JP5906568B2 - 真空排気方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 65
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 42
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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Description
本実施形態では、チャンバー内の気体を排気する特徴的な排気方法の例について、図1〜図5に従って説明する。
次に、真空チャンバー4内の気体を排気する方法について説明する。真空排気工程は排気量等のモニター要素を上げる上昇工程と排気量等のモニター要素を一定に保つ水平工程と排気量等のモニター要素を下げる下降工程の順に行う。特徴のある上昇工程について説明する。図4は排気方法をしめすフローチャートである。フローチャートに従って、真空排気システム25における真空引き作業で圧力制御板部10を開く上昇工程の手順を説明する。
P1−P2=R1×Q1・・・・数1
の関係式が成り立つ。
ここで、P1及びQ1は真空引きにより随時変化し、P2は真空排気装置5の能力によって決まる固定値であり、R1は排気配管8によって決まる固定値である。
(1)本実施形態によれば、新排気シーケンスのように上昇工程20、水平工程21、下降工程22を設けることにより、真空引き時の、排気ガス流量及び駆動音及び駆動電流値の最大値を抑えながら、より短時間に真空チャンバー4の圧力を希望の圧力まで減圧することが可能となる。
次に、チャンバー内の気体を排気する特徴的な排気方法の例について、図6及び図7に従って説明する。本実施形態が実施形態1と異なるところは、圧力制御板部10を時間の推移に応じて制御する点にある。尚、実施形態1と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、電流値、駆動音が低い値から上げるシーケンス条件にて上昇工程20の排気を行っている。そして、水平工程21、下降工程22を設けることにより、真空引き時の、排気ガス流量及び駆動音及び駆動電流値の最大値を抑えながら、より短時間に真空チャンバー4の圧力を希望の圧力まで減圧することが可能となる。
Claims (1)
- 真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気する真空排気方法であって、
排気ガス流量、駆動音、および駆動電流のうち少なくとも一つの判定値を設定する工程と、
前記排気ガス流量、前記駆動音、および前記駆動電流のうち少なくとも一つの測定値が前記判定値に到達するまで、前記真空排気装置と前記チャンバーとを接続する配管に設けられた圧力制御板部の動作角を開けていく上昇工程と、
前記少なくとも一つの測定値を維持するように前記動作角の角度調整を行う定常工程と、
を有することを特徴とする真空排気方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011025942A JP5906568B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 真空排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011025942A JP5906568B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 真空排気方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012163079A JP2012163079A (ja) | 2012-08-30 |
JP2012163079A5 JP2012163079A5 (ja) | 2014-03-06 |
JP5906568B2 true JP5906568B2 (ja) | 2016-04-20 |
Family
ID=46842684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011025942A Expired - Fee Related JP5906568B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 真空排気方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5906568B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6318847B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2018-05-09 | トヨタ自動車株式会社 | 負圧検出システム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6336674U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-09 | ||
JPH0321579U (ja) * | 1989-07-10 | 1991-03-04 | ||
JP2002174173A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Denso Corp | ポンプ |
JP5631539B2 (ja) * | 2008-10-10 | 2014-11-26 | ナブテスコオートモーティブ株式会社 | 真空ポンプ |
-
2011
- 2011-02-09 JP JP2011025942A patent/JP5906568B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012163079A (ja) | 2012-08-30 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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