JP5936837B2 - 受光素子 - Google Patents
受光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5936837B2 JP5936837B2 JP2011200691A JP2011200691A JP5936837B2 JP 5936837 B2 JP5936837 B2 JP 5936837B2 JP 2011200691 A JP2011200691 A JP 2011200691A JP 2011200691 A JP2011200691 A JP 2011200691A JP 5936837 B2 JP5936837 B2 JP 5936837B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- light
- layer
- receiving element
- multiple reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 21
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 18
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 5
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 15
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る受光素子の断面図である。受光素子10は、1.3μmの波長を有する光(第1波長の光という)と1.5μmの波長を有する光(第2波長の光という)を受光するものである。受光素子10は、基板12を備えている。基板12はn型InPで形成されている。基板12は、第1主面12a、及び第1主面12aに対向する第2主面12bを有している。また、基板12には貫通孔16が形成されている。第1主面12aには第1電極14が形成されている。第1電極14は受光素子10のn型電極として機能する。
本発明の実施の形態2に係る受光素子は、実施の形態1と共通点が多いので、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図4は、本発明の実施の形態2に係る受光素子の断面図である。受光素子50における多重反射層は第1多重反射層52と第2多重反射層54を有している。第1多重反射層52は、第1波長の光に対して最も反射率が高くなるように形成されている。第2多重反射層54は、第2波長の光に対して最も反射率が高くなるように形成されている。第1多重反射層52と第2多重反射層54の間にはInPスペーサ層56が形成されている。
Claims (7)
- 第1波長の光と第2波長の光を受光する受光素子であって、
第1主面、前記第1主面に対向する第2主面、及び貫通孔を有する基板と、
前記第1主面に形成された第1電極と、
前記第2主面の上に前記貫通孔の直上部分を有するように形成された、前記第1波長の光と前記第2波長の光を同等の反射率で反射する多重反射層と、
前記貫通孔に面した前記直上部分に接して形成されたメタル反射層と、
前記多重反射層の上に形成された、キャリアをアバランシェ増倍させる増倍層と、
前記増倍層の上に形成された、前記第1波長の光と前記第2波長の光を吸収しキャリアを生成する吸収層と、
前記吸収層の上に形成された拡散領域と、
前記第1波長と前記第2波長の中間の波長の光に対し最も反射率が低くなるように前記拡散領域の上に形成された無反射層と、
前記無反射層を避けて前記拡散領域の上に形成された、前記拡散領域に給電する第2電極と、
を備えたことを特徴とする受光素子。 - 前記多重反射層は前記第1波長と前記第2波長の中間の波長の光に対し最も反射率が高くなるように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の受光素子。
- 前記多重反射層は、
前記第1波長の光に対して最も反射率が高くなるように形成された第1多重反射層と、
前記第2波長の光に対して最も反射率が高くなるように形成された第2多重反射層と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の受光素子。 - 前記第1多重反射層と前記第2多重反射層の間に形成されたInPスペーサ層を備えたことを特徴とする請求項3に記載の受光素子。
- 前記メタル反射層の面積は前記拡散領域の面積より大きいことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の受光素子。
- 前記メタル反射層は、前記多重反射層に接するSiN層と、前記SiN層に接するAu層を備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の受光素子。
- 前記基板はn型InPで形成され、
前記多重反射層はInP層とInGaAs層のペアが複数積層して形成されたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の受光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011200691A JP5936837B2 (ja) | 2011-09-14 | 2011-09-14 | 受光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011200691A JP5936837B2 (ja) | 2011-09-14 | 2011-09-14 | 受光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013062426A JP2013062426A (ja) | 2013-04-04 |
JP5936837B2 true JP5936837B2 (ja) | 2016-06-22 |
Family
ID=48186828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011200691A Active JP5936837B2 (ja) | 2011-09-14 | 2011-09-14 | 受光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5936837B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61229371A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-13 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | フオトダイオ−ド |
US7878515B1 (en) * | 2009-09-15 | 2011-02-01 | AGT Equities, LLC | Infant stroller |
-
2011
- 2011-09-14 JP JP2011200691A patent/JP5936837B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013062426A (ja) | 2013-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4609430B2 (ja) | アバランシェフォトダイオード | |
JP5444994B2 (ja) | 半導体受光素子 | |
US7038251B2 (en) | Semiconductor device | |
JP5303962B2 (ja) | 半導体受光素子 | |
US20090289316A1 (en) | Optical semiconductor device | |
JP5239568B2 (ja) | 半導体受光素子 | |
JP2008153547A (ja) | 埋込導波路型受光素子 | |
JP2010010450A (ja) | 導波路型受光素子 | |
JP5307750B2 (ja) | 半導体受光素子 | |
JP2014099527A5 (ja) | ||
JP2005150291A (ja) | 受光素子、光モジュール、及び光伝送装置 | |
JP4168437B2 (ja) | 半導体受光素子 | |
JP6398409B2 (ja) | 受光素子 | |
JP2014013844A (ja) | 半導体受光素子およびその製造方法 | |
JP2009117499A (ja) | 受光素子 | |
JP5936837B2 (ja) | 受光素子 | |
JPWO2008088018A1 (ja) | 半導体受光素子 | |
JP4985298B2 (ja) | アバランシェフォトダイオード | |
JP2011003638A (ja) | 受光素子 | |
JP2002100796A (ja) | 受光素子アレイ | |
JP2001168371A (ja) | 装荷型半導体受光素子及びその製造方法 | |
JP2010045417A (ja) | 半導体受光素子 | |
JP2003174186A (ja) | 半導体受光素子 | |
EP1107318B1 (en) | Semiconductor photodetector | |
JP2005217010A (ja) | 半導体レーザ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150428 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150430 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150520 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160323 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160511 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5936837 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |