JP5918153B2 - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
成膜装置及び成膜方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5918153B2 JP5918153B2 JP2013021400A JP2013021400A JP5918153B2 JP 5918153 B2 JP5918153 B2 JP 5918153B2 JP 2013021400 A JP2013021400 A JP 2013021400A JP 2013021400 A JP2013021400 A JP 2013021400A JP 5918153 B2 JP5918153 B2 JP 5918153B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- actuator
- film formation
- film forming
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
・ 大型の成膜用基板に対応した広い成膜空間で空間的に均一なプラズマを生成することが難しいこと、
・ 成膜処理のスループットが低いこと、及び
・ 供給電力の増大に伴って成膜用基板へのイオンや電子の衝突が増加し、膜表面が滑らかでないこと。
上記問題は、今日の多様化する成膜処理にとってより大きな障害となっている。
当該CVD装置は、真空容器内でプラズマを生成してラジカルを発生させ、このラジカルとシラン等で基板に成膜処理を行うCVD装置である。具体的には、真空容器内にその内部をプラズマ生成空間と成膜処理空間の二室に隔離する隔壁部が設けられる。この隔壁部には複数の貫通孔と拡散孔が形成されている。内部空間にはシラン等が供給され、シラン等は拡散孔を通して成膜処理空間に導入される。プラズマ生成空間で生成されたラジカルは、貫通孔を通して成膜処理空間に導入される。貫通孔は、孔内でのガス流速をu、実質的な孔の長さをL、相互ガス拡散係数をDとするとき、uL/D>1の条件を満たす。
しかし、上記CVD装置では、形成される膜の膜厚を均一にできない場合、プラズマから生成されるラジカル(ラジカル分子やラジカル原子)の密度を均一に調整すること、あるいは、プラズマから生成されるラジカルを成膜用基板に向けて噴射する噴射速度を均一に調整することが対策と考えられるが、上記CVD装置では、このような調整はできない。
当該成膜装置は、
成膜用基板が配置され、成膜用ガスが導入された成膜空間を備える成膜容器と、
前記成膜空間に設けられ、前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を前記成膜用基板に噴射するインジェクタと、を有する。
前記インジェクタは、一対のアクチュエータ電極を有し、前記アクチュエータ電極間に電圧を加えることで前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成するとともに、前記プラズマの生成により前記成膜空間内のガスを吸引し、さらに、前記プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を噴射するプラズマアクチュエータと、
一対のプラズマ生成電極を有し、前記プラズマ生成電極間に電圧を加えることで、前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、前記プラズマから成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を生成するプラズマ生成素子と、を含む。
この時、前記プラズマアクチュエータと前記プラズマ生成素子は、前記成膜用基板の面の垂直方向に縦列に設けられ、前記インジェクタから噴射する成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を前記成膜用基板に噴射して成膜する。
前記アクチュエータ電極及び前記プラズマ生成電極は、環状の電極である。
前記プラズマアクチュエータは、第1誘電体管と、前記第1誘電体管の長さ方向の異なる位置に、前記第1誘電体管の周に沿って前記アクチュエータ電極が設けられ、前記第アクチュエータ電極のうち、前記成膜用基板からみて遠い位置にある第1電極は、前記第1誘電体管内の空間から見て露出し、前記成膜用基板からみて近い位置にある第2電極は、前記第1誘電体管内の空間から見て前記第1誘電体管の誘電体により覆われている。
前記プラズマ生成素子は、第2誘電体管と、前記第2誘電体管の長さ方向の異なる位置に、前記第2誘電体管の周に沿って前記プラズマ生成電極が設けられ、前記プラズマ生成電極のいずれも、前記第2誘電体管内の空間から見て前記第2誘電体管の誘電体により覆われている。
前記第1誘電体管の一方の端は、前記アクチュエータ電極のうち前記成膜用基板からみて遠い位置にある前記貫通孔の第1開口の端に一致するように設けられ、
前記第1電極は、前記貫通孔の前記第1開口の縁に沿って設けられ、
前記第2電極は、前記第1開口とは反対側にある前記貫通孔の第2開口の周に沿って設けられている、ことが好ましい。
前記第1プレートに設けられた前記貫通孔の中心軸の延長線上に、前記第2プレートに設けられた貫通孔の中心軸は一致する、ことが好ましい。
前記プラズマ生成素子及び前記プラズマアクチュエータが、前記成膜用基板の側から見て、前記プラズマ生成素子、前記プラズマアクチュエータの順番に縦列に設けられる。
前記プラズマアクチュエータ電極のうち、前記成膜用基板からみて遠い位置にある前記プラズマアクチュエータの第3電極は、前記第3誘電体管内の空間から見て露出し、前記成膜用基板からみて近い位置にある前記プラズマアクチュエータの第4電極は、前記第3誘電体管内の空間から見て前記第3誘電体管の誘電体により覆われている。
前記プラズマ生成電極のうち、前記成膜用基板からみて遠い位置にある前記プラズマ生成素子の第5電極、及び前記成膜用基板からみて近い位置にある前記プラズマ生成素子の第6電極は、前記第3誘電体管内の空間から見て前記第3誘電体管の誘電体により覆われている。このとき、前記第4電極及び前記第5電極は同一の電極である。
成膜用基板が配置され、成膜用ガスが導入された成膜空間を備える成膜容器と、
一対のアクチュエータ電極を有し、前記アクチュエータ電極間に電圧を加えることで前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成するとともに、前記プラズマの生成により前記成膜空間内のガスを吸引し、さらに、前記プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を噴射するプラズマアクチュエータと、
前記成膜空間に設けられた一対のプラズマ生成電極を有し、前記プラズマ生成電極間に電圧を加えることで、前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、前記プラズマから成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を生成するプラズマ生成素子と、
前記プラズマアクチュエータ及び前記プラズマ生成素子においてプラズマを生成するために、前記プラズマアクチュエータ及び前記プラズマ生成素子にプラズマ生成のための電圧を供給する電源と、
前記電圧の供給を制御する制御ユニットと、を有する。
前記プラズマアクチュエータは、アクチュエータプレートの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔と、前記貫通孔のそれぞれに設けられた誘電体管と、前記貫通孔それぞれの両側の開口に設けられた前記一対のアクチュエータ電極を有する。
前記プラズマ生成素子は、プラズマ生成プレートの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔と、前記貫通孔のそれぞれに設けられた誘電体管と、前記貫通孔それぞれの両側の開口に設けられた前記一対のプラズマ生成電極を有する。
前記一対のプラズマ生成電極及び前記一対のアクチュエータ電極のうち前記プレートそれぞれの一方の面の側に設けられた複数の電極のうち、共通する行それぞれに位置する電極は、前記行毎に、第1給電線で互いに直列に繋がれて前記電源と接続され、
前記一対のプラズマ生成電極及び前記一対のアクチュエータ電極のうち前記プレートのそれぞれの他方の面の側に設けられた複数の電極のうち、共通する列それぞれに位置する電極は、前記列毎に、第2給電線で互いに直列に繋がれて前記電源と接続されている。
成膜用基板が配置された成膜空間に、成膜用ガスを導入する工程と、
前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を前記成膜用基板に噴射し成膜する工程と、を有し、
前記成膜する工程は、前記成膜空間内のガスを吸引し、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子を噴射する力を生成する工程と、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子を生成するために、前記成膜空間内のガスからプラズマを生成する工程と、を含み、
前記力を生成する工程では、前記力の調整をすることにより、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子の噴射速度を調整し、
前記プラズマを生成する工程では、前記プラズマの強度の調整をすることにより、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子の密度を調整し、
前記力を生成する工程における前記力の調整と、前記プラズマを生成する工程における前記プラズマの強度の調整とは個別に行われることにより、前記噴射速度の調整と前記密度の調整が個別に実現される。
本実施形態の成膜装置の概要をまず説明する。
成膜装置は、成膜容器とインジェクタを有する。成膜容器には、成膜用基板が配置されている。成膜容器は、成膜用ガスが導入された成膜空間を備える。
インジェクタは、成膜空間に設けられ、成膜空間内のガス、例えば成膜用ガスを用いてプラズマを生成し、プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を成膜用基板に噴射する。
このインジェクタは、プラズマアクチュエータとプラズマ生成素子を含む。
プラズマアクチュエータは、一対のアクチュエータ電極を有し、アクチュエータ電極間に電圧を加えることで成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成するとともに、このプラズマの生成により成膜空間内のガスを吸引し、さらに、このプラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を噴射する。
プラズマ生成素子は、一対のプラズマ生成電極を有し、このプラズマ生成電極間に電圧を加えることで、成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、プラズマから成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を生成する。
ここで、プラズマアクチュエータとプラズマ生成素子は、成膜用基板の面の垂直方向に対して縦列に設けられる。成膜装置は、このようなインジェクタから噴射する成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を成膜用基板に噴射して成膜する。
このようなプラズマアクチュエータとプラズマ生成素子の組を、成膜用基板に対して対向する位置に複数設け、複数の組の動作を個別に制御することにより、成膜用基板に形成される膜の厚さを所望の分布に、例えば均一に、さらに、膜質を均一にすることができる。
図1は、本実施形態の成膜装置10の全体の概略構成図である。成膜装置10は、成膜本体部12と、ガス源14と、排気ユニット16と、プラズマ生成ユニット18と、を有する。
成膜本体部12は、成膜容器20と、サセプタ22と、を主に有する。成膜容器20は、成膜容器20内の成膜空間を所定の圧力に減圧維持し、あるいは、所定の圧力に維持し、成膜空間の成膜用基板を成膜処理するための容器である。サセプタ22は、表面に成膜用基板24を載せる載置面26を有し、成膜空間内に設けられている。サセプタ22の内部に図示されないヒータが設けられて成膜用基板24を加熱する。成膜用基板24は、成膜容器20に設けられた図示されない開口したシャッターを通して、成膜容器20の外部から内部に搬入されてサセプタ22の載置面26に載せられる。また、成膜済みの成膜用基板24は、上記シャッターを通して成膜容器20の外部に搬出される。
アクチュエータプレート34及びプラズマ生成プレート36のそれぞれは、樹脂あるいはガラス板によって構成された誘電体基板である。アクチュエータプレート34及びプラズマ生成プレート36のそれぞれは、プレートの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔38,40(図2参照)を有し、この貫通孔38,40の内部でプラズマを生成する。貫通孔38はアクチュエータプレート34に設けられ、貫通孔40はプラズマ生成プレート36に設けられる。図2では、括弧書きにて、貫通孔40及びプラズマ生成プレート36が記されている。アクチュエータプレート34及びプラズマ生成プレート36については後述する。また、図2では、アクチュエータ電極34a,34b及び誘電体管34cの図示は省略されている。
インジェクタ32を構成するアクチュエータプレート34は、成膜容器20内に設けられたプレートであって、このプレートの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔38と、これらの貫通孔38それぞれの両側の開口の周りに設けられた一対のアクチュエータ電極と、貫通孔38のそれぞれに、貫通孔38を貫通するように設けられた誘電体管と、を備える。貫通孔38、アクチュエータ電極及び誘電体管により、後述するプラズマアクチュエータが構成される。
本実施形態のように、アクチュエータプレート34とプラズマ生成プレート36とが離間している場合、成膜用基板24から近い順にプラズマアクチュエータ、プラズマ生成素子が設けられていることが好ましい。これは、プラズマアクチュエータによるラジカル分子やラジカル原子の噴射速度を効果的に生かし、噴射速度に基いて膜厚の分布を効率よく調整するためである。勿論、成膜用基板24から近い順にプラズマ生成素子、プラズマアクチュエータが設けられてもよい。
図3(a)は、本実施形態のプラズマアクチュエータの要部の断面斜視図であり、図3(b)は、図3(a)に示す要部の外観斜視図である。
プラズマアクチュエータ35は、アクチュエータプレート34に設けられている。
プラズマアクチュエータ35は、一対のアクチュエータ電極34a,34bを有し、アクチュエータ電極34a,34b間に電圧を加えることで成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成するとともに、プラズマの生成により成膜空間内のガスを吸引し、さらに、プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を噴射する。すなわち、プラズマアクチュエータ35は、プラズマの生成により誘起流れを作る素子である。
このような素子は、以下のような形態であることが好ましい。
プラズマアクチュエータ35では、アクチュエータ電極34a,34bに印加される電力によって、プラズマPの強度、及びラジカル分子やラジカル原子の噴射速度が調整される。したがって、プラズマPから生成されるラジカル分子やラジカル原子の密度及びその噴射速度は、アクチュエータ電極34a,34bに印加される電力によって調整される。
具体的には、プラズマアクチュエータ35の環状のアクチュエータ電極34a,34bは、アクチュエータプレート34(第1プレート)に設けられた貫通孔38(図2参照)の両側の開口に沿って設けられる。誘電体管34c(第1誘電体管)の一方の端(図3(a)の上方の端)は、貫通孔38の両側の開口のうち成膜用基板24からみて遠い位置にある第1開口の端に一致するように設けられる。しかも、アクチュエータ電極34a(第1電極)は、貫通孔38の上記第1開口の縁に沿って設けられる。アクチュエータ電極34aの内周は、誘電体管34cの内周に一致している。したがって、アクチュエータ電極34aの内周は、誘電体管34cの図3(a),(b)中の上方の端に誘電体管34cの内周に沿うように、アクチュエータ電極34aは誘電体管34cに設けられる。
一方、環状のアクチュエータ電極34b(第2電極)は、上記第1開口とは反対側にある貫通孔38の第2開口の周に沿って設けられる。アクチュエータ電極34bの内周は、誘電体管34cの図3(a),(b)中の下方に誘電体管34cの外周に一致するように構成され、アクチュエータ電極34bは誘電体管34cの外周に沿うように設けられる。
したがって、アクチュエータ電極34aは、誘電体管34c内の空間から見て露出し、アクチュエータ電極34bは、誘電体管34c内の空間から見て誘電体管34cの誘電体により覆われている。
アクチュエータ電極34a,34bに電圧を印加することで、アクチュエータ電極34a,34b間に成膜空間内のガス、例えば成膜用ガスを用いたプラズマPが生成される。このとき、成膜用基板24から遠いアクチュエータ電極34aは、誘電体管34c内の空間から見て露出し、成膜用基板24に近いアクチュエータ電極34bは誘電体34c内の空間から見て誘電体管34cの誘電体で覆われているので、生成したプラズマPによりアクチュエータ電極34aからアクチュエータ電極34bの方へ引っ張る力が生成される。このようなプラズマPの発生による生じる力は、例えば、“Experimental Investigation of DBD Plasma Actuators Driven by Repetitive High Voltage Nanosecond Pulses with DC or Low-Frequency Sinusoidal Bias”(Dmitry F. Opaits et al., 38th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference<br> in conjunction with the <br> 16th, 25-28 June 2007)において説明されている。したがって、本実施形態のアクチュエータ35においても、成膜用ガスを吸引し、プラズマPから生成されるラジカル分子やラジカル原子を噴射させるアクチュエータとして機能する。
上記噴射速度は、アクチュエータ電極34aに給電する電力及び成膜空間の減圧雰囲気によって異なるが、例えば0.1m/秒〜2m/秒の噴射速度が得られる。
このように、成膜空間内のガスを用いて貫通孔38内の空間である誘電体管34c内でプラズマPが生成されると、図4中の下向きに引っ張る力が発生するので、プラズマPによって生成されたラジカル分子やラジカル原子は貫通孔38の下側の第2開口に引っ張られ、第2開口から拡散するように下方に噴射される。
本実施形態のアクチュエータ35は、貫通孔38及び誘電体管34cを円管形状とし、アクチュエータ電極34a,34bも円環形状の電極としたが、これらの形状は円管形状や円環形状に制限されない。貫通孔38及び誘電体管34cの断面は矩形形状としてもよく、アクチュエータ電極34a,34bも矩形の環形状としてもよい。
図6は、本実施形態のプラズマ生成素子37におけるプラズマの生成を説明する図である。
プラズマ生成素子37は、プラズマ生成プレート36に設けられている。
プラズマ生成素子37は、環状の一対のプラズマ生成電極36a,36bと、誘電体管36c(第2誘電体管)と、を有する。プラズマ生成電極36a,36bは、誘電体管36cの長さ方向の異なる位置に、誘電体管36cの周に沿って設けられる。プラズマ生成電極36a,36bのいずれも、誘電体管36cの空間から見て誘電体管36cの誘電体により覆われている。
プラズマ生成電極36a,36bは、図6に示すように、プラズマ生成ユニット36(第2プレート)に設けられた貫通孔40の両側の開口に沿って設けられることが好ましい。プラズマ生成素子37の構成において、プラズマ生成電極36bに比べて成膜用基板24から遠いプラズマ生成電極36aが誘電体に覆われている点が、プラズマアクチュエータ35と異なる。これ以外の構成は、プラズマアクチュエータ35と同じである。したがって、プラズマ生成素子37の構成の説明は省略する。なお、プラズマ生成素子についても、貫通孔40及び誘電体管36cを円管形状とし、プラズマ生成電極36a,36bも円環形状の電極としたが、これらの形状は円管形状や円環形状に制限されない。貫通孔40及び誘電体管36cの断面は矩形形状としてもよく、プラズマ生成電極36a,36bも矩形の環形状としてもよい。
プラズマ生成電極36a,36bに電圧を図示されない給電線を通して印加することで、プラズマ生成電極36a,36b間に成膜空間内のガスによるプラズマPが生成される。このとき、成膜用基板24から遠いプラズマ生成電極36a及び成膜用基板24に近いプラズマ生成電極36bはいずれも誘電体36c内の空間から見て誘電体管36cの誘電体で覆われているので、プラズマアクチュエータ37と異なり、誘起流れは生じない。すなわち、プラズマ生成素子37は、供給された電力によりプラズマPを生成するだけである。
プラズマ生成電極36a,36bは、図1に示す第1制御ユニット44に接続されており、プラズマ生成電極36aは、電力、例えば高周波の電圧パルスを、図示されない給電線を通して供給される。プラズマ生成電極36bは、第1制御ユニット44を介して接地されている。したがって、プラズマ生成電極36bの電位は0になっている。
このような構成のプラズマ生成素子37では、プラズマ生成電極36a,36bに印加される電力によって、プラズマPの強度が制御される。したがって、プラズマPから生成されるラジカル分子やラジカル原子の密度は、プラズマ生成電極36a,36bに印加される電力によって制御される。
例えば、供給する電力は、10kHz〜100MHzの高周波であり、一定の高周波電圧で作られる電圧パルスを用いる。このとき、第1制御ユニット44及び第2制御ユニット46は、図示されないスイッチング回路を用いて電圧パルスの単位時間当たりのパルス数を制御して、あるいは、パルス幅を制御して、供給する電力を制御することができる。
なお、本実施形態では、アクチュエータプレート34に設けられた貫通孔38の中心軸の延長線上に、プラズマ生成プレート36に設けられた貫通孔40の中心軸が一致することが、プラズマアクチュエータ35による誘起流れ(ガスの吸引と噴射)を、プラズマ生成素子37で生成したラジカル分子やラジカル原子にも有効に利用させる点で好ましい。
図7は、本実施形態の変形例1を示す図である。本変形例は、プラズマアクチュエータ35とプラズマ生成素子37を1つのプレートと1つの誘電体管を用いて構成した素子である。
当該素子は、プラズマアクチュエータ35及びプラズマ生成素子37は、1つの誘電体管34c,36c(第3誘電体管)を共通の管として用いる。成膜用基板24の側から見て、プラズマ生成素子37、プラズマアクチュエータ35の順番に縦列に設けられている。図7に示すように、図中の上方から、プラズマアクチュエータ35、プラズマ生成素子37の順番に配置されている。
プラズマ生成電極36a,36bのうち、成膜用基板24からみて遠い位置にあるプラズマ生成電極36a(第5電極)、及び成膜用基板24からみて近い位置にあるプラズマ生成電極36b(第6電極)は、誘電体管34c,36c内の空間から見て誘電体管34c,36cの誘電体により覆われている。そして、アクチュエータ電極34b及びプラズマ生成電極36aは、同一の電極である。以降、この電極は、アクチュエータ/プラズマ生成電極34b,36aと記載する。
アクチュエータ電極34a、アクチュエータ/プラズマ生成電極34b,36a、及びプラズマ生成電極36bへの給電についていうと、上記実施形態と同様に、第3制御ユニット41による電圧パルスの調整により電力が調整されている。したがって、アクチュエータ/プラズマ生成電極34b,36aを基準として、アクチュエータ電極34aに供給する電圧パルスを調整することにより、また、アクチュエータ/プラズマ生成電極34b,36aを基準として、プラズマ生成電極36bに供給する電圧パルスを調整することにより、本素子から、所望のラジカル分子あるいはラジカル原子の密度と噴射速度を制御することができる。
次に、本実施形態の変形例2を示す。
図8は、アクチュエータプレート34を説明する図である。本変形例2では、図8に示すアクチュエータプレート34を、図1に示すアクチュエータプレートとして用い、図8に示すアクチュエータプレート34の上面の電極を誘電体で覆った構成を採用した図示されないプラズマ生成プレートを、図1に示すプラズマ生成プレートとして用いる。
各プレートに設けられるプラズマアクチュエータ及びプラズマ生成素子の構成は、図4、図6に示す構成と同様なので同じ部分の説明は省略する。
このように、給電線50U1〜50U7と給電線50D1〜50D7の交点に位置するプラズマアクチュエータ17で所望の動作が生じるように、給電線50U1〜50U7と給電線50D1〜50D7に印加する電圧パルスのタイミング及び電圧パルスのパルス幅等は定められる。したがって、給電線50U1〜50U7と給電線50D1〜50D7に印加する電圧パルスは、上部制御ユニット46U及び下部制御ユニット46Dにより調整することで制御することができる。この上部制御ユニット46U及び下部制御ユニット46Dによる調整は、制御信号U1〜U7及び基制御信号L1〜L7に基いて行われる。制御信号U1〜U7及び基制御信号L1〜L7は、例えば図示されないコンピュータで作成されて、上部制御ユニット46U及び下部制御ユニット46Dに供給される。
この場合、プラズマアクチュエータのアクチュエータ電極及びプラズマ生成素子のプラズマ生成電極のそれぞれには、設定された周期単位で正の電圧値あるいは負の電圧値がパルス状に切り替わることにより、プラズマの生成のための電圧が供給されることが、供給する電力を制御する点で好ましい。
以下、図1に示す本実施形態の成膜装置で行われる成膜方法について説明する。変形例1,2のける成膜方法も同様であるのでその説明は省略する。
まず、成膜装置10では、成膜容器12内の成膜空間の雰囲気は、一定の圧力に維持されるように排気ユニット16は駆動される。一方、成膜空間内には、ガス源14から成膜用ガスが所定流量で定常的に導入される。このとき、成膜用基板24はサセプタ22に載せられている。すなわち、成膜用基板24が配置された成膜空間に、成膜用ガスが導入される。
この後、成膜用基板24は成膜される。具体的には、成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を成膜用基板24に噴射し成膜する。より具体的には、成膜空間内のガスを吸引し、ラジカル分子あるいはラジカル原子を噴射する力を生成する。すなわち、プラズマアクチュエータを用いて、プラズマの生成と誘起流れを生じさせる。さらに、同時に、ラジカル分子あるいはラジカル原子を生成するために、プラズマ生成素子を用いて、成膜用ガスからプラズマを生成させる。
プラズマの強度は、プラズマから生成されるラジカル分子やラジカル原子の密度に対応するため、プラズマアクチュエータ及びプラズマ生成素子に供給する電力を制御することで、ラジカル分子やラジカル原子の密度を制御することができる。
12 成膜容器
14 ガス源
16 排気ユニット
18 プラズマ生成ユニット
20 成膜容器
22 サセプタ
24 成膜用基板
26 載置面
28 供給口
30 排気口
32 インジェクタ
34 アクチュエータプレート
34a,34b アクチュエータ電極
34c 誘電体管
34d 給電線
34f 接地導体
35 プラズマアクチュエータ
36 プラズマ生成プレート
36a,36b プラズマ生成電極
36c 誘電体管
37 プラズマ生成素子
38,40 貫通孔
42 高周波電源
42U 上部電源
42D 下部電源
44 第1制御ユニット
46 第2制御ユニット
46U 上部制御ユニット
46D 下部制御ユニット
50U1〜50U7,50D1〜50D7 給電線
Claims (11)
- プラズマを用いた成膜装置であって、
成膜用基板が配置され、成膜用ガスが導入された成膜空間を備える成膜容器と、
前記成膜空間に設けられ、前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を前記成膜用基板に噴射するインジェクタと、を有し、
前記インジェクタは、一対のアクチュエータ電極を有し、前記アクチュエータ電極間に電圧を加えることで前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成するとともに、前記プラズマの生成により前記成膜空間内のガスを吸引し、さらに、前記プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を噴射するプラズマアクチュエータと、
一対のプラズマ生成電極を有し、前記プラズマ生成電極間に電圧を加えることで、前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、前記プラズマから成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を生成するプラズマ生成素子と、を含み、
前記プラズマアクチュエータと前記プラズマ生成素子は、前記成膜用基板の面の垂直方向に縦列に設けられ、前記インジェクタから噴射する成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を前記成膜用基板に噴射して成膜する、ことを特徴とする成膜装置。 - 前記アクチュエータ電極及び前記プラズマ生成電極は、環状の電極であり、
前記プラズマアクチュエータは、第1誘電体管と、前記第1誘電体管の長さ方向の異なる位置に、前記第1誘電体管の周に沿って前記アクチュエータ電極が設けられ、前記第アクチュエータ電極のうち、前記成膜用基板からみて遠い位置にある第1電極は、前記第1誘電体管内の空間から見て露出し、前記成膜用基板からみて近い位置にある第2電極は、前記第1誘電体管内の空間から見て前記第1誘電体管の誘電体により覆われており、
前記プラズマ生成素子は、第2誘電体管と、前記第2誘電体管の長さ方向の異なる位置に、前記第2誘電体管の周に沿って前記プラズマ生成電極が設けられ、前記プラズマ生成電極のいずれも、前記第2誘電体管内の空間から見て前記第2誘電体管の誘電体により覆われている、請求項1に記載の成膜装置。 - 前記プラズマアクチュエータの前記アクチュエータ電極は、第1プレートに設けられた貫通孔の両側の開口に沿って設けられ、
前記第1誘電体管の一方の端は、前記アクチュエータ電極のうち前記成膜用基板からみて遠い位置にある前記貫通孔の第1開口の端に一致するように設けられ、
前記第1電極は、前記貫通孔の前記第1開口の縁に沿って設けられ、
前記第2電極は、前記第1開口とは反対側にある前記貫通孔の第2開口の周に沿って設けられている、請求項2に記載の成膜装置。 - 前記プラズマ生成素子の前記プラズマ生成電極は、第2プレートに設けられた貫通孔の両側の開口に沿って設けられている、請求項3に記載の成膜装置。
- 前記第1プレートに設けられた前記貫通孔の中心軸の延長線上に、前記第2プレートに設けられた貫通孔の中心軸は一致する、請求項4に記載の成膜装置。
- 前記プラズマアクチュエータ及び前記プラズマ生成素子は、第3誘電体管を共通の管として用い、
前記プラズマ生成素子及び前記プラズマアクチュエータが、前記成膜用基板の側から見て、前記プラズマ生成素子、前記プラズマアクチュエータの順番に縦列に設けられ、
前記プラズマアクチュエータ電極のうち、前記成膜用基板からみて遠い位置にある前記プラズマアクチュエータの第3電極は、前記第3誘電体管内の空間から見て露出し、前記成膜用基板からみて近い位置にある前記プラズマアクチュエータの第4電極は、前記第3誘電体管内の空間から見て前記第3誘電体管の誘電体により覆われており、
前記プラズマ生成電極のうち、前記成膜用基板からみて遠い位置にある前記プラズマ生成素子の第5電極、及び前記成膜用基板からみて近い位置にある前記プラズマ生成素子の第6電極は、前記第3誘電体管内の空間から見て前記第3誘電体管の誘電体により覆われており、
前記第4電極及び前記第5電極は同一の電極である、請求項1に記載の成膜装置。 - プラズマを用いた成膜装置であって、
成膜用基板が配置され、成膜用ガスが導入された成膜空間を備える成膜容器と、
一対のアクチュエータ電極を有し、前記アクチュエータ電極間に電圧を加えることで前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成するとともに、前記プラズマの生成により前記成膜空間内のガスを吸引し、さらに、前記プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を噴射するプラズマアクチュエータと、
前記成膜空間に設けられた一対のプラズマ生成電極を有し、前記プラズマ生成電極間に電圧を加えることで、前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、前記プラズマから成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を生成するプラズマ生成素子と、
前記プラズマアクチュエータ及び前記プラズマ生成素子においてプラズマを生成するために、前記プラズマアクチュエータ及び前記プラズマ生成素子にプラズマ生成のための電圧を供給する電源と、
前記電圧の供給を制御する制御ユニットと、を有し、
前記プラズマアクチュエータは、アクチュエータプレートの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔と、前記貫通孔のそれぞれに設けられた誘電体管と、前記貫通孔それぞれの両側の開口に設けられた前記一対のアクチュエータ電極を有し、
前記プラズマ生成素子は、プラズマ生成プレートの厚さ方向に貫通する複数の貫通孔と、前記貫通孔のそれぞれに設けられた誘電体管と、前記貫通孔それぞれの両側の開口に設けられた前記一対のプラズマ生成電極を有する、ことを特徴とする成膜装置。 - 前記プラズマアクチュエータ及び前記プラズマ生成プレートのそれぞれのプレートの前記貫通孔は、面上の2方向に沿って複数の列及び行を成すように格子状に並べられ、
前記一対のプラズマ生成電極及び前記一対のアクチュエータ電極のうち前記プレートそれぞれの一方の面の側に設けられた複数の電極のうち、共通する行それぞれに位置する電極は、前記行毎に、第1給電線で互いに直列に繋がれて前記電源と接続され、
前記一対のプラズマ生成電極及び前記一対のアクチュエータ電極のうち前記プレートのそれぞれの他方の面の側に設けられた複数の電極のうち、共通する列それぞれに位置する電極は、前記列毎に、第2給電線で互いに直列に繋がれて前記電源と接続されている、請求項7に記載の成膜装置。 - 前記アクチュエータ電極及び前記プラズマ生成電極のそれぞれには、設定された周期単位で正の電圧値あるいは負の電圧値がパルス状に切り替わることにより、前記プラズマの生成のための前記電圧が供給される、請求項8に記載の成膜装置。
- 前記プラズマアクチュエータに設けられる前記貫通孔のそれぞれの中心軸の延長線上に、前記プラズマ生成ユニットに設けられる前記貫通孔の中心軸は一致する、請求項7〜10のいずれか1項に記載の成膜装置。
- プラズマを用いた成膜方法であって、
成膜用基板が配置された成膜空間に、成膜用ガスを導入する工程と、
前記成膜空間内のガスを用いてプラズマを生成し、プラズマから生成される成膜成分のラジカル分子あるいはラジカル原子を前記成膜用基板に噴射し成膜する工程と、を有し、
前記成膜する工程は、前記成膜空間内のガスを吸引し、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子を噴射する力を生成する工程と、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子を生成するために、前記成膜空間内のガスからプラズマを生成する工程と、を含み、
前記力を生成する工程では、前記力の調整をすることにより、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子の噴射速度を調整し、
前記プラズマを生成する工程では、前記プラズマの強度の調整をすることにより、前記ラジカル分子あるいは前記ラジカル原子の密度を調整し、
前記力を生成する工程における前記力の調整と、前記プラズマを生成する工程における前記プラズマの強度の調整とは個別に行われることにより、前記噴射速度の調整と前記密度の調整が個別に実現される、ことを特徴とする成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013021400A JP5918153B2 (ja) | 2013-02-06 | 2013-02-06 | 成膜装置及び成膜方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013021400A JP5918153B2 (ja) | 2013-02-06 | 2013-02-06 | 成膜装置及び成膜方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014152348A JP2014152348A (ja) | 2014-08-25 |
JP5918153B2 true JP5918153B2 (ja) | 2016-05-18 |
Family
ID=51574517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013021400A Expired - Fee Related JP5918153B2 (ja) | 2013-02-06 | 2013-02-06 | 成膜装置及び成膜方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5918153B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2021059784A1 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | ||
JP7058032B1 (ja) * | 2020-10-31 | 2022-04-21 | 株式会社クメタ製作所 | プラズマ生成装置 |
WO2022091730A1 (ja) * | 2020-10-31 | 2022-05-05 | 株式会社クメタ製作所 | プラズマ生成装置 |
JP2023146739A (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002008894A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-11 | Matsushita Electric Works Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法 |
JP2004227990A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Kunihide Tachibana | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
JP4763974B2 (ja) * | 2003-05-27 | 2011-08-31 | パナソニック電工株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2005072347A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Toshio Goto | 処理装置 |
JP5004079B2 (ja) * | 2007-04-24 | 2012-08-22 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 表面プラズマアクチュエータ |
US8172547B2 (en) * | 2008-01-31 | 2012-05-08 | The Boeing Company | Dielectric barrier discharge pump apparatus and method |
US20110298376A1 (en) * | 2009-01-13 | 2011-12-08 | River Bell Co. | Apparatus And Method For Producing Plasma |
JP2012180799A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Nissan Motor Co Ltd | 内燃機関の気流制御装置 |
JP6210615B2 (ja) * | 2011-11-22 | 2017-10-11 | 学校法人日本大学 | 同軸型dbdプラズマアクチュエータを用いた噴流制御装置 |
-
2013
- 2013-02-06 JP JP2013021400A patent/JP5918153B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014152348A (ja) | 2014-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5918153B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JP3762233B2 (ja) | ラジカル蒸着のためのシャワーヘッド装置 | |
CN1302152C (zh) | 化学气相沉积设备 | |
JP2009503781A (ja) | インジェクションタイプのプラズマ処理装置及び方法 | |
CN1847450A (zh) | 化学气相沉积设备 | |
KR20140068116A (ko) | 선형타입 대형면적 플라즈마 반응기 내의 균일한 프로세스를 위한 가스 전달 및 분배 | |
TW200936804A (en) | Atomic layer growing apparatus and thin film forming method | |
JP5870137B2 (ja) | 基板支持装置及びこれを備える基板処理装置 | |
CN104813746A (zh) | 等离子体处理装置以及方法 | |
KR101123829B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR20160134908A (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR101362891B1 (ko) | 기판의 박막처리장치 | |
JP2010212277A (ja) | 成膜装置 | |
JPH11293469A (ja) | 表面処理装置および表面処理方法 | |
KR101091086B1 (ko) | 가스 인젝터 및 이를 구비한 기판 처리 장치 | |
CN104878392B (zh) | 离子束清洗刻蚀设备 | |
KR101065747B1 (ko) | 균일한 가스 공급수단을 구비하는 플라즈마 장치 | |
JP5038769B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
WO2013021599A1 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
KR101407068B1 (ko) | 고속 원거리 플라즈마 원자층 증착장치 | |
KR20210009391A (ko) | 기상 증착 장치 | |
KR20170075163A (ko) | 가스분사부 및 이를 구비하는 원자층 증착장치 | |
KR100803338B1 (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
KR20140140524A (ko) | 박막증착장치 | |
KR102007866B1 (ko) | 원자층 증착 장치 및 이를 이용한 원자층 증착 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150401 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160407 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5918153 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |