JP2012163079A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012163079A5 JP2012163079A5 JP2011025942A JP2011025942A JP2012163079A5 JP 2012163079 A5 JP2012163079 A5 JP 2012163079A5 JP 2011025942 A JP2011025942 A JP 2011025942A JP 2011025942 A JP2011025942 A JP 2011025942A JP 2012163079 A5 JP2012163079 A5 JP 2012163079A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum exhaust
- vacuum
- exhaust device
- driving sound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (2)
- 真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気する真空排気方法であって、
前記チャンバーから排気する排気ガス流量と前記真空排気装置から発せられる駆動音とのうち少なくとも一つの要素を監視し、監視する前記要素によって前記真空排気装置と前記チャンバーとを接続する配管に設けられたバルブの開閉を制御することにより、前記要素の値を低い値から上げて行く上昇工程と、前記要素の値を一定に保つ定常工程と、を有することを特徴とする真空排気方法。 - 真空排気装置を用いてチャンバー内の気体を排気する真空排気方法であって、
前記真空排気装置と前記チャンバーとを接続する配管に設けられたバルブの開閉を閉状態から開状態に変えることによって前記真空排気装置の駆動音を低い値から上げて行く上昇工程と、前記前記真空排気装置の駆動音を一定に保つ定常工程と、を有することを特徴とする真空排気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011025942A JP5906568B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 真空排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011025942A JP5906568B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 真空排気方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012163079A JP2012163079A (ja) | 2012-08-30 |
| JP2012163079A5 true JP2012163079A5 (ja) | 2014-03-06 |
| JP5906568B2 JP5906568B2 (ja) | 2016-04-20 |
Family
ID=46842684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011025942A Expired - Fee Related JP5906568B2 (ja) | 2011-02-09 | 2011-02-09 | 真空排気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5906568B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6318847B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2018-05-09 | トヨタ自動車株式会社 | 負圧検出システム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6336674U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-09 | ||
| JPH0321579U (ja) * | 1989-07-10 | 1991-03-04 | ||
| JP2002174173A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Denso Corp | ポンプ |
| JP5631539B2 (ja) * | 2008-10-10 | 2014-11-26 | ナブテスコオートモーティブ株式会社 | 真空ポンプ |
-
2011
- 2011-02-09 JP JP2011025942A patent/JP5906568B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2014220408A5 (ja) | ||
| WO2014012896A3 (fr) | Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes | |
| JP2011131070A5 (ja) | ||
| JP2012231918A5 (ja) | ||
| WO2011107770A3 (en) | A handle for a wand of a vacuum cleaning appliance | |
| JP2009523325A5 (ja) | ||
| FI20115318A0 (fi) | Laitteisto virtausmelun alentamiseksi ja venttiili | |
| JP2011523810A5 (ja) | ||
| ATE443806T1 (de) | Abgasrückführventil | |
| MX370132B (es) | Determinacion del coeficiente de descarga de un estrangulador/valvula de perforacion con presion controlada. | |
| JP2018504596A5 (ja) | ||
| WO2012002721A3 (en) | Valve control system, bidet using the same, and valve control method | |
| WO2008002909A3 (en) | Method and apparatus for multi-chamber exhaust control | |
| WO2016100002A3 (en) | System and method for controlling flow in a well production system | |
| JP2015517398A5 (ja) | ||
| WO2012148536A3 (en) | Process for purifying a gas in a temperature swing adsorption unit | |
| JP2015500944A5 (ja) | ||
| JP2018505773A5 (ja) | ||
| TR201903923T4 (tr) | Pnömatik kompakt vakumlu tuvalet. | |
| RU2017116521A (ru) | Двигатель внутреннего сгорания, а также способ торможения двигателем с использованием такого двигателя | |
| JP2013508091A5 (ja) | ||
| JP2012163079A5 (ja) | ||
| JP2016175815A5 (ja) | ||
| WO2008136502A1 (ja) | バルブ開閉動作確認方法、ガス処理装置および記憶媒体 | |
| WO2012015170A3 (ko) | 시추선의 통풍장치 |