JP5906811B2 - パッケージ、及び電力増幅器 - Google Patents
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Description
上記説明においては、マーキング114の形状を網目状としたが、自動機の判別しやすいユニークなマーキングを用いることも可能である。例えば、図3(線分のランダム配置)又は図4(三次元網目形状)に示すようなマーキングパターンを採用することも可能である。
上記説明においては、金蒸着やスパッタなどでマーキング114を形成する方法を例示したが、ヒートシンク112に予め溝形状を設け、メッキを施す際に当該溝形状の部分に金を充填することでマーキング114を形成する方法も適用可能である。
上記説明においては、高周波用パッケージを念頭において説明したが、高周波に限らず、全ての周波数帯域の回路についても同様の手法が適用可能である。
上記説明においては、電力増幅器にFET(Field effect transistor)を適用することを念頭において説明したが、他のトランジスタ、電力増幅用デバイス、MMIC(monolithic microwave integrated circuit)などにも同様に適用可能である。
111 ダイ
112 ヒートシンク
113 電気引き出し部
121 セラミック部分
122 リード部分
Claims (9)
- 半導体素子を搭載するためのパッケージであって、
前記半導体素子が載置されるヒートシンクと、
表面に金メッキが施された前記ヒートシンク上に形成され、前記半導体素子の位置決めマークとして用いられる金のマーキングと、
を有する
ことを特徴とする、パッケージ。 - 前記マーキングは、網目状のパターンを成す
ことを特徴とする、請求項1に記載のパッケージ。 - 前記マーキングは、前記表面に金メッキが施されたヒートシンクに対して金蒸着を行うことで形成される
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載のパッケージ。 - 前記マーキングは、前記表面に金メッキが施されたヒートシンクに対してスパッタを行うことで形成される
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載のパッケージ。 - 前記マーキングは、前記ヒートシンクに予め設けられた所定形状の溝に金を充填することで形成される
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載のパッケージ。 - 前記半導体素子を前記ヒートシンクに接合する際に用いる金錫共晶の半田は、接合前において、前記半導体素子の接合時に望まれる所定の比率よりも、金の比率が少なくなるように調整される
ことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載のパッケージ。 - 前記所定の比率は、金0.8:錫0.2であり、
前記接合前の比率は、金0.79:錫0.21である
ことを特徴とする、請求項6に記載のパッケージ。 - 前記半導体素子と前記パッケージ外の電極とを接続するための電気引き出し部をさらに有する
ことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載のパッケージ。 - パッケージに電力増幅機能を提供する半導体素子を搭載した電力増幅器であって、
前記半導体素子が載置されるヒートシンクと、
表面に金メッキが施された前記ヒートシンク上に形成され、前記半導体素子の位置決めマークとして用いられる金のマーキングと、
前記半導体素子と前記パッケージ外の電極とを接続するための電気引き出し部と、
を有する
ことを特徴とする、電力増幅器。
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JP2012043310A JP5906811B2 (ja) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | パッケージ、及び電力増幅器 |
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JP2013179238A JP2013179238A (ja) | 2013-09-09 |
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-
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