JP5892310B2 - 光走査装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、第1の実施の形態に係る光走査装置を示す断面模式図である。図2は、図1に示す光走査装置を一部簡略化して示す模式的な斜視図である。
発光部で生成された照射光(例えば光ビーム)は、導光光学系を介して所定の角度でマイクロスキャナ10における反射面13の照射光位置に入射する。マイクロスキャナ10は、反射面13の照射光位置に入射した照射光を固定鏡50へ向けて所定角度で反射する。照射光を第1の軸方向に走査する場合、揺動部12に結合した一対のトーションバー14をねじり回転軸として、この回転軸に沿って揺動部12を回転駆動させる。反射面13で反射した照射光は、固定鏡50に入射するが、揺動部12を第1の軸方向に回転駆動させることで反射角が異なるため、固定鏡50への入射位置が変化する(図1,2参照)。固定鏡50は照射光の入射位置が変化するが、マイクロスキャナ20の反射面23が他方の集光点に設定されているため、固定鏡50の異なる位置で反した反射光は、必ず反射面23上の同一集光点に入射する。マイクロスキャナ20は、固定鏡50から反射面23に入射した照射光を被写体側へ反射する。照射光を第1の軸方向と異なる第2の軸方向に走査する場合、揺動部22に結合した一対のトーションバー24をねじり回転軸として、この回転軸に沿って揺動部22を回転駆動させる。反射面23で反射した照射光は被写体に照射されるが、第1および第2の軸方向に光走査することで、被写体平面60が2次元走査される。2次元走査される被写体平面60の面積および位置は、マイクロスキャナ10による第1の軸方向への走査幅およびマイクロスキャナ20による第2の軸方向への走査幅によって調節される。
以下、第2の実施の形態に係る光走査装置について、図3および図4に基づいて説明する。図3は、第2の実施の形態に係る光走査装置2を示す断面模式図であり、図4は、図3に示す光走査装置を一部簡略化して示す模式的な斜視図である。なお、第2の実施の形態において、第1の実施の形態に係る光走査装置1と共通する構成については同一の符号を付与してその説明を省略し、第1の実施の形態で示した光走査装置1とは異なる構造について主に説明する。
発光部から出力された照射光は、導光光学系を介して所定の角度でマイクロスキャナ10における反射面13に入射する。マイクロスキャナ10は、反射面13で反射する照射光を第1の軸方向に走査するように、揺動部12を回転駆動させる。このとき、反射面13で反射した照射光が固定鏡51に入射するが、揺動部12の傾斜角度に応じて固定鏡51への入射位置が変化する。固定鏡51は、集光点となる反射面13から入射する照射光を入射位置にかかわらず下部基板30に対して各光が同一角度(図示の例では平行)となるように反射する。固定鏡51で反射した照射光は、固定鏡52に入射する。マイクロスキャナ10における揺動部12が揺動することにより、固定鏡52への照射光の入射位置は変化する(図3,4参照)が、固定鏡52の集光点にマイクロスキャナ20における反射面23が配置されているので、固定鏡52の各入射位置で反射される照射光は反射面23上の同一位置に入射する。マイクロスキャナ20は、固定鏡52から反射面23に入射して反射する照射光を、第1の軸方向と異なる第2の軸方向に走査するように、揺動部22を回転駆動させる。反射面23で反射した照射光は被写体に照射され、第1および第2の軸方向で構成される被写体平面60が2次元走査される。
10 マイクロスキャナ(第1のマイクロスキャナ)
20 マイクロスキャナ(第2のマイクロスキャナ)
11,21 矩形開口部
12,22 揺動部
13,23 反射面
14,24 トーションバー
30 下部基板
40 上部基板
50 固定鏡(凹面鏡)
51 固定鏡(第1の固定鏡)
52 固定鏡(第2の固定鏡)
60 被写体平面
Claims (2)
- 被写体に照射する照射光が入射し所定方向へ反射する第1の反射面を有し、該第1の反射面で反射する照射光を第1の軸方向に走査するように前記第1の反射面を回転駆動させる第1のマイクロスキャナと、一方から入射する平行光は集光束に変換して反射し、前記集光束の集光点となる他方から入射する光は入射位置にかかわらず平行光に変換して反射する湾曲面を有し、前記第1の反射面に集光点が設定された第1の固定鏡と、一方から入射する平行光は集光束に変換して反射し、前記集光束の集光点となる他方から入射する光は入射位置にかかわらず平行光に変換して反射する湾曲面を有し、前記第1のマイクロスキャナと干渉しない位置に集光点が設定され、前記第1の固定鏡と平行光の光軸が一致する第2の固定鏡と、前記第2の固定鏡の集光点に配置された第2の反射面を有し、前記第2の固定鏡から前記第2の反射面に入射して反射する照射光を第1の軸方向と異なる第2の軸方向に走査するように前記第2の反射面を回転駆動させる第2のマイクロスキャナと、を有することを特徴とする光走査装置。
- 前記第1のマイクロスキャナおよび前記第2のマイクロスキャナは、同一のチップ上に形成されていることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
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