JP5944936B2 - 試料連続分析装置及び試料連続分析方法 - Google Patents
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Description
(a)前記回転テーブルに順に載せられた、前記ホルダー取り出し部で取り出して設けられたホルダーを、前記位置測定部へ搬送し、
(b)前記位置測定部による位置測定後の試料が設けられたホルダーを前記レーザーアブレーション部へ搬送し、
(c)前記レーザーアブレーション部による分析後の試料が設けられたホルダーを前記ホルダー移動部がホルダーを回収する位置へ搬送する
ように構成され、
前記ホルダー搬送部には前記ホルダー取り出し部によって取り出されたホルダーを載せて搬送するチャンバー下部が設けられており、
前記レーザーアブレーション部には、前記チャンバー下部と組み合わせて試料を覆うチャンバーを構成するチャンバー上部が設けられている試料連続分析装置である。
前記試料配置部からホルダーを順に取り出すホルダー取り出し部と、前記ホルダー取り出し部で取り出したホルダーを載せて、前記レーザーアブレーション部へホルダーを連続して搬送するホルダー搬送部と、前記レーザーアブレーション部で試料にレーザー光を照射して分析を終えた後のホルダーを前記ホルダー搬送部から試料配置部へ戻すホルダー移動部とを更に備える。
図1に、本発明の実施形態に係る試料分析装置の模式図を示す。試料分析装置は、試料配置部、ホルダー搬送部、位置測定部、レーザーアブレーション部、元素検出部及びホルダー移動部を備えている。
次に、本発明に係る試料分析装置を用いた試料分析方法について説明する。
まず、分析対象となるサンプル物質と酸化鉛をアルカリ系の融解剤と混合したものと共にルツボ等で融解させて生ずる鉛ボタンを成形して試料を作製する。
次に、試料をホルダー内へ設け、このホルダーを試料配置部の多段に設けられたトレー上に配置する。
次に、ホルダー取り出し部(本実施形態ではホルダー移動部が兼ねている)によって1つずつ順に試料配置部のホルダーをホルダー搬送部上に取り出していく。取り出されたホルダーは、図1及び2に便宜的に記したポジション(pos.1〜4)におけるpos.1に設けられたチャンバー下部上に載置する。なお、このポジションの数は特に限定されない。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、pos.1のチャンバー下部上に載置されたホルダーがpos.2へ搬送される。pos.2では、位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われる。また、このとき、pos.1では、試料配置部から新たなホルダーが取り出されて載置される。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、pos.2のチャンバー下部上に載置されたホルダーがpos.3へ搬送される。pos.3では、レーザーアブレーション部のレーザー照射が行われる。このとき、まずpos.3のチャンバー下部が不図示の上昇手段によって上昇し、レーザーアブレーション部に設けられたチャンバー上部と組み合わせられてチャンバーとされ、ホルダーを覆う密閉空間を構成する。続いて、このチャンバー内を例えばヘリウムガス等でパージした後、発振出力5W以上のレーザー発振源によるレーザー光照射を行い、試料の一部を微粒子化させる。このとき、前段で位置測定部により測定されて得られた結果がレーザーアブレーション部の精度の良いレーザー光照射に利用される。
次に、レーザーアブレーション部のレーザー光照射によって微粒子化された試料が元素検出部へ導入され、試料に含まれる構成元素が検出される。
レーザー光照射が完了したら、ホルダーを載置したチャンバー下部を不図示の下降手段により下降させて、ホルダー搬送部のpos.3へ戻す。また、この間に、pos.1のチャンバー下部上に載置されたホルダーがpos.2へ搬送されて位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われ、さらにpos.1では、試料配置部から新たなホルダーが取り出されて載置される。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、pos.3のチャンバー下部上に載置されたホルダーがpos.4へ搬送される。pos.4では、特に操作は行わず、ただホルダーを待機させている。この間、pos.3ではホルダー上の試料がレーザーアブレーション部でレーザー光照射され、pos.2では位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われ、pos.1では新たなホルダーが試料配置部から取り出されている。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、pos.4のチャンバー下部上に載置されたホルダーがpos.1へ搬送される。pos.1へ搬送されたホルダーは、ホルダー移動部によって試料配置部へ戻され、続いて新たなホルダーが試料配置部からpos.1へ取り出される。この間、上記と同様に、pos.4ではホルダーが待機しており、pos.3ではホルダー上の試料がレーザーアブレーション部でレーザー光照射され、pos.2では位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われている。
このようにして、安定したレーザー出力による試料の分析を行うことができ、さらに試料を設けた多数のホルダーを自動で次々に効率よく分析することができる。このような構成により、本発明に係る試料分析装置を用いた試料分析方法では、試料の測定を2〜5分/回という短時間で行うことができる。
上述の図1〜3に記載した本発明に係る試料分析装置及び分析方法を用いて、合計100個の試料(鉛ボタン)を分析した。レーザーアブレーション部のレーザー発振源としては、5〜13Wの出力で発振できるQスイッチ周波数1〜400kHzのNd:YVO4レーザーを用いた。
実施例では、100個の試料を分析している間のレーザー出力は安定しており、安定した分析結果を得ることができた。また、試料の搬入、分析及び搬出までが自動化されているため、従来の装置及び方法では3〜4日程度要していた分析を1日で行うことができた。
従来の一般的な試料分析装置として、理化学用(最大40mJ出力で発振できるQスイッチ周波数1〜30Hz)のNd:YAGレーザーをレーザーアブレーション部のレーザー発振源に用いた試料分析装置を準備した。続いて、実施例と同様な試料(鉛ボタン)を100個作製し、分析を行った。
比較例では、レーザー出力が安定せず、安定した分析結果が得られなかった。
Claims (6)
- 試料を設けたホルダーを複数個配置する試料配置部と、
前記試料配置部からホルダーを順に取り出すホルダー取り出し部と、
前記ホルダー取り出し部で取り出したホルダーを載せて、前記ホルダーを連続して搬送するホルダー搬送部と、
前記ホルダーに設けられた試料にレーザー光を照射することで試料の位置測定を行う位置測定部と、
前記試料の表面にレーザー光を照射して試料の一部を微粒子化させる、発振出力5W以上のYVO4レーザーであるレーザー発振源を有するレーザーアブレーション部と、
微粒子化された試料を導入し、試料に含まれる構成元素を検出する元素検出部と、
前記ホルダー搬送部から前記試料配置部へ戻すホルダー移動部と、
を備え、
前記ホルダー搬送部は回転テーブルを構成しており、前記回転テーブルが回転することによって、
(a)前記回転テーブルに順に載せられた、前記ホルダー取り出し部で取り出して設けられたホルダーを、前記位置測定部へ搬送し、
(b)前記位置測定部による位置測定後の試料が設けられたホルダーを前記レーザーアブレーション部へ搬送し、
(c)前記レーザーアブレーション部による分析後の試料が設けられたホルダーを前記ホルダー移動部がホルダーを回収する位置へ搬送する
ように構成され、
前記ホルダー搬送部には前記ホルダー取り出し部によって取り出されたホルダーを載せて搬送するチャンバー下部が設けられており、
前記レーザーアブレーション部には、前記チャンバー下部と組み合わせて試料を覆うチャンバーを構成するチャンバー上部が設けられている試料連続分析装置。 - 前記元素検出部における元素分析がICP質量分析又はICP発光分析である請求項1に記載の試料連続分析装置。
- 前記試料を自動で搬入して分析し、搬出する構成を備えた請求項1または2に記載の試料連続分析装置。
- 前記ホルダー移動部が、前記ホルダー取り出し部を兼ねている請求項1〜3のいずれか一項に記載の試料連続分析装置。
- 前記試料配置部は、試料を設けたホルダーが複数個配置されるトレーを多段で備えている請求項1〜4のいずれか一項に記載の試料連続分析装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の試料連続分析装置を用いた試料連続分析方法。
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