JP5946198B2 - 高抵抗率の金属ファンアウト - Google Patents

Description

本発明は、一般的に、基板上に金属トレースを形成することに係り、より詳細には、高抵抗率の導電性材料を使用して、トレースの信頼性を改善し、ノイズを減少し、且つ製造コストを低下できるように、タッチセンサパネルの境界エリアに金属トレースを形成することに係る。

コンピューティングシステムにおいて操作を遂行するための多くの形式の入力装置、例えば、ボタン又はキー、マウス、トラックボール、ジョイスティック、タッチセンサパネル、タッチスクリーン等を現在入手することができる。特に、タッチスクリーンは、操作が容易で多様性があり、又、価格も低下していることから、益々普及してきている。タッチスクリーンは、タッチ感知面を伴う透明パネルであるタッチセンサパネルと、パネルの後方に一部分又は全体的に配置できる液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のようなディスプレイ装置とを備え、ディスプレイ装置の可視エリアの少なくとも一部分をタッチ感知面で覆うことができるようになっている。タッチスクリーンは、ディスプレイ装置により表示されているユーザインターフェイス（ＵＩ）によって指示された位置において、ユーザが指、スタイラス又は他の物体を使用してタッチセンサパネルにタッチすることにより、種々のファンクションを遂行できるようにする。一般的に、タッチスクリーンは、タッチセンサパネル上のタッチ事象及びタッチ事象の位置を確認することができ、次いで、コンピューティングシステムは、タッチ事象の時間に現れる表示に基づいてタッチ事象を解釈し、その後、タッチ事象に基づいて１つ以上のアクションを遂行することができる。

相互キャパシタンスタッチセンサパネルは、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）のような実質的に透明な導電性材料のドライブ線及びセンス線のマトリクスを、多くの場合、実質的に透明な基板上に水平及び垂直方向に行及び列に配置することから形成することができる。あるタッチセンサパネル設計では、透明である必要がない基板の境界エリアに金属トレースを使用するオフボード接続のために基板の片縁へ実質的に透明のドライブ線及び／又はセンス線を引き回すことができる。これらの金属トレースは、薄いものであるから、低抵抗の導電性材料が必要となる。このようなトレースを生成するには、低抵抗の材料を基板に接着してトレースを形成するように、導電性材料の複数の層が必要となる。しかしながら、複数の層の処理は、製造コストを高めることになる。更に、これら薄い金属層の積層体を製造するときは、信頼性の問題が生じる。更に、これらの薄い金属トレースは、ＬＣＤのようなノイズ源からの最大の遮蔽を与えない。

本発明は、タッチセンサパネルの境界エリアに金属トレースを形成して、信頼性を改善し、ノイズ除去を良好にし、製造コストを下げることに係る。タッチセンサパネルの両側の境界エリアにおいて２つの連続する行を金属トレースに結合できるように、金属トレースをタッチセンサパネル上の行にインターリーブ式に結合することができる。更に、ある実施形態では、境界エリアで利用できる全巾を利用することにより、抵抗率の高い金属から金属トレースを形成することができ、製造コストを下げると共に、トレースの信頼性を改善することができる。又、広いトレースは、より大きな固定電位表面積を与えると共に、ドライブ線を固定電位に有効に結合することにより、ＬＣＤのようなノイズ源からの優れたノイズ耐性を与えることもできる。

金属トレースを境界エリアの利用可能な巾いっぱいにすることにより、トレースをより広くし、従って、トレースの全体的な線抵抗を下げるか、又は同じ全体的線抵抗に対して材料の抵抗率を上げることができる。例えば、厚みが約３０００ないし５０００Åのモリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）の単一の厚くて広い層を基板上に形成することができる。Ｍｏ／Ｎｂの高い抵抗率は、Ｍｏ／Ｎｂ層の巾及び高さの増加により補償される。Ｍｏ／Ｎｂ層が好ましい厚みに堆積された後に、それをパターン化（エッチング）してトレースを形成することができる。次いで、ＩＴＯのような導電性材料の層をＭｏ／Ｎｂ層の上に形成することができる。次いで、導電性材料層は、金属トレースに結合するドライブ線又はセンス線を形成するようにパターン化できると共に、Ｍｏ／Ｎｂトレースのための別の保護層を形成するようにＭｏ／Ｎｂトレース上でパターン化することもできる。次いで、酸化シリコン（ＳｉＯ₂）のような金属の保護層をＭｏ／Ｎｂ層及び導電性材料層の上に形成することができる。

一般的に、抵抗率の高い材料を使用できることは、材料積層体に大きな融通性を与えることができる。例えば、２導電層の実施形態では、薄い高導電率材料の３層積層体に比して、製造コストを下げることができる。又、導電層の数が少ないと、多層積層体がパターン化されるときに生じる側壁制御の問題が減少される。更に、広くて、厚いトレースは、一般的に、信頼性が高い。というのは、エッチング欠陥、腐食、又は他の環境的影響が、薄いトレースの場合のように容易に問題を招くことがないからである。

上述した実施形態は、抵抗率の高い導電性材料を使用するが、このような材料を使用する必要はない。抵抗率の低い材料を使用して広いトレースを形成する場合には、線抵抗を更に低くすることができる。この低い線抵抗は、広い行トレースに対して接地（又はある固定電位）への良好な結合を発生して、行のノイズシールド有効性を改善することができる。或いは又、トレースの巾を細く保った状態で低抵抗材料を使用することができる。細い金属トレースは、タッチセンサパネルの巾を減少することができる。例えば、低抵抗材料を含む薄い３層積層体を使用することができ、あるケースでは、交互の化学物質の２層積層体の開発より低廉である。

本発明の実施形態によるタッチセンサパネルの境界エリアにおいてドライブ線又はセンス線を表す行トレース及び細い線として象徴的に表された金属トレースを示す上面図である。 本発明の実施形態に基づき代表的な巾（一定の縮尺率ではない）で金属トレースが描かれた図１Ａの規範的タッチセンサパネルを示す図である。 本発明の実施形態に基づき６個の金属トレースから７個の金属トレースへの遷移が生じる境界エリアの規範的位置の拡大図である。 本発明の実施形態に基づくタッチセンサパネルの境界エリアに広いトレースを形成するのに使用できる高抵抗率材料の規範的積層体を示す図である。 本発明の実施形態に基づくタッチセンサパネルの境界エリアに細いトレースを形成するのに使用できる低抵抗率材料の規範的積層体を示す図である。 本発明の実施形態に基づくタッチセンサパネルの境界エリアに広い導電性トレースを有する規範的な両面型ＩＴＯ（ＤＩＴＯ）タッチセンサパネルを示す。 本発明の実施形態に基づき境界エリアに改良された金属トレースを使用するタッチセンサパネルを含む規範的コンピューティングシステムを示す。 本発明の実施形態に基づき境界エリアに改良された金属トレースを含むタッチセンサパネルを有する規範的移動電話を示す。 本発明の実施形態に基づき境界エリアに改良されたトレースを含むタッチセンサパネルを有する規範的デジタルメディアプレーヤを示す。

本発明を具現化できる特定の実施形態を一例として示した添付図面を参照して好ましい実施形態を以下に説明する。他の実施形態を使用することもできるし、本発明の実施形態の範囲から逸脱せずに構造上の変更も可能であることを理解されたい。

本発明は、タッチセンサパネルの境界エリアに金属トレースを形成して、信頼性を改善し、ノイズ除去を良好にし、製造コストを下げることに係る。タッチセンサパネルの両側の境界エリアにおいて２つの連続する行を金属トレースに結合できるように、金属トレースをタッチセンサパネル上の行にインターリーブ式に結合することができる。更に、境界エリアで利用できる全巾を利用することにより、抵抗率の高い金属から金属トレースを形成することができ、製造コストを下げると共に、トレースの信頼性を改善することができる。又、広いトレースは、より大きな固定電位表面積を与えると共に、ドライブ線を固定電位に有効に結合することにより、ＬＣＤのようなノイズ源からの優れたノイズ耐性を与えることもできる。

本発明の実施形態は、相互キャパシタンスタッチセンサパネルに関してここに図示して説明するが、本発明の実施形態は、それに限定されず、自己キャパシタンスセンサパネルや、タッチセンサパネルの境界エリアに金属トレースを製造することが要求される単一及び複数タッチセンサパネルにも適用することができる。更に、本発明の実施形態は、両面型ＩＴＯ（ＤＩＴＯ）タッチセンサパネルに関してここに図示して説明するが、本発明の実施形態は、他のタッチセンサパネル構成、例えば、ドライブ線及びセンス線が異なる基板上に形成されるか又はカバーガラスの背面に形成される構成、ドライブ線及びセンス線が単一基板の同じ側に形成される構成、及びドライブ線及びセンス線が行列以外の幾何学形状で形成される構成にも適用できることを理解されたい。

図１Ａは、本発明の実施形態によるタッチセンサパネル１１０の境界エリア１０６及び１０８においてドライブ線又はセンス線を表す行トレース（Ｒ０−Ｒ７）１００及び細い線として象徴的に表された導電性トレース１０２及び１０４を示す上面図である。境界エリア１０６及び１０８の長さを完全に利用するため、ある実施形態では、行トレース１００を図１Ａに示すようにインターリーブ式に金属トレース１０２及び１０４に結合することができ、その結果、ある金属トレースは、タッチセンサパネル１１０の全長に延びる。しかしながら、別の実施形態では、インターリーブを使用する必要がなく、金属トレースをタッチセンサパネルの各側で境界エリアのいずれか又は両方に引き回すことができる。図１Ａの例では、行Ｒ０、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、左側の境界エリア１０６において金属トレース１０２に結合され、一方、インターリーブされた行Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６及びＲ７は、右側の境界エリア１０８において金属トレース１０４に結合される。図１Ａにおける行の呼称Ｒ０−Ｒ７は、単なる例に過ぎず、他の行呼称（下から上へ順次Ｒ０からＲ７）も考えられる。

図１Ｂは、本発明の実施形態に基づき導電性トレース１０２及び１０４が代表的な巾（一定の縮尺率ではない）で描かれた図１Ａの規範的タッチセンサパネル１１０を示す。図１Ｂの例では、境界エリア１０６及び１０８の巾を完全に利用するために、導電性トレース１０２及び１０４は、タッチセンサパネル１１０の長さに沿った位置に存在するトレースの数に基づいて広くすることができる。例えば、位置Ａ（行Ｒ０及びＲ４の側部）では、１つの金属トレースしか存在せず、従って、トレース部分１１１−Ａは、利用可能な全境界エリアを埋める。位置Ｂ（行Ｒ１及びＲ５の側部）では、２つの金属トレースが存在し、従って、２つのトレース部分１１１−Ｂ及び１１２−Ｂは、トレース間の分離エリアを除いて利用可能な全境界エリアを埋めるに充分な広さで、同じ巾とすることができる。位置Ｃ（行Ｒ２及びＲ６の側部）では、３つの金属トレースが存在し、従って、３つのトレース部分１１１−Ｃ、１１２−Ｃ及び１１４−Ｃは、トレース間の分離エリアを除いて利用可能な全境界エリアを埋めるに充分な広さで、同じ巾とすることができる。位置Ｄ（行Ｒ３及びＲ７の側部）では、４つの金属トレースが存在し、従って、４つのトレース部分１１１−Ｄ、１１２−Ｄ、１１４−Ｄ及び１１６−Ｄは、トレース間の分離エリアを除いて利用可能な全境界エリアの利用可能な全巾を埋めるに充分な広さで、同じ巾とすることができる。境界エリア１０８の金属トレース１０４についても、同様のトレース構造を使用することができる。図１Ｂの実施形態は、利用可能な境界エリアを埋めるために金属トレースが同じ巾にされることを示しているが、別の実施形態では、トレースが、同じ巾でなくてもよい。例えば、長いトレースは、短いトレースより広くてもよい。

金属トレース１０２及び１０４を境界エリア１０６及び１０８の利用可能な巾いっぱいにすることにより、トレースを広くすることができ、従って、トレースの全体的線抵抗を下げることができ、又は同じ全体的線抵抗に対して材料の抵抗率を上げることができる。例えば、金属トレースとして０．４Ω／平方のモリブデン／アルミニウム／モリブデン（Ｍｏ／Ａｌ／Ｍｏ）積層体を使用するのではなく、抵抗率が１．０Ω／平方の材料を使用することができる。

図１Ｃは、本発明の実施形態に基づき６個から７個への導電性トレース１０２の遷移が生じる境界エリアの規範的位置の拡大図である。図１Ｃの例に示すように、トレースを狭くする必要のある各点において、アングル状の引き回しスキームを使用して、直角の引き回しを回避すると共に、トレースの巾を維持するよう保証できるが、直角の引き回しスキームは必要とされないことを理解されたい。

図２Ａは、本発明の実施形態に基づくタッチセンサパネルの境界エリアに広いトレースを形成するのに使用できる高抵抗率材料の規範的積層体２００を示す。図２Ａの例において、厚みが約３０００から５０００Åのモリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）の単一の厚い広い層２０４を基板２０６上に形成することができる。Ｍｏ／Ｎｂの高い抵抗率は、Ｍｏ／Ｎｂ層の巾及び高さの増加によって補償される。Ｍｏ／Ｎｂ層２０４が好ましい厚みで堆積された後に、それをパターン化（エッチング）して、トレースを形成することができる。次いで、Ｍｏ／Ｎｂ層２０４の上にＩＴＯのような導電性材料の層２２４を形成することができる。この導電性材料層２２４は、金属トレースに結合するドライブ線又はセンス線を形成するようにパターン化できると共に、Ｍｏ／Ｎｂトレースに対する別の保護層を形成するようにＭｏ／Ｎｂトレース２０４上でパターン化することもできる。図２Ａは、Ｍｏ／Ｎｂ層２０４の上に形成される導電性材料２２４を示しているが、別の実施形態では、逆の積層体を使用することもできる。換言すれば、導電性材料の上にＭｏ／Ｎｂ層を形成することができる。次いで、Ｍｏ／Ｎｂ層２０４及び導電性材料層２２４の上に酸化シリコン（ＳｉＯ₂）のような材料の保護層２１０を形成することができる。積層体２００の材料の典型的な厚みは、Ｍｏ／Ｎｂ層２０４に対して約３０００から５０００Åであり、導電性材料層２２４に対して約１００から２００Åであり、そして保護層２１０に対して約３００から１０００Åである。

一般的に、抵抗率の高い材料を使用できることは、材料積層体に大きな融通性を与えることができる。例えば、図２Ａの実施形態は、２つの導電層しか使用しないので、薄い高導電率材料の３層積層体に比して、製造コストを下げることができる。又、導電層の数が少ないと、多層積層体がパターン化されるときに生じる側壁制御の問題も減少される。更に、広くて、厚いトレースは、一般的に、信頼性が高い。というのは、エッチング欠陥、腐食、又は他の環境的影響が、薄いトレースの場合のように容易に問題を招くことがないからである。

上述した実施形態は、高抵抗率の導電性材料を使用するが、このような材料を使用する必要はない。抵抗率の低い材料を使用して広いトレースを形成する場合には、線抵抗を更に低くすることができる。この低い線抵抗は、広い行トレースに対して接地（又はある固定電位）への良好な結合を発生して、行のノイズシールド有効性を改善することができる。或いは又、トレースの巾を細く保った状態で低抵抗材料を使用することができる。細い金属トレースは、タッチセンサパネルの巾を減少することができる。例えば、低抵抗材料を含む薄い３サブ層積層体を使用することができ、あるケースでは、交互の化学物質の２層積層体の開発より低廉である。

図２Ｂは、本発明の実施形態に基づくタッチセンサパネルの境界エリアに細いトレースを形成するのに使用できる低抵抗率材料の規範的積層体２１２を示す図である。図２Ｂの例では、当該信号を搬送するのに使用される一次導電性トレースは、アルミニウムネオジム（Ａｌ／Ｎｄ）の層２０２であるが、同様の特性を持つ他の材料を使用することもできる。（ここで規定する当該信号は、交流（ＡＣ）信号、実質的に一定電圧の直流（ＤＣ）信号、及びＤＣ信号のパルス又は他の瞬間的な揺動を含むが、これらに限定されない。）Ａｌ／Ｎｄは、基板２０６に良好に接着しないので、別の金属であるモリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）の層２０４を基板２０６に最初に形成して、基板へのＡｌ／Ｎｄの接着性を向上させることができるが、同様の特性をもつ他の材料を使用することもできる。次いで、Ｍｏ／Ｎｂ層２０４の上にＡｌ／Ｎｄ層２０２を形成することができる。次いで、Ａｌ／Ｎｄ層２０２の上に、高腐食性のＡｌ／Ｎｄに対する大気からの付加的な保護手段として、Ｍｏ／Ｎｂ（又は他の同様の材料）の第２層２０８を形成することができる。これら３つの層は、各層を次々に付着するために３つのチャンバーを使用するインラインプロセスとして本質的に１つのステップで付着させることができる。次いで、３つの層を一緒にエッチングしてトレースを形成することができるが、他の実施形態では、３つの各層を個々に付着してパターン化した後に、次の層を付着することもできる。次いで、３層積層体の上にＩＴＯのような導電性材料の層２２４を形成することができる。この導電性材料層２２４は、金属トレースへ結合するドライブ線又はセンス線を形成するようにパターン化できると共に、積層体のための別の保護層を形成するように３層積層体の上でパターン化することもできる。次いで、形成されたトレースを保護するために、トレースの上に、スパッタ可能な材料（例えば、ＳｉＯ₂）の第１の不動態層２１０を付着することができるが、同様の特性をもつ他の材料を使用することもできる。

図３は、本発明の実施形態に基づくタッチセンサパネルの境界エリアに広い導電性トレース３１６（破線で象徴的に示された）を有する規範的なＤＩＴＯタッチセンサパネル３００を示す。（図示明瞭化のためにｚ方向に著しく誇張されて）図３に示すように、ＤＩＴＯマルチタッチセンサパネル３００は、基板３０６の短い縁３０４で終了する列トレース３０２（例えば、センス線）を有し、これは、短い縁の全巾に延びて基板の上面のボンドパッド３１０に接合できる広いフレックス回路部分３０８を有するフレックス回路３２４を必要とする。

列トレース３０２（例えば、センス線）及び行トレース３１２（例えば、ドライブ線）をボンディングエリア３１４において互いに交差させることは望ましくなく、又、基板３０６の直接対向する面にボンドパッド３１０及び３１８を形成することも望ましくない。というのは、このようなエリアは、望ましからぬ漂遊相互キャパシタンス及び信号の結合を生じさせるからである。それ故、行トレース３１２は、基板の境界に沿って延びる広い導電性トレース３１６（細い線として象徴的に表された）を使用して、列トレース３０２と同じ基板３０６の短縁３０４へ引き回すことができる。

図４は、上述した本発明の１つ以上の実施形態を含む規範的コンピューティングシステム４００を示す。このコンピューティングシステム４００は、１つ以上のパネルプロセッサ４０２及び周辺機器４０４と、パネルサブシステム４０６とを備えている。周辺機器４０４は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、或いは他の形式のメモリ又は記憶装置、ウオッチドッグタイマー、等を含むが、これに限定されない。パネルサブシステム４０６は、１つ以上のセンスチャンネル４０８、チャンネルスキャンロジック４１０、及びドライバロジック４１４を含むが、これに限定されない。チャンネルスキャンロジック４１０は、ＲＡＭ４１２にアクセスし、センスチャンネルから自律的にデータを読み取り、そしてセンスチャンネルの制御を行うことができる。更に、チャンネルスキャンロジック４１０は、タッチセンサパネル４２４のドライブ線へ選択的に適用できる種々の周波数及び位相において刺激信号４１６を発生するようにドライバロジック４１４を制御することができる。ある実施形態では、パネルサブシステム４０６、パネルプロセッサ４０２及び周辺機器４０４は、単一の特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）へ一体化することができる。

タッチセンサパネル４２４は、複数のドライブ線及び複数のセンス線を有する容量性感知媒体を含むことができるが、他の感知媒体を使用することもできる。本発明の実施形態によりドライブ線及びセンス線のいずれか又は両方を広い導電性トレースに結合することができる。ドライブ線及びセンス線の各交点は、容量性感知ノードを表し、そしてタッチセンサパネル４２４がタッチの「映像」を捕獲するとみなされるときに特に有用な画素（ピクセル）４２６としてみなすことができる。（換言すれば、タッチセンサパネルの各タッチセンサにおいてタッチ事象が検出されたかどうかをパネルサブシステム４０４が決定した後に、タッチ事象が生じたマルチタッチパネルにおけるタッチセンサのパターンは、タッチの「映像」（指がパネルにタッチするパターン）とみなすことができる。）タッチセンサパネル４２４の各センス線は、パネルサブシステム４０６のセンスチャンネル４０８（ここでは、事象検出及び復調回路とも称される）を駆動することができる。

又、コンピューティングシステム４００は、パネルプロセッサ４０２から出力を受け取りそしてその出力に基づいてアクションを遂行するホストプロセッサ４２８も備え、前記アクションは、カーソル又はポインタのようなオブジェクトを移動し、スクロール又はパンを行い、制御設定を調整し、ファイル又はドキュメントをオープンし、メニューを見、選択を行い、インストラクションを実行し、ホスト装置に結合された周辺装置を動作し、電話コールに応答し、電話コールを発信し、電話コールを終了し、音量又は音声設定を変更し、住所、頻繁にダイヤルされる番号、受けたコール、逸したコールのような電話通信に関する情報を記憶し、コンピュータ又はコンピュータネットワークにログオンし、コンピュータ又はコンピュータネットワークの限定エリアへの許可された個人のアクセスを許し、コンピュータデスクトップのユーザの好ましい構成に関連したユーザプロフィールをロードし、ウェブコンテンツへのアクセスを許可し、特定のプログラムを起動し、メッセージを暗号化又はデコードし、等々を含むが、これらに限定されない。又、ホストプロセッサ４２８は、パネル処理に関連しない付加的なファンクションを遂行することもでき、そしてプログラム記憶装置４３２と、装置のユーザにＵＩを与えるＬＣＤディスプレイのようなディスプレイ装置４３０とに結合することができる。ディスプレイ装置４３０は、これがタッチセンサパネル４２４のもとに一部分又は全体的に配置されたときに、タッチセンサパネルと共に、タッチスクリーン４１８を形成することができる。

上述したファンクションの１つ以上は、メモリ（例えば、図４の周辺機器４０４の１つ）に記憶されてパネルプロセッサ４０２により実行されるファームウェア、或いはプログラム記憶装置４３２に記憶されてホストプロセッサ４２８により実行されるファームウェアにより遂行できることに注意されたい。又、ファームウェアは、インストラクション実行システム、装置又はデバイス、例えば、コンピュータベースのシステム、プロセッサ含有システム、又はインストラクション実行システム、装置又はデバイスからインストラクションをフェッチしてそれらインストラクションを実行することのできる他のシステムにより又はそれに関連して使用するためにコンピュータ読み取り可能な媒体内に記憶し及び／又はその中で搬送することもできる。本書において「コンピュータ読み取り可能な媒体」とは、インストラクション実行システム、装置又はデバイスにより又はそれに関連して使用するためにプログラムを収容し又は記憶することのできる任意の媒体である。コンピュータ読み取り可能な媒体は、電子、磁気、光学、電磁、赤外線、又は半導体システム、装置又はデバイス、ポータブルコンピュータディスケット（磁気）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）（磁気）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）（磁気）、消去可能なプログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭ）（磁気）、ポータブル光学ディスク、例えば、ＣＤ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ、ＤＶＤ−Ｒ、又はＤＶＤ−ＲＷ、或いはフラッシュメモリ、例えば、コンパクトフラッシュ（登録商標）カード、セキュアなデジタルカード、ＵＳＢメモリデバイス、メモリスティック、等を含むが、これらに限定されない。

又、ファームウェアは、インストラクション実行システム、装置又はデバイス、例えば、コンピュータベースのシステム、プロセッサ含有システム、或いはインストラクション実行システム、装置又はデバイスからインストラクションをフェッチしてそれらインストラクションを実行することのできる他のシステムにより又はそれに関連して使用するために搬送媒体内で搬送することもできる。本書において「搬送媒体」とは、インストラクション実行システム、装置又はデバイスにより又はそれに関連して使用するためにプログラムを通信し、伝播し又は搬送することのできる任意の媒体である。読み取り可能な搬送媒体は、電子、磁気、光学、電磁又は赤外線、ワイヤード又はワイヤレス伝播媒体を含むが、それらに限定されない。

図５Ａは、タッチセンサパネル５２４及びディスプレイ装置５３０を備えた規範的移動電話５３６を示し、タッチセンサパネルは、本発明の実施形態によりタッチセンサパネルの境界エリアに形成された導電性トレースを含む。

図５Ｂは、タッチセンサパネル５２４及びディスプレイ装置５３０を備えた規範的デジタルメディアプレーヤ５４０を示し、タッチセンサパネルは、本発明の実施形態によって改善された信頼性の高い導電性トレースを含む。

以上、本発明は、添付図面を参照して詳細に説明したが、当業者であれば、種々の変化及び変更が明らかであることに注意されたい。このような変化及び変更は、特許請求の範囲で規定される本発明の実施形態の範囲内に包含されるものと理解されたい。

１００：行
１０２：導電性トレース
１０４：導電性トレース
１０６：境界エリア
１０８：境界エリア
１１０：タッチセンサパネル
２００：トレース積層体
２０４：Ｍｏ／Ｎｂ
２０６：基板
２１０：保護層
２２４：導電性材料
３００：ＤＩＴＯパネル
３０２：列トレース
３０４：短い縁
３０６：基板
３０８：フレックス回路
３１０：パッド
３１２：行トレース
３１４：ボンディングエリア
３１６：導電性トレース
３１８：パッド
３２４：フレックス回路
４００：コンピューティングシステム
４０２：パネルプロセッサ
４０４：周辺機器
４０６：パネルサブシステム
４０８：センスチャンネル
４１０：チャンネルスキャンロジック
４１２：ＲＡＭ
４１４：ドライバロジック
４１５：電荷ポンプ
４１６：刺激信号
４２４：タッチセンサパネル
４２８：ホストプロセッサ
４３０：ディスプレイ装置
４３２：プログラム記憶装置

Claims (27)

1. タッチセンサパネルに導電性トレースを形成する方法において、
   少なくとも１つのトレースが該トレースの長さ方向に沿って変化する幅のセグメントを有するようにタッチセンサパネルの１つ以上の境界エリア内で基板上に第１の導電性材料の積層体を形成し及びパターン化して１つ以上のトレースを生成するステップと、
   基板上に第２の導電性材料の層を形成し及びパターン化して、各々が異なるトレースに結合された１つ以上の行を生成し、それらの行がタッチセンサパネル上の複数のセンサの一部分を形成するようにしたステップと、を備え、
   各セグメント内のそれぞれのトレースの幅は一定であり、かつ前記トレースの 長さ方向に沿ったセグメントの間のエリアのそれぞれのトレースの幅は一定ではないように構成されている方法。
2. 各境界エリアの１つ以上のトレースが１つおきの行にインターリーブ式に結合され且つ各境界エリアの全長に沿って少なくとも１つのトレースが存在するように前記積層体及び層を形成し及びパターン化するステップを更に備えた、請求項１に記載の方法。
3. ある行のそばの境界エリアの特定部分内の全てのトレースが実質的に同じ巾となるように１つ以上のトレースのサイズを決めるステップを更に備えた、請求項１に記載の方法。
4. 抵抗率が約０．４Ω／平方より大きな材料で前記積層体を形成するステップを更に備えた、請求項１に記載の方法。
5. モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）から前記積層体を形成するステップを更に備えた、請求項１に記載の方法。
6. モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）、アルミニウムネオジム（Ａｌ／Ｎｄ）及びＭｏ／Ｎｂから前記積層体を形成するステップを更に備えた、請求項１に記載の方法。
7. タッチセンサパネルに信頼性の高い導電性トレースを製造する方法において、
   少なくとも１つのトレースが該トレースの長さ方向に沿って変化する巾のセグメントを有するようにタッチセンサパネルの１つ以上の境界エリアに形成された導電性トレースを使用して、タッチセンサパネル上の行をタッチセンサパネルの縁へ引き回すようになっており、各セグメント内のそれぞれのトレースの幅は一定であり、かつ前記トレースの 長さ方向に沿ったセグメントの間のエリアのそれぞれのトレースの幅は一定ではないように構成されている方法。
8. 各境界エリアの導電性トレースを１つおきの行にインターリーブ式に結合して、各境界エリアの全長に沿って少なくとも１つの導電性トレースが存在するようにする、請求項７に記載の方法。
9. ある行のそばの境界エリアの特定部分内の全てのトレースが実質的に同じ巾となるように導電性トレースのサイズを決める、請求項７に記載の方法。
10. 抵抗率が約０．４Ω／平方より大きな材料で前記導電性トレースを形成する、請求項７に記載の方法。
11. モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）から前記導電性トレースを形成する、請求項７に記載の方法。
12. モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）、アルミニウムネオジム（Ａｌ／Ｎｄ）及びＭｏ／Ｎｂから前記導電性トレースを形成する、請求項７に記載の方法。
13. タッチセンサパネルの複数のセンサの一部分を、高い信頼性でそのタッチセンサパネルの単一の縁へ引き回す方法において、
    少なくとも１つのトレースが該トレースの長さ方向に沿って変化する巾のセグメントを有するようにタッチセンサパネルの１つ以上の境界エリア内で導電性材料の積層体を前記複数のセンサの一部分に接続されたトレースへと形成し及びパターン化するようになっており、各セグメント内のそれぞれのトレースの幅は一定であり、かつ前記トレースの 長さ方向に沿ったセグメントの間のエリアのそれぞれのトレースの幅は一定ではないように構成されている方法。
14. 前記複数のセンサの一部分は、行として形成され、前記方法は、更に、各境界エリアのトレースを１つおきの行にインターリーブ式に結合して、各境界エリアの全長に沿って少なくとも１つのトレースが存在するようにすることを含む、請求項１３に記載の方法。
15. ある行のそばの境界エリアの特定部分内の全てのトレースが実質的に同じ巾となるようにトレースのサイズを決める、請求項１３に記載の方法。
16. 抵抗率が約０．４Ω／平方より大きな材料で前記トレースを形成する、請求項１３に記載の方法。
17. モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）から前記トレースを形成する、請求項１３に記載の方法。
18. モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）、アルミニウムネオジム（Ａｌ／Ｎｄ）及びＭｏ／Ｎｂから前記トレースを形成する、請求項１３に記載の方法。
19. タッチセンサパネルの複数のセンサの一部分をタッチセンサパネルの単一の縁へ引き回すための信頼性の高い導電性トレースを備えたタッチセンサパネルにおいて、
    少なくとも１つのトレースが該トレースの長さ方向に沿って変化する巾のセグメントを有するようにタッチセンサパネルの境界エリアのトレースへとパターン化された第１の導電性材料の積層体を備え、更に、
    異なるトレースに各々結合される１つ以上の行を生成するようにパターン化された第２の導電性材料を備え、それらの行は、タッチセンサパネルの単一の縁へ引き回される前記複数のセンサの一部分を形成するものであり、各セグメント内のそれぞれのトレースの幅は一定であり、かつ前記トレースの 長さ方向に沿ったセグメントの間のエリアのそれぞれのトレースの幅は一定ではないように構成されているタッチセンサパネル。
20. 前記トレースは、１つおきの行にインターリーブ式に結合されて、境界エリアの全長に沿って少なくとも１つのトレースが存在するようにした、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。
21. ある行のそばの境界エリアの特定部分内のトレースは、実質的に同じ巾である、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。
22. 前記第１の導電性材料は、抵抗率が約０．４Ω／平方より大きい、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。
23. 前記第１の導電性材料は、モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）である、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。
24. 前記第１の導電性材料は、モリブデン／ニオブ（Ｍｏ／Ｎｂ）、アルミニウムネオジム（Ａｌ／Ｎｄ）、及びＭｏ／Ｎｂの積層体である、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。
25. コンピュータシステムが、前記タッチセンサパネルを備える、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。
26. 移動電話が、前記タッチセンサパネルを備える、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。
27. デジタルメディアプレーヤが、前記タッチセンサパネルを備える、請求項１９に記載のタッチセンサパネル。

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