JPH0325873U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0325873U JPH0325873U JP8672989U JP8672989U JPH0325873U JP H0325873 U JPH0325873 U JP H0325873U JP 8672989 U JP8672989 U JP 8672989U JP 8672989 U JP8672989 U JP 8672989U JP H0325873 U JPH0325873 U JP H0325873U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- vacuum
- detection means
- positive displacement
- evacuation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例の系統図、第２図は
同じく実施例の排気時間と排気流量の関係を示し
たグラフ、第３図は従来の真空排気装置の系統図
、第４図は同じく従来装置の排気時間と排気流量
の関係を示したグラフである。 １…真空容器、２…油回転真空ポンプ、３…流
量計、４…制御器、５…管路、６…流量情報。
同じく実施例の排気時間と排気流量の関係を示し
たグラフ、第３図は従来の真空排気装置の系統図
、第４図は同じく従来装置の排気時間と排気流量
の関係を示したグラフである。 １…真空容器、２…油回転真空ポンプ、３…流
量計、４…制御器、５…管路、６…流量情報。
Claims (1)
- 一端が真空容器に接続された配管の他端に容積
移送式真空ポンプを接続してなる真空排気装置に
おいて、前記配管に流量検出手段が設けてあると
共に、前記容積移送式真空ポンプの回転数が流量
検出手段で検出した流量情報に基づいて制御され
ていることを特徴とした真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8672989U JPH0325873U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8672989U JPH0325873U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325873U true JPH0325873U (ja) | 1991-03-18 |
Family
ID=31636355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8672989U Pending JPH0325873U (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325873U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002541541A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | アルカテル | 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット |
| JP2018159682A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713286A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-23 | Toshiba Corp | Operating method of vacuum pump |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP8672989U patent/JPH0325873U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713286A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-23 | Toshiba Corp | Operating method of vacuum pump |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002541541A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | アルカテル | 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット |
| JP2018159682A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
| US11624752B2 (en) | 2017-03-24 | 2023-04-11 | Hitachi High-Tech Corporation | Automatic analyzer |
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