JP5913545B2 - 鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置及び鋳塊の鋳造方法 - Google Patents
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Description
22 … 炉体
24 … るつぼ
26 … 絶縁かご
28 … 加熱器
30 … 冷却装置
32 … 台座
36 … 吸気管
38 … シードクリスタル
40 … シード層
42 … シリコン原料
Claims (12)
- 鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置であって、
一つのるつぼと、
前記るつぼの底部にある少なくとも一つのコーナーを備える。
冷却装置は、るつぼの下方に位置し、一つの台座と、その台座に含まれる少なくとも一つの冷却槽を備え、前記冷却槽は前記るつぼ底部のコーナーと対応し、前記台座にはさらに少なくとも一つの流体を通すための流路を備え、前記流路は前記冷却槽と前記台座の外部と連通する前記冷却装置。 - 前記少なくとも一つのコーナーの数は複数で、前記少なくとも一つの冷却槽の数も複数で、どの冷却槽もそれぞれ一つのコーナーと対応し、しかもこれらの冷却槽は一つの輪溝を介して互いに連通しており、前記流路はそのうち一つの冷却槽と連通し、前記輪溝は少なくとも一つの前記台座の外部と連通した出口を備えることを特徴とする請求項1に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- 前記少なくとも一つのコーナーの数は複数で、前記少なくとも一つの冷却槽の数も複数で、前記少なくとも一つの流路の数も複数で、どの冷却槽もそれぞれ一つのコーナーと対応し、しかも前記流路も対応する前記冷却槽とそれぞれ連通されていることを特徴とする請求項1に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- 前記台座は前記台座の外部と対応の冷却槽と連通する複数の出口を備えることを特徴とする請求項3に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- 前記少なくとも一つのコーナーの数は複数で、前記台座は複数の輪溝を備え、これらの輪溝は一定の間隔を保ちながら前記台座上面の周りを取り巻き、しかもこれらの輪溝は互いに連通しており、少なくとも一つが前記流路と連通し、これらの輪溝が対応する前記るつぼ底部のコーナー部とともに冷却槽を構成することを特徴とする請求項1に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- 前記輪溝のうち、少なくとも一つは前記台座の外部と連通する少なくとも一つの出口を備えることを特徴とする請求項5に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- さらに一つの頂板を含み、前記頂板は前記台座の頂部と結合し、前記頂板は前記るつぼの底面と接触することを特徴とする請求項2,4あるいは6に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- 前記台座は前記冷却槽と前記台座の外部と連通する一つの出口と、台座の上面と結合し、しかも前記るつぼの底面と接触する一つの頂板を備えることを特徴とする請求項1に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- 前記冷却槽の正投影範囲の面積は前記るつぼの底面面積の16%以下であることを特徴とする請求項1に記載の鋳塊鋳造炉に用いる冷却装置。
- 以下のような手順が含まれる鋳塊の鋳造方法:
複数のシードクリスタルを一つのるつぼ内側底部に入れて一つのシード層を形成させる;
前記るつぼの底部は少なくとも一つのコーナーを備える;
固体のシリコン原料を前記るつぼの中に入れて、前記シード層の上に積み上げる;
前記るつぼを加熱してシリコン原料および前記シード層上面を溶化により液状にする。なお、加熱の過程において前記るつぼの底面の前記コーナー区域を冷却して前記シード層の底部を固体状に保持し、前記るつぼを加熱する過程において、前記るつぼ底面の冷却される前記コーナー区域の面積は前記るつぼ底面面積の16%以下である;および
前記るつぼを冷却し、前記シード層の上面から上のほうへ結晶を凝固して、全てのシリコン原料が結晶に凝固するまでこれを続ける;
凝固した後のシード層およびシリコン原料は一つの鋳塊へと変わる。 - 前記るつぼを加熱する過程において、前記るつぼ内部の固体のシリコン原料の高さを測定し、測定された高さが見込み高さを下回った場合、前記るつぼ底面の前記コーナー区域の冷却を開始することを特徴とする請求項10に記載の鋳塊の鋳造方法。
- 前記るつぼを加熱する過程にはさらに前記るつぼ底面の周りを冷却する過程が含まれることを特徴とする請求項11に記載の鋳塊の鋳造方法。
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