JP5906674B2 - 中空糸炭素膜およびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の中空糸炭素膜は、水を含有する揮発性有機化合物から前記水を分離するために好適に用いられ得る。
まず、第1の前駆体ポリマーとしてたとえばポリフェニレンオキサイド(PPO)を非プロトン性溶媒に溶解させる。PPOの溶媒は、たとえば公知文献(G. Chowdhury, B. Kruczek, T. Matsuura, Polyphenylene Oxide and Modified Polyphenylene Oxide Membranes Gas, Vapor and Liquid Separation, 2001, Springer)にまとめられているように、ベンゼン、トルエン、クロロホルムなど環境負荷が大きく、人体に有害なものが多い。一方、たとえば特開平3−65227号公報には、およそ100℃以上の温度では、比較的環境負荷の小さい非プロトン性の溶媒にPPOが溶解されることが開示されている。本発明において用いられる非プロトン性溶媒としては、たとえばN−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミドなどが用いられ、中でもPPOの溶解性が特に優れることから、非プロトン性溶媒としてN−メチル−2−ピロリドンを用いることが好ましい。
続く工程では、上述のようにして第1の前駆体ポリマーを非プロトン性溶媒に溶解させた溶液(紡糸原液)を、紡糸ノズルより吐出させて中空糸状にする。本発明における紡糸の形式は特に制限されるものではなく、従来公知の紡糸法を適用することができるが、第1の炭素膜1の構造制御を精密に行なう観点および、作製の容易さの観点からは、乾湿式紡糸法を適用することが好ましい。
上述した吐出工程で吐出された紡糸原液は、続く凝固工程において、貧溶媒で満たされた凝固浴に浸漬される。なお、中空糸膜表面のポリマー濃度を高くして、表面を緻密にするなどの膜構造制御の観点から、吐出工程の後、中空糸状に形成された紡糸原液は、溶媒を部分的に乾燥処理した後に、当該凝固工程に供するようにすることが好ましい。凝固工程では、中空糸状に形成された紡糸原液は、非溶媒誘起相分離により、中空糸状物に凝固する。
上述した凝固工程の後、凝固した中空糸状の第1の前駆体ポリマーを、溶媒置換処理を行なうことなく、水を含んだ状態から乾燥させる。なお、凝固工程で相分離を終えた中空糸状の第1の前駆体ポリマーは、十分に水洗して残存する溶媒を除去した後に、当該乾燥工程に供することが好ましい。
<実施例1>
(第2の前駆体ポリマーの作製)
第2の前駆体ポリマーとして、ポリフェニレンオキサイド(PPO)をクロロホルムに溶解させた状態で、室温下、クロロ硫酸とクロロホルムとの混合溶液を滴下してスルホン化反応を進行させた後、乾燥処理を行い、スルホン化度DS=43%のスルホン化ポリフェニレンオキサイド(HSPPO)を得た。
N−メチル−2−ピロリドンとエチレングリコールとを質量比9:1で混合して作製した混合溶媒に、第1の前駆体ポリマー濃度が27.5質量%となるように、第1の前駆体ポリマーとしてのPPO(Poly(2,6−dimethyl−1,4−phenylene oxide 製品番号181781、アルドリッチ社製)を加え、150℃で撹拌することによって、均一な紡糸原液を得た。
メタノールとジメチルアセトアミドとの質量比50/50の混合溶媒に対して、DS=43%のHSPPO(第2の前駆体ポリマー)を、ポリマー濃度10質量%となるように加えて、溶解させたものをディップ液浴槽に満たし、その中に中空糸状の第1の前駆体ポリマーを浸漬させた後、引上げながら乾燥処理を行うことで、中空糸状の第1の前駆体ポリマーの外表面に第2の前駆体ポリマーを設けた中空糸炭素膜前駆体を得た。
得られた中空糸炭素膜前駆体を、電機炉にて空気雰囲気中、10℃/分の速度で270℃まで昇温させ、この温度で1時間加熱した後放冷し、中空糸炭素膜前駆体内の熱架橋を行なった。
耐炎化処理された中空糸炭素膜前駆体を、高温炉を用いて、窒素雰囲気下で炭素化処理を行なった。10℃/分の速度で650℃まで昇温させ、この温度で1時間加熱した後放冷し、図1に示した中空糸炭素膜10を得た。膜の外径は200μm、第1の炭素膜1(支持層)の厚さT1は9μm、第2の炭素膜2(表層)の厚さT2は2μmであった。
実施例1で得られた中空糸炭素膜における第1の炭素膜、第2の炭素膜の水との親和性評価は、第1の炭素膜、第2の炭素膜それぞれの単独の膜における水蒸気吸着測定より評価した。すなわち、第1の前駆体ポリマー、第2の前駆体ポリマーをそれぞれ単独で製膜し、耐炎化処理、炭素化処理を施した後、水蒸気吸着測定を行なった。
上記実施例1の(第2の前駆体ポリマーの作製)と同様にして作製したDS=43%のHSPPOを用い、HSPPOをメタノールに常温で撹拌しながら溶解させ、ポリマー濃度30質量%の紡糸原液を作製した。これを二重円筒管ノズルから、該紡糸原液を内液である35%硝酸アンモニウム水溶液と同時に押出して、膜の内層を凝固させつつ、エアギャップにて乾燥処理を行なった後、純水で満たした凝固槽に浸漬した。湿潤した状態の中空糸状物をワインダーで巻き取った。得られたHSPPOを単独で用いて形成した湿潤中空糸状物は、束状で乾燥すると接着してしまい取り扱いが困難であったため、1m程度にカットした単糸を1本ずつ吊るした状態で、降伏強力以下、すなわち概ね1g程度の錘をつけて、中空糸状物中の内液を抜きつつ乾燥させた。次に、乾燥後の中空糸状物を上記実施例1と同様の条件で耐炎化処理および炭素化処理を施し、単独のHSPPO中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、膜厚は10μmであった。
上記実施例1の(中空糸状の第1の前駆体ポリマーの作製)と同様の方法でPPO中空糸を作製し、実施例1と同様の条件で耐炎化処理および炭素化処理を施し、単独のPPO中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、膜厚は10μmであった。
(第2の前駆体ポリマーの作製)
第2の前駆体ポリマーとして、ポリフェニレンオキサイド(PPO)をクロロホルムに溶解させた状態で、室温下、クロロ硫酸とクロロホルムとの混合溶液を滴下してスルホン化反応を進行させた後、再沈させ、水洗した反応物を0.5M炭酸ナトリウム水溶液に浸漬して、スルホン酸基をナトリウムで中和した後、水洗して残留した炭酸ナトリウム塩を完全に除去し、乾燥処理を行い、スルホン化度DS=43%のNa置換スルホン化ポリフェニレンオキサイド(NaSPPO)を得た。
実施例1と同様の方法でPPO中空糸状物を得た。
メタノールとジメチルアセトアミドとの質量比50/50の混合溶媒に対して、DS=43%のNaSPPO(第2の前駆体ポリマー)を、ポリマー濃度10質量%となるように加えて、溶解させたものをディップ液浴槽に満たし、その中に中空糸状の第1の前駆体ポリマーを浸漬させた後、引上げながら乾燥処理を行うことで、中空糸状の第1の前駆体ポリマーの外表面に第2の前駆体ポリマーを設けた中空糸炭素膜前駆体を得た。
得られた中空糸炭素膜前駆体を、電機炉にて空気雰囲気中、10℃/分の速度で270℃まで昇温させ、この温度で1時間加熱した後放冷し、中空糸炭素膜前駆体内の熱架橋を行なった。
耐炎化処理された中空糸炭素膜前駆体を、高温炉を用いて、窒素雰囲気下で炭素化処理を行なった。10℃/分の速度で650℃まで昇温させ、この温度で1時間加熱した後放冷し、図1に示した中空糸炭素膜10を得た。膜の外径は200μm、第1の炭素膜1(支持層)の厚さT1は9μm、第2の炭素膜2(表層)の厚さT2は2μmであった。
実施例2で得られた中空糸炭素膜における第1の炭素膜、第2の炭素膜の水との親和性評価は、第1の炭素膜、第2の炭素膜それぞれの単独の膜における水蒸気吸着測定より評価した。すなわち、第1の前駆体ポリマー、第2の前駆体ポリマーをそれぞれ単独で製膜し、耐炎化処理、炭素化処理を施した後、水蒸気吸着測定を行なった。
上記実施例2の(第2の前駆体ポリマーの作製)と同様にして作製したDS=43%のNaSPPOを用い、NaSPPOをメタノールに常温で撹拌しながら溶解させ、ポリマー濃度30質量%の紡糸原液を作製した。これを二重円筒管ノズルから、該紡糸原液を内液である35%硝酸アンモニウム水溶液と同時に押出して、膜の内層を凝固させつつ、エアギャップにて乾燥処理を行なった後、純水で満たした凝固槽に浸漬した。湿潤した状態の中空糸状物をワインダーで巻き取った。得られたNaSPPOを単独で用いて形成した湿潤中空糸状物は、束状で乾燥すると接着してしまい取り扱いが困難であったため、1m程度にカットした単糸を1本ずつ吊るした状態で、降伏強力以下、すなわち概ね1g程度の錘をつけて、中空糸状物中の内液を抜きつつ乾燥させた。次に、乾燥後の中空糸状物を上記実施例2と同様の条件で耐炎化処理および炭素化処理を施し、単独のNaSPPO中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、膜厚は10μmであった。
上記実施例1の(中空糸状の第1の前駆体ポリマーの作製)と同様の方法でPPO中空糸を作製し、実施例2と同様の条件で耐炎化処理および炭素化処理を施し、単独のPPO中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、膜厚は10μmであった。
(第2の前駆体ポリマーの作製)
第2の前駆体ポリマーとして、上記の式(III)および式(IV)にそれぞれ示される化学構造を有する繰り返し単位Aと繰り返し単位Bとの組み合わせからなるスルホン化ポリエーテルスルホン(SPES)を以下のようにして準備した。まず、3,3’−ジスルホ−4,4’−ジクロロジフェニルスルホン2ナトリウム塩(略号:S−DCDPS)、2,6−ジクロロベンゾニトリル(略号:DCBN)、4,4’−ビフェノール、炭酸カリウム、およびモレキュラーシーブを四つ口フラスコに計り取り、窒素を流した。N−メチル−2−ピロリドンを加えて、150℃で50分撹拌した後、反応温度を195〜200℃に上昇させて系の粘性が十分上がるのを目安に反応を続けた。その後、放冷し、放冷後、沈降しているモレキュラーシーブを除いて水中に沈殿させた。得られたポリマーは、沸騰水中で1時間洗浄した後、純水で丁寧に水洗することで、残留した炭酸カリウムを完全に除去した。その後、炭酸カリウムを除去した後のポリマーを乾燥させた。このポリマーを、0.5Mの炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、スルホン酸基をナトリウムで中和した。そして、炭酸ナトリウム水溶液への浸漬後のポリマーを水洗することによって、反応物に残留した炭酸ナトリウム塩を完全に除去した。その後、反応物を乾燥させて、目的物である第2の前駆体ポリマーとしてのスルホン化度DS=60%のNaSPESを得た。
実施例1と同様の方法でPPO中空糸状物を得た。
ジメチルアセトアミド溶媒に対して、DS=60%のNaSPESを、ポリマー濃度8質量%となるように加えて、溶解させたものをディップ液浴槽に満たし、その中に支持体PPO中空糸膜を浸漬させた後、引上げながら乾燥処理を行うことで、中空糸炭素膜前駆体を得た。
得られた中空糸炭素膜前駆体を、電機炉にて空気雰囲気中、10℃/分の速度で270℃まで昇温させ、この温度で1時間加熱した後放冷し、中空糸炭素膜前駆体内の熱架橋を行なった。
耐炎化処理された中空糸炭素膜前駆体を、高温炉を用いて、窒素雰囲気下で炭化処理を行なった。10℃/分の速度で650℃まで昇温させ、この温度で1時間加熱した後放冷し、目的物である中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、第1の炭素膜1(支持層)の厚さT1は9μm、第2の炭素膜2(表層)の厚さT2は3μmであった。
実施例3で得られた中空糸炭素膜における第1の炭素膜、第2の炭素膜の水との親和性評価は、第1の炭素膜、第2の炭素膜それぞれの単独の膜における水蒸気吸着測定より評価した。すなわち、第1の前駆体ポリマー、第2の前駆体ポリマーをそれぞれ単独で製膜し、耐炎化処理、炭素化処理を施した後、水蒸気吸着測定を行なった。
上記実施例3の(第2の前駆体ポリマーの作製)記載の方法で作製したDS=60%のNaSPESを用い、NaSPESの濃度が27.5質量%となるように、このNaSPESをN−メチル−2−ピロリドンに加え、150℃で撹拌することによって、NaSPESをN−メチル−2−ピロリドンに溶解させ、均一な紡糸原液を得た。続いて、二重円筒管ノズルの内側から内液である硝酸アンモニウム濃度が15質量%の硝酸アンモニウム水溶液を押し出すと同時に外側から上記の紡糸原液を押し出して、エアギャップで乾燥させた後、純水で満たした凝固浴中で紡糸原液を固化することによって、中空糸状に成形されたNaSPESを作製した。その後、中空糸状に成形された湿潤状態のNaSPESをワインダーで巻き取った。得られた中空糸状に成形された湿潤状態のNaSPESを束にして乾燥させた場合には、NaSPESが互いに密着して、取り扱いが困難であった。そのため、NaSPESをそれぞれ1m程度の長さにカットして、1本ずつ吊るした状態で、それぞれの先端に1g程度の錘を取り付けて、中空糸状のNaSPES中の内液を抜きつつ乾燥させた。次に、乾燥後の中空糸状物を上記実施例2と同様の条件で耐炎化処理および炭素化処理を施し、単独のNaSPPES中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、膜厚は10μmであった。
上記実施例1の(中空糸状の第1の前駆体ポリマーの作製)と同様の方法でPPO中空糸を作製し、実施例3と同様の条件で耐炎化処理および炭素化処理を施し、単独のPPO中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、膜厚は10μmであった。
(第2の前駆体ポリマーの作製)
実施例1と同様にしてDS=43%のHSPPO(第2の前駆体ポリマー)を作製した。
クロロホルムに、ポリマー濃度27.5質量%となるように、ポリフェニレンオキサイド(PPO)(Poly(2,6−dimethyl−1,4−phenylene oxide 製品番号181781、アルドリッチ社製)を加え、常温にて撹拌溶解させ、均一な紡糸原液を得た。二重円筒管ノズルから、該紡糸原液および内液としてエタノールを同時に常温の条件で押出して、エアギャップにて乾燥処理を行い、エタノールで満たした凝固槽で相分離させて、固化した中空糸状物を乾燥処理して巻取り、中空糸状の第1の前駆体ポリマーを得た。
ジメチルアセトアミド溶媒に対して、DS=43%のHSPPOを、ポリマー濃度8質量%となるように加えて、溶解させたものをディップ液浴槽に満たし、その中に支持体PPO中空糸膜(中空糸状の第1の前駆体ポリマー)を浸漬させた後、引上げながら乾燥処理を行うことで、中空糸炭素膜前駆体を得た。
実施例1と同条件で処理を行なった。
実施例1と同条件で処理を行い、中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、第1の炭素膜1(支持層)の厚さT1は10μm、第2の炭素膜2(表層)の厚さT2は2μmであった。
比較例1で得られた中空糸炭素膜における第1の炭素膜、第2の炭素膜の水との親和性評価は、第1の炭素膜、第2の炭素膜それぞれの単独の膜における水蒸気吸着測定より評価した。すなわち、第1の前駆体ポリマー、第2の前駆体ポリマーをそれぞれ単独で製膜し、耐炎化処理、炭素化処理を施した後、水蒸気吸着測定を行なった。
実施例1の(第2の炭素膜の単独膜の作製)記載と同様にして、単独のHSPPO中空糸炭素膜を得た。
比較例1の(中空糸状の第1の前駆体ポリマーの作製)記載の方法で作製したPPO中空糸を、比較例1で記載された方法で耐炎化処理、および、炭素化処理を行うことで、単独のPPO中空糸炭素膜を得た。
(第2の前駆体ポリマーの作製)
実施例2と同様にしてDS=43%のNaSPPO(第2の前駆体ポリマー)を作製した。
比較例1と同様にして、中空糸状の第1の前駆体ポリマーを得た。
ジメチルアセトアミド溶媒に対して、DS=43%のNaSPPOを、ポリマー濃度8質量%となるように加えて、溶解させたものをディップ液浴槽に満たし、その中に支持体PPO中空糸膜(中空糸状の第1の前駆体ポリマー)を浸漬させた後、引上げながら乾燥処理を行うことで、中空糸炭素膜前駆体を得た。
実施例2と同条件で処理を行なった。
実施例2と同条件で処理を行い、中空糸炭素膜を得た。膜の外径は200μm、第1の炭素膜1(支持層)の厚さT1は10μm、第2の炭素膜2(表層)の厚さT2は2μmであった。
比較例2で得られた中空糸炭素膜における第1の炭素膜、第2の炭素膜の水との親和性評価は、第1の炭素膜、第2の炭素膜それぞれの単独の膜における水蒸気吸着測定より評価した。すなわち、第1の前駆体ポリマー、第2の前駆体ポリマーをそれぞれ単独で製膜し、耐炎化処理、炭素化処理を施した後、水蒸気吸着測定を行なった。
実施例2の(第2の炭素膜の単独膜の作製)記載と同様にして、単独のNaSPPO中空糸炭素膜を得た。
比較例2の(中空糸状の第1の前駆体ポリマーの作製)記載の方法で作製したPPO中空糸を、比較例2で記載された方法で耐炎化処理、および、炭素化処理を行うことで、単独のPPO中空糸炭素膜を得た。
実施例1の(中空糸状の第1の前駆体ポリマーの作製)記載の方法で作製したPPO中空糸を、実施例1で記載された方法で耐炎化処理、および、炭素化処理を行うことで、単独のPPO中空糸炭素膜を得た。
比較例3は支持層のみの構成であるため、比較例3記載のPPO中空糸炭素膜をそのまま用いた。
(膜形状および膜厚の評価方法)
実施例および比較例で得られた中空糸炭素膜の断面の外径、膜厚は走査型電子顕微鏡(SEM)により評価した。また中空糸炭素膜の第2の炭素膜の厚さは、中空糸炭素膜断面の表層側の第2の炭素膜と、内層側の第1の炭素膜にコントラストの差異が生じることを利用して評価した。
実施例および比較例で得られた中空糸炭素膜における第1の炭素膜、第2の炭素膜の水との親和性評価は、第1の炭素膜、第2の炭素膜それぞれの単独の膜における水蒸気吸着測定より評価した。すなわち、第1の前駆体ポリマー、第2の前駆体ポリマーをそれぞれ単独で製膜し、耐炎化処理、炭素化処理を施した後、水蒸気吸着測定を行なった。各々の製法条件は実施例、比較例における第1の炭素膜の製法に準じ、耐炎化、炭素化は、各実施例、比較例で記載された条件を用いた。
・Dosing:Low Pressure incremental dose mode
・Dose amount:0.04461mmol/g
・Equilibrium interval:5s
・Po:23.640mmHg
・Temperature:25℃
<吸着ガス特性>
・Density conversion factor:0.0008055
・Therm. Trans hardsphere diameter:3.604Å
・Molecular cross−section area:0.108nm2
(相対圧P/Po=0.03は、混合液中に含まれる比率の少ない水分の第2の炭素膜の水の選択性を、相対圧P/Po=0.9は、膜中に選択的に取り込まれた水分(高濃度)が第1の炭素膜または第2の炭素膜でどれだけ保持されやすいかの指標とした。
JIS R7606:2000に準拠して、引張試験機テクノグラフ(TG−200NB、ロードセル型式TT3D−10N、ミネベア株式会社製)を用いて、実施例1〜3および比較例1〜2の中空糸炭素膜の引張試験を行なうことによって、破断伸度および引張弾性率を評価した。中空糸炭素膜サンプルの断面積は、JIS R7607:2000のC法に準拠して、中空糸膜断面積を測定した。
図4に、実施例および比較例で得られた中空糸炭素膜の浸透気化分離法による水の分離性能および透過性能の評価に用いた浸透気化分離装置の模式的な構成図を示す。実施例および比較例で得られた中空糸炭素膜10の複数をそれぞれ同数ずつ束ねて、束ねた中空糸炭素膜10の一端の開口部を接着剤で封止して閉口するとともに、他端の開口部を開口させて、その両端にそれぞれキャップを嵌め込んで分離膜モジュール20を作製した。そして、このようにして作製した分離膜モジュール20を、保温テープ39で被覆されたステンレスチューブ44の一端に気密状態が保たれるように取り付けた。また、ステンレスチューブ44の端部間にはストップバルブ40を取り付けた。
また、冷却トラップ36でトラップされた透過液をTCD(Thermal Conductivity Detector)ガスクロマトグラフにより分析し、透過液中の酢酸エチル濃度を求めるとともに下記式により分離係数を算出した。
各評価結果を表1に示す。表1からわかるように、本発明である実施例1、2、3では透過性能と分離性能の両面で高い性能を有し、かつ、分離膜モジュールを製造する上での取り扱いに十分な破断伸度と引張弾性率を有している。
Claims (12)
- 中空糸状の第1の炭素膜と、
前記第1の炭素膜の外表面に設けられた第2の炭素膜と、を備え、
破断伸度が1〜4%であり、
前記第2の炭素膜は、前記第1の炭素膜よりも透過成分である水との親和性が高い、中空糸炭素膜。 - 前記第2の炭素膜の前駆体ポリマーは、下記の式(I)で表わされる繰り返し単位Aと、下記の式(II)で表わされる繰り返し単位Bとの繰り返し構造を有しており、
前記繰り返し単位Aと前記繰り返し単位Bとの総数に対する前記繰り返し単位Bの数の百分率の割合が、15%よりも大きく、100%よりも小さい、請求項1に記載の中空糸炭素膜。 - 前記式(II)におけるR1およびR2が、それぞれ独立に、−SO3M、−SO3Hまたは水素原子を示し、ここにおいてMは金属元素を示す、請求項2に記載の中空糸炭素膜。
- 前記第1の炭素膜の厚さが5〜100μmであり、前記第2の炭素膜の厚さが0.05〜20μmである、請求項1〜3のいずれかに記載の中空糸炭素膜。
- 引張弾性率が5GPa以上である、請求項1〜4のいずれかに記載の中空糸炭素膜。
- 水を含有する揮発性有機化合物から前記水を分離することが可能である、請求項1に記載の中空糸炭素膜。
- 水分と揮発性有機化合物を含む空気から前記水分を透過させ、前記水分と前記揮発性有機化合物を分離することが可能である、請求項1〜5のいずれかに記載の中空糸炭素膜。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の中空糸炭素膜を製造する方法であって、
前記第1の炭素膜の前駆体ポリマーである第1の前駆体ポリマーを作製する工程と、
前記第2の炭素膜の前駆体ポリマーである第2の前駆体ポリマーを作製する工程と、
中空糸状の第1の前駆体ポリマーの外表面に第2の前駆体ポリマーが設置された中空糸炭素膜前駆体を形成する工程と、
中空糸炭素膜前駆体を炭素化処理する工程と、を含む、中空糸炭素膜の製造方法。 - 前記第2の前駆体ポリマーは、下記の式(I)で表わされる繰り返し単位Aと、下記の式(II)で表わされる繰り返し単位Bとの繰り返し構造を有しており、
前記繰り返し単位Aと前記繰り返し単位Bとの総数に対する前記繰り返し単位Bの数の百分率の割合が、15%よりも大きく、100%よりも小さい、請求項8に記載の中空糸炭素膜の製造方法。 - 前記式(II)におけるR1およびR2が、それぞれ独立に、−SO3M、−SO3Hまたは水素原子を示し、ここにおいてMは金属元素を示す、請求項9に記載の中空糸炭素膜の製造方法。
- 前記第1の前駆体ポリマーは、ポリフェニレンオキサイドであり、
前記第2の前駆体ポリマーは、スルホン化ポリフェニレンオキサイドである、請求項9または10に記載の中空糸炭素膜の製造方法。 - 前記炭素化処理する工程の前に、前記中空糸炭素膜前駆体を耐炎化処理する工程をさらに含む、請求項8〜11のいずれかに記載の中空糸炭素膜の製造方法。
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