JP5950087B2 - Physical quantity detection device, physical quantity detector, and electronic device - Google Patents

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和之 中仙道
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Description

本発明は、物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器に関する。   The present invention relates to a physical quantity detection device, a physical quantity detector, and an electronic apparatus.

従来から、振動子などの物理量検出素子を用いた物理量検出デバイス（例えば、加速度センサー）が知られている。このような物理量検出デバイスは、検出軸方向へ力が作用することによって物理量検出素子の共振周波数が変化したときに、当該共振周波数の変化から物理量検出デバイスに印加される力を検出するように構成されている。   Conventionally, a physical quantity detection device (for example, an acceleration sensor) using a physical quantity detection element such as a vibrator is known. Such a physical quantity detection device is configured to detect the force applied to the physical quantity detection device from the change in the resonance frequency when the resonance frequency of the physical quantity detection element changes due to the force acting in the detection axis direction. Has been.

特許文献１には、ベース・アッセンブリ、たわみ、および保証質量を有する支持構造体に、両頭クリスタル音叉変換器（物理量検出素子）の両端を固定させたセンサーが開示されている。特許文献２には、物理量検出素子を支持する支持構造体に、保証質量を挟むように直線状の梁部を設けたセンサーが開示されている。   Patent Document 1 discloses a sensor in which both ends of a double-ended crystal tuning fork transducer (physical quantity detection element) are fixed to a support structure having a base assembly, deflection, and proof mass. Patent Document 2 discloses a sensor in which a linear beam portion is provided on a support structure that supports a physical quantity detection element so as to sandwich a proof mass.

特表平４−５０５５０９号公報Japanese National Patent Publication No. 4-505509 米国特許第５３３１８５４号明細書US Pat. No. 5,331,854

しかしながら、特許文献１および特許文献２に開示された技術では、支持構造体をパッケージに固定した場合、支持構造体とパッケージとの線膨張係数の差により支持構造体に生じる応力によって、物理量検出素子の共振周波数が変動してしまい、物理量検出デバイスの検出感度が低下することがあった。   However, in the technologies disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, when the support structure is fixed to the package, the physical quantity detection element is caused by the stress generated in the support structure due to the difference in the linear expansion coefficient between the support structure and the package. In some cases, the detection frequency of the physical quantity detection device is lowered.

本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、高い検出感度を有することができる物理量検出デバイスを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記の物理量検出デバイスを有する物理量検出器および電子機器を提供することにある。   One of the objects according to some aspects of the present invention is to provide a physical quantity detection device that can have high detection sensitivity. Another object of some aspects of the present invention is to provide a physical quantity detector and electronic apparatus having the physical quantity detection device described above.

本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following aspects or application examples.

［適用例１］
本発明に係る物理量検出デバイスは、
基部と、
前記基部に継ぎ手部を介して支持されており、物理量に応じて変位する可動部と、
前記基部と前記可動部とに掛け渡されている物理量検出素子と、
前記基部から第１固定部まで延出している第１支持部と、
前記基部から第２固定部まで延出している第２支持部と、
を含み、
前記変位方向に沿った平面視において、
前記第１支持部は、
前記基部よりも第１方向に位置している第１折返し部と、
前記基部から前記第１折返し部まで、延出している第１延出部と、
前記第１折返し部から、前記第１折返し部よりも前記第１方向と反対の第２方向に位置している前記第１固定部まで、延出している第２延出部と、
を有し、
前記第１延出部は、前記第２延出部側に曲がっており、
前記第２延出部は、前記第１延出部側に曲がっており、
前記第２支持部は、
前記基部よりも前記第１方向に位置している第２折返し部と、
前記基部から前記第２折返し部まで、延出している第３延出部と、
前記第２折返し部から、前記第２折返し部よりも前記第２方向に位置している前記第２固定部まで、延出している第４延出部と、
を有し、
前記第３延出部は、前記第４延出部側に曲がっており、
前記第４延出部は、前記第３延出部側に曲がっている。 [Application Example 1]
The physical quantity detection device according to the present invention is:
The base,
A movable part that is supported by the base part via a joint part and is displaced according to a physical quantity;
A physical quantity detection element spanned between the base and the movable part;
A first support portion extending from the base portion to the first fixed portion;
A second support portion extending from the base portion to the second fixed portion;
Including
In plan view along the displacement direction,
The first support part is
A first folded portion located in a first direction relative to the base portion;
A first extending portion extending from the base portion to the first folded portion;
A second extension part extending from the first return part to the first fixed part located in a second direction opposite to the first direction than the first return part;
Have
The first extension part is bent toward the second extension part,
The second extension part is bent toward the first extension part,
The second support part is
A second folded portion located in the first direction with respect to the base portion;
A third extending portion extending from the base portion to the second folded portion;
A fourth extending portion extending from the second folded portion to the second fixed portion located in the second direction rather than the second folded portion;
Have
The third extension part is bent toward the fourth extension part,
The fourth extension part is bent toward the third extension part.

このような物理量検出デバイスによれば、第１固定部および第２固定部をパッケージや回路基板などの外部部材に固定して、物理量検出デバイスを実装する際に、基部、継ぎ手部、可動部、第１支持部、および第２支持部を含んで構成されている構造体の線膨張係数と外部部材の線膨張係数との差により基部に生じる応力によって、物理量検出素子の共振周波数が変動することを抑制できる。その結果、このような物理量検出デバイスは、高い検出感度を有することができる。   According to such a physical quantity detection device, when mounting the physical quantity detection device by fixing the first fixed portion and the second fixed portion to an external member such as a package or a circuit board, a base portion, a joint portion, a movable portion, The resonance frequency of the physical quantity detection element varies due to the stress generated in the base due to the difference between the linear expansion coefficient of the structure including the first support part and the second support part and the linear expansion coefficient of the external member. Can be suppressed. As a result, such a physical quantity detection device can have high detection sensitivity.

［適用例２］
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記第１延出部は、前記第２延出部側に曲がることによって前記第２延出部に近づき、
前記第１延出部は、第１側面を備えており、
前記第２延出部は、前記第１延出部側に曲がることによって前記第１延出部に近づき、
前記第２延出部は、前記第１側面と対向している第２側面を備えており、
前記第１側面および前記第２側面は、平坦な面であり、
前記第３延出部は、前記第４延出部側に曲がることによって前記第４延出部に近づき、
前記第３延出部は、第３側面を備えており、
前記第４延出部は、前記第３延出部側に曲がることによって前記第３延出部に近づき、
前記第４延出部は、前記第３側面と対向している第４側面を備えており、
前記第３側面および前記第４側面は、平坦な面であってもよい。 [Application Example 2]
In the physical quantity detection device according to this application example,
The first extension part approaches the second extension part by bending toward the second extension part,
The first extending portion includes a first side surface,
The second extension part approaches the first extension part by bending toward the first extension part,
The second extending portion includes a second side surface facing the first side surface,
The first side surface and the second side surface are flat surfaces,
The third extension part approaches the fourth extension part by bending toward the fourth extension part,
The third extending portion includes a third side surface,
The fourth extension part approaches the third extension part by bending toward the third extension part,
The fourth extending portion includes a fourth side surface facing the third side surface,
The third side surface and the fourth side surface may be flat surfaces.

このような物理量検出デバイスによれば、例えば、第１方向と平面視において直交する方向の衝撃が加えられた場合に、可動部１４が該直交する方向に変位することを抑制できる。   According to such a physical quantity detection device, for example, when an impact in a direction orthogonal to the first direction in a plan view is applied, the movable unit 14 can be prevented from being displaced in the orthogonal direction.

［適用例３］
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記第１支持部および前記第２支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結部と、
前記連結部から第３固定部まで延出している第３支持部と、
前記連結部から第４固定部まで延出している第４支持部と、
をさらに含み、
前記第３支持部は、曲がっており、
前記第４支持部は、曲がっていてもよい。 [Application Example 3]
In the physical quantity detection device according to this application example,
At least one of the first support part and the second support part, or a connecting part extending from the base part;
A third support portion extending from the connecting portion to a third fixed portion;
A fourth support portion extending from the connecting portion to a fourth fixed portion;
Further including
The third support portion is bent,
The fourth support portion may be bent.

このような物理量検出デバイスによれば、第３固定部および第４固定部をパッケージや回路基板などの外部部材に固定して、物理量検出デバイスを実装する際に、基部、継ぎ手部、可動部、第１支持部、第２支持部、第３支持部、第４支持部、および連結部を含んで構成されている構造体の線膨張係数と外部部材の線膨張係数との差により基部に生じる応力によって、物理量検出素子の共振周波数が変動することを抑制できる。   According to such a physical quantity detection device, when mounting the physical quantity detection device by fixing the third fixed portion and the fourth fixed portion to an external member such as a package or a circuit board, the base portion, the joint portion, the movable portion, It occurs in the base due to the difference between the linear expansion coefficient of the structure including the first support part, the second support part, the third support part, the fourth support part, and the connecting part and the linear expansion coefficient of the external member. It is possible to suppress fluctuations in the resonance frequency of the physical quantity detection element due to the stress.

［適用例４］
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記可動部は、前記継ぎ手部を介して前記基部から前記第１方向に延出しており、
前記第２延出部は、
前記第１固定部から、前記第１方向と交差する第３方向に延出している部分を有し、
前記第４延出部は、
前記第２固定部から、前記第３方向と反対の第４方向に延出している部分を有し、
前記第３支持部は、
前記第３固定部から、前記第２方向に延出している部分を有し、
前記第４支持部は、
前記第４固定部から、前記第２方向に延出している部分を有していてもよい。 [Application Example 4]
In the physical quantity detection device according to this application example,
The movable portion extends in the first direction from the base portion via the joint portion,
The second extension part is
A portion extending from the first fixing portion in a third direction intersecting the first direction;
The fourth extension part is
A portion extending from the second fixing portion in a fourth direction opposite to the third direction;
The third support part is
A portion extending from the third fixing portion in the second direction;
The fourth support portion is
You may have the part extended in the said 2nd direction from the said 4th fixing | fixed part.

このような物理量検出デバイスによれば、衝撃が加えられた場合に、第１支持部、第２支持部、第３支持部、および第４支持部によって、第１方向または第２方向の衝撃、および第３方向または第４方向の衝撃を緩和することができる。   According to such a physical quantity detection device, when an impact is applied, the first support portion, the second support portion, the third support portion, and the fourth support portion cause the impact in the first direction or the second direction, And the impact of the 3rd direction or the 4th direction can be relieved.

［適用例５］
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記変位方向に沿った平面視において、前記第１固定部、前記第２固定部、前記第３固定部、および前記第４固定部に囲まれた範囲内に、重心があってもよい。 [Application Example 5]
In the physical quantity detection device according to this application example,
In plan view along the displacement direction, the center of gravity may be within a range surrounded by the first fixing portion, the second fixing portion, the third fixing portion, and the fourth fixing portion.

このような物理量検出デバイスによれば、安定して、パッケージなどの外部部材に固定されることができる。   According to such a physical quantity detection device, it can be stably fixed to an external member such as a package.

［適用例６］
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記第１支持部の厚さは、前記第１支持部の幅よりも大きく、
前記第２支持部の厚さは、前記第２支持部の幅よりも大きてもよい。 [Application Example 6]
In the physical quantity detection device according to this application example,
The thickness of the first support part is larger than the width of the first support part,
The thickness of the second support part may be larger than the width of the second support part.

このような物理量検出デバイスによれば、第１支持部および第２支持部が厚さ方向に変位することを抑制することができる。   According to such a physical quantity detection device, it is possible to suppress displacement of the first support part and the second support part in the thickness direction.

［適用例７］
本適用例に係る物理量検出器は、
本適用例に係る物理量検出デバイスと、
前記物理量検出デバイスを収容するパッケージと、
を含む。 [Application Example 7]
The physical quantity detector according to this application example is
A physical quantity detection device according to this application example;
A package containing the physical quantity detection device;
including.

このような物理量検出器によれば、本適用例に係る物理量検出デバイスを含むため、高い検出感度を有することができる。   According to such a physical quantity detector, since the physical quantity detection device according to this application example is included, it is possible to have high detection sensitivity.

［適用例８］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る物理量検出デバイスを含む。 [Application Example 8]
The electronic device according to this application example is
The physical quantity detection device according to this application example is included.

このような電子機器によれば、本適用例に係る物理量検出デバイスを含むため、高い検出感度を有することができる。   According to such an electronic apparatus, since the physical quantity detection device according to this application example is included, it is possible to have high detection sensitivity.

本実施形態に係る物理量検出デバイスを模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the physical quantity detection device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る物理量検出デバイスを模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the physical quantity detection device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る物理量検出デバイスを模式的に示す平面図。The top view which shows typically the physical quantity detection device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る物理量検出デバイスを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the physical quantity detection device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る物理量検出デバイスの動作を説明するための断面図。Sectional drawing for demonstrating operation | movement of the physical quantity detection device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る物理量検出デバイスの動作を説明するための断面図。Sectional drawing for demonstrating operation | movement of the physical quantity detection device which concerns on this embodiment. 本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイスを模式的に示す平面図。The top view which shows typically the physical quantity detection device which concerns on the modification of this embodiment. 本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイスを模式的に示す平面図。The top view which shows typically the physical quantity detection device which concerns on the modification of this embodiment. 本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイスを模式的に示す平面図。The top view which shows typically the physical quantity detection device which concerns on the modification of this embodiment. 本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイスを模式的に示す平面図。The top view which shows typically the physical quantity detection device which concerns on the modification of this embodiment. 本実施形態に係る物理量検出装置を模式的に示す平面図。The top view which shows typically the physical quantity detection apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る物理量検出装置を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the physical quantity detection apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the electronic device which concerns on this embodiment.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. In addition, not all of the configurations described below are essential constituent requirements of the present invention.

１． 物理量検出デバイス
まず、本実施形態に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図１および図２は、本実施形態に係る物理量検出デバイス１００を模式的に示す斜視図である。図３は、本実施形態に係る物理量検出デバイス１００を模式的に示す平面図である。図４は、本実施形態に係る物理量検出デバイス１００を模式的に示す図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。なお、便宜上、図２では、質量部８０，８２および接合部材８６を省略し、図３では、質量部８０，８２を省略して図示している。また、図１〜図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。 1. Physical Quantity Detection Device First, a physical quantity detection device according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. 1 and 2 are perspective views schematically showing a physical quantity detection device 100 according to this embodiment. FIG. 3 is a plan view schematically showing the physical quantity detection device 100 according to the present embodiment. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 3 schematically showing the physical quantity detection device 100 according to the present embodiment. For the sake of convenience, the mass parts 80 and 82 and the joining member 86 are omitted in FIG. 2, and the mass parts 80 and 82 are omitted in FIG. 1 to 4 show the X axis, the Y axis, and the Z axis as three axes orthogonal to each other.

物理量検出デバイス１００は、図１〜図４に示すように、基部１０と、継ぎ手部１２と、可動部１４と、第１支持部２０と、第２支持部３０と、物理量検出素子７０と、を含む。さらに、物理量検出デバイス１００は、連結部４０と、第３支持部５０と、第４支持部６０と、質量部８０，８２と、を含むことができる。   As shown in FIGS. 1 to 4, the physical quantity detection device 100 includes a base 10, a joint part 12, a movable part 14, a first support part 20, a second support part 30, a physical quantity detection element 70, including. Furthermore, the physical quantity detection device 100 can include a connecting part 40, a third support part 50, a fourth support part 60, and mass parts 80 and 82.

基部１０は、継ぎ手部１２を介して、可動部１４を支持している。継ぎ手部１２は、基部１０と可動部１４との間に設けられ、基部１０および可動部１４に接続されている。継ぎ手部１２の厚さ（Ｚ軸方向の大きさ）は、基部１０の厚さ、および可動部１４の厚さよりも小さい。例えば、水晶基板の両主面側からハーフエッチングによって溝部１２ａ，１２ｂ（図４参照）を形成して、継ぎ手部１２を形成することができる。図示の例では、溝部１２ａ，１２ｂは、Ｘ軸に沿って形成されている。継ぎ手部１２は、可動部１４が基部１０に対して変位（回動）する際に、支点（中間ヒンジ）としてＸ軸に沿った回転軸となることができる。   The base portion 10 supports the movable portion 14 via the joint portion 12. The joint portion 12 is provided between the base portion 10 and the movable portion 14 and is connected to the base portion 10 and the movable portion 14. The thickness of the joint portion 12 (size in the Z-axis direction) is smaller than the thickness of the base portion 10 and the thickness of the movable portion 14. For example, the groove portions 12a and 12b (see FIG. 4) can be formed by half-etching from both main surface sides of the quartz substrate to form the joint portion 12. In the illustrated example, the groove portions 12a and 12b are formed along the X axis. When the movable portion 14 is displaced (rotated) with respect to the base portion 10, the joint portion 12 can serve as a rotation axis along the X axis as a fulcrum (intermediate hinge).

可動部１４は、基部１０に継ぎ手部１２を介して設けられている。図示の例では、可動部１４は、基部１０から継ぎ手部１２を介して、Ｙ軸に沿って（＋Ｙ軸方向に）延出している。可動部１４は、板状であり、互いに反対を向く（対向する）主面１４ａ，１４ｂを有している。可動部１４は、主面１４ａ，１４ｂと交差する方向（Ｚ軸方向）に加わる加速度に応じて、継ぎ手部１２を支点（回転軸）として主面１４ａ，１４ｂと交差する方向（Ｚ軸方向）に変位可能である。   The movable portion 14 is provided on the base portion 10 via the joint portion 12. In the illustrated example, the movable portion 14 extends from the base portion 10 via the joint portion 12 along the Y axis (in the + Y axis direction). The movable part 14 is plate-shaped and has principal surfaces 14a and 14b facing (opposing) to each other. The movable portion 14 intersects the main surfaces 14a and 14b (Z-axis direction) with the joint portion 12 as a fulcrum (rotation axis) according to the acceleration applied in the direction (Z-axis direction) intersecting the main surfaces 14a and 14b. Can be displaced.

第１支持部２０は、基部１０を支持している。第１支持部２０は、第１固定部２９を備えている。第１固定部２９は、第１支持部２０の先端部に設けられている。第１支持部２０は、第１固定部２９において、パッケージや回路基板などの外部部材に固定されることができる。すなわち、第１固定部２９は、第１支持部２０を外部部材に固定するための部分である。   The first support portion 20 supports the base portion 10. The first support part 20 includes a first fixing part 29. The first fixing portion 29 is provided at the distal end portion of the first support portion 20. The first support part 20 can be fixed to an external member such as a package or a circuit board in the first fixing part 29. That is, the 1st fixing | fixed part 29 is a part for fixing the 1st support part 20 to an external member.

第１支持部２０は、基部１０から第１固定部２９まで延出している。第１支持部２０は、図３に示すように、第１延出部２２と、第１折返し部２４と、第２延出部２６と、を有している。   The first support portion 20 extends from the base portion 10 to the first fixing portion 29. As shown in FIG. 3, the first support part 20 includes a first extension part 22, a first folded part 24, and a second extension part 26.

第１延出部２２は、可動部１４の変位方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において（Ｚ軸方向から見て、以下「平面視において」ともいう）、基部１０から、基部１０よりも第１方向（＋Ｙ軸方向）に位置している第１折返し部２４まで、延出している。図示の例では、第１延出部２２は、平面視において、基部１０から−Ｘ軸方向に延出している第１部分２２ａと、第１部分２２ａから＋Ｙ軸方向に延出している第２部分２２ｂと、第２部分２２ｂから＋Ｘ軸方向に延出している第３部分２２ｃと、第３部分２２ｃから＋Ｙ軸方向に延出している第４部分２２ｄと、を有した曲がった構造である。なお、曲がった構造とは、折れ曲がった形、曲線的な形など、真っ直ぐではない形を意味している。   The first extending portion 22 extends from the base 10 to the base 10 in a plan view along the displacement direction (Z-axis direction) of the movable portion 14 (hereinafter also referred to as “plan view” as viewed from the Z-axis direction). Also extends to the first folded portion 24 located in the first direction (+ Y-axis direction). In the illustrated example, the first extending portion 22 includes a first portion 22a extending in the −X axis direction from the base portion 10 and a second portion extending in the + Y axis direction from the first portion 22a in plan view. It is a bent structure having a portion 22b, a third portion 22c extending from the second portion 22b in the + X-axis direction, and a fourth portion 22d extending from the third portion 22c in the + Y-axis direction. . The bent structure means a shape that is not straight, such as a bent shape or a curved shape.

第１折返し部２４は、第１延出部２２に接続されている。より具体的には、第１折返し部２４は、第１延出部２２の第４部分２２ｄに接続されている。第１折返し部２４は、第４部分２２ｄから−Ｘ軸方向に延出している。   The first folded portion 24 is connected to the first extending portion 22. More specifically, the first folded portion 24 is connected to the fourth portion 22 d of the first extending portion 22. The first folded portion 24 extends in the −X axis direction from the fourth portion 22d.

第２延出部２６は、平面視において、第１折返し部２４から、第１折返し部２４よりも第２方向（−Ｙ軸方向）に位置している第１固定部２９まで、延出している。図示の例では、第２延出部２６は、平面視において、第１折返し部２４から−Ｙ軸方向に延出している第５部分２６ａと、第５部分２６ａから＋Ｘ軸方向に延出している第６部分２６ｂと、第６部分２６ｂから−Ｙ軸方向に延出している第７部分２６ｃと、第７部分２６ｃから−Ｘ軸方向に延出している第８部分２６ｄと、第８部分２６ｄから−Ｙ軸方向に延出している第９部分２６ｅと、第９部分２６ｅから＋Ｘ軸方向に延出している第１０部分２６ｆと、を有した曲がった構造である。第１０部分２６ｆは、その先端部に第１固定部２９を備えている。すなわち、第１０部分２６ｆは、第１固定部２９から第３方向（−Ｘ軸方向）に延出している。   The second extending portion 26 extends from the first folded portion 24 to the first fixing portion 29 located in the second direction (−Y-axis direction) from the first folded portion 24 in plan view. Yes. In the illustrated example, the second extending portion 26 extends in the −Y-axis direction from the first folded portion 24 and in the + X-axis direction from the fifth portion 26a in plan view. A sixth portion 26b, a seventh portion 26c extending from the sixth portion 26b in the -Y-axis direction, an eighth portion 26d extending from the seventh portion 26c in the -X-axis direction, and an eighth portion This is a bent structure having a ninth portion 26e extending in the −Y-axis direction from 26d and a tenth portion 26f extending in the + X-axis direction from the ninth portion 26e. The tenth portion 26f includes a first fixing portion 29 at the tip portion thereof. That is, the tenth portion 26 f extends from the first fixing portion 29 in the third direction (−X axis direction).

第１延出部２２は、平面視において、基部１０から−Ｘ軸方向に延出している第１部分２２ａ、および第４部分２２ｄから＋Ｘ軸方向に延出している第３部分２２ｃを有することにより、第２延出部２６側に曲がっている。第１延出部２２は、第２延出部２６側に曲がることによって第２延出部２６に近づく。これにより、第１延出部２２は、第２延出部２６に近い部分（第２部分２２ｂ）を有することができる。第２部分２２ｂと第２延出部２６との間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、基部１０と第２延出部２６との間の距離、および第４部分２２ｄと第２延出部２６との間の距離よりも小さい。   The first extending portion 22 has a first portion 22a extending in the −X axis direction from the base portion 10 and a third portion 22c extending in the + X axis direction from the fourth portion 22d in plan view. Therefore, it is bent toward the second extending portion 26 side. The 1st extension part 22 approaches the 2nd extension part 26 by bending to the 2nd extension part 26 side. Thereby, the 1st extension part 22 can have a part (2nd part 22b) near the 2nd extension part 26. As shown in FIG. The distance between the second portion 22b and the second extending portion 26 (the distance in the X-axis direction) is the distance between the base portion 10 and the second extending portion 26, and the fourth portion 22d and the second extending portion. It is smaller than the distance between the portions 26.

第２延出部２６は、平面視において、第５部分２６ａから＋Ｘ軸方向に延出している第６部分２６ｂ、および第９部分２６ｅから＋Ｘ軸方向に延出している第８部分２６ｄを有することにより、第１延出部２２側に曲がっている。第２延出部２６は、第１延出部２２側に曲がることによって第１延出部２２に近づく。これにより、第２延出部２６は、第１延出部２２に近い部分（第７部分２６ｃ）を有することができる。第７部分２６ｃと第１延出部２２との間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、第５部分２６ａと第１延出部２２との間の距離、および第９部分２６ｅと第１延出部２２との間の距離よりも小さい。第２延出部２６の第７部分２６ｃは、第１延出部２２の第２部分２２ｂと対向配置されている。   The second extending portion 26 has a sixth portion 26b extending in the + X-axis direction from the fifth portion 26a and an eighth portion 26d extending in the + X-axis direction from the ninth portion 26e in plan view. Therefore, it is bent toward the first extending portion 22 side. The second extending portion 26 approaches the first extending portion 22 by bending toward the first extending portion 22 side. Thereby, the 2nd extension part 26 can have a part (seventh part 26c) near the 1st extension part 22. FIG. The distance between the seventh portion 26c and the first extending portion 22 (the distance in the X-axis direction) is the distance between the fifth portion 26a and the first extending portion 22, and the ninth portion 26e and the first portion. It is smaller than the distance between the extension 22. The seventh portion 26 c of the second extension portion 26 is disposed to face the second portion 22 b of the first extension portion 22.

第１延出部２２の第２部分２２ｂは、第１側面２１ｂを備えている。第２延出部２６の第７部分２６ｃは、第１側面２１ｂと対向している第２側面２１ｃを備えている。側面２１ｂ，２１ｃは、互いに平行であってもよい。側面２１ｂ，２１ｃは、平坦な面である。   The second portion 22b of the first extension portion 22 includes a first side surface 21b. The 7th part 26c of the 2nd extension part 26 is provided with the 2nd side 21c facing the 1st side 21b. The side surfaces 21b and 21c may be parallel to each other. The side surfaces 21b and 21c are flat surfaces.

第１０部分２６ｆと第１部分２２ａとの間の距離（Ｙ軸方向における距離）は、第１０部分２６ｆと第８部分２６ｄとの間の距離よりも小さい。第１部分２２ａの側面２１ａおよび第１０部分２６ｆの側面２１ｄは、互いに対向している。側面２１ａ，２１ｄは、互いに平行であってもよい。側面２１ａ，２１ｄは、平坦な面である。   The distance between the tenth portion 26f and the first portion 22a (the distance in the Y-axis direction) is smaller than the distance between the tenth portion 26f and the eighth portion 26d. The side surface 21a of the first portion 22a and the side surface 21d of the tenth portion 26f are opposed to each other. The side surfaces 21a and 21d may be parallel to each other. The side surfaces 21a and 21d are flat surfaces.

第１支持部２０の厚さは、第１支持部２０の幅よりも大きい。ここで、第１支持部２０の幅とは、第１支持部２０が基部１０から第１固定部２９まで延出する間において、第１支持部２０の延出方向と直交する方向の大きさである。第１支持部２０の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、第１支持部２０の幅は、０．１ｍｍ以上０．４ｍｍ以下である。   The thickness of the first support part 20 is larger than the width of the first support part 20. Here, the width of the first support portion 20 is a size in a direction orthogonal to the extending direction of the first support portion 20 while the first support portion 20 extends from the base portion 10 to the first fixing portion 29. It is. The thickness of the 1st support part 20 is 0.5 mm or more and 1 mm or less, for example, and the width of the 1st support part 20 is 0.1 mm or more and 0.4 mm or less.

第２支持部３０は、基部１０を支持している。第２支持部３０は、第２固定部３９を備えている。第２固定部３９は、第２支持部３０の先端部に設けられている。第２支持部３０は、第２固定部３９において、パッケージや回路基板などの外部部材に固定されることができる。すなわち、第２固定部３９は、第２支持部３０を外部部材に固定するための部分である。   The second support part 30 supports the base part 10. The second support part 30 includes a second fixing part 39. The second fixing portion 39 is provided at the distal end portion of the second support portion 30. The second support part 30 can be fixed to an external member such as a package or a circuit board in the second fixing part 39. That is, the second fixing part 39 is a part for fixing the second support part 30 to the external member.

第２支持部３０は、基部１０から第２固定部３９まで延出している。第２支持部３０は、図３に示すように、第３延出部３２と、第２折返し部３４と、第４延出部３６と、を有している。   The second support part 30 extends from the base part 10 to the second fixing part 39. As shown in FIG. 3, the second support part 30 includes a third extension part 32, a second folded part 34, and a fourth extension part 36.

第３延出部３２は、平面視において、基部１０から、基部１０よりも第１方向（＋Ｙ軸方向）に位置している第２折返し部３４まで、延出している。図示の例では、第３延出部３２は、平面視において、基部１０から＋Ｘ軸方向に延出している第１部分３２ａと、第１部分３２ａから＋Ｙ軸方向に延出している第２部分３２ｂと、第２部分３２ｂから−Ｘ軸方向に延出している第３部分３２ｃと、第３部分３２ｃから＋Ｙ軸方向に延出している第４部分３２ｄと、を有した曲がった構造である。   The third extending portion 32 extends from the base portion 10 to the second folded portion 34 located in the first direction (+ Y-axis direction) from the base portion 10 in plan view. In the illustrated example, the third extending portion 32 includes a first portion 32a extending in the + X-axis direction from the base portion 10 and a second portion extending in the + Y-axis direction from the first portion 32a in plan view. 32b, a third portion 32c extending in the −X axis direction from the second portion 32b, and a fourth portion 32d extending in the + Y axis direction from the third portion 32c. .

第２折返し部３４は、第３延出部３２に接続されている。より具体的には、第２折返し部３４は、第３延出部３２の第４部分３２ｄに接続されている。第２折返し部３４は、第４部分３２ｄから＋Ｘ軸方向に延出している。   The second folded portion 34 is connected to the third extending portion 32. More specifically, the second folded portion 34 is connected to the fourth portion 32 d of the third extending portion 32. The second folded portion 34 extends in the + X axis direction from the fourth portion 32d.

第４延出部３６は、平面視において、第２折返し部３４から、第２折返し部３４よりも−Ｙ軸方向に位置している第２固定部３９まで、延出している。図示の例では、第４延出部３６は、平面視において、第２折返し部３４から−Ｙ軸方向に延出している第５部分３６ａと、第５部分３６ａから−Ｘ軸方向に延出している第６部分３６ｂと、第６部分３６ｂから−Ｙ軸方向に延出している第７部分３６ｃと、第７部分３６ｃから＋Ｘ軸方向に延出している第８部分３６ｄと、第８部分３６ｄから−Ｙ軸方向に延出している第９部分３６ｅと、第９部分３６ｅから−Ｘ軸方向に延出している第１０部分３６ｆと、を有した曲がった構造である。第１０部分３６ｆは、その先端部に第２固定部３９を備えている。すなわち、第１０部分３６ｆは、第２固定部３９から第４方向（＋Ｘ軸方向）に延出している。   The fourth extending portion 36 extends from the second folded portion 34 to the second fixed portion 39 located in the −Y-axis direction from the second folded portion 34 in plan view. In the illustrated example, the fourth extending portion 36 includes a fifth portion 36a extending in the −Y axial direction from the second folded portion 34 and a fifth portion 36a extending in the −X axial direction in plan view. A sixth portion 36b extending from the sixth portion 36b in the −Y-axis direction, an eighth portion 36d extending from the seventh portion 36c in the + X-axis direction, and an eighth portion. This is a bent structure having a ninth portion 36e extending from 36d in the -Y-axis direction and a tenth portion 36f extending from the ninth portion 36e in the -X-axis direction. The tenth portion 36f includes a second fixing portion 39 at the tip portion. In other words, the tenth portion 36f extends from the second fixed portion 39 in the fourth direction (+ X axis direction).

第３延出部３２は、平面視において、基部１０から＋Ｘ軸方向に延出している第１部分３２ａ、および第４部分３２ｄから＋Ｘ軸方向に延出している第３部分３２ｃを有することにより、第４延出部３６側に曲がっている。第３延出部３２は、第４延出部３６側に曲がることによって第４延出部３６に近づく。これにより、第３延出部２２は、第４延出部３６に近い部分（第２部分３２ｂ）を有することができる。第２部分３２ｂと第４延出部３６との間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、基部１０と第４延出部３６との間の距離、および第４部分３２ｄと第２延出部３６との間の距離よりも小さい。   The third extension portion 32 has a first portion 32a extending from the base portion 10 in the + X-axis direction and a third portion 32c extending from the fourth portion 32d in the + X-axis direction in plan view. , Bent toward the fourth extending portion 36 side. The third extending part 32 approaches the fourth extending part 36 by bending toward the fourth extending part 36 side. Thereby, the 3rd extension part 22 can have a part (2nd part 32b) near the 4th extension part 36. As shown in FIG. The distance between the second portion 32b and the fourth extending portion 36 (the distance in the X-axis direction) is the distance between the base portion 10 and the fourth extending portion 36, and the fourth portion 32d and the second extending portion. It is smaller than the distance between the portions 36.

第４延出部３６は、平面視において、第５部分３６ａから−Ｘ軸方向に延出している第６部分３６ｂ、および第９部分３６ｅから−Ｘ軸方向に延出している第８部分３６ｄを有することにより、第３延出部３２側に曲がっている。第４延出部３６は、第３延出部３２側に曲がることによって第３延出３２に近づく。これにより、第４延出部３６は、第３延出部３２に近い部分（第７部分３６ｃ）を有することができる。第７部分３６ｃと第３延出部３２との間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、第５部分３６ａと第３延出部３２との間の距離、および第９部分３６ｅと第３延出部３２との間の距離よりも小さい。第４延出部３６の第７部分３６ｃは、第３延出部３２の第２部分３２ｂと対向配置されている。   The fourth extending portion 36 has a sixth portion 36b extending in the −X axis direction from the fifth portion 36a and an eighth portion 36d extending in the −X axis direction from the ninth portion 36e in plan view. It has bent to the 3rd extension part 32 side by having. The fourth extension portion 36 approaches the third extension 32 by bending toward the third extension portion 32 side. Thereby, the 4th extension part 36 can have a part (seventh part 36c) near the 3rd extension part 32. FIG. The distance between the seventh portion 36c and the third extending portion 32 (the distance in the X-axis direction) is the distance between the fifth portion 36a and the third extending portion 32, and the ninth portion 36e and the third portion. It is smaller than the distance between the extension portions 32. The seventh portion 36 c of the fourth extension portion 36 is disposed to face the second portion 32 b of the third extension portion 32.

第３延出部２２の第２部分３２ｂは、第３側面３１ｂを備えている。第４延出部３６の第７部分２６ｃは、第３側面３１ｂと対向している第４側面３１ｃを備えている。側面３１ｂ，３１ｃは、互いに平行であってもよい。側面３１ｂ，３１ｃは、平坦な面である。   The second portion 32b of the third extension portion 22 includes a third side surface 31b. The seventh portion 26c of the fourth extending portion 36 includes a fourth side surface 31c that faces the third side surface 31b. The side surfaces 31b and 31c may be parallel to each other. The side surfaces 31b and 31c are flat surfaces.

第１０部分３６ｆと第１部分３２ａとの間の距離（Ｙ軸方向における距離）は、第１０部分３６ｆと第８部分３６ｄとの間の距離よりも小さい。第１部分３２ａの側面３１ａおよび第１０部分３６ｆの側面３１ｄは、互いに対向している。側面３１ａ，３１ｄは、互いに平行であってもよい。側面３１ａ，３１ｄは、平坦な面である。   The distance between the tenth portion 36f and the first portion 32a (the distance in the Y-axis direction) is smaller than the distance between the tenth portion 36f and the eighth portion 36d. The side surface 31a of the first portion 32a and the side surface 31d of the tenth portion 36f are opposed to each other. The side surfaces 31a and 31d may be parallel to each other. The side surfaces 31a and 31d are flat surfaces.

第２支持部３０の厚さは、第２支持部３０の幅よりも大きい。ここで、第２支持部３０の幅とは、第２支持部３０が基部１０から第２固定部３９まで延出する間において、第２支持部３０の延出方向と直交する方向の大きさである。第２支持部３０の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、第２支持部３０の幅は、０．１ｍｍ以上０．４ｍｍ以下である。   The thickness of the second support part 30 is larger than the width of the second support part 30. Here, the width of the second support portion 30 is a size in a direction orthogonal to the extending direction of the second support portion 30 while the second support portion 30 extends from the base portion 10 to the second fixing portion 39. It is. The thickness of the 2nd support part 30 is 0.5 mm or more and 1 mm or less, for example, and the width of the 2nd support part 30 is 0.1 mm or more and 0.4 mm or less.

第１支持部２０および第２支持部３０は、物理量検出デバイス１００の重心Ｇを通るＹ軸と平行な直線（図示せず）に関して、対称に設けられていてもよい。   The first support unit 20 and the second support unit 30 may be provided symmetrically with respect to a straight line (not shown) parallel to the Y axis passing through the center of gravity G of the physical quantity detection device 100.

連結部４０は、第１支持部２０および第２支持部３０から延出している。連結部４０は、第１支持部２０と第２支持部３０とを連結している。連結部４０は、可動部１４と間隙を介して可動部１４に沿って設けられている。   The connecting part 40 extends from the first support part 20 and the second support part 30. The connecting part 40 connects the first support part 20 and the second support part 30. The connecting portion 40 is provided along the movable portion 14 with a gap between the movable portion 14 and the movable portion 14.

図示の例では、連結部４０は、第１支持部２０の第４部分２２ｄと第１折返し部２４との接続部から＋Ｙ軸方向に延出している第１部分４２ａと、第１部分４２ａから＋Ｘ軸方向に延出している第２部分４２ｂと、第２部分４２ｂから第２支持部３０の第４部分３２ｄと第２折返し部３４との接続部まで−Ｙ軸方向に延出している第３部分４２ｃと、を有している。   In the illustrated example, the connecting portion 40 includes a first portion 42a extending in the + Y-axis direction from a connection portion between the fourth portion 22d of the first support portion 20 and the first folded portion 24, and a first portion 42a. A second portion 42b extending in the + X-axis direction, and a second portion 42b extending in the −Y-axis direction from the second portion 42b to the connection portion between the fourth portion 32d of the second support portion 30 and the second folded portion 34. 3 portions 42c.

第３支持部５０は、連結部４０および第１支持部２０を介して、基部１０を支持している。第３支持部５０は、第３固定部５９を備えている。第３固定部５９は、第３支持部５０の先端部に設けられている。第３支持部５０は、第３固定部５９において、パッケージや回路基板などの外部部材に固定されることができる。すなわち、第３固定部５９は、第３支持部５０を外部部材に固定するための部分である。   The third support part 50 supports the base part 10 via the connecting part 40 and the first support part 20. The third support part 50 includes a third fixing part 59. The third fixing portion 59 is provided at the distal end portion of the third support portion 50. The third support part 50 can be fixed to an external member such as a package or a circuit board at the third fixing part 59. That is, the third fixing part 59 is a part for fixing the third support part 50 to the external member.

第３支持部５０は、連結部４０から第３固定部５９まで延出している。より具体的には、第３支持部５０は、連結部４０の第１部分４２ａと第２部分４２ｂとの接続部から延出している。第３支持部５０は、平面視において、曲がっている。図示の例では、第３支持部５０は、連結部４０から−Ｘ軸方向に延出している第１部分５２ａと、第１部分５２ａから−Ｙ軸方向に延出している第２部分５２ｂと、第２部分５２ｂから＋Ｘ軸方向に延出している第３部分５２ｃと、第３部分５２ｃから−Ｙ軸方向に延出している第４部分５２ｄと、第４部分５２ｄから−Ｘ軸方向に延出している第５部分５２ｅと、第５部分５２ｅから＋Ｙ軸方向に延出している第６部分５２ｆと、を有した曲がった構造である。第６部分５２ｆは、その先端部に第３固定部５９を備えている。すなわち、第６部分５２ｆは、第３固定部５９から−Ｙ軸方向に延出している。   The third support part 50 extends from the connecting part 40 to the third fixing part 59. More specifically, the third support portion 50 extends from a connection portion between the first portion 42 a and the second portion 42 b of the connecting portion 40. The third support portion 50 is bent in plan view. In the illustrated example, the third support portion 50 includes a first portion 52a extending from the connecting portion 40 in the −X axis direction, and a second portion 52b extending from the first portion 52a in the −Y axis direction. A third portion 52c extending in the + X-axis direction from the second portion 52b, a fourth portion 52d extending in the −Y-axis direction from the third portion 52c, and a −X-axis direction from the fourth portion 52d. This is a bent structure having a fifth portion 52e extending and a sixth portion 52f extending from the fifth portion 52e in the + Y-axis direction. The sixth portion 52f includes a third fixing portion 59 at the tip portion. That is, the sixth portion 52f extends from the third fixing portion 59 in the −Y axis direction.

第６部分５２ｆと第２部分５２ｂとの間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、第６部分５２ｆと第４部分５２ｄとの間の距離よりも小さい。第２部分５２ｂの側面５１ａおよび第６部分５２ｆの側面５１ｃは、互いに対向している。側面５１ａ，５１ｃは、互いに平行であってもよい。側面５１ａ，５１ｃは、平坦な面である。   The distance between the sixth portion 52f and the second portion 52b (the distance in the X-axis direction) is smaller than the distance between the sixth portion 52f and the fourth portion 52d. The side surface 51a of the second portion 52b and the side surface 51c of the sixth portion 52f are opposed to each other. The side surfaces 51a and 51c may be parallel to each other. The side surfaces 51a and 51c are flat surfaces.

連結部４０と第４部分５２ｄとの間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、連結部４０と第２部分５２ｂとの間の距離よりも小さい。第４部分５２ｄの側面５１ｂおよび連結部４０の側面４１ａは、互いに対向している。側面４１ａ，５１ｂは、互いに平行であってもよい。側面４１ａ，５１ｂは、平坦な面である。   The distance between the connecting portion 40 and the fourth portion 52d (the distance in the X-axis direction) is smaller than the distance between the connecting portion 40 and the second portion 52b. The side surface 51b of the fourth portion 52d and the side surface 41a of the connecting portion 40 face each other. The side surfaces 41a and 51b may be parallel to each other. The side surfaces 41a and 51b are flat surfaces.

第３支持部５０の厚さは、第３支持部５０の幅よりも大きい。ここで、第３支持部５０の幅とは、第３支持部５０が連結部４０から第３固定部５９まで延出する間において、第３支持部５０の延出方向と直交する方向の大きさである。第３支持部５０の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、第３支持部５０の幅は、０．１ｍｍ以上０．４ｍｍ以下である。   The thickness of the third support part 50 is larger than the width of the third support part 50. Here, the width of the third support portion 50 is a size in a direction orthogonal to the extending direction of the third support portion 50 while the third support portion 50 extends from the connecting portion 40 to the third fixing portion 59. That's it. The thickness of the 3rd support part 50 is 0.5 mm or more and 1 mm or less, for example, and the width of the 3rd support part 50 is 0.1 mm or more and 0.4 mm or less.

第４支持部６０は、連結部４０および第２支持部３０を介して、基部１０を支持している。第４支持部６０は、第４固定部６９を備えている。第４固定部６９は、第４支持部６０の先端部に設けられている。第４支持部６０は、第４固定部６９において、パッケージや回路基板などの外部部材に固定されることができる。すなわち、第４固定部６９は、第４支持部６０を外部部材に固定するための部分である。   The fourth support part 60 supports the base part 10 via the connecting part 40 and the second support part 30. The fourth support part 60 includes a fourth fixing part 69. The fourth fixing portion 69 is provided at the distal end portion of the fourth support portion 60. The fourth support part 60 can be fixed to an external member such as a package or a circuit board in the fourth fixing part 69. That is, the fourth fixing portion 69 is a portion for fixing the fourth support portion 60 to the external member.

第４支持部６０は、連結部４０から第４固定部６９まで延出している。より具体的には、第４支持部６０は、連結部４０の第２部分４２ｂと第３部分４２ｃとの接続部から延出している。第４支持部６０は、平面視において、曲がっている。図示の例では、第４支持部６０は、連結部４０から＋Ｘ軸方向に延出している第１部分６２ａと、第１部分６２ａから−Ｙ軸方向に延出している第２部分６２ｂと、第２部分６２ｂから−Ｘ軸方向に延出している第３部分６２ｃと、第３部分６２ｃから−Ｙ軸方向に延出している第４部分６２ｄと、第４部分６２ｄから＋Ｘ軸方向に延出している第５部分６２ｅと、第５部分６２ｅから＋Ｙ軸方向に延出している第６部分６２ｆと、を有した曲がった構造である。第６部分６２ｆは、その先端部に第４固定部６９を備えている。すなわち、第６部分６２ｆは、第４固定部６９から−Ｙ軸方向に延出している。   The fourth support part 60 extends from the connection part 40 to the fourth fixing part 69. More specifically, the fourth support portion 60 extends from the connection portion between the second portion 42b and the third portion 42c of the connecting portion 40. The fourth support part 60 is bent in plan view. In the illustrated example, the fourth support portion 60 includes a first portion 62a extending from the connecting portion 40 in the + X-axis direction, a second portion 62b extending from the first portion 62a in the −Y-axis direction, A third portion 62c extending from the second portion 62b in the −X-axis direction, a fourth portion 62d extending from the third portion 62c in the −Y-axis direction, and a fourth portion 62d extending in the + X-axis direction. This is a bent structure having a protruding fifth portion 62e and a sixth portion 62f extending from the fifth portion 62e in the + Y-axis direction. The sixth portion 62f includes a fourth fixing portion 69 at the tip portion. That is, the sixth portion 62f extends from the fourth fixing portion 69 in the −Y axis direction.

第６部分６２ｆと第２部分６２ｂとの間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、第６部分６２ｆと第４部分６２ｄとの間の距離よりも小さい。第２部分６２ｂの側面６１ａおよび第６部分６２ｆの側面６１ｃは、互いに対向している。側面６１ａ，６１ｃは、互いに平行であってもよい。側面６１ａ，６１ｃは、平坦な面である。   The distance between the sixth portion 62f and the second portion 62b (the distance in the X-axis direction) is smaller than the distance between the sixth portion 62f and the fourth portion 62d. The side surface 61a of the second portion 62b and the side surface 61c of the sixth portion 62f are opposed to each other. The side surfaces 61a and 61c may be parallel to each other. The side surfaces 61a and 61c are flat surfaces.

連結部４０と第４部分６２ｄとの間の距離（Ｘ軸方向における距離）は、連結部４０と第２部分６２ｂとの間の距離よりも小さい。第４部分６２ｄの側面６１ｂおよび連結部４０の側面４１ｂは、互いに対向している。側面４１ｂ，６１ｂは、互いに平行であってもよい。側面４１ｂ，６１ｂは、平坦な面である。   A distance between the connecting portion 40 and the fourth portion 62d (a distance in the X-axis direction) is smaller than a distance between the connecting portion 40 and the second portion 62b. The side surface 61b of the fourth portion 62d and the side surface 41b of the connecting portion 40 face each other. The side surfaces 41b and 61b may be parallel to each other. The side surfaces 41b and 61b are flat surfaces.

第４支持部６０の厚さは、第４支持部６０の幅よりも大きい。ここで、第４支持部６０の幅とは、第４支持部６０が連結部４０から第４固定部６９まで延出する間において、第４支持部６０の延出方向と直交する方向の大きさである。第４支持部６０の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、第４支持部６０の幅は、０．１ｍｍ以上０．４ｍｍ以下である。   The thickness of the fourth support part 60 is larger than the width of the fourth support part 60. Here, the width of the fourth support portion 60 is a size in a direction orthogonal to the extending direction of the fourth support portion 60 while the fourth support portion 60 extends from the connecting portion 40 to the fourth fixing portion 69. That's it. The thickness of the 4th support part 60 is 0.5 mm or more and 1 mm or less, for example, and the width of the 4th support part 60 is 0.1 mm or more and 0.4 mm or less.

第３支持部５０および第４支持部６０は、物理量検出デバイス１００の重心Ｇを通るＹ軸と平行な直線（図示せず）に関して、対称に設けられていてもよい。   The third support unit 50 and the fourth support unit 60 may be provided symmetrically with respect to a straight line (not shown) parallel to the Y axis passing through the center of gravity G of the physical quantity detection device 100.

物理量検出デバイス１００の重心Ｇは、図３に示すように平面視において、固定部２９，３９，５９，６９に囲まれた範囲Ａ内に位置している。より具体的には、重心Ｇは、平面視において、第１固定部２９の中心と第２固定部３９の中心を結ぶ直線、第２固定部３９の中心と第４固定部６９の中心を結ぶ直線、第４固定部６９の中心と第３固定部５９の中心を結ぶ直線、および第３固定部５９の中心と第１固定部２９の中心とを結ぶ直線に囲まれた範囲Ａ（領域Ａ）内に位置している。   The center of gravity G of the physical quantity detection device 100 is located within a range A surrounded by the fixing portions 29, 39, 59, and 69 in plan view as shown in FIG. More specifically, the center of gravity G is a straight line connecting the center of the first fixing portion 29 and the center of the second fixing portion 39 in the plan view, and connects the center of the second fixing portion 39 and the center of the fourth fixing portion 69 in plan view. A range A (region A) surrounded by a straight line, a straight line connecting the center of the fourth fixing portion 69 and the center of the third fixing portion 59, and a straight line connecting the center of the third fixing portion 59 and the center of the first fixing portion 29. ).

基部１０、継ぎ手部１２、可動部１４、支持部２０，３０，５０，６０、および連結部４０は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を、パターニングすることにより、構造体１０１として一体に形成されている。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって行われる。なお、基部１０、継ぎ手部１２、可動部１４、支持部２０，３０，５０，６０、および連結部４０の材質は、水晶に限定されるものではなく、ガラスやシリコンなどの半導体材料であってもよい。   The base part 10, the joint part 12, the movable part 14, the support parts 20, 30, 50, 60, and the connecting part 40 are formed by patterning a quartz substrate cut out from a quartz crystal or the like at a predetermined angle, for example. The structure 101 is integrally formed. The patterning is performed by, for example, a photolithography technique and an etching technique. In addition, the material of the base part 10, the joint part 12, the movable part 14, the support parts 20, 30, 50, 60, and the connection part 40 is not limited to quartz, but is a semiconductor material such as glass or silicon. Also good.

物理量検出素子７０は、基部１０と可動部１４とに掛け渡されている。物理量検出素子７０は、振動梁部７１ａ，７１ｂと、ベース部７２ａ，７２ｂと、を含んで構成されている。例えば、可動部１４が変位することで、振動梁部７１ａ，７１ｂに力が生じ、振動梁部７１ａ，７１ｂに発生する物理量検出情報が変化する。   The physical quantity detection element 70 is spanned between the base 10 and the movable part 14. The physical quantity detection element 70 includes vibration beam portions 71a and 71b and base portions 72a and 72b. For example, when the movable portion 14 is displaced, a force is generated in the vibrating beam portions 71a and 71b, and the physical quantity detection information generated in the vibrating beam portions 71a and 71b is changed.

振動梁部７１ａ，７１ｂは、可動部１４の延出方向に沿って（Ｙ軸に沿って）、ベース部７２ａからベース部７２ｂまで延出している。振動梁部７１ａ，７１ｂの形状は、例えば、角柱状である。振動梁部７１ａ，７１ｂは、振動梁部７１ａ，７１ｂに設けられた励振電極（図示せず）に駆動信号（交番電圧）が印加されると、Ｘ軸に沿って、互いに離間または近接するように屈曲振動することができる。   The vibrating beam portions 71a and 71b extend from the base portion 72a to the base portion 72b along the extending direction of the movable portion 14 (along the Y axis). The shape of the vibrating beam portions 71a and 71b is, for example, a prismatic shape. When a driving signal (alternating voltage) is applied to excitation electrodes (not shown) provided on the vibrating beam portions 71a and 71b, the vibrating beam portions 71a and 71b are separated from or close to each other along the X axis. Can bend and vibrate.

ベース部７２ａ，７２ｂは、振動梁部７１ａ，７１ｂの両端に接続されている。図示の例では、ベース部７２ａは、基部１０の主面１０ａに接合部材８４を介して固定され、ベース部７２ｂは、可動部１４の主面１４ａ（基部１０の主面１０ａと同じ側の主面）に接合部材８４を介して固定されている。接合部材８４としては、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なＡｕ／Ｓｎ合金被膜を用いる。   The base parts 72a and 72b are connected to both ends of the vibrating beam parts 71a and 71b. In the illustrated example, the base portion 72a is fixed to the main surface 10a of the base portion 10 via a joining member 84, and the base portion 72b is the main surface 14a of the movable portion 14 (the main surface on the same side as the main surface 10a of the base portion 10). Surface) via a joining member 84. As the bonding member 84, for example, a low melting point glass or an Au / Sn alloy film capable of eutectic bonding is used.

なお、振動梁部７１ａ，７１ｂと、基部１０および可動部１４と、の間には、可動部１４の変位時に、振動梁部７１ａ，７１ｂと、基部１０および可動部１４と、が接触しないように、所定の間隙が設けられている。この間隙は、例えば、接合部材８４の厚みで管理されていてもよい。   In addition, when the movable part 14 is displaced, the vibrating beam parts 71a and 71b and the base 10 and the movable part 14 are not in contact with each other between the vibrating beam parts 71a and 71b and the base part 10 and the movable part 14. In addition, a predetermined gap is provided. This gap may be managed by the thickness of the joining member 84, for example.

また、図示はしないが、可動部１４の主面１４ａであって、平面視おいて接合部材８４と振動梁部７１ａ，７１ｂとの間の位置に、可動部１４をハーフエッチングすることにより形成された凹部が形成されていてもよい。例えば、接合部材８４が所定の位置からはみ出した場合に、該凹部によって接合部材８４を受け止めることができ、接合部材８４が振動梁部８１ａ，８１ｂに付着することを抑制できる。   Although not shown, it is formed by half-etching the movable portion 14 at a position on the main surface 14a of the movable portion 14 between the joining member 84 and the vibrating beam portions 71a and 71b in plan view. A concave portion may be formed. For example, when the joining member 84 protrudes from a predetermined position, the joining member 84 can be received by the recess, and the joining member 84 can be prevented from adhering to the vibrating beam portions 81a and 81b.

物理量検出素子７０は、上記のように、２本の振動梁部７１ａ，７１ｂと、一対のベース部７２ａ，７２ｂと、を有している。すなわち、物理量検出素子７０は、双音叉素子（双音叉型振動素子）である。   As described above, the physical quantity detection element 70 includes the two vibrating beam portions 71a and 71b and the pair of base portions 72a and 72b. That is, the physical quantity detection element 70 is a double tuning fork element (double tuning fork type vibration element).

物理量検出素子７０は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によってパターニングすることにより形成される。これにより、振動梁部７１ａ，７１ｂおよびベース部７２ａ，７２ｂを、一体に形成することができる。   The physical quantity detection element 70 is formed, for example, by patterning a quartz substrate cut out from a raw quartz or the like at a predetermined angle by a photolithography technique and an etching technique. Thereby, the vibrating beam portions 71a and 71b and the base portions 72a and 72b can be integrally formed.

なお、物理量検出素子７０の材質は、水晶に限定されるものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体を皮膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。ただし、物理量検出素子７０の線膨張係数と、基部１０および可動部１４の線膨張係数と、の差を小さくすることを考慮すれば、物理量検出素子７０の材質は、基部１０および可動部１４の材質と同じであることが望ましい。 The material of the physical quantity detection element 70 is not limited to quartz, but lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium tetraborate (Li 2 B 4 O 7 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), titanate A piezoelectric material such as lead zirconate (PZT), zinc oxide (ZnO), aluminum nitride (AlN), or a semiconductor material such as silicon provided with a piezoelectric material such as zinc oxide (ZnO) or aluminum nitride (AlN) as a film. There may be. However, in consideration of reducing the difference between the linear expansion coefficient of the physical quantity detection element 70 and the linear expansion coefficient of the base 10 and the movable part 14, the material of the physical quantity detection element 70 is the same as that of the base 10 and the movable part 14. It is desirable to be the same as the material.

物理量検出素子７０のベース部７２ａ上には、例えば、引き出し電極７４ａ，７４ｂが設けられている。引き出し電極７４ａ，７４ｂは、振動梁部７１ａ，７１ｂに設けられた励振電極（図示せず）と電気的に接続されている。   For example, extraction electrodes 74 a and 74 b are provided on the base portion 72 a of the physical quantity detection element 70. The extraction electrodes 74a and 74b are electrically connected to excitation electrodes (not shown) provided on the vibration beam portions 71a and 71b.

引き出し電極７４ａ，７４ｂは、例えばＡｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー７８によって、基部１０の主面１０ａに設けられた接続端子７６ａ，７６ｂと電気的に接続されている。より具体的には、引き出し電極７４ａは、接続端子７６ａと電気的に接続され、引き出し電極７４ｂは、接続端子７６ｂと電気的に接続されている。   The lead electrodes 74 a and 74 b are electrically connected to connection terminals 76 a and 76 b provided on the main surface 10 a of the base portion 10 by a metal wire 78 such as Au or Al. More specifically, the lead electrode 74a is electrically connected to the connection terminal 76a, and the lead electrode 74b is electrically connected to the connection terminal 76b.

接続端子７６ａ，７６ｂは、図示しない配線によって、外部接続端子７９ａ，７９ｂと電気的に接続されている。より具体的には、接続端子７６ａは、外部接続端子７９ａと電気的に接続され、接続端子７６ｂは、接続端子７９ｂと電気的に接続されている。外部接続端子７９ａ，７９ｂは、例えば、支持部２０，３０のパッケージなどに実装される側の面（基部１０の主面１０ｂ側の面）であって、平面視において固定部２９，３９と重なる位置に設けられている。   The connection terminals 76a and 76b are electrically connected to the external connection terminals 79a and 79b by wiring (not shown). More specifically, the connection terminal 76a is electrically connected to the external connection terminal 79a, and the connection terminal 76b is electrically connected to the connection terminal 79b. The external connection terminals 79a and 79b are, for example, surfaces on the side mounted on the package of the support portions 20 and 30 (surfaces on the main surface 10b side of the base portion 10) and overlap the fixing portions 29 and 39 in plan view. In the position.

励振電極、引き出し電極７４ａ，７４ｂ、接続端子７６ａ，７６ｂ、および外部接続端子７９ａ，７９ｂとしては、例えば、Ｃｒ層を下地として、その上にＡｕ層を積層した積層体を用いる。励振電極、引き出し電極７４ａ，７４ｂ、接続端子７６ａ，７６ｂ、および外部接続端子７９ａ，７９ｂは、例えば、スパッタ法などによって導電層（図示せず）を成膜し、該導電層をパターニングすることによって形成される。   As the excitation electrode, the extraction electrodes 74a and 74b, the connection terminals 76a and 76b, and the external connection terminals 79a and 79b, for example, a laminate in which a Cr layer is used as a base and an Au layer is stacked thereon is used. Excitation electrodes, lead electrodes 74a and 74b, connection terminals 76a and 76b, and external connection terminals 79a and 79b are formed by forming a conductive layer (not shown) by sputtering, for example, and patterning the conductive layer. It is formed.

質量部８０，８２は、図１および図４に示すように、可動部１４の主面１４ａ，１４ｂに設けられている。より具体的には、質量部８０は、接合部材８６を介して主面１４ａに設けられ、質量部８２は、接合部材８６を介して主面１４ｂに設けられている。質量部８０，８２の材質としては、例えば、Ｃｕ、Ａｕなどの金属が挙げられる。質量部８０，８２によって、物理量検出デバイス１００に加わる加速度の検出感度を向上させることができる。   The mass portions 80 and 82 are provided on the main surfaces 14a and 14b of the movable portion 14, as shown in FIGS. More specifically, the mass portion 80 is provided on the main surface 14 a via the bonding member 86, and the mass portion 82 is provided on the main surface 14 b via the bonding member 86. Examples of the material of the mass portions 80 and 82 include metals such as Cu and Au. The mass parts 80 and 82 can improve the detection sensitivity of acceleration applied to the physical quantity detection device 100.

接合部材８６としては、例えば、シリコーン樹脂系の熱硬化型接着剤を用いる。接合部材８６は、熱応力抑制の観点から、可動部１４および質量部８０，８２の一部の範囲を接着するように塗布されることが好ましい。   As the bonding member 86, for example, a silicone resin thermosetting adhesive is used. It is preferable that the joining member 86 is applied so as to bond a part of the movable portion 14 and the mass portions 80 and 82 from the viewpoint of suppressing thermal stress.

図３に示すように平面視において、接合部材８６と、物理量検出素子７０のベース部７２ｂと、の間の可動部１４には、貫通孔１６が設けられていてもよい。貫通孔１６は、可動部１４をＺ軸方向に貫通している。例えば可動部１４と質量部８０，８２との熱膨張係数の差によって可動部１４に応力が生じたとしても、該応力に起因して物理量検出素子７０の共振周波数が変動することを、貫通孔１６により抑制できる。   As shown in FIG. 3, the through-hole 16 may be provided in the movable portion 14 between the joining member 86 and the base portion 72 b of the physical quantity detection element 70 in plan view. The through hole 16 penetrates the movable portion 14 in the Z-axis direction. For example, even if stress is generated in the movable part 14 due to the difference in thermal expansion coefficient between the movable part 14 and the mass parts 80 and 82, the resonance frequency of the physical quantity detection element 70 varies due to the stress. 16 can be suppressed.

なお、図示はしないが、質量部の数は、限定されず、例えば、可動部１４の１つの主面１４ａ，１４ｂに対して複数の質量部が設けられてもよい。また、図示はしないが、主面１４ａ，１４ｂのうち、いずれか一方の主面にのみ、質量部が設けられていてもよい。   Although not shown, the number of mass parts is not limited. For example, a plurality of mass parts may be provided on one main surface 14a, 14b of the movable part 14. Moreover, although not shown in figure, the mass part may be provided only in either main surface among main surface 14a, 14b.

次に、物理量検出デバイス１００の動作について説明する。図５および図６は、物理量検出デバイス１００の動作を説明するための断面図である。なお、図５および図６では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。   Next, the operation of the physical quantity detection device 100 will be described. 5 and 6 are cross-sectional views for explaining the operation of the physical quantity detection device 100. FIG. 5 and 6, the X axis, the Y axis, and the Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

図５に示すように、物理量検出デバイス１００では、−Ｚ軸方向に加速度α１（例えば重力加速度）が加わると、加速度α１に応じて、可動部１４が継ぎ手部１２を支点にして−Ｚ軸方向に変位する。これにより、物理量検出素子７０には、Ｙ軸に沿ってベース部７２ａとベース部７２ｂとが互いに離れる方向の力（張力）が加わり、振動梁部７１ａ，７１ｂには引っ張り応力が生じる。そのため、振動梁部７１ａ，７１ｂの振動周波数（共振周波数）は、高くなる。   As shown in FIG. 5, in the physical quantity detection device 100, when acceleration α1 (for example, gravitational acceleration) is applied in the −Z-axis direction, the movable unit 14 uses the joint portion 12 as a fulcrum in accordance with the acceleration α1. It is displaced to. As a result, a force (tension) in the direction in which the base portion 72a and the base portion 72b are separated from each other along the Y axis is applied to the physical quantity detection element 70, and tensile stress is generated in the vibrating beam portions 71a and 71b. Therefore, the vibration frequency (resonance frequency) of the vibration beam portions 71a and 71b is increased.

一方、図６に示すように、物理量検出デバイス１００では、＋Ｚ軸方向に加速度α２が加わると、加速度α２に応じて、可動部１４が継ぎ手部１２を支点にして＋Ｚ軸方向に変位する。これにより、物理量検出素子７０には、Ｙ軸に沿ってベース部７２ａとベース部７２ｂとが互いに近づく方向の力（圧縮力）が加わり、振動梁部７１ａ，７１ｂには圧縮応力が生じる。そのため、振動梁部７１ａ，７１ｂの振動周波数（共振周波数）は、低くなる。   On the other hand, as shown in FIG. 6, in the physical quantity detection device 100, when the acceleration α2 is applied in the + Z-axis direction, the movable portion 14 is displaced in the + Z-axis direction with the joint portion 12 as a fulcrum according to the acceleration α2. As a result, a force (compression force) in a direction in which the base portion 72a and the base portion 72b approach each other along the Y axis is applied to the physical quantity detection element 70, and compressive stress is generated in the vibrating beam portions 71a and 71b. Therefore, the vibration frequency (resonance frequency) of the vibrating beam portions 71a and 71b is lowered.

物理量検出デバイス１００では、上記のような物理量検出素子７０の共振周波数の変化を検出している。具体的には、物理量検出デバイス１００に加わる加速度は、上記の検出された共振周波数の変化の割合に応じて、ルックアップテーブルなどによって定められた数値に変換することで導出される。   The physical quantity detection device 100 detects a change in the resonance frequency of the physical quantity detection element 70 as described above. Specifically, the acceleration applied to the physical quantity detection device 100 is derived by converting it into a numerical value determined by a look-up table or the like according to the detected change rate of the resonance frequency.

連結部４０は、図５および図６に示すように、Ｚ軸方向に加わる加速度が所定の大きさより大きい場合、質量部８０，８２と接触することができる。そのため、物理量検出デバイス１００では、Ｚ軸方向の可動部１４の変位を、所定の範囲内に規制することができる。これにより、可動部１４が過度の変位により破損することを抑制できる。   As shown in FIGS. 5 and 6, the connecting part 40 can contact the mass parts 80 and 82 when the acceleration applied in the Z-axis direction is larger than a predetermined magnitude. Therefore, in the physical quantity detection device 100, the displacement of the movable portion 14 in the Z-axis direction can be restricted within a predetermined range. Thereby, it can suppress that the movable part 14 is damaged by excessive displacement.

なお、物理量検出デバイス１００を傾斜計に用いた場合には、傾斜の姿勢の変化に応じて、傾斜計に対する重力加速度が加わる方向が変化し、振動梁部７１ａ，７１ｂに引っ張り応力や圧縮応力が生じる。そして、振動梁部７１ａ，７１ｂの共振周波数が変化する。   When the physical quantity detection device 100 is used for an inclinometer, the direction in which the gravitational acceleration is applied to the inclinometer changes according to the change in the inclination posture, and tensile and compressive stresses are applied to the vibrating beam portions 71a and 71b. Arise. Then, the resonance frequencies of the vibrating beam portions 71a and 71b change.

また、上記の例では、物理量検出素子７０として、いわゆる双音叉素子を用いた例について説明したが、可動部１４の変位に基づいて物理量を検出することができれば、物理量検出素子７０の形態は、特に限定されない。   In the above example, an example using a so-called double tuning fork element as the physical quantity detection element 70 has been described. However, if the physical quantity can be detected based on the displacement of the movable portion 14, the form of the physical quantity detection element 70 is There is no particular limitation.

また、図示はしないが、固定部２９，３９，５９，６９の各々は、複数設けられていてもよい。このような形態によれば、外部部材との固定強度を高めることができる。そのため、耐衝撃性の向上を図ることができる。   Moreover, although not shown in figure, each of the fixing | fixed part 29, 39, 59, 69 may be provided with two or more. According to such a form, the fixing strength with the external member can be increased. Therefore, the impact resistance can be improved.

また、上記の例では、連結部４０が、第１支持部２０と第２支持部３０とを連結するように第１支持部２０および第２支持部３０から延出している形態について説明したが、連結部４０は、第１支持部２０および第２支持部３０の一方から延出していてもよい。また、連結部４０は、基部１０から直接延出していてもよい。   In the above example, the connection portion 40 has been described as extending from the first support portion 20 and the second support portion 30 so as to connect the first support portion 20 and the second support portion 30. The connecting part 40 may extend from one of the first support part 20 and the second support part 30. Further, the connecting part 40 may extend directly from the base part 10.

本実施形態に係る物理量検出デバイス１００は、例えば、以下の特徴を有する。   The physical quantity detection device 100 according to the present embodiment has the following features, for example.

物理量検出デバイス１００によれば、第１延出部２２は、平面視において、基部１０から、基部１０よりも＋Ｙ軸方向に位置している第１折返し部２４まで延出している。第２延出部２６は、平面視において、第１折返し部２４から、第１折返し部２４よりも−Ｙ軸方向に位置している第１固定部２９まで、延出している。同様に、第３延出部３２は、平面視において、基部１０から、基部１０よりも＋Ｙ軸方向に位置している第２折返し部３４まで延出している。第４延出部３６は、平面視において、第２折返し部３４から、第２折返し部３４よりも−Ｙ軸方向に位置している第２固定部３９まで、延出している。そのため、第１固定部２９および第２固定部３９をパッケージや回路基板などの外部部材に固定して、物理量検出デバイス１００を実装する際に、構造体１０１（基部１０、継ぎ手部１２、可動部１４、支持部２０，３０，５０，６０、および連結部４０を含んで構成されている構造体）の線膨張係数と外部部材の線膨張係数との差により基部１０に応力が生じることを抑制できる。そのため、基部１０に生じる応力によって、物理量検出素子７０の共振周波数が変動することを抑制できる。その結果、物理量検出デバイス１００は、高い検出感度を有することができる。例えば、第１支持部および第２支持部が直線状に設けられている場合は、構造体の線膨張係数と外部部材の線膨張係数との差により基部に生じる応力によって、物理量検出素子の共振周波数が変動することがある。   According to the physical quantity detection device 100, the first extending portion 22 extends from the base portion 10 to the first folded portion 24 located in the + Y-axis direction from the base portion 10 in plan view. The second extending portion 26 extends from the first folded portion 24 to the first fixing portion 29 located in the −Y-axis direction from the first folded portion 24 in plan view. Similarly, the third extending portion 32 extends from the base portion 10 to the second folded portion 34 located in the + Y-axis direction from the base portion 10 in plan view. The fourth extending portion 36 extends from the second folded portion 34 to the second fixed portion 39 located in the −Y-axis direction from the second folded portion 34 in plan view. Therefore, when mounting the physical quantity detection device 100 by fixing the first fixed portion 29 and the second fixed portion 39 to an external member such as a package or a circuit board, the structure 101 (base portion 10, joint portion 12, movable portion). 14, the structure including the support portions 20, 30, 50, 60 and the connecting portion 40), and the occurrence of stress in the base 10 due to the difference between the linear expansion coefficient of the external member and the linear expansion coefficient of the external member is suppressed. it can. Therefore, fluctuations in the resonance frequency of the physical quantity detection element 70 due to the stress generated in the base 10 can be suppressed. As a result, the physical quantity detection device 100 can have high detection sensitivity. For example, when the first support portion and the second support portion are provided in a straight line, the resonance of the physical quantity detection element is caused by the stress generated in the base due to the difference between the linear expansion coefficient of the structure and the linear expansion coefficient of the external member. The frequency may fluctuate.

さらに、物理量検出デバイス１００では、平面視において、第１延出部２２は、第２延出部２６側に曲がっており、第２延出部２６は、第１延出部２２側に曲がっている。これにより、第１延出部２２は、第２延出部２６に近い部分（第２部分）２２ｂを有し、第２延出部２６は、第１延出部２２に近い部分（第７部分）２６ｃを有することができる。そのため、例えば、物理量検出デバイス１００にＸ軸方向の衝撃が加えられた場合に、第２部分２２ｂと第７部分２６ｃとが接触することができる。これにより、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。その結果、例えば、可動部１４がＸ軸方向に過度に変位することによって、物理量検出デバイス１００が破損することを抑制できる。同様に、物理量検出デバイス１００では、例えば、Ｘ軸方向の衝撃が加えられた場合に、支持部３０の第２部分３２ｂと第７部分３６ｃとが接触することができる。これにより、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。   Furthermore, in the physical quantity detection device 100, in plan view, the first extension portion 22 is bent toward the second extension portion 26, and the second extension portion 26 is bent toward the first extension portion 22 side. Yes. As a result, the first extending portion 22 has a portion (second portion) 22b close to the second extending portion 26, and the second extending portion 26 is a portion close to the first extending portion 22 (seventh portion). Part) 26c. Therefore, for example, when an impact in the X-axis direction is applied to the physical quantity detection device 100, the second portion 22b and the seventh portion 26c can come into contact with each other. Thereby, it can suppress that the movable part 14 displaces to a X-axis direction. As a result, for example, the physical quantity detection device 100 can be prevented from being damaged by the movable portion 14 being excessively displaced in the X-axis direction. Similarly, in the physical quantity detection device 100, for example, when an impact in the X-axis direction is applied, the second portion 32b and the seventh portion 36c of the support portion 30 can come into contact with each other. Thereby, it can suppress that the movable part 14 displaces to a X-axis direction.

物理量検出デバイス１００によれば、第１延出部２２の第２部分２２ｂは、第１側面２１ｂを備えており、第２延出部２６の第７部分２６ｃは、第１側面２１ｂと対向している第２側面２１ｃを備えている。側面２１ｂ，２１ｃは、平坦な面である。そのため、例えば、物理量検出デバイス１００にＸ軸方向の衝撃が加えられた場合に、より確実に、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。同様に、第３延出部３２の第２部分３２ｂは、第３側面３１ｂを備えており、第４延出部３６の第７部分３６ｃは、第３側面３１ｂと対向している第４側面３１ｃを備えている。側面３１ｂ，３１ｃは、平坦な面である。そのため、例えば、物理量検出デバイス１００にＸ軸方向の衝撃が加えられた場合に、より確実に、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。   According to the physical quantity detection device 100, the second portion 22b of the first extension portion 22 includes the first side surface 21b, and the seventh portion 26c of the second extension portion 26 faces the first side surface 21b. The second side surface 21c is provided. The side surfaces 21b and 21c are flat surfaces. Therefore, for example, when an impact in the X-axis direction is applied to the physical quantity detection device 100, it is possible to more reliably prevent the movable portion 14 from being displaced in the X-axis direction. Similarly, the second portion 32b of the third extension portion 32 includes a third side surface 31b, and the seventh portion 36c of the fourth extension portion 36 faces the third side surface 31b. 31c. The side surfaces 31b and 31c are flat surfaces. Therefore, for example, when an impact in the X-axis direction is applied to the physical quantity detection device 100, it is possible to more reliably prevent the movable portion 14 from being displaced in the X-axis direction.

さらに、物理量検出デバイス１００では、第１支持部２０の第１部分２２ａの側面２１ａと、第１支持部２０の第１０部分２６ｆの側面２１ｄと、によって、物理量検出デバイス１００にＹ軸方向の衝撃が加えられた場合に、可動部１４がＹ軸方向に変位することを抑制できる。同様に、第２支持部３０の第１部分３２ａの側面３１ａと、第２支持部３０の第１０部分３６ｆの側面３１ｄと、によって、可動部１４がＹ軸方向に変位することを抑制できる。   Further, in the physical quantity detection device 100, the impact in the Y-axis direction is applied to the physical quantity detection device 100 by the side surface 21a of the first portion 22a of the first support portion 20 and the side surface 21d of the tenth portion 26f of the first support portion 20. Can be suppressed from being displaced in the Y-axis direction. Similarly, displacement of the movable portion 14 in the Y-axis direction can be suppressed by the side surface 31a of the first portion 32a of the second support portion 30 and the side surface 31d of the tenth portion 36f of the second support portion 30.

さらに、物理量検出デバイス１００では、第３支持部５０の第２部分５２ｂの側面５１ａと、第３支持部５０の第６部分５２ｆの側面５１ｃと、によって、物理量検出デバイス１００にＸ軸方向の衝撃が加えられた場合に、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。同様に、第４支持部６０の第２部分６２ｂの側面６１ａと、第４支持部６０の第６部分６２ｆの側面６１ｃと、によって、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。   Further, in the physical quantity detection device 100, the impact in the X-axis direction is applied to the physical quantity detection device 100 by the side surface 51a of the second portion 52b of the third support portion 50 and the side surface 51c of the sixth portion 52f of the third support portion 50. When is added, it can suppress that the movable part 14 displaces to a X-axis direction. Similarly, displacement of the movable portion 14 in the X-axis direction can be suppressed by the side surface 61a of the second portion 62b of the fourth support portion 60 and the side surface 61c of the sixth portion 62f of the fourth support portion 60.

さらに、物理量検出デバイス１００では、第３支持部５０の第４部分５２ｄの側面５１ｂと、連結部４０の側面４１ａと、によって、物理量検出デバイス１００にＸ軸方向の衝撃が加えられた場合に、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。同様に、第４支持部６０の第４部分６２ｄの側面６１ｂと、連結部４０の側面４１ｂと、によって、可動部１４がＸ軸方向に変位することを抑制できる。   Furthermore, in the physical quantity detection device 100, when an impact in the X-axis direction is applied to the physical quantity detection device 100 by the side surface 51b of the fourth portion 52d of the third support unit 50 and the side surface 41a of the coupling unit 40, It can suppress that the movable part 14 displaces to a X-axis direction. Similarly, displacement of the movable portion 14 in the X-axis direction can be suppressed by the side surface 61b of the fourth portion 62d of the fourth support portion 60 and the side surface 41b of the connecting portion 40.

物理量検出デバイス１００によれば、平面視において、連結部４０から第３固定部５９まで延出している第３支持部５０は、曲がっており、連結部４０から第４固定部６９まで延出している第４支持部６０は、曲がっている。そのため、第３固定部５９および第４固定部６９をパッケージや回路基板などの外部部材に固定して、物理量検出デバイス１００を実装する際に、構造体１０１の線膨張係数と外部部材の線膨張係数との差により基板１０に生じる応力によって、物理量検出素子７０の共振周波数が変動することを抑制できる。   According to the physical quantity detection device 100, the third support portion 50 extending from the connecting portion 40 to the third fixing portion 59 is bent in the plan view, and extends from the connecting portion 40 to the fourth fixing portion 69. The fourth support portion 60 is bent. Therefore, when mounting the physical quantity detection device 100 with the third fixing portion 59 and the fourth fixing portion 69 fixed to an external member such as a package or a circuit board, the linear expansion coefficient of the structure 101 and the linear expansion of the external member It is possible to suppress the resonance frequency of the physical quantity detection element 70 from fluctuating due to the stress generated in the substrate 10 due to the difference from the coefficient.

物理量検出デバイス１００によれば、第２延出部２６は、第１固定部２９から−Ｘ軸方向に延出する部分（第１０部分２６ｆ）を有し、第４延出部３６は、第２固定部３９から＋Ｘ軸方向に延出する部分（第１０部分３６ｆ）を有している。さらに、第３支持部５０は、第３固定部５９から−Ｙ軸方向に延出する部分（第６部分５２ｆ）を有し、第４支持部６０は、第４固定部６９から−Ｙ軸方向に延出する部分（第６部分６２ｆ）を有している。そのため、例えば、物理量検出デバイス１００に衝撃が加えられた場合に、支持部２０，３０，５０，６０によって、Ｘ軸方向の衝撃およびＹ軸方向の衝撃を緩和することができる。   According to the physical quantity detection device 100, the second extending portion 26 includes a portion (tenth portion 26f) extending in the −X-axis direction from the first fixing portion 29, and the fourth extending portion 36 includes the first extending portion 36. 2 has a portion (tenth portion 36f) extending from the fixed portion 39 in the + X-axis direction. Further, the third support portion 50 has a portion (sixth portion 52f) extending from the third fixing portion 59 in the −Y axis direction, and the fourth support portion 60 extends from the fourth fixing portion 69 to the −Y axis. It has a portion (sixth portion 62f) extending in the direction. Therefore, for example, when an impact is applied to the physical quantity detection device 100, the impact in the X-axis direction and the impact in the Y-axis direction can be reduced by the support portions 20, 30, 50, 60.

物理量検出デバイス１００によれば、物理量検出デバイス１００の重心Ｇは、平面視において、固定部２９，３９，５９，６９に囲まれた範囲Ａ内に位置している。これにより、物理量検出デバイス１００は、安定して、パッケージなどの外部部材に固定されることができる。   According to the physical quantity detection device 100, the center of gravity G of the physical quantity detection device 100 is located in a range A surrounded by the fixed portions 29, 39, 59, and 69 in plan view. Thereby, the physical quantity detection device 100 can be stably fixed to an external member such as a package.

物理量検出デバイス１００によれば、第１支持部２０の厚さは、第１支持部２０の幅よりも大きく、第２支持部３０の厚さは、第２支持部３０の幅よりも大きい。そのため、物理量検出デバイス１００では、支持部２０，３０がＺ軸方向に変位することを抑制することができる。これにより、物理量検出デバイス１００は、例えば、高い検出感度を有することができる。さらに、物理量検出デバイス１００では、支持部５０，６０の厚さは、支持部５０，６０の幅よりも大きい。そのため、物理量検出デバイス１００では、支持部５０，６０がＺ軸方向に変位することを抑制することができる。   According to the physical quantity detection device 100, the thickness of the first support portion 20 is larger than the width of the first support portion 20, and the thickness of the second support portion 30 is larger than the width of the second support portion 30. Therefore, in the physical quantity detection device 100, it is possible to suppress the support portions 20 and 30 from being displaced in the Z-axis direction. Thereby, the physical quantity detection device 100 can have high detection sensitivity, for example. Furthermore, in the physical quantity detection device 100, the thickness of the support portions 50 and 60 is larger than the width of the support portions 50 and 60. Therefore, in the physical quantity detection device 100, it is possible to suppress the support portions 50 and 60 from being displaced in the Z-axis direction.

２． 物理量検出デバイスの変形例
次に、本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図７は、本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイス２００を模式的に示す平面図である。図８は、本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイス２００を模式的に示す平面図であって、図７で示す破線で囲まれた領域Ｂの拡大図である。なお、便宜上、図７では、質量部８０，８２を省略して図示している。また、図７および図８では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。 2. Modification of Physical Quantity Detection Device Next, a physical quantity detection device according to a modification of the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a plan view schematically showing a physical quantity detection device 200 according to a modification of the present embodiment. FIG. 8 is a plan view schematically showing a physical quantity detection device 200 according to a modification of the present embodiment, and is an enlarged view of a region B surrounded by a broken line shown in FIG. For the sake of convenience, in FIG. 7, the mass parts 80 and 82 are omitted. 7 and 8, the X axis, the Y axis, and the Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

以下、本実施形態の変形例に係る物理量検出デバイス２００において、本実施形態に係る物理量検出デバイス１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。   Hereinafter, in the physical quantity detection device 200 according to the modified example of the present embodiment, members having the same functions as those of the physical quantity detection device 100 according to the present embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. To do.

物理量検出デバイス１００では、図３に示すように、例えば、第１支持部２０の第１部分２２ａと第２部分２２ｂとの接続部は、直角をなす角部を有していた。これに対し、物理量検出デバイス２００では、図７および図８に示すように、第１支持部２０の第１部分２２ａと第２部分２２ｂとの接続部は、直角をなす角部を有さずに、平面視において、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して傾斜した傾斜面２を有している。   In the physical quantity detection device 100, as shown in FIG. 3, for example, the connection portion between the first portion 22a and the second portion 22b of the first support portion 20 has a corner portion forming a right angle. On the other hand, in the physical quantity detection device 200, as shown in FIGS. 7 and 8, the connection portion between the first portion 22a and the second portion 22b of the first support portion 20 does not have a right-angled corner portion. Moreover, it has the inclined surface 2 inclined with respect to the X-axis direction and the Y-axis direction in plan view.

同様に、第１支持部２０のＸ軸方向またはＹ軸方向に延出している各部分の接続部、および支持部３０，５０，６０のＸ軸方向またはＹ軸方向に延出している各部分の接続部についても、傾斜面２を有している。さらに、基部１０、可動部１４、および連結部４０についても、直角をなす角部を有さずに、傾斜面２を有している。   Similarly, the connection part of each part extended in the X-axis direction or the Y-axis direction of the first support part 20, and each part extended in the X-axis direction or the Y-axis direction of the support parts 30, 50, 60 The connecting portion also has an inclined surface 2. Furthermore, the base 10, the movable part 14, and the connecting part 40 also have the inclined surface 2 without having a right-angled corner.

例えば、構造体１０１を、水晶のＺ軸に垂直な平面を主面とするＺ板をウェットエッチングすることによって形成した場合、上述のように、構造体１０１は、直角をなす角部を有さずに、傾斜面２を有する。   For example, when the structure 101 is formed by wet-etching a Z plate whose main surface is a plane perpendicular to the Z-axis of quartz, the structure 101 has corners that form a right angle as described above. Without having an inclined surface 2.

傾斜面２は、図８に示すように平面視において、Ｘ軸またはＹ軸に平行な平坦面４（ＸＺ平面またはＹＺ平面に平行な面）に接続されている。すなわち、物理量検出デバイス２００では、傾斜面２同士は、接続されていない。   As shown in FIG. 8, the inclined surface 2 is connected to a flat surface 4 (a surface parallel to the XZ plane or the YZ plane) parallel to the X axis or the Y axis in plan view. That is, in the physical quantity detection device 200, the inclined surfaces 2 are not connected to each other.

物理量検出デバイス２００によれば、傾斜面２は、平坦面４に接続されており、傾斜面２同士は、接続されていない。すなわち、物理量検出デバイス２００では、支持部２０，３０，５０，６０の形状を、傾斜面２同士が接続されてないように設計している。例えば、傾斜面同士が接続されている形態では、衝撃が加わった場合、該衝撃によって、２つの傾斜面によって形成される角部に亀裂が生じる場合があり、物理量検出デバイスが破損する場合がある。物理量検出デバイス２００では、このような問題を回避することができる。   According to the physical quantity detection device 200, the inclined surface 2 is connected to the flat surface 4, and the inclined surfaces 2 are not connected to each other. That is, in the physical quantity detection device 200, the shapes of the support portions 20, 30, 50, and 60 are designed so that the inclined surfaces 2 are not connected to each other. For example, in the form in which the inclined surfaces are connected, when an impact is applied, the impact may cause a crack in the corner formed by the two inclined surfaces, and the physical quantity detection device may be damaged. . Such a problem can be avoided in the physical quantity detection device 200.

なお、図９および図１０に示すように、傾斜面２の代わりに、平面視において、円弧の形状を有する曲面６が設けられていてもよい。なお、図１０は、図９で示す破線で囲まれた領域Ｃの拡大図である。   9 and 10, instead of the inclined surface 2, a curved surface 6 having an arc shape may be provided in a plan view. FIG. 10 is an enlarged view of a region C surrounded by a broken line shown in FIG.

３． 物理量検出器
次に、本実施形態に係る物理量検出器について、図面を参照しながら説明する。図１１は、本実施形態に係る物理量検出器３００を模式的に示す平面図である。図１２は、本実施形態に係る物理量検出器３００を模式的に示す図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線断面図である。なお、図１１では、便宜上、リッド３３０の図示を省略している。 3. Physical Quantity Detector Next, the physical quantity detector according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a plan view schematically showing the physical quantity detector 300 according to the present embodiment. FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG. 11 schematically showing the physical quantity detector 300 according to the present embodiment. In FIG. 11, the lid 330 is not shown for convenience.

物理量検出器３００は、図１１および図１２に示すように、本発明に係る物理量検出デバイスと、パッケージ３１０と、を含む。以下では、本発明に係る物理量検出デバイスとして、物理量検出デバイス１００を用いた例について説明する。   As shown in FIGS. 11 and 12, the physical quantity detector 300 includes a physical quantity detection device according to the present invention and a package 310. Hereinafter, an example in which the physical quantity detection device 100 is used as a physical quantity detection device according to the present invention will be described.

パッケージ３１０は、物理量検出デバイス１００を収容している。パッケージ３１０は、パッケージベース３２０と、リッド３３０と、を有することができる。   The package 310 contains the physical quantity detection device 100. The package 310 can have a package base 320 and a lid 330.

パッケージベース３２０には、凹部３２１が形成され、凹部３２１内に物理量検出デバイス１００が配置されている。パッケージベース３２０の平面形状は、凹部３２１内に物理量検出デバイス１００を配置することができれば、特に限定されない。パッケージベース３２０としては、例えば、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどの材料を用いる。   A recess 321 is formed in the package base 320, and the physical quantity detection device 100 is disposed in the recess 321. The planar shape of the package base 320 is not particularly limited as long as the physical quantity detection device 100 can be disposed in the recess 321. As the package base 320, for example, a material such as an aluminum oxide sintered body, crystal, glass, silicon, or the like obtained by forming, laminating and firing ceramic green sheets is used.

なお、パッケージベース３２０の材質は、物理量検出デバイス１００の構造体１０１の材質と同じであってもよいし、異なってもよいが、本発明は、パッケージベース３２０の材質と構造体１０１の材質とが異なることにより、パッケージベース３２０の線膨張係数と構造体１０１の線膨張係数とが異なる場合に、特に有効である。   Note that the material of the package base 320 may be the same as or different from the material of the structure 101 of the physical quantity detection device 100, but the present invention relates to the material of the package base 320 and the material of the structure 101. This is particularly effective when the linear expansion coefficient of the package base 320 and the linear expansion coefficient of the structure 101 are different.

パッケージベース３２０は、パッケージベース３２０の内底面（凹部の内側の底面）３２２から、リッド３３０側に突出した段差部３２３を有することができる。段差部３２３は、例えば、凹部３２１の内壁に沿って設けられている。段差部３２３には、内部端子３４０，３４２が設けられている。   The package base 320 can have a stepped portion 323 that protrudes from the inner bottom surface (bottom surface inside the recess) 322 of the package base 320 to the lid 330 side. The step portion 323 is provided, for example, along the inner wall of the recess 321. Internal terminals 340 and 342 are provided on the stepped portion 323.

内部端子３４０，３４２は、物理量検出デバイス１００の固定部２９，３９に設けられた外部接続端子７９ａ，７９ｂと対向する位置（平面視において重なる位置）に設けられている。例えば、外部接続端子７９ａは、内部端子３４０と電気的に接続され、外部接続端子７９ｂは、内部端子３４２と電気的に接続されている。   The internal terminals 340 and 342 are provided at positions facing the external connection terminals 79a and 79b provided on the fixed portions 29 and 39 of the physical quantity detection device 100 (positions overlapping in plan view). For example, the external connection terminal 79 a is electrically connected to the internal terminal 340, and the external connection terminal 79 b is electrically connected to the internal terminal 342.

パッケージベース３２０の外底面（内底面３２２と反対側の面）３２４には、外部の部材に実装される際に用いられる外部端子３４４，３４６が設けられている。外部端子３４４，３４６は、図示しない内部配線を介して内部端子３４０，３４２と電気的に接続されている。例えば、外部端子３４４は、内部端子３４０と電気的に接続され、外部端子３４６は、内部端子３４２と電気的に接続されている。   External terminals 344 and 346 used for mounting on an external member are provided on the outer bottom surface (surface opposite to the inner bottom surface 322) 324 of the package base 320. The external terminals 344 and 346 are electrically connected to the internal terminals 340 and 342 via internal wiring (not shown). For example, the external terminal 344 is electrically connected to the internal terminal 340, and the external terminal 346 is electrically connected to the internal terminal 342.

内部端子３４０，３４２および外部端子３４４，３４６は、Ｗなどのメタライス層に、Ｎｉ、Ａｕなどの皮膜をめっきなどの方法により積層した金属膜からなる。   The internal terminals 340 and 342 and the external terminals 344 and 346 are made of a metal film in which a film such as Ni or Au is laminated on a metallized layer such as W by a method such as plating.

パッケージベース３２０には、凹部３２１の底部にパッケージ３１０の内部（キャビティー）を封止する封止部３５０が設けられている。封止部３５０は、パッケージベース３２０に形成された貫通孔３２５内に配置されている。貫通孔３２５は、外底面３２４から内底面３２２まで貫通している。図示の例では、貫通孔３２５は、外底面３２４側の孔径が内底面３２２側の孔径より大きい段付きの形状を有している。封止部３５０は、貫通孔３２５に、例えば、Ａｕ／Ｇｅ合金、はんだなどからなる封止材を配置し、加熱溶融後、固化させることで形成される。封止部３５０は、パッケージ３１０の内部を気密に封止する構成である。   The package base 320 is provided with a sealing portion 350 that seals the inside (cavity) of the package 310 at the bottom of the recess 321. The sealing part 350 is disposed in a through hole 325 formed in the package base 320. The through hole 325 penetrates from the outer bottom surface 324 to the inner bottom surface 322. In the illustrated example, the through hole 325 has a stepped shape in which the hole diameter on the outer bottom surface 324 side is larger than the hole diameter on the inner bottom surface 322 side. The sealing portion 350 is formed by disposing a sealing material made of, for example, Au / Ge alloy or solder in the through hole 325, and solidifying after heating and melting. The sealing unit 350 is configured to hermetically seal the inside of the package 310.

支持部２０，３０，５０，６０の固定部２９，３９，５９，６９は、接合部材３４３を介して、パッケージベース３２０の段差部３２３に固定されている。これにより、物理量検出デバイス１００は、パッケージベース３２０に実装され、パッケージ３１０内に収容される。   The fixing portions 29, 39, 59, and 69 of the support portions 20, 30, 50, and 60 are fixed to the step portion 323 of the package base 320 through the bonding member 343. Thereby, the physical quantity detection device 100 is mounted on the package base 320 and accommodated in the package 310.

固定部２９，３９が段差部３２３に固定されることにより、固定部２９，３９に設けられた外部接続端子７９ａ，７９ｂと、段差部３２３に設けられた内部端子３４０，３４２とは、接合部材３４３を介して、電気的に接続される。接合部材３４３としては、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合されたシリコーン樹脂系の導電性接着剤を用いる。   By fixing the fixing portions 29 and 39 to the stepped portion 323, the external connection terminals 79a and 79b provided in the fixing portions 29 and 39 and the internal terminals 340 and 342 provided in the stepped portion 323 are joined members. Electrical connection is established via H.343. As the bonding member 343, for example, a silicone resin-based conductive adhesive mixed with a conductive substance such as a metal filler is used.

リッド３３０は、パッケージベース３２０の凹部３２１を覆って設けられている。リッド３３０の形状は、例えば、板状である。リッド３３０としては、例えば、パッケージベース３２０と同じ材料や、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属を用いる。リッド３３０は、例えば、シームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材３３２を介して、パッケージベース３１０に接合されている。   The lid 330 is provided so as to cover the recess 321 of the package base 320. The shape of the lid 330 is, for example, a plate shape. As the lid 330, for example, the same material as the package base 320, or a metal such as Kovar, 42 alloy, stainless steel, or the like is used. The lid 330 is bonded to the package base 310 via a bonding member 332 such as a seam ring, low-melting glass, or adhesive.

リッド３３０をパッケージベース３１０接合した後、パッケージ３１０の内部が減圧された状態（真空度の高い状態）で、貫通孔３２５内に封止材を配置し、加熱溶融後、固化させて封止部３５０を形成することにより、パッケージ３１０内を気密に封止することができる。パッケージ３１０の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。   After the lid 330 is bonded to the package base 310, a sealing material is disposed in the through-hole 325 in a state where the inside of the package 310 is decompressed (high vacuum state), heated and melted, solidified, and sealed. By forming 350, the inside of the package 310 can be hermetically sealed. The interior of the package 310 may be filled with an inert gas such as nitrogen, helium, or argon.

物理量検出器３００において、外部端子３４４，３４６、内部端子３４０，３４２、外部接続端子７９ａ，７９ｂ、接続端子７６ａ，７６ｂなどを経由して、物理量検出デバイス１００の励振電極に駆動信号がされると、物理量検出素子１００の振動梁部７１ａ，７１ｂは、所定の周波数で振動（共振）する。そして、物理量検出器３００は、印加される加速度に応じて変化する物理量検出素子１００の共振周波数を出力信号として、出力することができる。   In the physical quantity detector 300, when a drive signal is applied to the excitation electrode of the physical quantity detection device 100 via the external terminals 344 and 346, the internal terminals 340 and 342, the external connection terminals 79a and 79b, the connection terminals 76a and 76b, and the like. The vibrating beam portions 71a and 71b of the physical quantity detection element 100 vibrate (resonate) at a predetermined frequency. The physical quantity detector 300 can output, as an output signal, the resonance frequency of the physical quantity detection element 100 that changes according to the applied acceleration.

物理量検出器３００によれば、高い検出感度を有することができる物理量検出デバイス１００を含む。そのため、物理量検出器３００は、高い検出感度を有することができる。   The physical quantity detector 300 includes the physical quantity detection device 100 that can have high detection sensitivity. Therefore, the physical quantity detector 300 can have high detection sensitivity.

なお、図示はしないが、物理量検出デバイス１００が配置される凹部は、パッケージベース３２０およびリッド３３０の両方に形成されていてもよいし、リッド３３０にのみ形成されていてもよい。   Although not illustrated, the concave portion in which the physical quantity detection device 100 is disposed may be formed in both the package base 320 and the lid 330, or may be formed only in the lid 330.

４． 電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について説明する。以下では、本実施形態に係る電子機器として、本発明に係る物理検出デバイス（以下の例では物理検出デバイス１００）を含む傾斜計について、図面を参照しながら説明する。図１３は、本実施形態に係る傾斜計４００を模式的に示す斜視図である。 4). Next, an electronic device according to the present embodiment will be described. Hereinafter, as an electronic apparatus according to the present embodiment, an inclinometer including a physical detection device according to the present invention (physical detection device 100 in the following example) will be described with reference to the drawings. FIG. 13 is a perspective view schematically showing an inclinometer 400 according to the present embodiment.

傾斜計４００は、図１３に示すように、物理量検出デバイス１００を、傾斜センサーとして含んでいる。   As shown in FIG. 13, the inclinometer 400 includes the physical quantity detection device 100 as an inclination sensor.

傾斜計４００は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計４００は、外部からケーブル４１０を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって物理量検出デバイス１００に駆動信号が送られている。   The inclinometer 400 is installed at a place to be measured such as a mountain slope, a road slope, or a retaining wall of embankment, for example. The inclinometer 400 is supplied with power from the outside via a cable 410 or has a built-in power supply, and a drive signal is sent to the physical quantity detection device 100 by a drive circuit (not shown).

そして、傾斜計４００は、図示しない検出回路によって、物理量検出デバイス１００に加わる重力加速度に応じて変化する共振周波数から、傾斜計４００の姿勢の変化（傾斜計４００に対する重力加速度が加わる方向の変化）を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線などで基地局にデータ転送する。これにより、傾斜計４００は、異常の早期発見に貢献することができる。   Then, the inclinometer 400 changes the attitude of the inclinometer 400 (change in the direction in which the gravitational acceleration is applied to the inclinometer 400) from the resonance frequency that changes according to the gravitational acceleration applied to the physical quantity detection device 100 by a detection circuit (not shown). Is converted into an angle, and data is transferred to the base station by radio, for example. Thereby, the inclinometer 400 can contribute to the early detection of abnormality.

傾斜計４００によれば、高い検出感度を有することができる物理量検出デバイス１００を含む。そのため、傾斜計４００は、高い検出感度を有することができる。   The inclinometer 400 includes the physical quantity detection device 100 that can have high detection sensitivity. Therefore, the inclinometer 400 can have high detection sensitivity.

本発明に係る物理量検出デバイスは、上記の傾斜計に限らず、地震計、ナビゲーション装置、姿勢制御装置、ゲームコントローラー、携帯電話などの加速度センサー、傾斜センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態および変形例で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。   The physical quantity detection device according to the present invention is not limited to the inclinometer, but can be suitably used as an acceleration sensor, an inclination sensor, etc. for a seismometer, a navigation device, an attitude control device, a game controller, a mobile phone, etc. Even in this case, it is possible to provide an electronic apparatus that exhibits the effects described in the embodiment and the modification.

上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。   The above-described embodiments and modifications are merely examples, and the present invention is not limited to these. For example, it is possible to appropriately combine each embodiment and each modification.

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。   The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same objects and effects). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.

２…傾斜面、４…平坦面、６…曲面、１０…基部、１０ａ，１０ｂ…主面、１２…継ぎ手部、１２ａ，１２ｂ…溝部、２０…第１支持部、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ…側面、２２…第１延出部、２２ａ…第１部分、２２ｂ…第２部分、２２ｃ…第３部分、２２ｄ…第４部分、２４…第１折返し部、２６…第２延出部、２６ａ…第５部分、２６ｂ…第６部分、２６ｃ…第７部分、２６ｄ…第８部分、２６ｅ…第９部分、２６ｆ…第１０部分、２９…第１固定部、３０…第２支持部、３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ…側面、３２…第３延出部、３２ａ…第１部分、３２ｂ…第２部分、３２ｃ…第３部分、３２ｄ…第４部分、３４…第２折返し部、３６…第４延出部、３６ａ…第５部分、３６ｂ…第６部分、３６ｃ…第７部分、３６ｄ…第８部分、３６ｅ…第９部分、３６ｆ…第１０部分、３９…第２固定部、４０…連結部、４１ａ，４１ｂ…側面、４２ａ…第１部分、４２ｂ…第２部分、４２ｃ…第３部分、５０…第３支持部、５１ａ，５１ｂ，５１ｃ…側面、５２ａ…第１部分、５２ｂ…第２部分、５２ｃ…第３部分、５２ｄ…第４部分、５２ｅ…第５部分、５２ｆ…第６部分、５９…第３固定部、６０…第４支持部、６１ａ，６１ｂ，６１ｃ…側面、６２ａ…第１部分、６２ｂ…第２部分、６２ｃ…第３部分、６２ｄ…第４部分、６２ｅ…第５部分、６２ｆ…第６部分、６９…第４固定部、７０…物理量検出素子、７１ａ，７１ｂ…振動梁部、７２ａ，７２ｂ…ベース部、７４ａ，７４ｂ…引き出し電極、７６ａ，７６ｂ…接続端子、７８…ワイヤー、７９ａ，７９ｂ…外部接続端子、８０，８２…質量部、８４，８６…接合部材、１００…物理量検出デバイス、１０１…構造体、２００…物理量検出デバイス、３００…物理量検出器、３１０…パッケージ、３２０…パッケージベース、３２１…凹部、３２２…内底面、３２３…段差部、３２４…外底面、３２５…貫通孔、３３０…リッド、３３２…接合部材、３４０，３４２…内部端子、３４３…接合部材、３４４，３４６…外部端子、３５０…封止部、４００…傾斜計、４１０…ケーブル 2 ... Inclined surface, 4 ... Flat surface, 6 ... Curved surface, 10 ... Base part, 10a, 10b ... Main surface, 12 ... Joint part, 12a, 12b ... Groove part, 20 ... First support part, 21a, 21b, 21c, 21d ... side face, 22 ... first extension part, 22a ... first part, 22b ... second part, 22c ... third part, 22d ... fourth part, 24 ... first folding part, 26 ... second extension part, 26a ... 5th part, 26b ... 6th part, 26c ... 7th part, 26d ... 8th part, 26e ... 9th part, 26f ... 10th part, 29 ... 1st fixing | fixed part, 30 ... 2nd support part, 31a, 31b, 31c, 31d ... side face, 32 ... third extending part, 32a ... first part, 32b ... second part, 32c ... third part, 32d ... fourth part, 34 ... second folded part, 36 ... 4th extension part, 36a ... 5th part, 36b ... 6th part, 36c ... 7th part, 36d ... Part, 36e ... ninth part, 36f ... tenth part, 39 ... second fixing part, 40 ... connecting part, 41a, 41b ... side face, 42a ... first part, 42b ... second part, 42c ... third part, 50 ... 3rd support part, 51a, 51b, 51c ... Side surface, 52a ... 1st part, 52b ... 2nd part, 52c ... 3rd part, 52d ... 4th part, 52e ... 5th part, 52f ... 6th part 59 ... third fixing portion, 60 ... fourth support portion, 61a, 61b, 61c ... side surface, 62a ... first portion, 62b ... second portion, 62c ... third portion, 62d ... fourth portion, 62e ... first. 5 part, 62f ... 6th part, 69 ... 4th fixed part, 70 ... physical quantity detection element, 71a, 71b ... vibration beam part, 72a, 72b ... base part, 74a, 74b ... extraction electrode, 76a, 76b ... connection terminal 78 ... Wire, 79a, 79b ... Outside Connection terminal, 80, 82 ... mass part, 84, 86 ... joining member, 100 ... physical quantity detection device, 101 ... structure, 200 ... physical quantity detection device, 300 ... physical quantity detector, 310 ... package, 320 ... package base, 321 ... concave portion, 322 ... inner bottom surface, 323 ... stepped portion, 324 ... outer bottom surface, 325 ... through hole, 330 ... lid, 332 ... joining member, 340, 342 ... internal terminal, 343 ... joining member, 344, 346 ... external terminal 350 ... Sealing part 400 ... Inclinometer 410 ... Cable

Claims (8)

基部と、
前記基部に継ぎ手部を介して接続された可動部と、
前記基部と前記可動部とに固定されている物理量検出素子と、
前記基部から第１固定部まで延出している第１支持部と、
前記基部から第２固定部まで延出している第２支持部と、
を含み、
前記可動部の厚み方向に沿った平面視において、
前記可動部の少なくとも一部を挟む位置に前記第１支持部と前記第２支持部とが配置され、
前記第１支持部は、
前記基部よりも前記基部から前記可動部に向かう方向である第１方向に位置している第１折返し部と、
前記基部から前記第１折返し部まで、延出している第１延出部と、
前記第１折返し部から、前記第１折返し部よりも前記第１方向に対し反対向きの第２方向に位置している前記第１固定部まで、延出している第２延出部と、
を有し、
前記第１延出部は、前記第２延出部側に曲がった構造部を有しており、
前記第２延出部は、前記第１延出部側に曲がった構造部を有しており、
前記第２支持部は、
前記基部よりも前記第１方向に位置している第２折返し部と、
前記基部から前記第２折返し部まで、延出している第３延出部と、
前記第２折返し部から、前記第２折返し部よりも前記第２方向に位置している前記第２固定部まで、延出している第４延出部と、
を有し、
前記第３延出部は、前記第４延出部側に曲がった構造部を有しており、
前記第４延出部は、前記第３延出部側に曲がった構造部を有している、物理量検出デバイス。 The base,
A movable part connected to the base part via a joint part;
A physical quantity detection element fixed to the base and the movable part;
A first support portion extending from the base portion to the first fixed portion;
A second support portion extending from the base portion to the second fixed portion;
Including
In a plan view along the thickness direction of the movable part,
The first support part and the second support part are arranged at a position sandwiching at least a part of the movable part,
The first support part is
A first folded portion located in a first direction which is a direction from the base toward the movable portion rather than the base;
A first extending portion extending from the base portion to the first folded portion;
A second extending portion extending from the first folded portion to the first fixed portion located in a second direction opposite to the first direction than the first folded portion;
Have
The first extension part has a structure part bent toward the second extension part side,
The second extension part has a structure part bent toward the first extension part side,
The second support part is
A second folded portion located in the first direction with respect to the base portion;
A third extending portion extending from the base portion to the second folded portion;
A fourth extending portion extending from the second folded portion to the second fixed portion located in the second direction rather than the second folded portion;
Have
The third extension part has a structure part bent toward the fourth extension part side,
The fourth extension part is a physical quantity detection device having a structure part bent toward the third extension part. 請求項１において、
前記第１延出部の前記第２延出部側に曲がった構造部の側面である第１側面と、前記第２延出部の前記第１延出部側に曲がった構造部の側面である第２側面とは、それぞれ平坦な面であり、且つ、対向して配置されており、
前記第３延出部の前記第４延出部側に曲がった構造部の側面である第３側面と、前記第４延出部の前記第３延出部側に曲がった構造部の側面である第４側面とは、それぞれ平坦な面であり、且つ、対向して配置されている、物理量検出デバイス。 In claim 1,
A first side surface which is a side surface of the structure portion bent toward the second extension portion of the first extension portion, and a side surface of the structure portion bent toward the first extension portion of the second extension portion. A certain second side surface is a flat surface and is disposed to face each other.
A third side surface that is a side surface of the third extending portion bent toward the fourth extending portion side, and a side surface of the structure portion bent toward the third extending portion side of the fourth extending portion. A certain 4th side is a physical quantity detection device which is a flat surface, respectively, and is arranged facing. 請求項１または２において、
前記第１支持部および前記第２支持部のうち少なくとも一方、または前記基部から延出している連結部と、
前記連結部から第３固定部まで延出している第３支持部と、
前記連結部から第４固定部まで延出している第４支持部と、
をさらに含み、
前記平面視において、
前記連結部は、前記可動部と間隙を介して前記第１方向に位置し、
前記第３支持部は、曲がった構造部を有しており、
前記第４支持部は、曲がった構造部を有している、物理量検出デバイス。 In claim 1 or 2,
At least one of the first support part and the second support part, or a connecting part extending from the base part;
A third support portion extending from the connecting portion to a third fixed portion;
A fourth support portion extending from the connecting portion to a fourth fixed portion;
Further including
In the plan view,
The connecting part is located in the first direction with a gap between the movable part,
The third support part has a bent structure part,
The fourth support part is a physical quantity detection device having a bent structure part. 請求項３において、
前記第２延出部は、
前記第１方向と交差する第３方向に延出している部分を有し、
前記第４延出部は、
前記第３方向に対し反対向きの第４方向に延出している部分を有し、
前記第３支持部は、
前記第２方向に延出している部分を有し、
前記第４支持部は、
前記第２方向に延出している部分を有している、物理量検出デバイス。 In claim 3,
The second extension part is
A portion extending in a third direction intersecting the first direction;
The fourth extension part is
A portion extending in a fourth direction opposite to the third direction;
The third support part is
A portion extending in the second direction;
The fourth support portion is
A physical quantity detection device having a portion extending in the second direction. 請求項３または４において、
前記平面視において、前記第１固定部、前記第２固定部、前記第３固定部、および前記第４固定部に囲まれた範囲内に、重心がある、物理量検出デバイス。 In claim 3 or 4,
The physical quantity detection device having a center of gravity within a range surrounded by the first fixing unit, the second fixing unit, the third fixing unit, and the fourth fixing unit in the plan view. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記第１支持部の厚さは、前記第１支持部の幅よりも大きく、
前記第２支持部の厚さは、前記第２支持部の幅よりも大きく、
前記第１支持部の厚さは、前記第１支持部の前記可動部の厚み方向の大きさであり、
前記第２支持部の厚さは、前記第２支持部の前記可動部の厚み方向の大きさである、物理量検出デバイス。 In any one of Claims 1 thru | or 5,
The thickness of the first support part is larger than the width of the first support part,
The thickness of the second supporting portion is much larger than the width of the second supporting portion,
The thickness of the first support portion is the size of the movable portion of the first support portion in the thickness direction,
The thickness of the said 2nd support part is a physical quantity detection device which is the magnitude | size of the thickness direction of the said movable part of the said 2nd support part . 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量検出デバイスと、
前記物理量検出デバイスを収容するパッケージと、
を含む、物理量検出器。 The physical quantity detection device according to any one of claims 1 to 6,
A package containing the physical quantity detection device;
Including a physical quantity detector. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量検出デバイスを含む、電子機器。   An electronic apparatus comprising the physical quantity detection device according to claim 1.
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