JP5943669B2 - ガルバノスキャナ及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
1)コイル15とヨーク16との間に第1の熱伝導性メッシュ20を配し、限りなく第1の熱伝導性メッシュ20の厚さdに近づいた状態で接着、固定するので、熱伝導率を接着剤のみで接着、固定した場合に比べて大幅に向上させることができる。
2)その結果、コイル15からヨーク16側への伝熱効率が大きく向上し、コイル15を効率よく冷却することができる。
3)水冷ジャケット22が第2の熱伝導性メッシュ21を介してハウジングケース17と密着するので、コイル15での発熱を効率よく水冷ジャケット22へ伝えることが可能となり、水冷ジャケット22で効率よく冷却することができる。
4)コイル15の温度上昇を安定的に抑えることができるので、結果として永久磁石10の温度上昇を抑制できる。この結果、高速位置決めが可能なガルバノスキャナを提供することができる。
5)ガルバノスキャナ100は、コイル15で発生する熱を効率よく冷却できるので、例えば、プリント基板の穴明けレーザ加工装置のような高速かつ連続的に位置決めを繰り返す過酷な動作が要求される加工装置に使用することができる。
などの効果を奏する。
3 回転軸
10 永久磁石
15 コイル
16 ヨーク
17 ハウジング
20 第1の熱伝導性メッシュ
21 第2の熱伝導性メッシュ
22 水冷ジャケット
26 接着剤
100 ガルバノスキャナ
200 可動子
300 固定子
Claims (2)
- ガルバノミラーを支持する回転軸、及び前記回転軸の周りに配置された永久磁石を備えた可動子と、
前記可動子の周りに配置されたコイル、ヨーク及びハウジングケースを備えた固定子と、
前記固定子を冷却する冷却手段と、
を有し、前記可動子を予め定める角度範囲内で揺動させるガルバノスキャナにおいて、
前記コイルとヨークとの間、及びハウジングケースと冷却手段の間の少なくとも一方に配置された高伝熱部材を備え、
前記高伝熱部材が、
両面に接着剤が塗布され、網目に前記接着剤が入り込み、前記コイルと前記ヨークに接触した状態で接着される熱伝導性のメッシュ部材、及び/又は両面にグリースが塗布され、網目に前記グリースが入り込み、前記ハウジングケースと前記冷却手段に接触した状態で保持される熱伝導性のメッシュ部材からなることを特徴とするガルバノスキャナ。 - 請求項1に記載のガルバノスキャナを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
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