JP5927596B2 - 異方性(amr)磁気抵抗センシング部材及び磁気抵抗センシング装置 - Google Patents
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Description
300 第1側の非水平の磁場センシング層(下向きに延伸)
300’ 第1側の非水平の磁場センシング層(上向きに延伸)
310 第1側下トレンチ中の接続磁気抵抗層
320 第1側下トレンチ中の対向磁気抵抗層
350 第2側の非水平の磁場センシング層
360 第2側下トレンチ中の接続磁気抵抗層
370 第2側下トレンチ中の対向磁気抵抗層
400 水平磁気抵抗層
500 導電ストリップ(下方に位置する)
500’ 導電ストリップ(上方に位置する)
510 第1側導電部(下方に位置する)
510’ 第1側導電部(上方に位置する)
520 第2側導電部
600 誘電層
710 第1側の磁束集中構造
720 第2側の磁束集中構造
740 第1側の非水平の磁場誘導層
750 第1側上トレンチ中の対向磁気抵抗層
760 第2側の非水平の磁場誘導層
770 第2側上トレンチ中の対応磁気抵抗層
1000 磁気抵抗センシング部材
1000’ 磁気抵抗センシング部材
1100 磁気抵抗センシング部材
1200 磁気抵抗センシング部材
1300 磁気抵抗センシング部材
1400 磁気抵抗センシング部材
1500 磁気抵抗センシング部材
1600 磁気抵抗センシング部材
i 電流
I 電流
I’ 電流
θ 水平磁気抵抗層の延伸方向及び電流iの導通方向の間の挟み角
ω 水平磁気抵抗層の延伸方向及び電流I/I’の導通方向の間の挟み角
Claims (10)
- 基板の表面上方に位置し、その延伸方向に沿って第1側及び前記第1側と相対する第2側を有する水平磁気抵抗層のストリップと、
前記水平磁気抵抗層の上方又は下方に位置し、前記水平磁気抵抗層と電気結合し、前記水平磁気抵抗層とともに少なくとも1つの電流経路を構成し、該水平磁気抵抗層中における電流の方向が該水平磁気抵抗層の長さ方向に平行でない導電部と、
前記基板表面に平行せず、前記水平磁気抵抗層の前記第1側箇所において、前記水平磁気抵抗層と磁性結合する第1磁場センシング層と、
を含む異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。 - 前記水平磁気抵抗層及び前記第1磁場センシング層の電気抵抗値は、外部の磁場変化に従って変化し、前記水平磁気抵抗層及び前記第1磁場センシング層が磁性材料、反磁性材料、非磁性金属材料、異方性磁気抵抗材料、トンネル酸化物材料の1つ又は任意の組み合わせを含む請求項1に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。
- 前記導電部は、複数の導電ストリップを含み、これら複数の導電ストリップの延伸方向は、何れも前記水平磁気抵抗層の延伸方向と同一の鋭角を挟む請求項1に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。
- 前記導電部は、前記水平磁気抵抗層の前記第1側から前記第2側へ向けて延伸する複数の第1側導電部及び前記水平磁気抵抗層の前記第2側から前記第1側へ延伸する複数の第2側導電部を含み、前記複数の第1側導電部及び前記複数の第2側導電部は、前記水平磁気抵抗層の延伸方向に沿って交錯又は対称方式で配置される請求項1に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。
- 前記第1磁場センシング層は、長いストリップである、又は、前記水平磁気抵抗層の前記第1側から上向き又は下向きに延伸する複数の離散サブパートを含む請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。
- 前記水平磁気抵抗層の前記第2側箇所に位置するとともに前記水平磁気抵抗層と磁性結合し、前記基板表面に平行ではない第2磁場センシング層を更に含み、
前記第2磁場センシング層が複数の離散サブパートを含み、該複数の離散サブパートのそれぞれが何れも前記水平磁気抵抗層の第2側から上向き又は下向きに延伸する
請求項5に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。 - 前記第1磁場センシング層の前記複数の離散サブパート及び前記第2磁場センシング層の前記複数の離散サブパートは、前記水平磁気抵抗層の延伸方向に沿って交錯方式で配置される請求項6に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。
- 更に、前記第1側及び前記第2側の何れか一側の上又は下に配置され、且つ、トレンチ側壁上の磁性層の形式である又は大ブロックの磁性ブロック材を有する形式である第1磁束集中構造を含む請求項1乃至7の何れか1項に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。
- 更に、前記第1側及び前記第2側の他側の上又は下に配置され、且つ、トレンチ側壁上の磁性層の形式である又は大ブロックの磁性ブロック材を有する形式である第2磁束集中構造を含む請求項8に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材。
- 4本の電気抵抗アームを含むホイートストンブリッジの構造を含み、各前記電気抵抗アームが請求項1乃至9の何れか1項に記載の異方性(AMR)磁気抵抗センシング部材を含む磁気抵抗センシング装置。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW100135263 | 2011-09-29 | ||
TW100135263 | 2011-09-29 | ||
TW101132202A TWI409488B (zh) | 2011-09-29 | 2012-09-04 | 磁阻感測元件與磁阻感測裝置 |
TW101132202 | 2012-09-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013076698A JP2013076698A (ja) | 2013-04-25 |
JP5927596B2 true JP5927596B2 (ja) | 2016-06-01 |
Family
ID=46963535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012214375A Expired - Fee Related JP5927596B2 (ja) | 2011-09-29 | 2012-09-27 | 異方性(amr)磁気抵抗センシング部材及び磁気抵抗センシング装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8749232B2 (ja) |
EP (1) | EP2574950A3 (ja) |
JP (1) | JP5927596B2 (ja) |
CN (1) | CN103033772B (ja) |
TW (1) | TWI409488B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9372242B2 (en) * | 2012-05-11 | 2016-06-21 | Memsic, Inc. | Magnetometer with angled set/reset coil |
WO2014033904A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 株式会社日立製作所 | 磁気抵抗センサ、グラジオメータ |
CN103885005B (zh) * | 2012-12-21 | 2018-11-02 | 上海矽睿科技有限公司 | 磁传感装置及其磁感应方法 |
TWI493209B (zh) * | 2013-07-05 | 2015-07-21 | Voltafield Technology Corp | 一種單晶片三軸磁阻感測裝置 |
TW201518753A (zh) * | 2013-11-14 | 2015-05-16 | Voltafield Technology Corp | 磁阻感測元件 |
TWI541526B (zh) * | 2014-04-28 | 2016-07-11 | 宇能電科技股份有限公司 | 磁阻元件及磁阻裝置 |
TW201508301A (zh) * | 2014-09-16 | 2015-03-01 | Voltafield Technology Corp | 電橋及具有電橋的磁性感測器組件 |
TWI565958B (zh) * | 2015-05-08 | 2017-01-11 | 愛盛科技股份有限公司 | 磁場感測裝置及磁場感測模組 |
CN110045303B (zh) * | 2015-05-08 | 2021-12-14 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁场感测模块 |
CN110857952B (zh) * | 2018-08-22 | 2022-03-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 电流传感器 |
US11719772B2 (en) | 2020-04-01 | 2023-08-08 | Analog Devices International Unlimited Company | AMR (XMR) sensor with increased linear range |
ES2923414T3 (es) * | 2020-05-06 | 2022-09-27 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Dispositivo magnético de medición de posición |
TWI769819B (zh) * | 2021-05-18 | 2022-07-01 | 宇能電科技股份有限公司 | 電流感測器與裝置 |
CN113358137B (zh) * | 2021-06-04 | 2023-03-03 | 蚌埠希磁科技有限公司 | 一种磁电阻模块及磁传感器 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4580175A (en) * | 1983-01-14 | 1986-04-01 | Magnetic Peripherals, Inc. | Endless, folded magnetoresistive head |
JP3210192B2 (ja) * | 1994-09-29 | 2001-09-17 | アルプス電気株式会社 | 磁気検出素子 |
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JP2003243630A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-29 | Sony Corp | 磁気メモリ装置およびその製造方法 |
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JP5152495B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2013-02-27 | 株式会社リコー | 磁気センサーおよび携帯情報端末装置 |
JP4735686B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2011-07-27 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
US8257596B2 (en) * | 2009-04-30 | 2012-09-04 | Everspin Technologies, Inc. | Two-axis magnetic field sensor with substantially orthogonal pinning directions |
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IT1403421B1 (it) * | 2010-12-23 | 2013-10-17 | St Microelectronics Srl | Sensore magnetoresistivo integrato, in particolare sensore magnetoresistivo triassiale e suo procedimento di fabbricazione |
-
2012
- 2012-09-04 TW TW101132202A patent/TWI409488B/zh active
- 2012-09-21 EP EP12185338.6A patent/EP2574950A3/en not_active Withdrawn
- 2012-09-24 US US13/625,009 patent/US8749232B2/en active Active
- 2012-09-25 CN CN201210362417.3A patent/CN103033772B/zh active Active
- 2012-09-27 JP JP2012214375A patent/JP5927596B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2574950A3 (en) | 2018-01-24 |
US20130082699A1 (en) | 2013-04-04 |
CN103033772A (zh) | 2013-04-10 |
EP2574950A2 (en) | 2013-04-03 |
TW201312140A (zh) | 2013-03-16 |
US8749232B2 (en) | 2014-06-10 |
CN103033772B (zh) | 2014-11-19 |
TWI409488B (zh) | 2013-09-21 |
JP2013076698A (ja) | 2013-04-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141016 |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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|
A975 | Report on accelerated examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |