液晶パネル５２の偏光板７１の表面に反射防止コーティング７６が施されている。その結果、接触面の液晶パネル５２側で反射する光が減少し、偏光板７１側で反射する光との干渉による干渉縞の発生が抑制される。
特開平１１−９５１６７号公報

上述の３次元表示装置２００を含む従来の３次元表示装置（例えば上記公報の図４〜図７）においては、偏光板７１を含む液晶パネル５２に対して、視差バリア付き基板５３が外付けされている。すなわち、視差バリア層８２と画素（液晶層７３）との間に、液晶層７３側から、表示パネルの観察者側基板７２、偏光板７１、反射防止コーティング７６、基板８１が配置されており、さらに視差バリア付き基板８１を外付けするための接着層（不図示）を有している。

従って、視差バリア層８２と画素との距離（間隔）を正確に制御することが難しく、また、この距離を表示面の全面に亘って均一にすることが難しい。さらに、視差バリア層８２と画素との位置合わせ（表示面内方向に置ける位置合わせ）を高い精度で行うことも難しい。

視差バリア層８２と画素（液晶層７３）との距離に面内ばらつきがあると、干渉縞やモアレ縞が発生する、あるいは、表示輝度にばらつきが生じるなどして、表示品位が低下することがある。

表示面内方向における位置合わせ精度が低いと、画素開口率が低下し、モアレ縞が発生することもある。

また、液晶層７３と観察者との間に多くの界面が存在するので、界面における反射などによる光のロスに起因する表示品位の低下が問題になることがある。

上述した種々の問題は、表示パネルの高精細化が進むに連れて顕在化する。また、大判の基板を用いて一連のプロセスフローで大判のパネルを作製し、これを分断して得られる複数の小パネルを用いて表示装置を製造する方法においては、視差バリア付き基板の貼り付けを大判のパネル段階で行うと、上記問題が発生しやすく、歩留まりや製造効率の低下を招く。また、視差バリア付き基板を貼り付けた状態では分断が非常に困難である。

本発明は上述の諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、視差バリア層が従来よりも高い位置精度で配置され、従来よりも高品位の映像表示が可能な表示装置に利用される視差バリア層付き基板の製造方法を提供することにある。表示装置は、２方向の視点に対し異なる映像を表示する装置、例えば立体表示が可能な３次元表示装置（立体映像表示装置）として用いられる。

本発明の視差バリア層付き基板の製造方法は、（ａ）互いに対向する第１主面および第２主面を有し、透明材料から形成された第１基板を用意する工程と、（ｂ）前記第１基板の前記第１主面上に、所定のパターンを有する視差バリア層を形成する工程と、（ｃ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｂ）によって形成された前記視差バリア層に対して所定の配置関係を有する第１層を形成する工程と、（ｄ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）によって形成された前記第１層に対して所定の配置関係を有する第２層を形成する工程とを包含し、そのことによって上記目的が達成される。

好ましい実施形態において、工程（ｂ）は、第１アライメントマークを形成する工程を包含する。

好ましい実施形態において、工程（ｃ）は、前記第１層を形成する材料を用いて第２アライメントマークを形成する工程を包含する。

好ましい実施形態において、工程（ｃ）は、前記第１基板を介して前記第１アライメントマークの位置を検出し、前記第１アライメントマークに対して位置合せする工程を包含し、工程（ｄ）は、前記第２アライメントマークの位置を検出し、前記第２アライメントマークに対して位置合せする工程を包含する。

好ましい実施形態において、前記第１アライメントマークは、前記視差バリア層を形成する材料を用いて形成される。

好ましい実施形態において、前記視差バリア層は、金属材料を用いて形成される。

好ましい実施形態において、工程（ｃ）は、前記第１層としてカラーフィルタの第１色の層を形成する工程を包含し、工程（ｄ）は、前記第２層としてカラーフィルタの第２色の層を形成する工程を包含する。

好ましい実施形態において、工程（ｃ）は、前記第１層としてブラックマトリクス層を形成する工程を包含し、工程（ｄ）は、前記第２層としてカラーフィルタの第１色の層を形成する工程を包含する。

好ましい実施形態において、（ｅ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）および工程（ｄ）によって形成された前記第１層および前記第２層に対して所定の配置関係を有する第３層を形成する工程をさらに包含する。

好ましい実施形態において、工程（ｅ）は、前記第２アライメントマークの位置を検出し、前記第２アライメントマークに対して位置合せする工程を包含する。

好ましい実施形態において、工程（ｅ）は、前記第３層としてカラーフィルタの第３色の層を形成する工程を包含する。

好ましい実施形態において、（ｆ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）、工程（ｄ）および工程（ｅ）によって形成された前記第１色の層、前記第２色の層および前記第３色の層に対して所定の配置関係を有するブラックマトリクス層を形成する工程をさらに包含する。

他の好ましい実施形態において、（ｅ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）および工程（ｄ）によって形成された前記ブラックマトリクス層および前記第１色の層に対して所定の配置関係を有する第２色の層および第３色の層を形成する工程をさらに包含する。

本発明の第２の視差バリア層付き基板の製造方法は、（ａ）互いに対向する第１主面および第２主面を有し、透明材料から形成された第１基板を用意する工程と、（ｂ）前記第１基板の前記第１主面上に、所定のパターンを有する視差バリア層を形成する工程と、（ｃ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｂ）によって形成された前記視差バリア層に対して所定の配置関係を有する第１層を形成するとともに、前記第１層に対して所定の配置関係を有する第２層を形成する際の位置合せに用いるためのアラインメントマークを形成する工程とを包含し、そのことによって上記目的が達成される。

本発明によると、視差バリア層が従来よりも高い位置精度で配置され、従来よりも高品位の立体表示または複数の観察者の視点に応じた映像表示が可能な表示装置に好適に用いられる視差バリア層付き基板の製造方法が提供される。本発明の製造方法によって製造された視差バリア層付き基板は、高精細で高い表示品位を有する表示装置およびその製造方法に好適に適用される。

本発明による表示装置および視差バリア層付き基板の構造および製造方法の実施形態を、図面を参照しながら説明する。

本発明による表示装置は、少なくとも２つの視点からみた場合、それぞれに異なる映像を表示することができる。ここでいう「視点」とは、例えば１人の観察者の右眼および左眼の各々の位置であり、観察者が複数の場合には各観察者の位置である。

本発明による表示装置は、１人の観察者に対しては映像を立体的に表示できる３次元表示装置として実現され、例えば携帯電話、テレビ等として利用できる。また本発明による表示装置は、複数の観察者に対してはそれぞれ異なる映像を表示できる表示装置として実現され、例えばテレビや、自動車の運転席のドライバーにカーナビゲーションシステムの映像を表示し、かつ助手席の同乗者にテレビ放送の映像を表示するディスプレイ等として利用できる。「異なる映像」には、映像相互の関連は特に必要とされない。

以下の実施形態では、液晶表示装置を用いて映像を立体的に表示できる装置を例示する。ただし本発明は、液晶表示装置を用いる場合に限られない。

図１に本発明による実施形態の３次元表示装置１００の模式的な断面構造を示す。

３次元表示装置１００は、観察者側に配置された、透明材料で形成された第１基板１１と、第１基板１１と対向するように配置された第２基板２１と、第１基板１１と第２基板２１との間に設けられた液晶層３０と、第１基板の観察者側の表面に直接形成された視差バリア層１２とを有する。

第１基板１１の液晶層３０側には、カラーフィルタ層１３およびブラックマトリクス１４が形成されている。さらに、必要に応じて、電極（例えば対向電極）や配向膜（いずれも不図示）が形成されている。視差バリア層１２は、遮光部１２ａと透光部１２ｂとを有する。遮光部１２ａおよび透光部１２ｂは画素配列に応じて、所定の画素を透過した光が観察者の右眼または左眼に到達するように、所定のパターンで配列されている。第１基板１１の厚さおよび透光部１２ｂの配列は、液晶パネルのサイズや観察距離（設計値）に応じて決定される。

第２基板２１の液晶層３０側には、例えば、画素電極、ＴＦＴ、信号配線および配向膜が必要に応じて形成されている（いずれも不図示）。

ここで、第１基板１１および第２基板２１は、典型的には、ガラスやプラスチックなどの透明な材料から形成されている基板であり、必要に応じて、その表面に無機系の保護膜などが形成されていてもよい。但し、第１基板１１および第２基板２１は、電極、ＴＦＴ、信号配線などの回路素子や、カラーフィルタ層１３、ブラックマトリクス１４および偏光板４０などの表示を行うために直接寄与する光学素子は含まない。なお、第２基板２１は、反射型表示装置においては、透明性が必要ないので、半導体基板などであってもよい。

また、第１基板１１にカラーフィルタ層１３、ブラックマトリクス１４、電極や配向膜を形成したものを対向基板１０と称し、第２基板２１に電極、ＴＦＴ、信号配線などの回路素子や配向膜を形成したものをＴＦＴ基板２０と称する。尚、ここでは、ＴＦＴを備えるアクティブマトリクス型表示装置を例示するが、これに限られず、ＭＩＭを備えるアクティブマトリクス型表示装置であっても良いし、パッシブ型の表示装置であってもよい。対向基板１０およびＴＦＴ基板２０は、後述する表示装置の組立工程において、一対の基板として互いに貼り合わされる。

本実施形態の３次元表示装置１００は、図４を参照しながら説明した従来の３次元表示装置の様に視差バリア層が形成された基板５３を表示パネル５２に後付するのではなく、表示パネルを構成する観察者側の第１基板１１の主面上に視差バリア層１２が直接形成されている。従って、３次元表示装置１００において、視差バリア層１２は、基板１１と偏光板４０との間に形成されている。

このように、本実施形態の３次元表示装置１００においては、視差バリア層１２と液晶層３０との間に、基板５３（図４参照）やこれを外付けするための接着層が存在しないので、視差バリア層１２と液晶層３０との距離にばらつきが生じることが無い。また、視差バリア層１２と液晶層３０との間に存在する界面の数が従来の３次元表示装置よりも少ないので、反射等による光のロスが少ない。

特に、下記に説明する方法を用いて視差バリア層を有する対向基板１０を製造すると、視差バリア層１２とカラーフィルタ層１３やブラックマトリクス１４に対する位置精度を高くできる。さらに、液晶パネルを構成する第１基板１１に視差バリア層１２を予め形成しておくことにより、大判パネルを作製してから、これを分離する製造プロセスを採用することが可能になり、製造工程の簡略化、低コスト化を実現することもできる。

次に、図２（ａ）〜（ｄ）を参照しながら、本発明による実施形態の視差バリア層付き対向基板１０の製造方法を説明する。

まず、図２（ａ）に示すように、例えばガラスからなる第１基板１１を用意する。

次に、図２（ｂ）に示すように、第１基板１１の主面上に視差バリア層１２を形成する。視差バリア層１２は、遮光部１２ａと透光部１２ｂが所定のパターンで配置されている。視差バリア層１２を形成する材料は遮光性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、遮光性を有する樹脂材料や金属材料を用いることが出来る。視差バリア層１２の形成方法は特に限定されず、用いる材料に応じて、公知の方法を適宜選択すればよい。なお、対向基板１０を作製する一連のプロセスで損傷し難く、また、比較的薄い膜で十分な遮光性が得られるという利点から、金属材料（例えば、クロム）を用いることが好ましい。

このとき、後のカラーフィルタ層１３を形成するための位置合わせのための第１アライメントマーク１５を形成することが好ましく、視差バリア層１２を形成する材料を用いて、視差バリア層１２を形成するプロセスで同時に形成することが好ましい。第１アライメントマーク１５を形成する位置は適宜選択されるが、後に形成するカラーフィルタ層１３等と重ならないように、第１基板１１の端部に形成することが好ましい。なお、視差バリア層１２のパターンを用いて位置合わせを行う場合には、第１アライメントマーク１５の形成を省略しても良い。

次に、図２（ｃ）に示すように、第１基板１１の視差バリア層１２が形成された主面に対向する他方の主面（裏面）にカラーフィルタ層１３を形成する。ここでは、３色（例えばＲ，ＧおよびＢ、または、Ｃ，ＭおよびＹ）の色層を順次形成する場合を例示する。

視差バリア層１２が形成された第１基板１１の裏面に、カラーフィルタ層１３の第１色層１３ａを所定のパターンで形成する。このとき、第１アライメントマーク１５を、第１基板１１を介して例えばＣＣＤカメラで検出し、第１色層１３ａの位置合わせを行う。位置合わせには、透過光を用いてもよいし反射光を用いてもよい。また、ＣＣＤ方式に限られず、他の方式を用いることもできる。

例えば、フォトリソグラフィプロセスを用いて第１色層１３ａを形成する場合、第１アライメントマーク１５に重ならないように、第１基板１１の裏面のほぼ全面に、第１色層１３ａとなる第１感光性樹脂層を形成し、第１アライメントマーク１５を用いてフォトマスクの位置合わせを行い、第１感光性樹脂層を露光する。その後、現像などの後工程を経て、第１色層１３ａが形成される。

この第１色層１３ａを形成する工程で、第１基板１１の裏面に第２アライメントマーク１６を形成することが好ましく、第１色層１３ａを形成する材料を用いて、第１色層１３ａを形成するプロセスで同時に形成することが好ましい。第１色層１３ａに続く、第２色層１３ｂおよび第３色層１３ｃを形成する各工程において、第２アライメントマーク１６を用いて位置合わせすることにより、３つの色層１３ａ、１３ｂおよび１３ｃ間の位置合わせ精度を高めることが出来る。

例えば、第１アライメントマークを用いて位置合わせを行うと、位置合わせ精度は約１０μｍ以内となる。また、第１色層１３ａのパターニング精度（幅のばらつき）は約３μｍ以内である。従って、第１色層１３ａと第２色層１３ｂとの位置合わせマージンとして、最大で約２５μｍをとる必要がある。これに対して、第２アライメントマーク１６を用いると、従来のカラーフィルタ層の形成プロセスと同じアライメント精度（約３μｍ）以下が得られる。第２アライメントマーク１６を形成する位置も特に限定されないが、第２色層１３ｂおよび第３色層１３ｃの形成過程で、それぞれを形成するための第２および第３感光性樹脂層と重ならない位置に形成することが好ましい。

次に、図２（ｄ）に示すように、ブラックマトリクス１４を形成し、その後、必要に応じて、例えば、対向電極、配向膜（いずれも不図示）を形成することによって、対向基板１０が得られる。ここで例示した対向基板１０は、ＴＦＴ型液晶表示装置用のカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）として用いられる。

なお、ここでは、第１基板１１の裏面に、視差バリア層１２と所定に配置関係を有する層として、最初にカラーフィルタ層１３（第１色層１３ａ）を形成した例を示したが、これに限られず、ブラックマトリクス１４を形成してもよいし、他の層を形成してもよい。勿論、カラーフィルタ層１３およびブラックマトリクス１４の一方が省略されても良い。いずれの場合においても、位置合わせが必要な最初の層を形成する工程において、第２アライメントマークを形成することが好ましい。

本発明によると、対向基板１０が視差バリア層１２を有しているので、図３に示すプロセスを採用して、大判パネルから複数の表示装置を効率良く作製することができる。大判パネルを用いて表示装置を量産する方法は、現在広く採用されており、公知の方法で実行することができるので、詳細な説明は省略する。

まず、工程Ｓ１ａにおいて、視差バリア層１２を有する大判のＣＦ基板１０を用意する。ＣＦ基板１０は、第１基板１１として大判のガラス基板を用いて、図２を参照しながら説明した方法で製造されることが好ましい。また、工程Ｓ１ｂにおいて、大判のＴＦＴ基板２０を用意する。大判のＴＦＴ基板２０は、公知の方法で製造されるので、ここでは説明を省略する。

工程Ｓ２において、大判のＣＦ基板１０と大判のＴＦＴ基板２０とを所定の間隙を設けて互いに貼り合せ、固定し、大判パネルを作製する。貼り合せ工程は、シール剤を用いて公知の方法で実行される。

次に、工程Ｓ３において、例えば、大判パネルを複数の小パネルに分断し、液晶材料を注入・封止する。このとき、液晶材料の注入・封止工程を先に実行してから、大判パネルを分断してもよい。

この後、工程Ｓ４において、得られた小パネルに、必要に応じて、偏光板４０、裏面側偏光板や位相差板などを貼り合せて、更に、駆動回路、電源回路やバックライトなどを装着し、３次元表示装置１００が得られる。

ここで、視差バリア層１２を金属材料で形成しておくと、視差バリア層１２の厚さは比較的薄い（例えば０．１〜０．２μｍ）ので、偏光板４０を貼り合せるための接着剤層によって、透光部１２ｂが埋められ、視差バリア層１２と偏光板４０との間に空気層が形成されることが無く、反射による光のロスを抑制することが出来る。勿論、接着層の屈折率を第１基板１１の屈折率と整合させておくことが好ましい。なお、液晶表示装置の表示モードによっては、ＣＦ基板１０と偏光板４０との間に位相差板（不図示）が配置される。この場合、上述の説明における偏光板４０を位相差板に置き換えればよい。

なお、ここでは、大判パネルを作製した後で、液晶材料の注入・封止工程を行うプロセスを例示したが、液晶材料を基板１０または基板２０上に滴下し、その後で、基板１０と基板２０とを貼り合せるプロセスを行うことも出来る。

このように、本発明によると、視差バリア層１２が予め形成された大判のＣＦ基板１０を用いて、表示パネルを作製するプロセスを採用することができるので、例えば、大判パネルから４０面の表示パネルを作製する場合、従来、分断した個別の表示パネルに対して視差バリア付き基板５３を位置合わせする工程を４０回行っていたものを１回に出来る。勿論、視差バリア付き基板５３を貼り合せるという工程そのものも必要ない。

従って、本発明によると、視差バリア層が従来よりも高い位置精度で配置され、従来よりも高品位の立体表示が可能な３次元表示装置を高い量産性で製造することが出来る。

さらに上述の製造方法を利用して、観察者が複数の場合には複数の異なる映像を表示できる表示装置を製造することができる。このような表示装置は、図２（ｂ）の遮光部１２ａおよび透光部１２ｂの配置パターンを変更することによって製造できる。すなわち、所定の画素を透過した光が互いに所定距離だけ離れた２以上の観察者に到達するように、遮光部１２ａおよび透光部１２ｂを配置すればよい。

本発明による実施形態として、液晶表示装置を例示したが、液晶層以外の表示媒体層を有する表示装置、例えば、電気泳動型表示装置に本発明を適用することもできる。

本発明によると、視差バリア層が従来よりも高い位置精度で配置され、従来よりも高品位の立体表示または複数の観察者の視点に応じた映像表示が可能な表示装置に好適に用いられる視差バリア層付き基板の製造方法が提供される。本発明は、高精細で高い表示品位を有する表示装置およびその製造方法に好適に適用される。

本発明による実施形態の３次元表示装置１００を示す模式的な断面図である。（ａ）〜（ｄ）は、本発明による実施形態の視差バリア層付き対向基板１０の製造方法を説明するための模式的な断面図である。本発明の視差バリア層付き対向基板１０を用いて、大判パネルから複数の表示装置を製造するプロセスを説明するためのフローチャートである。従来の３次元表示装置２００を示す模式的な断面図である。

符号の説明

１１第１基板
１２視差バリア層
１２ａ遮光部
１２ｂ透光部
１３カラーフィルタ層
１４ブラックマトリクス
２１第２基板
３０液晶層（表示媒体層）
４０偏光板
１００３次元表示装置

Claims

（ａ）互いに対向する第１主面および第２主面を有し、透明材料から形成された第１基板を用意する工程と、
（ｂ）前記第１基板の前記第１主面上に、所定のパターンを有する視差バリア層を形成する工程と、
（ｃ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｂ）によって形成された前記視差バリア層に対して所定の配置関係を有する第１層を形成する工程と、
（ｄ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）によって形成された前記第１層に対して所定の配置関係を有する第２層を形成する工程と
を包含する、視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｂ）は、第１アライメントマークを形成する工程を包含する、請求項１に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｃ）は、前記第１層を形成する材料を用いて第２アライメントマークを形成する工程を包含する、請求項２に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｃ）は、前記第１基板を介して前記第１アライメントマークの位置を検出し、前記第１アライメントマークに対して位置合せする工程を包含し、
工程（ｄ）は、前記第２アライメントマークの位置を検出し、前記第２アライメントマークに対して位置合せする工程を包含する、請求項３に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
前記第１アライメントマークは、前記視差バリア層を形成する材料を用いて形成される、請求項２から４のいずれかに記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
前記視差バリア層は、金属材料を用いて形成される、請求項１から５のいずれかに記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｃ）は、前記第１層としてカラーフィルタの第１色の層を形成する工程を包含し、
工程（ｄ）は、前記第２層としてカラーフィルタの第２色の層を形成する工程を包含する、請求項１から６のいずれかに記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｃ）は、前記第１層としてブラックマトリクス層を形成する工程を包含し、
工程（ｄ）は、前記第２層としてカラーフィルタの第１色の層を形成する工程を包含する、請求項１から６のいずれかに記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
（ｅ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）および工程（ｄ）によって形成された前記第１層および前記第２層に対して所定の配置関係を有する第３層を形成する工程をさらに包含する、請求項７に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｅ）は、前記第２アライメントマークの位置を検出し、前記第２アライメントマークに対して位置合せする工程を包含する、請求項９に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｅ）は、前記第３層としてカラーフィルタの第３色の層を形成する工程を包含する、請求項９または１０に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
（ｆ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）、工程（ｄ）および工程（ｅ）によって形成された前記第１色の層、前記第２色の層および前記第３色の層に対して所定の配置関係を有するブラックマトリクス層を形成する工程をさらに包含する、請求項１１に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
（ｅ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｃ）および工程（ｄ）によって形成された前記ブラックマトリクス層および前記第１色の層に対して所定の配置関係を有する第２色の層および第３色の層を形成する工程をさらに包含する、請求項８に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
工程（ｅ）は、前記第２アライメントマークの位置を検出し、前記第２アライメントマークに対して位置合せする工程を包含する、請求項１３に記載の視差バリア層付き基板の製造方法。
（ａ）互いに対向する第１主面および第２主面を有し、透明材料から形成された第１基板を用意する工程と、
（ｂ）前記第１基板の前記第１主面上に、所定のパターンを有する視差バリア層を形成する工程と、
（ｃ）前記第１基板の第２主面上に、工程（ｂ）によって形成された前記視差バリア層に対して所定の配置関係を有する第１層を形成するとともに、前記第１層に対して所定の配置関係を有する第２層を形成する際の位置合せに用いるためのアラインメントマークを形成する工程と
を包含する、視差バリア層付き基板の製造方法。