JP5925476B2 - タングステン化合物膜の形成方法 - Google Patents
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Description
本開示の技術における一態様は、タングステン化合物膜の形成方法であって、シランガスが基板に供給されるシランガス供給工程と、タングステンの含まれる原料ガスが前記基板に供給される原料ガス供給工程と、タングステンと反応する反応ガスが前記基板に供給される反応ガス供給工程とを備え、前記シランガス供給工程では、一度の前記反応ガス供給工程にて前記基板の表面に到達する反応ガスの粒子よりも多くのシランガスの粒子を前記基板の表面に到達させ、前記シランガス供給工程の後に、前記原料ガス供給工程と、前記反応ガス供給工程との各々が互いに異なるタイミングにて繰り返し行われることにより、前記基板上にてタングステン化合物膜が形成され、前記シランガス供給工程における前記シランガスの供給停止と、前記シランガス供給工程に続いて行われる前記原料ガス供給工程における前記原料ガスの供給開始とが同時に行われる。
また、上記態様では、シランガスの供給停止と、原料ガスの供給開始とが同時に行われることから、原料ガスが供給されるときには、それ以降よりも基板上により多くのシランが吸着している可能性が高い。そのため、タングステン化合物膜の形成が開始されるときから、基板の略全体においてタングステン化合物膜が形成されやすくなる。
また、上記態様では、シランガスの供給停止と、原料ガスの供給開始とが同時に行われることから、原料ガスが供給されるときには、それ以降よりも基板上により多くのシランが吸着している可能性が高い。そのため、タングステン化合物膜の形成が開始されるときから、基板の略全体においてタングステン化合物膜が形成されやすくなる。
以下、本開示におけるタングステン化合物膜の形成方法を具体化した第1実施形態について、図1〜図6を参照して説明する。まず、上記タングステン化合物膜の形成に用いられるマルチチャンバ型成膜装置について、図1を参照して説明する。なお、図1では、処理の対象である基板の搬送される方向が矢印で示されている。
図1に示されるように、マルチチャンバ型成膜装置10が有する搬送チャンバ11には、搬入チャンバ12、搬出チャンバ13、前処理チャンバ14、成膜チャンバ15、及びシード層形成チャンバ16の各々が連結されている。また、搬送チャンバ11には、基板を搬送する搬送ロボット11aが搭載されている。基板は、マルチチャンバ型成膜装置10での処理の対象であり、素子基板と支持基板とが、耐熱温度が200℃以下である接着材によって接着されたものである。素子基板は、素子及び貫通孔が形成されたシリコン基板と、該素子基板上に形成された絶縁層とを有し、該素子基板の絶縁層と上記支持基板とが接着されている。また、素子基板を構成するシリコン基板の上面及び貫通孔内には、例えばシリコン酸化膜等の絶縁膜が形成されている。なお、マルチチャンバ型成膜装置10では、シリコン基板の表面、及び貫通孔の内壁面に対して各種の処理が行われる。なお、搬入チャンバ12及び搬出チャンバ13は、搬出入の両方の機能を持つ1つのロードロックチャンバとしてもよい。
上記成膜チャンバ15の構成について、図2を参照してより詳しく説明する。図2に示されるように、成膜チャンバ15が有する真空槽21内には、上記基板Sを保持する基板ステージ22が設置されている。基板ステージ22の内部には、該基板ステージ22を加熱するヒータ23が搭載されている。ヒータ23には、直流電流を出力するヒータ電源24が接続されている。ヒータ23は、ヒータ電源24からの電流の供給によって発熱することで、基板ステージ22を介して基板Sを所定の温度に加熱する。
上記マルチチャンバ型成膜装置10の動作の一つである、タングステン化合物膜を形成する際の動作について、図3〜図6を参照して説明する。
マルチチャンバ型成膜装置10にてタングステン化合物膜が形成される際には、まず、処理前の基板Sが、外部の搬送ロボットによって上記搬入チャンバ12に搬入される。基板Sが搬入チャンバ12に搬入されると、同基板Sは、搬送ロボット11aによって前処理チャンバ14に搬入される。
H2プラズマが供給されると、基板Sは、搬送ロボット11aによって、前処理チャンバ14から成膜チャンバ15に搬送される。
以下、タングステン化合物膜としてWN膜、WSi膜、及びWSiN膜の各々を形成する場合の各種ガスの供給態様について順に説明する。
WN膜を形成する際には、図4に示されるように、タイミングT11にて、原料ガス供給部35から真空槽21への原料ガスとしてのWF6ガスの供給が開始される。WF6ガスは、例えば20sccmの流量にて真空槽21内に供給される。そして、例えば2秒後のタイミングT12にて、WF6ガスの供給が停止される。こうした第1原料ガス供給工程により、基板Sに対して供給されたWF6は、上記SiH4を介して基板S上に吸着する。
WSi膜を形成するときには、図5に示されるように、上記WN膜の形成におけるタイミングT11からタイミングT15までと同態様で各種ガスが供給される。つまり、タイミングT21からタイミングT22までの例えば2秒間にわたって、原料ガス供給部35から真空槽21に対してWF6ガスが供給される。WF6ガスは、例えば20sccmの流量にて真空槽21内に供給される。これにより、WF6が、基板S上のSiH4を介して、該基板Sの略全体に吸着する。
WSiN膜を形成するときには、図6に示されるように、タイミングT31からタイミングT35までは、上記WN膜の形成におけるタイミングT11からタイミングT15までと同態様にて各種ガスの供給が行われる。つまり、タイミングT31からタイミングT32までの例えば2秒間にわたって、原料ガス供給部35から真空槽21に対してWF6ガスの供給が行われる。WF6ガスは、例えば20sccmの流量にて真空槽21内に供給される。これにより、WF6が、基板S上のSiH4を介して、該基板Sに吸着する。
上記基板Sは、マルチチャンバ型成膜装置10から搬出された後、電解めっきを行う装置に搬送され、該装置では、基板Sに対して電解めっき処理が行われることにより、基板Sのホール中に銅配線が形成される。
以下、本開示におけるタングステン化合物膜の形成方法を具体化した第2実施形態について、図1及び図7を参照して説明する。なお、第2実施形態におけるタングステン化合物膜の形成方法は、上記第1実施形態のタングステン化合物膜の形成方法と比較して、タングステン化合物膜を形成する以前に行われる前処理、及び該処理を行う前処理チャンバ14の構成が異なっている。そのため、以下では、この相違点を中心に説明する。
図1に示されるように、マルチチャンバ型成膜装置10の有する前処理チャンバ14は、上記H2ガスに加えて、例えばアルゴン(Ar)ガス等の不活性ガスからプラズマを生成するプラズマ処理チャンバである。前処理チャンバ14は、例えば周波数が13.56MHzである高周波電力をH2ガス、及びArガスの各々に供給することで、該H2ガス及びArガスの各々からプラズマを生成する。
こうしたマルチチャンバ型成膜装置10の動作の一つである、タングステン化合物膜を形成する際の動作について、図7を参照して説明する。
マルチチャンバ型成膜装置10にてタングステン化合物膜が形成される際には、まず、上記第1実施形態と同様、処理前の基板Sが、外部の搬送ロボットによって搬入チャンバ12に搬入される。基板Sが搬入チャンバ12に搬入されると、基板Sは、搬送ロボット11aによって前処理チャンバ14に搬入される。
基板Sが成膜チャンバ15に搬入されると、上記第1実施形態と同様、タイミングT44にて、シランガス供給部31から真空槽21へのSiH4ガスの供給が開始され、例えば60秒後のタイミングT45にてSiH4ガスの供給が停止される。
[インキュベーション時間]
直径が8インチのシリコン基板を160℃に加熱しつつ、H2ガスから生成されたプラズマの供給と、SiH4ガスの供給とを以下の条件にて行った。
[条件1:H2プラズマの供給]
・H2ガス流量 200sccm
・前処理チャンバ内の圧力 37Pa
・高周波電力 200W
・処理時間 60秒
[条件2:SiH4ガスの供給]
・SiH4ガス流量 70sccm
・真空槽内の圧力 21Pa
・処理時間 60秒
[条件3:NH3プラズマの供給]
・NH3ガス流量 200sccm
・前処理チャンバ内の圧力 37Pa
・高周波電力 200W
・処理時間 60秒
直径が8インチのシリコン基板に対して、開口部の直径が5.7μmであり、深さが51μmであるホールを複数形成し、そして、シリコン基板の表面とホールの内壁面に対して絶縁膜を形成した。このシリコン基板に対して、H2ガスから生成したプラズマの供給、及びSiH4ガスの供給を行った後、ALD法を用いてWN膜を形成した。なお、H2プラズマの供給は上記条件1にて行い、SiH4ガスの供給は上記条件2にて行った。また、WN膜は、上記ステップ1からステップ8にて構成されるサイクルを45回繰り返すことによって、シリコン基板の表面における厚さが18nmとなるように形成した。
(1)上記第1実施形態及び第2実施形態では、WF6ガスと、NH3ガス、SiH4ガスの供給によってタングステン化合物膜が基板S上に形成される前に、基板Sに対してSiH4ガスが供給される。しかも、基板Sに供給されるSiH4ガスの粒子が、一度の反応ガス供給工程にて同基板Sに供給される反応ガスの粒子よりも多い。これにより、シランガス供給工程後の基板Sの表面では、反応ガス供給工程後の基板Sの表面と比較して、WF6ガスと反応し得るガスの存在する確率が高くなる。そのため、シランガス供給工程が行われない場合と比較して、基板Sの全体に対してWF6の吸着する確率が高くなる結果、インキュベーション時間を短くすることが可能になる。したがって、シランガス供給工程が行われない場合には、インキュベーション時間が生じてしまうような基板温度であっても、インキュベーション時間を生じさせることなくタングステン化合物膜を形成することも可能になる。
なお、上記各実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・成膜チャンバ15とは別に前処理チャンバ14を有するようにしたが、成膜チャンバ15に高周波電源、H2ガス供給部、あるいはArガス供給部を設けることによって、成膜チャンバにて上記前処理を行うようにしてもよい。この場合、前処理チャンバ14を割愛することができる。
・成膜チャンバ15のシランガス供給部31と窒化ガス供給部32とは、各別の配管に接続される構成であってもよい。
・不活性ガス供給工程で用いられるガスは、N2ガスに限らず、他の不活性ガス、例えばArガスやヘリウムガスであってもよい。
・基板Sは、支持基板を有していなくともよい。
Claims (5)
- シランガスが基板に供給されるシランガス供給工程と、
タングステンの含まれる原料ガスが前記基板に供給される原料ガス供給工程と、
タングステンと反応する反応ガスが前記基板に供給される反応ガス供給工程とを備え、
前記シランガス供給工程では、一度の前記反応ガス供給工程にて前記基板の表面に到達する反応ガスの粒子よりも多くのシランガスの粒子を前記基板の表面に到達させ、
前記シランガス供給工程の後に、前記原料ガス供給工程と、前記反応ガス供給工程との各々が互いに異なるタイミングにて繰り返し行われることにより、前記基板上にてタングステン化合物膜が形成され、
前記シランガス供給工程における前記シランガスの供給停止と、
前記シランガス供給工程に続いて行われる前記原料ガス供給工程における前記原料ガスの供給開始とが同時に行われる
タングステン化合物膜の形成方法。 - 前記シランガス供給工程の前に、
水素ガスから生成されたプラズマが前記基板に供給される水素プラズマ供給工程を備える
請求項1に記載のタングステン化合物膜の形成方法。 - 前記水素プラズマ供給工程が終了するまでに、
不活性ガスから生成されたプラズマが前記基板に供給される不活性ガスプラズマ供給工程を備える
請求項2に記載のタングステン化合物膜の形成方法。 - 前記原料ガス供給工程は、第1原料ガス供給工程と、第2原料ガス供給工程とからなり、
前記反応ガス供給工程は、
タングステンを還元するシランガスが供給される還元ガス供給工程と、
タングステンを窒化する窒化ガスが前記基板に供給される窒化ガス供給工程とからなり
、
前記第1原料ガス供給工程、前記反応ガス供給工程、前記還元ガス供給工程、及び前記第2原料ガス供給工程の各々が互いに異なるタイミングにて順に繰り返し行われることにより、前記基板上にて前記タングステン化合物膜である窒化タングステン膜が形成される
請求項1〜3のいずれか一項に記載のタングステン化合物膜の形成方法。 - シランガスが基板に供給されるシランガス供給工程と、
タングステンの含まれる原料ガスが前記基板に供給される原料ガス供給工程と、
前記タングステンと反応する前記シランガス以外の反応ガスが前記基板に供給される反応ガス供給工程とを備え、
前記シランガス供給工程の後に、前記原料ガス供給工程と、前記反応ガス供給工程との各々が互いに異なるタイミングにて繰り返し行われることにより、前記基板上にてタングステン化合物膜が形成され、
前記シランガス供給工程における前記シランガスの供給停止と、
前記シランガス供給工程に続いて行われる前記原料ガス供給工程における前記原料ガスの供給開始とが同時に行われる
タングステン化合物膜の形成方法。
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