JPH0321579U - - Google Patents

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JPH0321579U
JPH0321579U JP8096989U JP8096989U JPH0321579U JP H0321579 U JPH0321579 U JP H0321579U JP 8096989 U JP8096989 U JP 8096989U JP 8096989 U JP8096989 U JP 8096989U JP H0321579 U JPH0321579 U JP H0321579U
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flow rate
vacuum
evacuation device
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rate detection
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図はこの考案の実施例の系統図
、第４図は実施例の排気時間と排気流量の関係を
示したグラフ、第５図は従来の排気装置の系統図
、第６図は従来の排気装置の排気時間と排気流量
の関係を示したグラフである。 １……真空容器、２……真空ポンプ、３……管
路、４……流量検出手段、５……可変流量弁、６
……流量情報、７……制御器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 一端が真空容器に接続された管路の他端に真
    空ポンプが接続されてなる真空排気装置において
    、前記管路に可変流量弁と、流量検出手段とが設
    けてあり、可変流量弁の開度が流量検出手段で検
    出した流量情報に基づいて制御されていることを
    特徴とした真空排気装置。 ２ 流量検出手段は、熱伝導真空計又は熱式質量
    流量計とした請求項１記載の真空排気装置。 ３ 熱伝導真空計は、検出した流量情報を補正す
    る為の温度センサーを内蔵している請求項２記載
    の真空排気装置。
JP8096989U 1989-07-10 1989-07-10 Pending JPH0321579U (ja)

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JPH0321579U true JPH0321579U (ja) 1991-03-04

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001293047A (ja) * 2000-04-14 2001-10-23 Iura:Kk 介護用リフトにおける低床進入可能なフレーム
JP2002541541A (ja) * 1999-04-07 2002-12-03 アルカテル 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット
JP2012163079A (ja) * 2011-02-09 2012-08-30 Seiko Epson Corp 真空排気方法
JP2021025417A (ja) * 2019-07-31 2021-02-22 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 真空排気方法及び装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2012163079A (ja) * 2011-02-09 2012-08-30 Seiko Epson Corp 真空排気方法
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