KR100803338B1 - 플라즈마 처리장치 - Google Patents
플라즈마 처리장치Info
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- frame
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
- H01J37/32449—Gas control, e.g. control of the gas flow
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Abstract
Description
Claims (4)
- 플라즈마 처리장치에 있어서,처리되도록 하부전극에 탑재된 기판으로부터 일정 거리 이격되어 설치되며, 격자 구조의 프레임과 상기 프레임 격자 사이에 설치되는 메시로 이루어진 그리드를 구비하며,상기 그리드에는 직류 바이어스가 인가되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 프레임은 관(tube) 형상으로 그 저면에 다수의 소스 분출공이 균일하게 분포 형성되고, 적어도 둘 이상의 소스 주입관이 연통되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 소스 분출공은 상기 프레임의 격자 교차점에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 메시의 사이즈는 상기 플라즈마가 상기 그리드 하부로 내려오지 않도록 쉬스 영역이 안정화되는 크기인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060121339A KR100803338B1 (ko) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 플라즈마 처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060121339A KR100803338B1 (ko) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 플라즈마 처리장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100803338B1 true KR100803338B1 (ko) | 2008-02-13 |
Family
ID=39343228
Family Applications (1)
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KR1020060121339A KR100803338B1 (ko) | 2006-12-04 | 2006-12-04 | 플라즈마 처리장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100803338B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017153638A1 (en) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | Beneq Oy | Apparatus and method |
WO2019112148A1 (ko) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | 포항공과대학교 산학협력단 | 이중의 고주파수를 이용한 플라즈마의 시스와 벌크의 확장방법 |
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KR20030028296A (ko) * | 2001-09-28 | 2003-04-08 | 학교법인 한양학원 | 플라즈마 화학기상증착 장치 및 이를 이용한 탄소나노튜브제조방법 |
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2006
- 2006-12-04 KR KR1020060121339A patent/KR100803338B1/ko not_active IP Right Cessation
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