JP5899398B2 - 活性種発生ユニットおよびこれを用いた活性種発生装置 - Google Patents

Description

本発明は、室内空間の除菌や脱臭を行う、コロナ放電を利用した活性種発生装置に関するものである。

従来、コロナ放電を利用して、オゾンやマイナスイオンなどを発生させる装置が知られている。その構成は、針電極と、アース電極とを有し、前記針電極とアース電極間に高電圧を印加して、針電極先端部においてコロナ放電を生起させ、このコロナ放電により、オゾンおよびマイナスイオンを発生させるものであった（例えば特許文献１参照）。

特開２００４−１８３４８号公報

上記従来の特許文献１に記載の装置では、放電のスパークを防止するために、放電電極としての針電極と対向電極としてのアース電極の距離を離す必要があった。また、針電極とアース電極を平行に配置しているため、イオン風の発生方向と、コロナ放電の発生部位がずれ、生成したオゾンなどの活性種を効率的に拡散させることができず、活性種の発生量を増やすことは困難であった。

そこで、本発明は、放電のスパークを防止しつつ放電電極と対向電極の距離を近づけ、活性種の発生量を増やすことができ、かつ安定した放電電流を得ることができる活性種発生ユニットおよび活性種発生装置を提供することを目的とする。

そして、この目的を達成するために本発明は、中央が開口した板部材に複数の支柱を設けた枠体と、針と電源接続部を備えた板金を接合して構成された放電電極と、セラミックで構成され表面に半導電材料を塗布した中央に孔部を備えた絶縁性基板と、中央が開口しかつ電源接続部を備えた板金である対向電極と、前記対向電極の開口部の内側に配置するシリコンで構成され断面形状が円形のシリコンリングと、前記対向電極と前記絶縁性基板を重ね、前記枠体とで挟み込む板固定部を備え、前記放電電極と前記対向電極に電源部より電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生する活性種発生ユニットであって、前記枠体の板部材の前記放電電極に対向する面の中央開口周辺にリング状の凸部を設け、かつ前記枠体の隣り合う支柱間に板部材と一体となった補強部材を設けることで所期の目的を達成するものである。

以上のように本発明は、中央が開口した板部材に複数の支柱を設けた枠体と、針と電源接続部を備えた板金を接合して構成された放電電極と、セラミックで構成され表面に半導電材料を塗布した中央に孔部を備えた絶縁性基板と、中央が開口しかつ電源接続部を備えた板金である対向電極と、前記対向電極の開口部の内側に配置するシリコンで構成され断面形状が円形のシリコンリングと、前記対向電極と前記絶縁性基板を重ね、前記枠体とで挟み込む板固定部を備え、前記放電電極と前記対向電極に電源部より電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生する活性種発生ユニットであって、前記枠体の板部材の前記放電電極に対向する面の中央開口周辺にリング状の凸部を設け、かつ前記枠体の隣り合う支柱間に板部材と一体となった補強部材を設ける構造としたものであるので、沿面距離が長くなるため、放電のスパークを防止しつつ安定した放電電流を得ることができ、活性種の発生量を増やすことができる。更に、放電によって前記枠体がマイナスに帯電することでプラスに帯電した埃を前記凸部と補強部材により板部材に形成される溝部へと引き寄せ、放電集中が起こりやすい孔部近傍へ埃が付着するのを防止することができる。

本発明の実施の形態１における活性種発生装置を設置する屋内の斜視図 同活性種発生装置の断面図 同活性種発生ユニットの断面斜視図 同活性種発生ユニットの分解斜視図 同活性種発生ユニットの部分断面を示す構成図 同活性種発生装置における、半導電部の表面抵抗率とスパーク距離の関係を示すグラフ 同活性種発生装置における、放電距離と電圧の関係を示すグラフ

本発明の請求項１記載の活性種発生ユニットは、枠体の板部材で放電電極に対面する面には中央開口部に沿って円を描くようにリング状の凸部を設け、かつ枠体の支柱間に板部材と一体となった補強部材を設けることにより、放電によってマイナスに帯電した枠体に引き寄せられたプラスの電荷を帯びた埃が凸部と板部材と補強部材により形成される溝部に集塵され、放電集中が起こる開口部近傍に付着するのを防ぐことができるため、放電電流の低下が起こりにくくなり、安定した放電電流を確保することができる。

また、シリコンリングを配置する凹部に対向する位置に凸部を配置し、かつ凹部よりも広い寸法幅とすることで、板部材の凹部近傍の板厚が大きくなり、その結果凹部を設けることによる強度の低下を防ぐ効果がある。

また、枠体の凸部を開口部近傍になめらかな湾曲面をもち、外周側の端部に角を有する形状とすることで、引き寄せられた埃が凸部と板部材と補強部材により形成される溝部に集塵され、放電集中が起こる開口部近傍に付着するのを防ぐことができる。

また、補強部材の先端と板固定部の外周の最下端を同じ位置とすることで、外部からの空気を補強部材に妨げられることなく枠体内へ流入させることができる。更に凸部の下端を補強部材の下端よりも低くすることによって、孔部へと向かう気流が凸部にぶつかり溝部内に滞留するため、気流内の埃を効率良く溝部内に付着させる効果を奏する。

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

図１に示すように、部屋１の床２上には、活性種発生装置３が配置されている。この活性種発生装置３は、部屋内の空気中にラジカルなどの活性種を供給することで、この活性種による清浄化作用により、空気を清浄化するものである。また、活性種を含む空気を衣類やカーテン等にあてることによって、衣類やカーテンの脱臭・除菌などの効果が期待できる。

図２は、図１における活性種発生装置３の断面図を示している。

活性種発生装置３は、吸気口４と排気口５を有する本体ケース６と、この本体ケース６内の送風手段７および活性種発生ユニット８とを備えている。

本体ケース６は、略中央に位置する仕切板部９によって、吸気口４と排気口５とを連通する風路部１０と、空間部１１とに分けられている。

送風手段７は、本体ケース６の仕切板部９に固定された電動機１２と、この電動機１２によって回転する羽根部１３と、この羽根部１３を囲むケーシング部１４とから形成している。ケーシング部１４の吸込口１５は、本体ケース６の吸気口４に対向している。送風手段７によって、吸気口４から吸い込んだ空気は、活性種発生ユニット８の一部を介して、排気口５へ送風されるものである。

なお、図２では活性種発生ユニット８を送風経路に沿って側方に開口部を備える位置にしているが、発生する活性種が風にのって室内に送風されればよく、活性種発生ユニットの位置や向きはこの場所には限定されない。例えば活性種発生ユニット８自体は本体ケース６内の送風経路外に設置し、活性種の放出口を送風経路に備える配置でもよい。活性種発生ユニット８を送風手段７の上流に配置してもよい。また、活性種発生ユニット８を複数備えてもよい。

従来の特許文献に記載のように、針電極とアース電極を平行に配置した場合、コロナ放電領域は、針電極とからアース電極側に偏って生成するため、放電領域が小さくなる。一方、本発明のように、放電電極１７と半導電部１８を略垂直方向に対向配置した場合、針からみて円錐状に広がりを持ったコロナ放電領域が形成されるため、コロナ放電領域の範囲が広がり、より多くの活性種を発生させることができる。孔部２１を設けた場合には、孔部２１の端面に向かってコロナ放電が発生するため、孔部２１の直径を変えることによってコロナ放電の広がり方を変化させることができる。

図３には、活性種発生ユニット８の断面傾斜図が示されている。図４は、活性種発生ユニット８の分解斜視図を示している。図５は、活性種発生ユニット８の部分断面を示している。

絶縁性基板１６は、図４に示すごとく、平板形状で略中央に開口である孔部２１を有し、絶縁性基板１６の端部は、枠体２２を介して本体ケースの仕切板部９に固定されている。

枠体２２および板固定部２４の組立て時の形状は、空気が直線的に通過可能な筒形状としても良いし、空気を側面から導入して上面から排出する開口部を備えた箱形状としてもよい。図２は箱形状として、下面から空気を導入し、側面から排出する構成である。

図２の部品配置では、孔部２１は、本体ケース６の排気口５に対向しており、送風手段７によって、吸気口４から吸い込んだ空気の一部は、放電電極１７の周囲を通り、孔部２１を介して、排気口５へ送風されるものである。

活性種発生ユニット８は、上述のごとく絶縁性基板１６と、この絶縁性基板１６の一方面で、孔部２１に対向して配置された放電電極１７と、絶縁性基板１６の孔部２１の内面と絶縁性基板１６の放電電極１７側の表面とに設けた、電流を流すことによって発熱して近傍の水分量を増加させる効果を有する半導電部１８と、この半導電部１８の外周部を覆うごとく電気的に接続されるように設けた対向電極２３と、この対向電極２３の開口部の内側に配置するシリコンリング２７と、対向電極２３と電気的に接続された電源接続部１９と、この電源接続部１９および放電電極１７に電圧を印加する電源部２０（図２に記載）を設けたものである。電源接続部１９は、ＳＵＳなどのステンレス、アルミ、金、銀、銅などで形成されている。なお、これらに限られること無く、導電性の素材であれば良い。

このとき、対向電極２３と絶縁性基板１６を重ね、枠体２２と板固定部２４で挟み込んで固定する。枠体２２は、仕切板部９（図２に記載）に固定されている。

絶縁性基板１６は、四角平板形状であり、略中央に開口する孔部２１を有している。なお、絶縁性基板の形状は円形や多角形であってもよい。

絶縁性基板１６は、オゾンやラジカルで腐食されにくい無機系のもの、あるいは、フッ素樹脂であれば良く、セラミック基板であっても、フッ素などの樹脂基板であっても良い。セラミック基板としては、Ｓｉ、Ａｌ、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｍｇを含む酸化物あるいは複合酸化物、炭化物、窒化物などを用いることができ、コストと入手のしやすさからアルミナが好適である。なお、絶縁性基板１６の表面抵抗率は、１０¹⁰Ω／□以上であることが望ましい。

放電電極１７は、図４に示すように、針状電極２５と一端に電源接続部２６を有する板状部材で構成され、枠体２２の帯電防止板３０の中央開口から垂直方向に延び、絶縁性基板１６の一方面に対向している。なお、針状電極２５の代わりに棒状電極を用いてもよく、枠体２２は多数の開口を備えて通気可能であってもよい。

そして、針状電極２５の先端は、絶縁性基板１６から数ミリメートル〜数十ミリメートル程度の所定距離を隔てて、孔部２１の外で、かつ孔部２１の略中心軸上に位置するものである。略中心軸上とは、孔部２１の中心を通り、絶縁性基板１６に対して垂直な軸上を示す。針状電極２５の材質は、コロナ放電をさせるＳＵＳなどのステンレスやタングステン、チタン、Ｎｉ−Ｃｒ合金などである。放電可能であれば、炭素・スズ・ＳｉＣなどを含む電極を用いてもよい。

なお、針状電極２５の先端部は鋭利な円錐状、円柱状、半球状などの形状を利用することができる。鋭利な先端を用いた場合、放電集中が起こりやすいため、比較的低い電圧でコロナ放電を行うことができる。針状電極の先端の形状を、円柱状あるいは半球状にした場合は、特定の部分に電荷集中が起こらない。そのため、針形状に比べると高い電圧を印加しないとコロナ放電が発生しないが、電荷が分散した状態でコロナ放電が継続されることから、針形状に比べて長時間劣化しにくい放電電極とすることができる。これは、鋭利な針先には電荷集中によって金属の溶融やほこりの集中付着が起こりやすいためである。

半導電部１８は、図５に示すように、絶縁性基板１６の一方面側の表面、つまり、放電電極１７と対向した面と、絶縁性基板１６の孔部２１の内面とに設けられている。放電電極１７側から見ると、半導電部１８の形状はリング形状である。半導電部１８の表面抵抗率は、１０⁶Ω／□から１０¹⁰Ω／□であることが望ましい。

表面抵抗率の測定方法は以下の２種類の方法があり、本実施の形態では方法１で行った。

方法１は、円柱状の主電極と主電極の周りを取り囲むようにリング状の対電極をそれぞれの距離が一定となるように試験片上に置き、主電極と試験片の間には接触抵抗を減らすために、導電性ゴムを挟む。次に主電極はアース側、対電極には１０００Ｖを印加し、その間に流れる電流を測定し表面抵抗Ｒを算出し、試験片上で電流の流れる方向の距離Ｌと、電流の流れ方向と垂直方向の電極の長さＷから表面抵抗率ρｓを求める方法である。
ρｓ＝Ｒ×Ｌ／Ｗ
表面抵抗率の単位は［Ω／□］または単に［Ω］を使用するが、本特許では、単なる抵抗値との区別が容易な［Ω／□］を用いている。

方法２は、試験片の両側に平行に一定の距離を置いて同じ長さの導電性テープを貼り付け、それぞれのテープは方法１における主電極と対電極となり、同様に主電極となる側にはアースへ、対電極となる側には１０００Ｖを印加して、その間に流れる電流から算出した表面抵抗Ｒと、導電性テープ間の距離Ｌと、導電性テープの長さＷより表面抵抗率を測定する。

次に本発明の特徴部分を説明する。

図３、４に示すように、枠体２２は板部材３２と複数の支柱３１により構成され、枠体２２の板部材３２で放電電極１７に対向する面には中央開口部に沿って円を描くようにリング状の凸部２８を設け、かつ枠体２２の隣り合う支柱３１間に板部材３２と一体となった補強部材２９を設けている。

このような構成により、例えば電源部２０にマイナスの電圧を印加して放電を行うと、針状電極２５先からマイナスの電子が対向電極へ向かって空気中に放出される（図示なし）。このとき、図５に示すように、針状電極２５から放出された電子の経路上でかつその近傍に位置する枠体２２の中央開口部近傍はマイナスへ帯電していく。更に放電を続けると、中央開口部から離れた位置であっても、枠体２２が絶縁体で構成されているために放電電極１７に対向する枠体２２の表面上には、電子が蓄積していく。その結果、枠体２２の板部材３２全体まで帯電が及び、枠体２２の板部材３２は空気中に浮遊するプラスに帯電した埃を引き付ける性質をもつ。

このとき、図２のように活性種発生ユニット８を送風経路に沿って側方に開口部を備える位置に配置した場合、活性種発生ユニット８外部の空気は、送風手段７によって枠体２２の支柱３１間を通って枠体２２の内部に流れ込むため（矢印Ｂ）、活性種発生ユニット８内部では板部材３２に沿って枠体２２の外側から中央開口である孔部２１へ向かう気流の経路が生じる。

また、活性種発生ユニット８を送風経路に沿って上方に開口部を備える位置に配置した場合では、針状電極２５周辺の空気はイオン風の流れにより孔部２１へ向かって流れるため（矢印Ａ）、活性種発生ユニット８外部の空気が枠体２２の支柱３１間を通って枠体２２の内部に流れ込み（矢印Ｂ）、同様に板部材３２に沿って枠体２２の外側から中央開口である孔部２１へ向かう気流の経路が生じる。

ここで、補強部材２９の下端と板固定部２４の外周の最下端を同じ位置、すなわち板固定部２４の外周の最下端と支柱３１および帯電防止板３０とで形成される開口内に突出しないようにしたため、外部からの空気を補強部材２９に妨げられることなく枠体２２内へ流入させることができる。

したがって、枠体２２の凸部２８を、開口部下流側がなめらかな湾曲面で、上流側の端部に角を有する形状とすることで、枠体２２の外側から中央開口である孔部２１へ向かう気流中の埃はマイナスに帯電した板部材３２に引き寄せられ、凸部２８と補強部材２９により板部材３２に形成される溝部３３内に付着し、放電集中が起こる開口部近傍に付着するのを防ぐことができる。

更に、凸部２８の下端を補強部材２９の下端よりも低くすることによって、孔部２１へと向かう気流が凸部２８にぶつかり溝部３３内に滞留するため、気流内の埃を効率良く溝部３３内に付着させることができる。

また、隣り合う支柱３１間に補強部材２９を設けることで組み立て時の支柱３１のたわみを防ぎ、凸部２８を開口周囲にリング状に設けることで板部材３２のたわみを防ぎ、孔部２１の中心に対する針状電極２５の中心軸の位置決め誤差を小さくすることができると共に、シリコンリング２７を配置する凹部に対向する位置に凸部２８を配置し、かつ凹部よりも広い寸法幅とすることで、板部材３２の凹部近傍の板厚が大きくなり、その結果凹部を設けることによる強度の低下を防ぐ効果がある。

更に放電電極１７と半導電部１８までの最短経路上に凸部２８を配置することで沿面距離を延長することができる。すなわち、沿面距離を延長することによって、半導電部１８または枠体２２の中央開口部近傍に空気中の埃や油などが付着し、導電性を有するようになった場合において、絶縁性が保てなくなり沿面距離が短くなることによって生じるスパークを防ぎ、安全性の向上を図れるものである。

ここで、図６、図７を用いて、活性種発生量が増加する仕組みを説明する。

図６に、本実施例の活性種発生ユニットの構成において、放電電極１７と電源接続部１９に−８ｋＶを印加した際の、半導電部１８の表面抵抗率とスパーク距離の関係を示す。表面抵抗率は対数表示であり、スパーク距離は、放電電極１７と半導電部１８の最短空間距離である。表面抵抗率が１０⁶Ω／□より低い範囲ではスパーク距離は６ｍｍである。つまり、活性種発生ユニットとしては、放電電極１７と半導電部１８を６ｍｍより離す構造にする必要があり、装置を小型化することができない。

一方、表面抵抗率が１０⁶Ω／□以上の範囲では、スパーク距離は０ｍｍであり、スパークは発生しない。従って、放電電極１７と半導電部１８の距離を６ｍｍ以下にすることができ、活性種発生ユニットの小型化を実現できる。放電電極１７の先端側近傍に半導電部１８を備えるとは、例えば−８ｋＶを印加した場合、放電電極１７と半導電部１８の距離を６ｍｍ以下にした構成であり、この距離の６ｍｍは、印加電圧により設定される。

図７に、放電電流を一定にした場合の、電圧に対する放電距離の関係を示す。放電距離は、放電電極と半導電部の最短距離である。放電電流は放電の強さを示し、放電電流が増えると活性種の発生量は増加する。放電距離が狭い条件では、わずかに電圧をあげるだけで放電電流を増加させ、活性種発生量を増やすことができる。例えば、放電距離３ｍｍにおいては、電圧を−３．５ｋＶから−４．０ｋＶに０．５ｋＶ増加させることで、放電電流を５μＡから３０μＡまで、約６倍増加させることができる。一方、放電距離が１０ｍｍの場合、電圧を−６．１ｋＶから−６．６ｋＶに０．５ｋＶ増加させても、放電電流は５μＡから１０μＡに変化するのみであり、約２倍しか増加しない。

すなわち、図６で説明したように表面抵抗率を１０⁶Ω／□以上とし、放電距離を短くできれば、わずかな電圧変化で放電電流を大幅に増加させることが可能であり、コロナ放電を高出力化させて活性種発生量を増やすことができる。

放電電極１７の先端は、孔部２１の略中心軸上に配置されることが望ましい。放電電極１７と電源接続部１９に電気的に接続された半導電部１８に高電圧が印加された場合、放電電極１７と半導電部１８間をながれる電流は、半導電部１８の孔部２１外周面から対向電極２３を介して、電源接続部１９に到達する。つまり、放電電極１７を中心として円周方向の周囲に半導電部１８が位置するので、半導電部１８の広い範囲に電流が分散することになり、発明の効果で説明したように半導電部１８近傍の空気には広い範囲で発熱による水分量の増加が起こり、その広い範囲で分散して放電するため、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。

放電電極１７の先端の断面形状と、半導電部１８の孔部の形状は、同種の形状であってもよい。例えば、円状の孔部に対して、先端が円柱状または半球状の放電電極１７を用いた場合には、放電部分の先端部の断面形状が円状になっているため 放電電極１７を中心として円周方向に広い範囲に分散して放電が発生する。その結果、先端が鋭利な針状の放電電極１７を用いる場合に比べて、局所的な放電集中が起こりにくく、放電電極１７の劣化を抑制することができ、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。

さらに、半導電部１８の広い範囲に電流が分散するので、ＯＨラジカルなどの活性種の発生量が増加するものである。また、集中的に高濃度の活性種が生成することがないため、半導電部の劣化が起こらず持続的に活性種を放出することができるものである。

また、空気中の水分を有効に利用して活性種の量を増やすことができるので、水分の捕集のためにゼオライトなどの吸着剤を利用する必要がなく、吸着剤が劣化することがなく、安全性と持続性に優れた活性種発生ユニットとすることができる。なお、孔部の形状としては、円形状ではなく、四角形・多角形・楕円形状としてもよい。

なお、放電電極１７の放電を受ける電極として、絶縁性基板１６に半導電性の皮膜を備えた半導電部１８と対向電極２３と電源接続部１９からなる構成を説明したが、電極として半導電部１８と電源接続部１９のみを用いてもよい。すなわち、絶縁性基板１６と同形状の孔空き平板状の半導電部１８を電源接続部１９に電気的に接続する構成でもよい。このような構成とすることによって、構造が簡易になり組立てやすい活性種放出ユニットにすることができる。さらに、導電部および絶縁性基板の厚みを減らすことで、より小型の活性種発生ユニットとすることができる。

以上、図５で説明したように、枠体２２の板部材３２の放電電極１７に対向する面の開口周囲にリング状の凸部２８を設け、かつ枠体２２の隣り合う支柱３１間に板部材３２と一体となった補強部材２９を設ける構造としたことにより、放電によってマイナスに帯電した枠体２２に引き寄せられたプラスの電荷を帯びた埃が凸部２８と補強部材２９により板部材３２に形成される溝部３３に集塵され、放電集中が起こる開口部近傍に付着するのを防ぐことができるため、放電電流の低下が起こりにくくなり、安定した放電電流を確保することができる。

また、放電電極１７と対向電極２３間を流れる電流は、例えば放電電極１７から帯電防止板３０を流れた後に枠体２２の支柱を伝って板部材３２に流れ、凸部２８を介して、絶縁性基板１６の一方面表面を覆う半導電部１８を流れ、ようやく対向電極２３へと到達することになる。つまり、沿面距離が長くなるので、その結果として火花放電が起こらず、安全性の向上が図れるものである。

ここで、対向電極２３の表面抵抗率は、半導電部１８の表面抵抗率より小さいものである。具体的には、半導電部１８の表面抵抗率は、１０⁶Ω／□以上から１０¹⁰Ω／□未満であり、対向電極２３の表面抵抗率は、１０⁶Ω／□未満であり、電源接続部１９の表面抵抗率は、１０^-1Ω／□以下であることが望ましい。

以上のように本発明は、中央が開口した板部材に複数の支柱を設けた枠体と、針と電源接続部を備えた板金を接合して構成された放電電極と、セラミックで構成され表面に半導電材料を塗布した中央に孔部を備えた絶縁性基板と、中央が開口しかつ電源接続部を備えた板金である対向電極と、前記対向電極の開口部の内側に配置するシリコンで構成され断面形状が円形のシリコンリングと、前記対向電極と前記絶縁性基板を重ね、前記枠体とで挟み込む板固定部を備え、前記放電電極と前記対向電極に電源部より電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生する活性種発生ユニットにおいて、前記枠体の板部材の前記放電電極に対向する面の中央開口周辺にリング状の凸状を設け、かつ前記枠体の隣り合う支柱間に板部材と一体となった補強部材を設ける構造としたものであるので、放電によって前記枠体がマイナスに帯電することでプラスに帯電した埃を前記凸部と補強部材により板部材に形成される溝部へと引き寄せ、放電集中が起こりやすい孔部近傍へ埃が付着するのを防止することができる。更に沿面距離が長くなるため、放電のスパークを防止しつつ安定した放電電流を得ることができ、活性種の発生量を増やすことができる。

また、半導電部が前記放電電極の先端側に対向する部分に孔部を有し、この孔部周辺を放電域とし孔部周辺で活性種を発生するため、この孔部を通過する空気に発生した活性種を供給でき、イオン風を効率的に利用して、発生した活性種を拡散できるものである。また、半導電部や放電電極を複数設ける必要がなく、装置を小型化できるものである。

したがって、活性種発生ユニットおよびこれを用いた活性種発生装置としての活用が期待される。

１ 部屋
２ 床
３ 活性種発生装置
４ 吸気口
５ 排気口
６ 本体ケース
７ 送風手段
８ 活性種発生ユニット
９ 仕切板部
１０ 風路部
１１ 空間部
１２ 電動機
１３ 羽根部
１４ ケーシング部
１５ 吸込口
１６ 絶縁性基板
１７ 放電電極
１８ 半導電部
１９ 電源接続部
２０ 電源部
２１ 孔部
２２ 枠体
２３ 対向電極
２４ 板固定部
２５ 針状電極
２６ 電源接続部
２７ シリコンリング
２８ 凸部
２９ 補強部材
３０ 帯電防止板
３１ 支柱
３２ 板部材
３３ 溝部

Claims (5)

1. 中央が開口した板部材に複数の支柱を設けた枠体と、
   針と電源接続部を備えた板金を接合して構成された放電電極と、
   セラミックで構成され表面に半導電材料を塗布した中央に孔部を備えた絶縁性基板と、
   中央が開口しかつ電源接続部を備えた板金である対向電極と、
   前記対向電極の開口部の内側に配置するシリコンで構成され断面形状が円形のシリコンリングと、
   前記対向電極と前記絶縁性基板を重ね、前記枠体とで挟み込む板固定部を備え、
   前記放電電極と前記対向電極に電源部より電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生する活性種発生ユニットであって、
   前記枠体の板部材の前記放電電極に対向する面の開口周囲にリング状の凸部を設け、かつ前記枠体の隣り合う支柱間に板部材と一体となった補強部材を設けることを特徴とする活性種発生ユニット。
2. 枠体の凸部は板部材のシリコンリングを配置する凹部の反対側の面で、凹部に対向する位置に配置し、かつ凹部よりも広い寸法幅をもつことを特徴とする請求項１に記載の活性種発生ユニット。
3. 枠体の凸部は開口部近傍になめらかな湾曲面をもち、外周側の端部に角を有することを特徴とする請求項１または２に記載の活性種発生ユニット。
4. 枠体の補強部材の先端と板固定部の外周の最下端が同じ位置であり、かつ凸部の先端よりも高いことを特徴とする請求項１〜３に記載の活性種発生ユニット。
5. 吸気口と排気口を有する本体ケースと、
   この本体ケース内に送風手段と請求項１〜４に記載の活性種発生ユニットとを設け、
   前記送風手段により前記本体ケースの吸気口から吸込んだ空気を、前記活性種発生ユニットに送り、
   前記活性種発生ユニットで発生した活性種を含んだ空気を前記排気口から吹出す構成としたことを特徴とする活性種発生装置。

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